JP2008173637A - 超純水製造方法および超純水製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空脱気塔8により溶存酸素を除去した被処理水に、紫外線照射装置9により紫外線を照射して第1の処理水を生成し、前記第1の処理水に対し混床式イオン交換塔10によりイオン交換を実行して、第2の処理水を生成する超純水製造方法および超純水製造装置であり、少なくとも被処理水中のTOC濃度を測定し、前記測定の結果に基づいて被処理水に照射する前記紫外線の照射量を決定して該照射量の紫外線を被処理水に照射する超純水製造方法および超純水製造装置。
【選択図】図1
Description
図1は、本願発明の一実施形態である超純水製造装置の構成を示した図である。
図5は、本願発明の他の実施形態である超純水製造装置の構成を示した図である。
Claims (8)
- 溶存酸素を除去した被処理水中の全有機炭素濃度を測定する工程と、
前記測定した全有機炭素濃度に基づき、前記被処理水に照射する紫外線の照射量を決定する工程と、
前記決定した照射量の紫外線を前記被処理水に照射し、第1の処理水を生成する工程と、
前記生成した第1の処理水に対してイオン交換を実行し、溶存酸素濃度を上昇させることなく第2の処理水を生成する工程と、
を具備したことを特徴とする超純水製造方法。 - 前記被処理水の全有機炭素濃度は、500ppb以下であることを特徴とする請求項1に記載の超純水製造方法。
- 前記紫外線は、180〜190nmの波長を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の超純水製造方法。
- 前記第2の処理水を生成する工程は、前記第1の処理水を、イオン交換樹脂、イオン交換繊維およびイオン交換膜からなる群より選択された少なくとも1つの部材に接触させる工程を具備したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の超純水製造方法。
- 被処理水から溶存酸素を除去する溶存酸素除去手段と、
前記溶存酸素除去手段で処理した被処理水中の全有機炭素濃度を測定する手段と、
前記測定した全有機炭素濃度に基づき、前記被処理水に照射する紫外線の照射量を決定する手段と、
前記決定した照射量の紫外線を前記被処理水に照射し、第1の処理水を生成する手段と、
前記生成した第1の処理水に対してイオン交換を実行し、溶存酸素濃度を上昇させることなく第2の処理水を生成する手段と、
を具備したことを特徴とする超純水製造装置。 - 前記被処理水の全有機炭素濃度は、500ppb以下であることを特徴とする請求項5に記載の超純水製造装置。
- 前記紫外線は、180〜190nmの波長を有することを特徴とする請求項5又は6に記載の超純水製造装置。
- 前記第2の処理水を生成する手段は、前記第1の処理水を、イオン交換樹脂、イオン交換繊維およびイオン交換膜からなる群より選択された少なくとも1つの部材に接触させる手段を具備したことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の超純水製造装置。
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