JP2005205418A - 接合構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 第1の接合部材と第2の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法において、はんだ内のボイドをより安価に低減できるようにする。
【解決手段】 第1の接合部材であるIGBT素子10と第2の接合部材であるセラミック基板20とをはんだ30を介して接触させた状態で、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ30の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、当該はんだ30の液相線以上の温度にて減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2まで加圧した後、この加圧状態にてはんだ30を固化させる。
【選択図】 図5
【解決手段】 第1の接合部材であるIGBT素子10と第2の接合部材であるセラミック基板20とをはんだ30を介して接触させた状態で、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ30の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、当該はんだ30の液相線以上の温度にて減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2まで加圧した後、この加圧状態にてはんだ30を固化させる。
【選択図】 図5
Description
本発明は、第1の接合部材と第2の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法に関する。
従来、この主の接合構造体の製造方法としては、たとえば、第1の接合部材としての半導体素子と第2の接合部材としての基板またはリードフレームとをはんだにて接合する方法が知られている。
このはんだ接合工程は、半導体素子と基板あるいはリードフレームとの間にはんだペレットを挟んで、大気圧雰囲気において連続式水素リフロー炉により、はんだ付けを行うのが一般的である。
このようなはんだ付け工程においては、はんだ中にボイド(気泡)が形成されることがある。このボイドは主に、はんだが溶融する際や溶融した後に、所定の範囲に濡れ広がる際に、周囲の雰囲気を巻き込むことで形成される。
そして、このように、はんだ中にボイドが存在すると、接合部材間の放熱経路がボイドで遮断されるため放熱性の低下が生じたり、はんだの接合性の低下が生じるなどの不具合が起こる。
従来では、はんだ付け工程でボイドを低減する手法として、たとえば、はんだペレットの表面積を小さくするなど、形状を工夫したり、溶融時間を長くするなど、温度プロファイルを工夫したりするようにしている。
さらに、ボイドの低減を要求される場合、たとえば、大電力を制御するパワーモジュールに用いられる大型のパワー素子を基板上にはんだ接合するような場合には、放熱性の確保がより重要であるため、減圧下にてはんだ付けする方法が採用されている(たとえば、特許文献1、特許文献2参照)。
このような場合、2つの接合部材をはんだを介して接触させた状態で、はんだを溶融させた後に、真空装置により減圧する、いわゆる、脱泡することにより、ボイドを低減することが一般的になされている。
特開平5−283570号公報
特開平6−69387号公報
しかしながら、上記した従来の減圧下にてはんだ付けを行う方法の場合には、次のような問題がある。
たとえば、大型パワー素子のはんだ付け部に形成されたボイドを上記した脱泡により低減する場合、はんだの面積が大きくなるため、より低い圧力が必要であり、排気能力の高い真空装置や長時間の排気が必要となる。このことは、結果として、コストアップにつながる。
そして、環境面への配慮から、はんだとしては、実質的に鉛を含まない鉛(Pb)フリーはんだが採用されてきているが、このPbフリーはんだを採用する場合には、従来のPb含有はんだに比べて、上記の状況はより顕著となる。
具体的には、Pbフリーはんだは、従来のPb含有はんだに比べて、はんだの表面張力が高いため、接合部材への濡れ性が悪く広がりにくい。そのため、Pbフリーはんだにおいては、はんだが濡れ広がる際に周囲の雰囲気を巻き込みやすく、また、脱泡もなされにくくなるため、上記したボイドが発生しやすいと考えられる。
