JPH06198279A - 紫外線分解装置 - Google Patents
紫外線分解装置Info
- Publication number
- JPH06198279A JPH06198279A JP5000330A JP33093A JPH06198279A JP H06198279 A JPH06198279 A JP H06198279A JP 5000330 A JP5000330 A JP 5000330A JP 33093 A JP33093 A JP 33093A JP H06198279 A JPH06198279 A JP H06198279A
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- Japan
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- water
- ultraviolet
- lamp
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 負荷量が変動しても処理レベルを一定にす
る。 【構成】 被処理水の流通路１に沿って、上流から有機
物濃度検知器３、流量検知器４、紫外線照射装置５を設
け、検知器３，４の測定値を制御装置７に送り、出力調
節器８を介して紫外線ランプの点灯電圧を制御する。
る。 【構成】 被処理水の流通路１に沿って、上流から有機
物濃度検知器３、流量検知器４、紫外線照射装置５を設
け、検知器３，４の測定値を制御装置７に送り、出力調
節器８を介して紫外線ランプの点灯電圧を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造、ボ
イラー、医薬品製造等に使用される純水の製造装置に組
み込んで、被処理水中の有機物を酸化除去する紫外線酸
化分解装置に関する。
イラー、医薬品製造等に使用される純水の製造装置に組
み込んで、被処理水中の有機物を酸化除去する紫外線酸
化分解装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の紫外線酸化分解装置は図３にその
一例を示すように、被処理水の流通路５１に沿って紫外
線照射装置５２が配設され、流入してくる被処理水はこ
こで紫外線を照射されて水中の有機物は酸化分解され、
除去される。なお、５３は有機物が酸化除去された処理
水の出口側流通路である。
一例を示すように、被処理水の流通路５１に沿って紫外
線照射装置５２が配設され、流入してくる被処理水はこ
こで紫外線を照射されて水中の有機物は酸化分解され、
除去される。なお、５３は有機物が酸化除去された処理
水の出口側流通路である。
【０００３】このような装置は、紫外線照射装置５２に
流入してくる被処理水の有機物濃度Ｃin（ｍｇ／ｌ）、
または流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）が変化しても紫外線ランプ出
力（ｋＷ）は常に一定であった。この場合、紫外線照射
装置５２に流入してくる被処理水の有機物濃度Ｃin（ｍ
ｇ／ｌ）、流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）が変動すると、ランプ出
力が一定なため、被処理水中の有機物に対する照射量
（ｋＷｈｒ／ｍ3 ）が変動し、そのため処理水の有機物
濃度Ｃout （ｍｇ／ｌ）が変動する。
流入してくる被処理水の有機物濃度Ｃin（ｍｇ／ｌ）、
または流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）が変化しても紫外線ランプ出
力（ｋＷ）は常に一定であった。この場合、紫外線照射
装置５２に流入してくる被処理水の有機物濃度Ｃin（ｍ
ｇ／ｌ）、流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）が変動すると、ランプ出
力が一定なため、被処理水中の有機物に対する照射量
（ｋＷｈｒ／ｍ3 ）が変動し、そのため処理水の有機物
濃度Ｃout （ｍｇ／ｌ）が変動する。
【０００４】また、ＵＶランプは図４に示すように約８
０００ｈｒで出力が初期の約７０％まで低下する。その
ため通常約８０００ｈｒに一度の割合でランプの交換を
行っている。これら２点の問題点によって装置設計時に
は予想される最大負荷量Ｌma x （ｍｇ／ｈ）＝Ｑ（ｍ3
／ｈ）×Ｃin（ｍｇ／ｌ）×１０3 に対し、ランプ新品
時のランプ出力で、要求される処理水の有機物濃度Ｃ
out を満足するように初期ランプ出力を決定している。
０００ｈｒで出力が初期の約７０％まで低下する。その
ため通常約８０００ｈｒに一度の割合でランプの交換を
行っている。これら２点の問題点によって装置設計時に
