JP2005190740A - セラミックヒータ - Google Patents
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- Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】2次メッキ11層中へのロウ材8の拡散層11bが1μm以上でかつ前記2次メッキ11層におけるロウ材8成分の拡散していない層11aの厚みが表面から1μm以上とする。
【選択図】図2
Description
ここにペーストを注入する事により電極パッド7とリード引出部5間の導通をと
った。スルーホール6の位置は、ロウ付けを実施した場合にロウ付け部8の内側に入るように形成した。こうして準備したセラミックシート3をセラミックロッド2の周囲に密着し、1500〜1600℃で焼成することにより、セラミックヒータ1とした。
2:セラミックロッド
3:セラミックシート
4:発熱抵抗体
5:リード引き出し部
6:スルーホール
7:電極パッド
8:ロウ材
9:リード部材
10:1次メッキ
11:2次メッキ
11a:ロウ材未拡散層
11b :ロウ材拡散層
Claims (2)
- セラミック体中にW、Mo、Re等の高融点金属を主成分とする発熱抵抗体を埋設し、該発熱抵抗体の端部に接続する電極パッド上に1次メッキ層を介してリード部材をロウ材により固定し、ロウ材保護の為に2次メッキを施したセラミックヒータにおいて、上記2次メッキ層中へのロウ材成分の拡散層が1μm以上でかつ前記2次メッキ層におけるロウ材成分の拡散していない層の厚みが表面から1μm以上であることを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記2次メッキ層の粒子径が5μm以下であることを特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ。
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