そこで、本発明は上記問題に鑑み、第1の接合部材と第2の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法において、はんだ内のボイドをより安価に低減できるようにすることを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、第1の接合部材(10)と第2の接合部材(20)とをはんだ(30)を介して接合する接合構造体の製造方法において、前記第1の接合部材(10)と前記第2の接合部材(20)とを前記はんだ(30)を介して接触させた状態で、前記はんだ(30)の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にて前記はんだ(30)の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、前記液相線以上の温度にて前記減圧状態の圧力(P1)よりも高い圧力(P2)まで加圧した後、前記加圧状態にて前記はんだ(30)を固化させることを特徴としている。
それによれば、はんだ(30)の液相線以上の温度まで加熱した時点で、はんだ(30)は溶融し、雰囲気は減圧状態であるため、溶融したはんだ(30)が雰囲気を巻き込んでボイド(B)が発生しても、このボイド(B)は、減圧状態の圧力(P1)を持ったボイドとなる。
そして、次に、液相線以上の温度にて減圧状態の圧力(P1)よりも高い圧力(P2)まで加圧することにより、溶融したはんだ(30)内のボイド(B)は、当該ボイド(B)内の圧力よりも高い圧力でつぶされることになる。
そのため、ボイド(B)は消滅あるいは小さくなることから、ボイド(B)の低減が図られることになり、上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法に比べて、減圧状態の圧力(P1)をさほど低い圧力にしなくても、ボイド(B)の低減を実現することができる。
したがって、本発明によれば、従来よりも、減圧に用いられる減圧装置として排気能力の高い真空装置が不要となり、また、減圧するための排気時間を短くできるため、はんだ(30)内のボイド(B)をより安価に低減することができる。
ここで、さらに検討を進めた結果、請求項1に記載の接合構造体の製造方法における具体的な圧力の大きさとして、適切な範囲を求めた。
すなわち、請求項2に記載の発明のように、請求項1に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力(P1)を5×104Pa以下とし、減圧状態の圧力(P1)よりも高い圧力(P2)を大気圧とすることが好ましい。
それによれば、請求項1に記載の発明の効果を適切に実現することができる。特に、減圧状態の圧力(P1)よりも高い圧力(P2)を大気圧とすれば、加圧のための特別な装置が不要となるため、製造装置を簡単な構成とすることができる。
また、本発明では、減圧状態の圧力(P1)を5×104Pa以下とすることで、はんだ(30)内のボイド(B)を低減することができるが、本発明と同程度のボイド低減のレベルを、上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法によって実現しようとした場合、当該従来方法における減圧状態の圧力を、本発明よりも約1桁低いものとしなければならない。
また、好ましくは、請求項3に記載の発明のように、請求項2に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力(P1)を1×104Pa以下とする。
Pb含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法においては、表面張力の比較的高いPbフリーはんだを用いた場合とは異なり、はんだペレットの形状や温度プロファイルを工夫することによって、かなり高いレベルのボイド低減を実現することができる。
本発明のように、請求項2に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力(P1)を1×104Pa以下とすれば、Pbフリーはんだを用いた場合であっても、Pb含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法において実現することのできる最高レベルのボイド低減度合と同じ程度まで、ボイド低減を行うことができる。
さらに、好ましくは、請求項4に記載の発明のように、請求項3に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力(P1)は6×103Pa以下とする。
それによれば、上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合の1/2程度のレベルまで、ボイドを低減することが可能となる。
また、請求項5に記載の発明では、請求項1〜請求項4に記載の接合構造体の製造方法において、前記固相線以下の温度にて減圧する前に、前記固相線以下の温度且つ大気圧にて前記はんだ(30)の予熱を行うことを特徴としている。