は予想される最大負荷量Ｌma x （ｍｇ／ｈ）＝Ｑ（ｍ3
／ｈ）×Ｃin（ｍｇ／ｌ）×１０3 に対し、ランプ新品
時のランプ出力で、要求される処理水の有機物濃度Ｃ
out を満足するように初期ランプ出力を決定している。
【０００５】このように従来法では、処理水の有機物濃
度Ｃout （ｍｇ／ｌ）を常に設定値以下にすることは可
能であるが、最大負荷量に設計基準を合わせていること
で、負荷量の高くない通常運転中は必要以上に電力を消
費している問題がある。
度Ｃout （ｍｇ／ｌ）を常に設定値以下にすることは可
能であるが、最大負荷量に設計基準を合わせていること
で、負荷量の高くない通常運転中は必要以上に電力を消
費している問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記事情に鑑
みなされたもので、その目的とするところは被処理水中
の有機物濃度が変動しても、処理水中の有機物濃度は常
に設定値に保てるとともに、装置の運転コストを低減さ
せ得る紫外線分解装置を提供することにある。
みなされたもので、その目的とするところは被処理水中
の有機物濃度が変動しても、処理水中の有機物濃度は常
に設定値に保てるとともに、装置の運転コストを低減さ
せ得る紫外線分解装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は被処理水の流通路と、前記流通路に沿って配
設された紫外線照射ランプを有し、被処理水に紫外線を
照射することにより被処理水中の有機物を酸化分解除去
する紫外線分解装置において、被処理水の流入量及び有
機物濃度を検出する検知器と、前記検知器の検出値に基
づいて有機物負荷量を演算する制御装置と、演算した負
荷量に基づいて紫外線照射ランプの出力を調節するラン
プ出力調節器とを有し、負荷量に応じてランプ出力を調
節するように構成するものである。
に本発明は被処理水の流通路と、前記流通路に沿って配
設された紫外線照射ランプを有し、被処理水に紫外線を
照射することにより被処理水中の有機物を酸化分解除去
する紫外線分解装置において、被処理水の流入量及び有
機物濃度を検出する検知器と、前記検知器の検出値に基
づいて有機物負荷量を演算する制御装置と、演算した負
荷量に基づいて紫外線照射ランプの出力を調節するラン
プ出力調節器とを有し、負荷量に応じてランプ出力を調
節するように構成するものである。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例につ
き詳細に説明する。
き詳細に説明する。
【０００９】図１中１は被処理水の流入する流通路で、
この流通路１の流れ方向に沿って上流側２から順次、被
処理水中の有機物濃度検知器３、被処理水流量検知器
４、紫外線照射装置５が配設され、処理水は流通路１の
下流側６から流出する。
この流通路１の流れ方向に沿って上流側２から順次、被
処理水中の有機物濃度検知器３、被処理水流量検知器
４、紫外線照射装置５が配設され、処理水は流通路１の
下流側６から流出する。
【００１０】有機物濃度Ｃin（ｍｇ／ｌ）を測定する検
知器３としては、一般的にはＴＯＣ（Total Organic Ca
rbon）メータを使用するとよいが、これに限定されるも
のではない。
知器３としては、一般的にはＴＯＣ（Total Organic Ca
rbon）メータを使用するとよいが、これに限定されるも
のではない。
【００１１】また、被処理水流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）を検出
する検知器４としては、例えばフロート式、超音波式、
電磁式等の公知のものを使用することができる。
する検知器４としては、例えばフロート式、超音波式、
電磁式等の公知のものを使用することができる。
【００１２】これらの検知器３，４の配設順序はいずれ
でもよく、同じ場所に近接して配設してもよい。
でもよく、同じ場所に近接して配設してもよい。
【００１３】紫外線照射装置５は紫外線照射による有機
物の酸化分解用に一般に用いられているものがそのまま
使用できる。これらは１８５ｎｍ付近の紫外光を含むも
ので、紫外線ランプとしては低圧水銀ランプが使用され
る。また、紫外光を放射する当該ランプは１本のもので
も複数本配置したものでもよい。
物の酸化分解用に一般に用いられているものがそのまま
使用できる。これらは１８５ｎｍ付近の紫外光を含むも
ので、紫外線ランプとしては低圧水銀ランプが使用され
る。また、紫外光を放射する当該ランプは１本のもので
も複数本配置したものでもよい。
【００１４】７は制御装置で、検知器３，４で検出した
被処理水の有機物濃度Ｃin（ｍｇ／ｌ）、及び被処理水
の流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）に対応する信号が入力されると、
