JP2005186350A - 離型用二軸延伸ポリエステルフィルム - Google Patents

Abstract

【課題】 環境負荷を低減すべく、使用後のフィルム屑を少なくするために従来品よりフィルム厚みを薄くしても、離型加工時の平面性が良好であり、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリ−ンシ−トを製造するのに好適な離型用二軸延伸ポリエステルフィルムを提供する。
【解決手段】 フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が０．５ＭＰａ以上２．２ＭＰａ以下であり、かつフィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が０．３％以上２．０％以下である離型用二軸延伸ポリエステルフィルム。
【選択図】 なし

Description

本発明は、セラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するための離型用二軸延伸ポリエステルフィルムに関し、更に詳しくは従来品よりフィルム厚みを薄くしても、離型加工時の平面性が良好であり、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するのに好適な離型用二軸延伸ポリエステルフィルムに関する。

従来から、ポリエチレンテレフタレ−トフィルムは基材として、セラミックコンデンサ用のグリ−ンシ−ト製造用離型用途に使用されている。しかし、このような離型用フィルムは使用後廃棄される場合が多く、フィルム屑はゴミとなり環境面への負荷が大きく、今後無視出来ない問題となりつつある。更には、今後の使用量の拡大に伴い、環境負荷低減の一つの方法として、フィルムの薄膜化が必要となることが予想される。

一方、セラミックコンデンサは、セラミック紛体、溶剤、バインダーおよびその他の添加剤（可塑剤、分散剤、帯電防止剤など）を適当な機械的分散方法により均質に分散させたスラリーを流延キャスト法などによりキャリヤーフィルム上に塗布し、次いで乾燥してセラミックグリーンシートを製造し、そのシート上に内部電極を印刷し、所定の大きさに裁断したものを積層、焼結し、外部電極を取り付けることにより製造していた。

特に、セラミックグリーンシートを形成させる段階での厚さの精度が、最終的なチップコンデンサの電気的性質に大きく影響を与えるために、スラリーの調製のみならずキャリアフィルムに対しても、表面の異物、均一表面性、厚み均一性など高精度の表面特性が要求されてきた。

また、電子機器の小型化に伴って、コンデンサ自体も小型化されてきたため、１層のセラミックグリーンシートの厚みは、数μｍ程度まで積層化する必要があり、従来よりもキャリヤーフイルムの平面性、平坦性に対して要求が厳しくなってきた。

厚み精度の良いセラミックグリーンシートを製造するために好適なセラミックコンデンサ製造用キャリヤーシートに関して、５０ｃｍ角四方の平面度合いおよびそのキャリアシートの一構成成分であるポリエステルフィルムの厚み斑度合いを規定したキャリヤーシートが開示されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、このシートまたはフィルムは特に薄膜化を前提とした離型フィルムの特性を最適化した指標を提案しているものではない。

また、フィルム厚みの薄膜化とともに離型加工適性を向上する離型用二軸延伸ポリエステルフィルムに関して、フィルムの複屈折率△ｎを規定することにより離型加工時のタルミおよび厚みムラを抑制する方法が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。しかしながら、この方法は、離型加工時の耐熱性に関する記載がなく、複屈折率を最適化するだけでは離型加工時の平面性を良好に維持することは困難である。

したがって、環境負荷を低減するために、フィルム厚みを薄くしても離型加工時に耐熱性が十分にあり、シワなどが発生せず平面性が良好に維持されて、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するのに好適な離型用フィルムが望まれていた。
特開２００１−９３７７１号公報 特開２００２−３３１５７５号公報

本発明の目的は、上記の従来の問題点を解消し、環境負荷を低減すべく使用後のフィルム屑を少なくするために従来品よりフィルム厚みを薄くしても、離型加工時にシワなどが発生せず平面性が良好であり、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するのに好適な離型用ポリエステルフィルムを提供することにある。

本発明は、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、ポリエステルフィルムのフィルム幅方向の熱収縮率および熱収縮応力値をそれぞれ同時に特定の範囲内に収めることが上記課題を効率的に解決する上で極めて重要であることを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明は、フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が０．５ＭＰａ以上２．２ＭＰａ以下であり、かつフィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が０．３％以上２．０％以下であることを特徴とする離型用二軸延伸ポリエステルフィルムである。