それによれば、この予熱によって、はんだ(30)、IGBT素子(10)および基板(20)の表面の清浄化を行うことができ、好ましい。
また、請求項6に記載の発明では、請求項1〜請求項5に記載の接合構造体の製造方法において、前記はんだ(30)は、Pbフリーはんだであることを特徴としている。
上記した各手段は、はんだ(30)として、Pbフリーはんだを用いた場合に、特に効果的である。
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。図1は、本発明の実施形態に係る接合構造体100の一例を示す概略断面図である。
この接合構造体100は、第1の接合部材としてのIGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)素子10と第2の接合部材としてのセラミック基板20とを、はんだ30を介して接合してなるものである。
IGBT素子10は、周知の通りシリコン半導体チップに半導体製造技術を用いてIGBTを形成してなるものであり、セラミック基板20は、アルミナなどからなる配線基板等である。
なお、図示されていないが、これらIGBT素子10におけるはんだ30との接合面およびセラミック基板20におけるはんだ30との接合面には、ニッケル(Ni)めっきなどにより形成されたNi電極が形成されている。そして、当該Ni電極とはんだ30とが接合されることにより、はんだ接合性が確保されている。
はんだ30は、実質的に鉛(Pb)を含まないPbフリーはんだである。たとえば、このようなPbフリーはんだとしては、数重量%程度のアンチモン(Sb)および残部スズ(Sn)のものを用いることができる。
なお、第1の接合部材および第2の接合部材としては、IGBT素子などのパワー素子やセラミック基板以外にも、抵抗素子、コンデンサ素子、プリント基板など、はんだ付けにより接合されるものであれば、限定されない。
この図1に示されるような接合構造体100においては、IGBT素子10とセラミック基板20とは、はんだ30を介して機械的に接合されるとともに、電気的および熱的にも接合されている。そして、IGBT素子10からの熱は、はんだ30を介してセラミック基板20へ放熱されるようになっている。
本実施形態において、接合構造体100の製造方法は、次の通りである。
すなわち、第1の接合部材であるIGBT素子10と第2の接合部材であるセラミック基板20とをはんだ30を介して接触させた状態で、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ30の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、当該はんだ30の液相線以上の温度にて減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧した後、この加圧状態にてはんだ30を固化させる。
ここで、本実施形態の接合構造体の製造方法における具体的な圧力の大きさとして、適切な範囲は、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧するときの減圧状態の圧力を5×104Pa以下とし、はんだ30の液相線以上の温度にて加圧するときの減圧状態の圧力よりも高い圧力を大気圧とすることが好ましい。
また、好ましくは、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧するときの減圧状態の圧力を1×104Pa以下とする。
さらに、好ましくは、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧するときの減圧状態の圧力は6×103Pa以下とする。
さらに、本実施形態の好ましい形態としては、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧を行う前に、当該固相線以下の温度であって且つ大気圧にて、はんだ30の予熱を行うようにする。
次に、上記した本実施形態の接合構造体100の製造方法について、具体例を示しながら、その効果等について、より詳細に説明する。
上記図1に示される接合構造体100において、IGBT素子10として、13mm×13mmの大型IGBT素子を用い、セラミック基板20として約20mm×40mmのものを用いた。また、はんだ30としては、8mm×8mmの厚さ0.25mmの矩形板状のはんだペレットを用いた。
図2には、第1の接合部材としてのIGBT素子10と第2の接合部材としてのセラミック基板20とを、はんだ30としてのはんだペレットを介して積層し接触させた状態を示す概略断面図である。
そして、図3は、このようにIGBT素子10とセラミック基板20をはんだ30を挟んで、はんだ付けした際のはんだ30におけるボイド発生の度合をボイド率として示したものである。