負荷量Ｌ（ｍｇ／ｈ）＝Ｑ（ｍ3 ／ｈ）×Ｃin（ｍｇ／
ｌ）×１０3 の演算を行い、この負荷量Ｌに対応する出
力信号を送出するものである。
被処理水の有機物濃度Ｃin（ｍｇ／ｌ）、及び被処理水
の流量Ｑ（ｍ3 ／ｈ）に対応する信号が入力されると、
負荷量Ｌ（ｍｇ／ｈ）＝Ｑ（ｍ3 ／ｈ）×Ｃin（ｍｇ／
ｌ）×１０3 の演算を行い、この負荷量Ｌに対応する出
力信号を送出するものである。
【００１５】８はランプ出力調節器で、前記制御装置７
から送出された負荷量Ｌに対応する出力信号を受け取
り、負荷量Ｌに応じた電圧を紫外線照射装置５のランプ
に送るものである。これにより、紫外線が被処理水に照
射され、被処理水中の有機物が酸化分解するものである
が、紫外線の照射量は被処理水中の有機物量に対応する
ように制御されたものであるので、被処理水中の有機物
濃度が変動しても、処理水中の有機物量は一定範囲の基
準値内を維持できる。なお、出力調節器８は電圧を変化
させて紫外線照射量を調節するものであるが、調節には
ランプをオン、オフする機能をも含むものである。
から送出された負荷量Ｌに対応する出力信号を受け取
り、負荷量Ｌに応じた電圧を紫外線照射装置５のランプ
に送るものである。これにより、紫外線が被処理水に照
射され、被処理水中の有機物が酸化分解するものである
が、紫外線の照射量は被処理水中の有機物量に対応する
ように制御されたものであるので、被処理水中の有機物
濃度が変動しても、処理水中の有機物量は一定範囲の基
準値内を維持できる。なお、出力調節器８は電圧を変化
させて紫外線照射量を調節するものであるが、調節には
ランプをオン、オフする機能をも含むものである。
【００１６】上記本発明の紫外線分解装置は、有機物を
含むいかなる種類の被処理水にも適用できるが、特に半
導体等の超純水の製造装置に組み込んで使用すると好適
である。組み込む位置は超純水製造装置の紫外線酸化分
解装置の部分にそのまま組み込むことができる。 （実験例）以下、実験例により本発明をさらに詳細に説
明する。
含むいかなる種類の被処理水にも適用できるが、特に半
導体等の超純水の製造装置に組み込んで使用すると好適
である。組み込む位置は超純水製造装置の紫外線酸化分
解装置の部分にそのまま組み込むことができる。 （実験例）以下、実験例により本発明をさらに詳細に説
明する。
【００１７】図１に示した本発明装置を用いて、ＴＯＣ
濃度及び流量の変動する被処理水（超純水）中のＴＯＣ
の分解除去を行ったところ、図２に示すごとく、被処理
水のＴＯＣ濃度及び流量の変動に関係なく、目標値であ
るＴＯＣ濃度２ｍｇ／ｌの処理水が常に安定して得られ
た。
濃度及び流量の変動する被処理水（超純水）中のＴＯＣ
の分解除去を行ったところ、図２に示すごとく、被処理
水のＴＯＣ濃度及び流量の変動に関係なく、目標値であ
るＴＯＣ濃度２ｍｇ／ｌの処理水が常に安定して得られ
た。
【００１８】なお、使用した紫外線照射装置は内部に４
本の低圧紫外線照射ランプを組み込んだ流水型のもの
で、４本のランプの各々の印加電圧を１８０Ｖから２２
０Ｖまでの範囲で制御する電圧制御と、各水銀ランプを
オン−オフさせるオン−オフ制御との両方の制御を組み
合わせて行えるようにした装置である。
本の低圧紫外線照射ランプを組み込んだ流水型のもの
で、４本のランプの各々の印加電圧を１８０Ｖから２２
０Ｖまでの範囲で制御する電圧制御と、各水銀ランプを
オン−オフさせるオン−オフ制御との両方の制御を組み
合わせて行えるようにした装置である。
【００１９】また、ＴＯＣメータとしては東レ（株）製
のアナテルＡ−１００−ＰＳＥを用いた。
のアナテルＡ−１００−ＰＳＥを用いた。
【００２０】比較のために、上記と同じ被処理水を上記
と同じ紫外線照射ランプ４本を組み込んだ紫外線照射装
置を用いた図３に示すような従来装置によって、印加電
圧を２００Ｖ（一定）として処理したところ、図２に示
すごとく、この場合は被処理水のＴＯＣ濃度や流量の変
動によって処理水のＴＯＣ濃度も変動し、処理水のＴＯ
Ｃ濃度が目標値を上回る場合もあった。
と同じ紫外線照射ランプ４本を組み込んだ紫外線照射装
置を用いた図３に示すような従来装置によって、印加電
圧を２００Ｖ（一定）として処理したところ、図２に示
すごとく、この場合は被処理水のＴＯＣ濃度や流量の変
動によって処理水のＴＯＣ濃度も変動し、処理水のＴＯ
Ｃ濃度が目標値を上回る場合もあった。
【００２１】
【発明の効果】本発明においては、有機物負荷量が変動
してもそれに応じて最適量の紫外線を照射することがで
きるので、処理水のＴＯＣを基準範囲に制御でき、さら
に装置の運転コストの低減が達成できる。
してもそれに応じて最適量の紫外線を照射することがで
きるので、処理水のＴＯＣを基準範囲に制御でき、さら