好ましい実施形態において、本発明における離型用二軸延伸ポリエステルフィルムの厚みは、１０μｍ以上５０μｍ以下である。

別の好ましい実施形態において、本発明における離型用二軸延伸ポリエステルフィルムは、０．０５〜２．０μｍの平均粒径を有する滑剤微粒子を含む。好ましくは、上記滑剤微粒子が、シリカ、アルミナ、二酸化チタン、炭酸カルシウム、カオリン、硫酸バリウム、アクリル系樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂および架橋ポリスチレンからなる群から選択される。

環境負荷を低減すべく使用後のフィルム屑を少なくするために従来品よりフィルム厚みを薄くしても、離型加工時にシワなどが発生せず平面性が良好であり、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するのに好適な離型用ポリエステルフィルムを提供することができる。

以下、本発明を詳細に説明する。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、あるいはこれらの樹脂の構成成分を主成分とする共重合体よりなるフィルムが挙げられるが、これらの中でも二軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルムが、力学的性質、耐熱性、透明性、価格等の点から好適である。

共重合体を用いる場合、そのジカルボン酸成分としては、アジピン酸、セバシン酸等の脂肪族ジカルボン酸；テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、及び２，６−ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸；トリメリット酸及びピロメリット酸等の多官能カルボン酸；あるいはそれらの少なくとも二種以上の混合物等が用いられる。また、グリコール成分としてはエチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４−ブタンジオール、プロピレングリコール及びネオペンチルグリコール等の脂肪族グリコール；ｐ−キシレングリコール等の芳香族グリコール；１，４−シクロヘキサンジメタノール等の脂環族グリコール；平均分子量が１５０〜２００００のポリエチレングリコール；あるいはそれらの少なくとも二種以上の混合物等が用いられる。共重合体の共重合成分の好ましい重量比率は２０重量％未満である。２０重量％以上ではフィルム強度、透明性、耐熱性が劣る傾向がある。

また、本発明におけるポリエステルフィルムに使用する樹脂ペレットを、例えば、０．４ｇ／ｄｌの濃度で、フェノール／テトラクロロエタン＝６／４混合溶媒に溶解させて、３０℃において測定し求めた固有粘度は、０．４５〜０．７０ｄｌ／ｇの範囲が好ましい。固有粘度が０．４５ｄｌ／ｇよりも低いと、耐引き裂き性向上効果が悪化する傾向がある。一方、固有粘度が０．７０ｄｌ／ｇよりも大きいと、濾圧上昇が大きくなり高粘度濾過が困難となる傾向がある。

本発明において使用される滑剤としては、公知の無機微粒子、ワックス類等が上げられる。さらに、これらの樹脂の中に、各種の添加剤、例えば、酸化防止剤、帯電防止剤、結晶核剤、減粘剤、熱安定剤、着色用顔料、着色防止剤、紫外線吸収剤等を添加する事が出来る。本発明におけるポリエステルには、滑剤微粒子を添加してポリエステルフィルムの作業性（滑り性）を良好なものとすることが好ましい。滑剤微粒子としては任意のものが選べるが、例えば無機系滑剤として、シリカ、アルミナ、二酸化チタン、炭酸カルシウム、カオリン、硫酸バリウム等を挙げることができる。また、有機系滑剤として、例えばアクリル系樹脂粒子、メラミン樹脂粒子、シリコーン樹脂粒子、架橋ポリスチレン粒子などを挙げることができる。滑剤微粒子の平均粒径は、好ましくは０．０５〜２．０μｍ、さらに好ましくは、０．１〜１．０μｍである。滑剤微粒子の平均粒径が０．０５未満μｍである場合、作業性（滑り性）がほとんど得られないために好ましくなく、２．０μｍを超える場合、フィルムの離型加工時の平面性に悪影響を及ぼすために好ましくない。

ポリエステルフィルムに上記粒子を配合する方法としては、例えば、ポリエステルを製造する任意の段階において添加することができるが、好ましくはエステル化の段階、もしくはエステル交換反応終了後、重縮合反応開始前の段階でエチレングリコール等に分散させたスラリーとして添加し、重縮合反応を進めても良い。また、ベント付き混練押出し機を用いてエチレングリコールまたは水などに分散させた粒子のスラリーとポリエステル原料とをブレンドする方法、または混練押出し機を用いて、乾燥させた粒子とポリエステル原料とをブレンドする方法などによって行うことができる。