ここで、ボイド率は、上記図1の上方から撮影されたX線の透過画像を、画像処理にて解析することにより、ボイド面積率(%)として求めた。このボイド面積率は、はんだ30の濡れ広がった面積全体に占めるボイドの割合である。そして、このボイド率の目標値としては、たとえば現在のところの要求仕様である2%以下とした。
図3では、「Pbフリーはんだ(溶融前減圧)」、「Pbフリーはんだ(溶融後減圧)」、「Pbフリーはんだ(従来工法)」、「Pn−Snはんだ(従来工法)」といった4種類の製造方法におけるボイド率を示している。なお、上記の順に示したこれら4種類の製造方法において、1番目が本実施形態の製造方法であり、2番目以降の3つは比較例の製造方法である。
図3中、白四角プロットで示される「Pb−Snはんだ(従来工法)」とは、Pb−Sn系はんだ、たとえば10重量%Sn残部Pbはんだを、連続式水素還元炉を用いて全工程大気圧(図3中、1×105Paが大気圧を示す)にて、はんだ付した際のボイド率を示すものである。
この場合、はんだペレットの形状やリフロープロファイルを工夫することで、目標のボイド率2%以下を達成することができる。
具体的には、板状のはんだペレットの表面積を小さくすることでボイドを巻き込みにくくしたり、溶融時間を長くすることでボイドがはんだ30の外へ出て行きやすくするなどにより、目標のボイド率を達成することができる。
なお、この「Pb−Snはんだ(従来工法)」において、図3に示されるボイド率は、Pb含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法によって実現可能なボイド低減の度合として、おおよそ最高レベルのものである。
図3中、白丸プロットで示される「Pbフリーはんだ(従来工法)」は、Pbフリーはんだ、たとえば5重量%Sb残部Snはんだを、連続式水素還元炉を用いて全工程大気圧にてはんだ付した際のボイド率を示すものである。
この場合、はんだペレットの形状やリフロープロファイルを工夫しても目標のボイド率を達成することができなかった。これは、上述したように、Pbフリーはんだの表面張力が高く接合部材への濡れ性が悪いためであると考えられる。
そこで試みたのが、減圧下でのリフロー、すなわち上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法であり、それが、図3中、黒三角プロットで示される「Pbフリーはんだ(溶融後減圧)」の製造方法である。以下、この方法を減圧脱泡方法ということにする。
この減圧脱泡方法は、Pbフリーはんだ、たとえば5重量%Sb残部Snはんだを、次の図4に示される温度および圧力パターンではんだ付したものである。
この図4のパターンは、図中の工程S1から工程S6までを順に行っていくものであり、その詳細は次の通りである。なお、この図4のパターンおよび後述する図5のパターンは、一般に知られているリフローおよび減圧が可能な真空チャンバを有するはんだ付けの装置を用いて実現可能である。
工程S1:IGBT素子10とセラミック基板20とをペレット状態のはんだ30を介して接触させた状態(図2参照)で、上記真空チャンバ内にセットし、室温にて大気圧(空気)状態から真空排気を行なった後、窒素、水素または窒素と水素の混合ガスにより大気圧とする。これにより、はんだ付雰囲気への置換が行われる。
工程S2:大気圧を維持したまま、室温からはんだ30の固相線以下の温度まで昇温し、はんだ30としてのはんだペレットの予熱を行う。
なお、5重量%Sb残部Snはんだでは、固相線温度は約235℃であり、液相線温度は約240℃である。これらはんだ30の固相線温度および液相線温度は、はんだ30の相平衡状態図などから容易に求めることができる。
ここで、予熱温度は、たとえば200℃程度とすることができる。そして、この予熱により、水素または水素と窒素の混合雰囲気にてはんだ30、IGBT素子10および基板20が加熱され、その表面が清浄化される。
工程S3:大気圧を維持したまま、予熱温度からはんだ30の液相線温度以上の温度まで昇温し、本加熱を行う。ここで、本加熱温度は、たとえば280℃程度とすることができる。この本加熱により、はんだ30を溶融させ、所定の面積まで濡れ広がらせる。この際、溶融したはんだ30は、周囲の雰囲気を巻き込むため、内圧が大気圧であるボイドBが形成される。
工程S4:この工程では、本加熱温度を維持したまま、所定の面積まではんだ30を濡れ広がらせた後、真空排気を行い、減圧状態とする。この減圧状態の圧力をP0とする。それによって、溶融したはんだ30中のボイドBを排出する、すなわち脱泡を行う。
工程S5:この工程では、本加熱温度を維持したまま、水素または窒素または水素と窒素の混合ガスによって、上記工程S4における減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧する。ここでは、大気圧(1atm)まで復圧する。
