JP2005161284A - 定濃度オゾン水の供給方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
オゾン水の製造設備と、離れた箇所で前記オゾン水を使用するシステムで、オゾン水製造設備とオゾン水の使用箇所との間にオゾン水循環ラインを設け、循環ライン内をオゾン水製造設備出口での流量が常時一定になるようにオゾン水が循環し、当該出口付近でのオゾン水のオゾン濃度を検知して、それに基づきオゾン水製造設備へのオゾンガス供給量および/またはオゾンガス濃度を調整し、さらに、オゾン水の使用量をオゾン水戻りラインで検知して、それに基づきオゾン水の製造量を制御するようにした定濃度オゾン水の供給方法。
【効果】 使用箇所でのオゾン水の使用が一時的に停止する場合であっても、オゾン水を廃棄することなく使用できる。一定濃度のオゾン水の製造・供給が可能であり、オゾンを有効に利用できる。
【選択図】 図1
Description
オゾン含有ガスを水と接触させてオゾン水を製造する設備と、これとは離れた箇所で前記設備にて製造されたオゾン水を使用するシステムであって、オゾン水製造設備とオゾン水の使用箇所近傍との間にオゾン水の循環ラインを設け、この循環ライン内をオゾン水製造設備出口での流量が常時一定になるようにオゾン水が循環し、当該出口付近でのオゾン水のオゾン濃度を検知して、その結果に基づきオゾン水製造設備へのオゾンガス供給量および/またはオゾンガス濃度を調整し、さらに、オゾン水の使用箇所におけるオゾン水の使用量をオゾン水戻りラインで検知して、その結果に基づきオゾン水の製造量を制御するようにしたことを特徴とする定濃度オゾン水の供給方法である。
オゾン含有ガスを水と接触させてオゾン水を製造する設備と、これとは離れた箇所で前記設備にて製造されたオゾン水を使用するシステムであって、オゾン水製造設備中またはオゾン水製造設備からオゾン水の使用箇所の間に貯留槽を設け、オゾン水製造設備、貯留槽およびオゾン水の使用箇所近傍との間にオゾン水の循環ラインを設け、この循環ライン内を貯留槽出口での流量が常時一定になるようにオゾン水が循環し、当該出口付近でのオゾン水のオゾン濃度を検知して、その結果に基づきオゾン水製造設備へのオゾンガス供給量および/またはオゾンガス濃度を調整し、オゾン水の使用量変動によるオゾン水製造部分への負荷の変動を緩和する方法を有するようにしたことを特徴とする定濃度オゾン水の供給方法である。
オゾン水のようにオゾンの分解が早く、送液に要する時間によりその濃度が変化する液体を輸送し、使用箇所で一定濃度のオゾン水を得るためには、一定流量で輸送し、使用箇所までの到達時間が使用量にかかわりなく同一であることが必要である。
さらに、本設備のように液の循環を形成するために循環流路内にポンプを設置している場合には、オゾン水製造設備出口への戻り流量変動の影響の伝達が困難であり、よく行われているようなオゾン水出口での流量および濃度を検知して、オゾンガス発生器や供給する新鮮水へフィードバックをかける方法では、流量および濃度が常に安定したようなオゾン水と同様の制御は困難である。
そこで、本発明では、オゾン水製造設備出口付近でオゾン濃度を検知し、この結果をオゾンガス発生器へフィードバックすることで、オゾン水製造設備へのオゾンガス供給量および/またはオゾンガス濃度を調整し、一方でオゾン水使用量の変動を戻りオゾン水量から検知して、供給する新鮮水へフィードバックをかけることでオゾン水の製造量を制御して、一定濃度のオゾン水をオゾン水製造設備から離れた地点へ輸送し循環利用する方法を開発した。
オゾン水製造設備の場合、設備全体に占めるオゾンガス発生装置の経済負荷が大きく、間欠的なオゾン水の使用である設備に対し、最大使用量負荷に合わせた能力の装置を設置すると、非常に過大なオゾンガス発生器を必要とすることになる。このため、使用頻度あるいは使用量に適合させたオゾンガス発生器を使用することが、経済的なオゾン水の使用方法となる。
これらのうち、前記の特開2000−167366号公報に記載されたオゾン水製造装置や一般の吸収塔を利用した設備には、オゾンガスの吸収操作を行っている部分に濃度勾配があり、また、エジェクターや中空糸系膜を利用したオゾン水製造設備ではこれらを多段にすることで、オゾン水製造部分にオゾンの濃度勾配を設けることができる。