なかでも、ポリエステル原料の一部となるモノマー液中に滑剤微粒子を均質分散させた後、濾過したものを、エステル化反応前、エステル化反応中、又はエステル化反応後のポリエステル原料の残部に添加する方法が好ましい。この方法によると、モノマー液が低粘度のため、粒子の均質分散やスラリーの高精度な濾過が容易に行えると共に、原料の残部に添加する際に、粒子の分散性が良好である。特に、エステル化反応前の低温状態の原料の残部に添加することが好ましい。また、予め粒子を含有するポリエステルを得た後、そのペレットと粒子を含有しないペレットとを混練押出し等する方法（マスターバッチ法）を用いても良い。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムは、フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が０．５ＭＰａ以上２．２ＭＰａ以下であり、かつフィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が０．３％以上２．０％以下であることを同時に満足する必要がある。

フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が０．５ＭＰａより小さいと、フィルムを薄膜化した際、離型加工の乾燥時にシワ、特に走行方向に連続した波板状のシワが発生して最終的に離型フィルムにシワが残ってしまい、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するのに好適な離型フィルムが得られない。

さらに、フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が２．２ＭＰａより大きいと、離型加工時のフィルム幅方向の収縮量が大きくなり過ぎ、離型加工後の離型フィルムの製品幅が著しく小さくなる場合があるだけでなく、離型フィルムにシワが残る場合があり、好ましくない。

また、フィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が０．３％より小さいと、後述するような離型加工の乾燥初期に発生したシワ、特に走行方向に連続した波板状のシワを消失させるだけの収縮量が得られなくなり、好ましくない。

さらに、フィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が２．０％より大きいと、離型加工時のフィルム幅方向の収縮量が大きくなり過ぎ、離型加工後の離型フィルムの製品幅が著しく小さくなる場合があるだけでなく、離型フィルムにシワが残る場合があり、好ましくない。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムが、フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が０．５ＭＰａ以上２．２ＭＰａ以下であり、かつフィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が０．３％以上２．０％以下であることを同時に満足することにより、離型加工時にシワ等が発生せず、最終的に平面性の良好な離型フィルムを得ることができる理由は明確ではないが、以下のように推定することができる。

すなわち、本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムのようなフィルム幅方向の熱収縮特性を有することで、離型加工の乾燥初期に発生したシワ、特に走行方向に連続した波板状のシワが、乾燥炉中でフィルム温度が上昇するに従い、幅方向に収縮しようとする収縮力と収縮量で発生したシワが消失して平面性を取り戻す。そして、そのまま乾燥炉中での最高フィルム温度でセットされて、その後冷却され、巻き取られることにより、最終的に平面性の良好な離型フィルムを得ることができると推定する。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムの長手方向のＦ５値は、９０ＭＰａ以上であることが好ましい。長手方向のＦ５値が９０ＭＰａより小さいと離型加工時に走行方向に張力を負荷した時に変形しやすくなり、好ましくない。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムの幅方向のＦ５値は、９０ＭＰａ以上であることが好ましい。幅方向のＦ５値が９０MＰａより小さいとフィルムのコシが低減して、離型加工時にシワ、特に走行方向に連続した波板状のシワが発生しやすくなり、好ましくない。

本明細書における「Ｆ５値」とは、フィルムに５％の引張り歪を与えた時のその方向の応力を意味する。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムのフィルム厚みに関しては、特に限定はされない。しかし、本発明の目的が環境負荷低減であり、セラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するのに好適な離型用二軸延伸ポリエステルフィルムの現状の汎用厚みが３８〜７５μｍであることを考慮すれば、１０〜５０μｍの範囲であることが好ましい。

本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムは単層でも、２層以上の積層構造を有するフィルムでも良い。本発明の単層の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムは、例えば以下の方法で製造することができる。

易滑性付与を目的とした滑剤微粒子を含有するポリエステルのペレットを十分に真空乾燥した後、押出し機に供給し、約２８５℃でシート状に溶融押出しし、溶融シートを冷却ロールで冷却固化して、未延伸シートを得る方法は、例えば以下の通りである。

ペレットをサイロから押し出し機の上部にあるホッパーに移送する際、通常、所定の配管を用いて空送で行うが、この際の空気には埃などが混入している。このような空気中の埃は、空送時にペレットの表面に付着し、異物混入の原因になる。したがって、ペレットの空送時には、空気からの埃の混入を防止するために、ＨＥＰＡフィルターにより清浄化された空気を用いることが好ましい。ＨＥＰＡフィルターは、公称濾過精度０．５μｍ以上の埃を９５％以上カットできる性能を有するフィルターを用いることが好ましい。