工程S6:この工程では、大気圧を維持したまま、はんだ30を室温付近まで冷却し、固化させる。これにより、本製造方法による接合構造体100ができあがる。なお、以上の工程S1〜S6の所要時間は、全工程でたとえば15分程度である。
この減圧脱泡方法によるはんだ付け方法は、低ボイド化にかなり効果があり、この方法による上記減圧状態の圧力P0とボイド率との関係は、上記図3において黒三角プロットにて示されている。図3に示されるように、本方法によれば、減圧状態の圧力P0が約3000Pa以下のとき、目標のボイド率2%以下を達成することができた。
ただし、ばらつきを考慮すると、この減圧脱泡方法における減圧状態の圧力P0としては、約100Pa以下の圧力が必要と考えられ、温度コントロールをしながら所定の圧力を短時間で達成するのはかなり困難であった。そのため、ボイド率は、脱泡の時間や圧力に大きく左右されることになる。
つまり、この減圧脱泡方法による製造方法では、高価な減圧装置(真空装置)が必要であったり、上記図4の工程S4における減圧状態の時間を長くすることが必要となり、結果的にコストアップを招いてしまう。
そこで、さらに低ボイド化を容易に達成できる製造方法として用いられるのが本実施形態の製造方法であり、それが、図3中、黒丸プロットで示される「Pbフリーはんだ(溶融前減圧)」の製造方法である。
これは、Pbフリーはんだ、たとえば5重量%Sb残部Snはんだを、次の図5に示される温度および圧力パターンではんだ付けしたものである。この図5のパターンは、図中に示される工程T1から工程T7までを順に行っていくものであり、その詳細は次の通りである。
図5に示される温度パターンは、はんだ30の固相線以下の温度で予熱を行い、液相線温度以上の温度で本加熱を実施する一般的なパターンである。特徴的なのは、圧力パターンである。
工程T1:IGBT素子10とセラミック基板20とをはんだ30を介して接触させた状態で、上記図4に示されるパターンと同様、室温にて大気圧(空気)状態から真空排気を行なった後、窒素、水素または窒素と水素の混合ガスにより大気圧とする。これにより、はんだ付雰囲気への置換が行われる。
工程T2:大気圧を維持したまま、室温からはんだ30の固相線以下の温度(たとえば200℃)まで昇温し、はんだ30としてのはんだペレットの予熱を行う。この予熱により、水素または水素と窒素の混合雰囲気にてはんだ30が加熱され、はんだ30、IGBT素子10および基板20の表面が清浄化される。
工程T3:この工程では、予熱温度からはんだ30の固相線以下の範囲の温度にて、大気圧から圧力P1まで減圧する。
工程T4:この工程では、この圧力P1の減圧状態を維持したまま、はんだ30の液相線温度を超えて液相線温度まで加熱する。このようにして、圧力P1の減圧下にて、はんだ30を溶融させる。
工程T5:この工程では、圧力P1の減圧状態を維持したまま、はんだ30の液相線温度を超えて本加熱温度(たとえば280℃)まで昇温し、本加熱を行う。
これら工程T4および工程T5により、減圧下にて溶融したはんだ30は、所定の面積まで濡れ広がる。このとき、溶融したはんだ30においては、周囲の雰囲気を巻き込んでボイドBが発生するが、このボイドBは、内圧が減圧状態の圧力P1であるボイドBとして形成される。
工程T6:この工程では、はんだ30の液相線以上の本加熱温度を維持したまま、水素または窒素または水素と窒素の混合ガスによって、減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2まで加圧する。ここでは、減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2は、大気圧(1atm)とする。
工程T7:この工程では、圧力P2の加圧状態を維持したまま、はんだ30を室温付近まで冷却し、固化させる。これにより、本製造方法による接合構造体100ができあがる。なお、以上の工程T1〜工程T7の所要時間は、全工程を通じてたとえば15分程度である。
この「Pbフリーはんだ(溶融前減圧)」の製造方法、すなわち本実施形態の製造方法による減圧状態の圧力P1とボイド率との関係は、上記図3において黒丸プロットにて示されている。
図3に示されるように、比較例である「Pbフリーはんだ(溶融後減圧)」の製造方法すなわち減圧脱泡方法と比較して、本実施形態では、減圧状態の圧力P1が高い圧力でも、ボイドBの低減を実現できる。
たとえば、上記減圧脱泡方法では、減圧状態の圧力P0が約3000Pa以下のときに達成できた目標のボイド率が、本実施形態の方法では、減圧状態の圧力P1が約50000Pa以下のときに実現できている。