図3は、従来型のオゾン水供給設備の一例である。
図3において、オゾン水の使用箇所4では、オゾン水の使用が間欠的であっても、オゾン水使用時の濃度変動が起きないように常時一定量のオゾン水を製造し、廃棄している。オゾン水の使用量を検知して、使用量に合わせオゾン水の製造量を調整することも可能でありそうに思われるが、オゾンの自己分解のために流量の変動によるライン内での滞留時間が変動することにより、オゾン水の使用箇所でのオゾン濃度が変動し、一定濃度を要求される設備では採用することが困難である。
オゾン濃度を計測する位置は、オゾン水製造設備1の出口や循環ポンプの出口など、オゾン水製造設備1の付近で、オゾン水の濃度が変化しないようなところであればよい。
図2において、オゾン水製造設備1ではオゾンガスを供給水11に吸収させてオゾン水を製造しており、製造されたオゾン水はオゾン水貯留槽2、濃度検知器を経てオゾン水の使用箇所4へ送られ、循環ラインを経てオゾン水製造設備に戻る。貯留槽2では、オゾン水の使用量が少ないときに溜められ、使用量が多いときに排出される。図2の場合においても、オゾン水の循環量はオゾン水の使用量が最大になったときでも循環が停止しない量が設定される。
貯留槽の容積は、オゾン水の使用箇所での使用頻度と使用量を勘案して決定する。
表2には各位置でのオゾン水の使用量とオゾン濃度を示した。100m離れた使用箇所ではオゾンの自己分解のためその濃度が減少する。
表3には各位置での使用量とオゾン濃度を示した。
2 オゾン水貯留槽
3 オゾン水発生器
4 オゾン水使用箇所
5 オゾンガスの分解設備
11 供給水
12 供給オゾン水
13 戻りオゾン水
Claims (7)
- オゾン含有ガスを水と接触させてオゾン水を製造する設備と、これとは離れた箇所で前記設備にて製造されたオゾン水を使用するシステムであって、オゾン水製造設備とオゾン水の使用箇所近傍との間にオゾン水の循環ラインを設け、この循環ライン内をオゾン水製造設備出口での流量が常時一定になるようにオゾン水が循環し、当該出口付近でのオゾン水のオゾン濃度を検知して、その結果に基づきオゾン水製造設備へのオゾンガス供給量および/またはオゾンガス濃度を調整し、さらに、オゾン水の使用箇所におけるオゾン水の使用量をオゾン水戻りラインで検知して、その結果に基づきオゾン水の製造量を制御するようにしたことを特徴とする定濃度オゾン水の供給方法。
- オゾン含有ガスを水と接触させてオゾン水を製造する設備と、これとは離れた箇所で前記設備にて製造されたオゾン水を使用するシステムであって、オゾン水製造設備中またはオゾン水製造設備からオゾン水の使用箇所の間に貯留槽を設け、オゾン水製造設備、貯留槽およびオゾン水の使用箇所近傍との間にオゾン水の循環ラインを設け、この循環ライン内を貯留槽出口での流量が常時一定になるようにオゾン水が循環し、当該出口付近でのオゾン水のオゾン濃度を検知して、その結果に基づきオゾン水製造設備へのオゾンガス供給量および/またはオゾンガス濃度を調整し、オゾン水の使用量変動によるオゾン水製造部分への負荷の変動を緩和する方法を有するようにしたことを特徴とする定濃度オゾン水の供給方法。
- オゾン水の使用箇所におけるオゾン水の使用量をオゾン水戻りラインで検知して、オゾン水の製造量を制御するようにした請求項2に記載の定濃度オゾン水の供給方法。
- オゾン水製造設備が、オゾンガスを水に溶解して製造し、その製造過程においてオゾン水の濃度勾配が存在するものであって、オゾン水戻りラインにより戻ってくるオゾン水をオゾン水製造装置の供給水以降でオゾン水の濃度勾配が存在する箇所に供給する請求項1から3のいずれかに記載の定濃度オゾン水の供給方法。
- 請求項4に記載のオゾン水製造設備が、吸収塔を利用したものである定濃度オゾン水の供給方法。
- オゾン水の用途が、半導体関連である請求項1から5のいずれかに記載の定濃度オゾン水の供給方法。
- オゾン水製造設備で製造し供給されるオゾン水の濃度が10ppm以上である請求項1から6のいずれかに記載の定濃度オゾン水の供給方法。
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