溶融押出しの際、溶融樹脂が約２８５℃に保たれた任意の場所で、樹脂中に含まれる異物を除去するために高精度濾過を行うことが好ましい。溶融樹脂の高精度濾過に用いられる濾材は、特に限定はされないが、ステンレス焼結体の濾材の場合、異物の除去性能に優れ好適である。

濾材の濾過粒子サイズ（初期濾過効率９５％）は、２０μｍ以下が好ましく、特に好ましくは１５μｍ以下である。濾材の濾過粒子サイズ（初期濾過効率９５％）が２０μｍを超えると、２０μｍ以上の大きさの異物が十分除去できない。濾材の濾過粒子サイズ（初期濾過効率９５％）が２０μｍ以下の濾材を使用して溶融樹脂の高精度濾過を行うことにより、生産性が低下する場合があるが、粗大粒子による突起の少ないフィルムを得る上で重要な工程である。

シート状溶融物を回転冷却ドラムに密着させながら、急冷して未延伸シートとするには公知の方法が適用出来、例えばシート状溶融物にエアナイフを使用する方法や静電荷を印荷する方法等が好ましく適用出来る。これらの方法では後者が好ましく使用される。このシート状物のエア面を冷却する方法としては、公知の方法が適用出来、例えばシート面に槽内の冷却用液体に接触させる方法、シートエア面にスプレーノズルで蒸散する液体を塗布する方法や高速気流を吹きつけて冷却する方法を併用しても良い。

このようにして得られた未延伸シートを二軸方向に延伸してフィルムを得る。延伸方法の具体例として、次の方法が挙げられる。

まず、上記のように得られた未延伸シートをロールあるいは、テンター方式の延伸機により長手方向に延伸する。長手方向の延伸温度は、７５〜１２０℃であり、長手方向の延伸倍率は２．５〜４．５倍、好ましくは３．０〜４．３倍である。長手方向の延伸方向が７５℃未満では、フィルムが破断しやすくなるため、好ましくない。また、１２０℃を超えると、得られたフィルムの厚み斑が悪くなりため、好ましくない。長手方向の延伸倍率が２．５倍未満では、得られたフィルムの平面性が悪くなり好ましくない。また、４．５倍を超えると長手方向の配向が強くなり、横方向での延伸において破断の頻度が多くなり好ましくない。

次いで、一段目の延伸方向と直交する幅方向に延伸を行う。幅方向の延伸温度は８０〜２１０℃、好ましくは１１０〜１８０℃である。幅方向の延伸方向が８０℃未満では、
フィルムが破断しやすくなるため、好ましくない。また、２１０℃を超えると、得られたフィルムの平面性が悪くなりため、好ましくない。幅方向の延伸倍率は、３．０〜５．５倍、好ましくは３．６〜５．０倍である。幅方向の延伸倍率が３．０倍未満では得られたフィルムの厚み斑が悪くなり好ましくない。幅方向の延伸倍率が５．５倍を超えると延伸において破断の頻度が多くなり好ましくない。

引き続き、熱固定処理を行う。熱固定処理工程の温度は１７０℃以上２４０℃以下が好ましい。熱固定処理工程の温度が１７０℃未満では、離型層塗布、乾燥処理する時に応力の発生が幅方向で差異が大きく、又、寸法変化が幅方向で許容出来ないレベルとなりシワなどが発生してフィルムの平面性が悪化して好ましくない。熱固定処理工程の温度が２４０℃を超えると、フィルムが不透明になりやすく、また破断の頻度が多くなり好ましくない。

熱固定処理工程で把持具のガイドレールを先狭めにして、弛緩処理することは熱収縮率、特に幅方向の熱収縮率の制御に有効である。弛緩処理する温度は、熱固定処理温度からポリエステルフィルムのガラス移転温度Ｔｇまでの範囲で選べるが、好ましくは（熱固定処理温度）−１０℃〜Ｔｇ＋１０℃である。この幅弛緩率は１〜５％が好ましい。１％未満では効果が少なく、５％を超えるとフィルムの平面性が悪化して好ましくない。

前記の各製膜工程は、クラス５０００以下、特に溶融押し出し工程においてはクラス１０００以下に制御し、クリーンな雰囲気でフィルムを製造することが好ましい。

ここでは、最初に長手方向に延伸した後、幅方向に延伸を行う方法について述べたが、延伸順序は逆であっても良い。また、延伸は一方向の延伸を二段階で行っても、二方向の延伸を同時に行っても特に限定されない。但し、本発明の特性を満たすために最適な温度条件や縦横の延伸倍率をとることが重要であり、最終的に得られたフィルム特性が本発明の要件を満足するものであれば良い。