また、図3に示されるように、本実施形態の方法において減圧状態の圧力P1を約10000Paとしたときのボイド率は、同図に示される「Pb−Snはんだ(従来工法)」のボイド率すなわちPb含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合と同程度である。
さらには、上記減圧脱泡方法では、減圧状態の圧力P0を100Pa以下の圧力としても達成できなかった1%以下のボイド率が、本実施形態の方法では、減圧状態の圧力P1を約6000Pa以下の圧力とすることにより、安定して達成できている。
以上のように、本実施形態の製造方法は、第1の接合部材10と第2の接合部材20とをはんだ30を介して接触させた状態で、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ30の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、前記液相線以上の温度にて前記減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧した後、前記加圧状態にてはんだ30を固化させることを特徴としている。
それによれば、はんだ30の液相線以上の温度まで加熱した時点すなわち上記図5の工程T5の時点で、はんだ30は溶融し、雰囲気は減圧状態である。そのため、溶融したはんだ30が雰囲気を巻き込んでボイドBが発生しても、このボイドBは、減圧状態の圧力P1を持ったボイドとなる。
そして、次に、上記図5の工程T6にて述べたように、液相線以上の温度にて減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2まで加圧することにより、溶融したはんだ30内のボイドBは、当該ボイドB内の圧力P1よりも高い圧力P2でつぶされることになる。
そのため、ボイドBは消滅あるいは小さくなることから、ボイドBの低減が図られることになり、上記図4に示した従来の減圧脱泡方法によるボイド低減方法に比べて、減圧状態の圧力P1をさほど低い圧力にしなくてもよい。つまり、図5に示される圧力P1は、図4に示される圧力P0よりも高いものにしても、ボイドBの低減を実現することができる。
言い換えれば、本実施形態の製造方法のポイントは次の通りである。はんだ30が溶融する前(固相線温度以下の状態)で所定の圧力P1まで減圧し、その圧力P1を保持した状態ではんだ30を完全に溶融、広がらせる。
それにより、はんだ30は減圧下で溶融して濡れ広がることができ、濡れ広がる際に、いったん減圧雰囲気を巻き込むことで減圧雰囲気のボイドBが形成されるが、はんだ30の濡れ広がりが完了した後に復圧することで、その圧力増加によりボイドBは押しつぶされ、消滅あるいは減少する。
したがって、図5に示されるような本実施形態の製造方法によれば、従来よりも、減圧に用いられる減圧装置として排気能力の高い真空装置が不要となり、また、減圧するための排気時間を短くできるため、はんだ30内のボイドBを、より安価に低減することができる。
また、上述したが、本実施形態の接合構造体100の製造方法においては、減圧状態の圧力P1を5×104Pa以下とし、減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2を大気圧とすることが好ましい。
それによれば、本実施形態の製造方法の効果を適切に実現することができる。特に、減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2を大気圧とすれば、加圧のための特別な装置が不要となるため、はんだ付けに用いる装置を簡単な構成とすることができる。
また、上記図3に示されるように、本実施形態では、減圧状態の圧力P1を5×104Pa以下とすることで、ボイド率を目標値以下に低減することができているが、上記減圧脱泡方法では、減圧状態の圧力P0を、本実施形態よりも約1桁低いものとしなければ、ボイド率を目標値以下に低減できていない。
また、上述したが、好ましくは、本実施形態の接合構造体100の製造方法において、減圧状態の圧力P1を1×104Pa以下としている。
上記図3中の「Pn−Snはんだ(従来工法)」に示したように、Pb含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法においては、Pbフリーはんだの場合とは異なり、はんだペレットの形状や温度プロファイルを工夫することで、かなり高レベルのボイド低減が実現できる。
そこで、本実施形態の製造方法において、減圧状態の圧力P1を1×104Pa以下とすれば、Pbフリーはんだを用いた場合であっても、Pb含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合と同程度のボイド低減を行うことができている(図3参照)。