また、フィルムの少なくとも片面にコーティングを施すことも好ましく、例えば、延伸工程中にフィルム表面を処理する、いわゆるインラインコ−ティングが挙げられる。その具体的な手法としては、例えば、１段目の延伸が終了して、２段目の延伸前に、通常離型層であるシリコ−ン層との接着を向上させる為の接着性、帯電防止性、滑り性、耐ブロッキング性等の付与を目的として、水系エマルジョンや水系スラリ−等のコ−ティングを付与する方法が挙げられる。

また、必要に応じて２層以上のポリエステルフィルムとしても良い。離型層を塗布する面をＡ層、その反対面をＢ層、これら以外の面をＣ層とすると、フィルム厚み方向の層構成は、Ａ／Ｂ、あるいはＡ／Ｃ／Ｂ等の構成が考えられる。Ａ層およびＢ層は互いに、材質が同じであってもよいし、異なっていてもよい。

また、ポリエステルフィルムを製造する工程において、二軸延伸、熱固定処理が終了したフィルムの厚みを幅方向に常時オンライン測定し、その結果をフィードバックして押出しダイスのリップヒーターの温度を調節し樹脂流動性を変化させることで、厚み斑を解消するシステムを用いることが好ましい。

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

次に、実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明する。尚、本発明における物性の測定方法ならびに効果の評価方法は、以下の通りである。

（１）フィルムの熱収縮応力値
セイコー電子工業社製のＴＭＡ／ＳＳ１００を用いサンプル幅４ｍｍ、サンプル長１５ｍｍ、初期荷重２０ｍＮで３０℃から２３０℃までの間を５℃／分で昇温していき、所定の温度（例えば、１３０℃）における熱収縮応力を測定した。
（２）フィルムの熱収縮率
ＪＩＳ−Ｃ２３１８に準拠し、サンプル幅２０ｍｍで測定する方向に２００ｍｍの標線を入れ、１５０℃の加熱オーブンに入れ熱収縮率の測定を実施した。
（３）離型フィルムの平面性
ロール状フィルムを用い、付加型シリコーン系化合物（東芝シリコーン社製、ＴＰＲ−６７２１）のトルエン溶液（固形分濃度３重量％）にＰｔ触媒（東芝シリコーン社製、ＣＭ６７０）をＴＰＲ−６７２１の固形分１００重量部に対し１重量部の量を加えた塗液を塗布量（ＷＥＴ）６ｇ／ｍ^２で塗布し、下方及び上方の空気流吹き出し口の間隔が３８ｃｍの空気浮上搬送式乾燥装置を用いて、搬送張力２０００ｋＰａ、乾燥温度１６０℃で１６秒間離型層を乾燥させ、離型層の乾燥硬化後の重量が０．０２ｇ／ｍ^２の離型フィルムを得た。乾燥後、５０℃の冷却ロールを用いてフィルムを２０℃／秒の速度で冷却した後、ロール状に巻き取り、離型フィルムロールを得た。

次いで、前記離型フィルムロールからフィルムを巻きだし、離型フィルムの平面性を下記の方法により評価した。

すなわち、温度２５℃、湿度６５％の室内に、５０ｃｍ幅の離型フィルムをフィルム長手方向が鉛直になるようにつるし、１０Ｎ／ｍの荷重をかけ３０分間静置した。光源（蛍光灯、松下電工社製）を長手方向に連続した波板状のシワの数を計数する面から１ｍ離して４５°上方からフィルム表面に投影させ、シワを計数する面から０．５ｍ離れて４５°下方からシワの数を目視によって計数して評価した。シワは、観察する面に対してフィルム長手方向の凸状となるシワを１本とし、フィルム幅方向のシワの数を計数した。

○：シワの本数が１０本／ｍ以下
×：シワの本数が１１本／ｍ以上。
（４）平均粒径
少なくとも２００個以上の粒子を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により複数枚写真撮影し、ＯＨＰフィルムに粒子の輪郭をトレースし、該トレース像を画像解析装置にて円相当径に換算して算出する。

（実施例１）
添加剤として平均粒径（ＳＥＭ法）０．７μｍのシリカを０．０３ｗｔ％含有したポリエチレンテレフタレート（［η］＝０．６０ｄｌ／ｇ）を水分率が５０ｐｐｍ以下となる様に乾燥した後仕込み、２８５℃の温度で溶融した。押出機で溶融中にステンレス焼結体の濾材（公称濾過精度：１０μｍ以上の粒子を９０％カット）で濾過した。次いで、Ｔ型ダイスから樹脂シートを押し出し、静電印加キャスト法を用いて表面温度が３０℃のキャスティングドラムに巻きつけて冷却固化させ４５５μｍの未延伸シートを得た。

この未延伸シートを加熱されたロール群とＩＲヒーターで９２℃に加熱し、その後周速差のあるロール群で長手方向に３．５倍に延伸し、次いで、この一軸延伸フィルムの端部をクリップで把持して１６０℃で加熱された熱風ゾーンに導き、幅方向に４．２倍延伸した。さらに、熱固定処理を２３３℃、弛緩処理を緩和率２．８％で行い、フィルム巻き取り工程に搬送して、厚さ３１μｍの二軸延伸ポリエステルフィルムのロールを得た。尚、前記製膜工程において、キャスティング工程はクラス１０００以下、延伸工程はクラス５０００以下のクリーンな環境下で行った。

得られたフィルムの特性を表１に示す。得られたフィルムは、平面性が良好であり離型加工適性に優れた品質を示した。

（実施例２）
実施例１と同様にして、厚みが３７６μｍの未延伸シートを得た。この未延伸シートを加熱されたロール群及び赤外線ヒーターで９２℃に加熱し、その後周速差のあるロール群で長手方向に３．５倍延伸して一軸配向ＰＥＴフィルムを得た。次いで、フィルムの端部をクリップで把持して、幅方向に延伸温度１３０℃で４．３倍に延伸した。熱処理を２３３℃、緩和率２．０％で行ない２５μｍのフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。得られたフィルムは、平面性が良好であり離型加工適性に優れた品質を示した。

（実施例３）
実施例１と同様に厚みが３８５μｍの未延伸シートを得た。この未延伸シートを縦の方向に延伸温度９２℃で３．５倍延伸した。その後、横の方向に延伸温度１３０℃で４．４倍で延伸した。熱処理を２１０℃、緩和率３．３％で行ない２５μｍのフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。得られたフィルムは、平面性が良好であり離型加工適性に優れた品質を示した。

（比較例１）
実施例１と同様にして厚みが４７７μｍの未延伸シートを得た。この未延伸シートを縦の方向に延伸温度９２℃で３．５倍延伸した。その後、横の方向に延伸温度１３０℃で４．４倍延伸した。熱処理を２３３℃、緩和率３．３％で行ない３１μｍのフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。得られたフィルムは、平面性が悪く離型加工適性に劣った品質となった。

（比較例２）
実施例１と同様に厚みが４０２μｍの未延伸シートを得た。この未延伸シートを縦の方向に延伸温度９２℃で３．５倍延伸した。その後、横の方向に延伸温度１３０℃で４．６倍で延伸した。熱処理を２３３℃、緩和率５．６％で行ない２５μｍのフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。得られたフィルムは、平面性が悪く離型加工適性に劣った品質となった。

（比較例３）
実施例１と同様に厚みが３８５μｍの未延伸シートを得た。この未延伸シートを縦の方向に延伸温度９２℃で３．５倍延伸した。その後、横の方向に延伸温度１３０℃で４．４倍で延伸した。熱処理を１９０℃、緩和率３．３％で行ない２５μｍのフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表１に示す。得られたフィルムは、平面性が悪く離型加工適性に劣った品質となった。

以上に述べた如く、本発明の離型用二軸延伸ポリエステルフィルムは、従来品よりフィルム厚みを薄くしても、離型加工時の平面性が良好であり、厚み斑の小さいセラミックコンデンサ用グリーンシートを製造するための離型フィルムを得るのに好適である。

Claims (4)

1. フィルム幅方向の１３０℃における熱収縮応力値が０．５ＭＰａ以上２．２ＭＰａ以下であり、かつフィルム幅方向の１５０℃における熱収縮率が０．３％以上２．０％以下である、離型用二軸延伸ポリエステルフィルム。
2. ポリエステルフィルムの厚みが１０μｍ以上５０μｍ以下である、請求項１に記載の離型用二軸延伸ポリエステルフィルム。
3. ０．０５〜２．０μｍの平均粒径を有する滑剤微粒子を含む、請求項１に記載の離型用二軸延伸ポリエステルフィルム。
4. 前記滑剤微粒子が、シリカ、アルミナ、二酸化チタン、炭酸カルシウム、カオリン、硫酸バリウム、アクリル系樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂および架橋ポリスチレンからなる群から選択される、請求項３に記載の離型用二軸延伸ポリエステルフィルム。