さらに、好ましくは、本実施形態の接合構造体100の製造方法において、減圧状態の圧力P1は6×103Pa以下としている。
それによれば、上記図3に示されるように、上記した従来の減圧脱泡方法によるボイド低減方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合(図3中のボイド率1%)の1/2程度まで、さらにボイド率を低減することが可能となっている。
また、本実施形態の好ましい形態では、上記図5の工程T2に示されるように、はんだ30の固相線以下の温度にて減圧する前に、当該固相線以下の温度且つ大気圧にてはんだ30の予熱を行っている。
それによれば、この予熱によって、はんだ30の表面の清浄化を行うことができ、好ましい。なお、この予熱工程は必要に応じて、省略してもよい。
(他の実施形態)
なお、上記実施形態の製造方法では、上記図5の工程T6において、減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2を大気圧として加圧を行っているが、この圧力P2は減圧状態の圧力P1よりも高いものであれば、かまわない。
なお、上記実施形態の製造方法では、上記図5の工程T6において、減圧状態の圧力P1よりも高い圧力P2を大気圧として加圧を行っているが、この圧力P2は減圧状態の圧力P1よりも高いものであれば、かまわない。
たとえば、当該高い圧力P2を大気圧よりも高いものとしてもよい。その場合には、減圧状態の圧力P1は、上記実施形態と同じに設定するか、または、両圧力P1とP2との圧力差(P2−P1)が、上記実施形態における両圧力P1とP2との圧力差(P2−P1)と同程度かそれ以上の大きさとなるように、設定すればよい。
また、上記したように、上記実施形態の接合構造体の製造方法は、はんだ30として、Pbフリーはんだを用いた場合に、特に効果的であったが、Pbフリーはんだ以外にも、たとえばPn−SnはんだなどのPb含有はんだに適用してもよい。
また、上述したが、第1の接合部材および第2の接合部材としては、IGBT素子などのパワー素子やセラミック基板以外にも、抵抗素子、コンデンサ素子、プリント基板など、はんだにより接合されるものであれば、限定されない。
要するに、本発明は、第1の接合部材と第2の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法について、広く適用できるものであり、その主要部は、固相線温度以下にて減圧した後、この減圧状態にて液相線温度以上まで加熱し、続いて、液相線温度以上にて減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧した後、この加圧状態にてはんだを固化させるものである。そして、その他の細部については、上記実施形態以外に、適宜設計変更が可能である。
10…第1の接合部材としてのIGBT素子、
20…第2の接合部材としてのセラミック基板、30…はんだ。
20…第2の接合部材としてのセラミック基板、30…はんだ。
Claims (6)
- 第1の接合部材(10)と第2の接合部材(20)とをはんだ(30)を介して接合する接合構造体の製造方法において、
前記第1の接合部材(10)と前記第2の接合部材(20)とを前記はんだ(30)を介して接触させた状態で、前記はんだ(30)の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にて前記はんだ(30)の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、前記液相線以上の温度にて前記減圧状態の圧力(P1)よりも高い圧力(P2)まで加圧した後、前記加圧状態にて前記はんだ(30)を固化させることを特徴とする接合構造体の製造方法。 - 前記減圧状態の圧力(P1)は5×104Pa以下であり、前記減圧状態の圧力(P1)よりも高い圧力(P2)は大気圧であることを特徴とする請求項1に記載の接合構造体の製造方法。
- 前記減圧状態の圧力(P1)は1×104Pa以下であることを特徴とする請求項2に記載の接合構造体の製造方法。
- 前記減圧状態の圧力(P1)は6×103Pa以下であることを特徴とする請求項3に記載の接合構造体の製造方法。
- 前記固相線以下の温度にて減圧する前に、前記固相線以下の温度且つ大気圧にて前記はんだ(30)の予熱を行うことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の接合構造体の製造方法。
- 前記はんだ(30)は、鉛フリーはんだであることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の接合構造体の製造方法。
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