に装置の運転コストの低減が達成できる。
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】実験例における通水時間とＴＯＣ濃度との関係
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図３】従来の紫外線酸化分解装置の構成図である。
【図４】紫外線ランプの出力の経時変化を示すグラフで
ある。
ある。
１ 流通路 ２ 上流側 ３ 有機物濃度検知器 ４ 被処理水流量検知器 ５ 紫外線照射装置 ６ 下流側 ７ 制御装置 ８ 出力調節器
Claims (1)
- 【請求項１】 被処理水の流通路と、前記流通路に沿っ
て配設された紫外線照射ランプとを有し、被処理水に紫
外線を照射することにより被処理水中の有機物を酸化分
解除去する紫外線分解装置において、被処理水の流入量
及び有機物濃度を検出する検知器と、前記検知器の検出
値に基づいて有機物負荷量を演算する制御装置と、演算
した負荷量に基づいて紫外線照射ランプの出力を調節す
るランプ出力調節器とを有し、負荷量に応じてランプ出
力を調節することを特徴とする紫外線分解装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5000330A JPH06198279A (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 紫外線分解装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5000330A JPH06198279A (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 紫外線分解装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06198279A true JPH06198279A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=11470893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5000330A Pending JPH06198279A (ja) | 1993-01-05 | 1993-01-05 | 紫外線分解装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06198279A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000185280A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Japan Organo Co Ltd | 紫外線殺菌方法及び殺菌装置 |
| JP2000302413A (ja) * | 1999-04-20 | 2000-10-31 | Kurita Water Ind Ltd | オゾン水製造装置 |
| JP2002085348A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-26 | Asahi Optical Co Ltd | 殺菌処理機能を備えた電子内視鏡装置のプロセッサ |
| JP2008173637A (ja) * | 1996-02-20 | 2008-07-31 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 超純水製造方法および超純水製造装置 |
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| JP2018518352A (ja) * | 2015-05-04 | 2018-07-12 | エヴォクア ウォーター テクノロジーズ エルエルシーＥｖｏｑｕａ Ｗａｔｅｒ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ＬＬＣ | 柔軟なランプ構成を備えた超純水提供システム及び方法 |
| CN114269696A (zh) * | 2019-10-07 | 2022-04-01 | 栗田工业株式会社 | Toc处理装置和处理方法 |
| WO2024080079A1 (ja) * | 2022-10-14 | 2024-04-18 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0491794U (ja) * | 1990-05-23 | 1992-08-10 |
-
1993
- 1993-01-05 JP JP5000330A patent/JPH06198279A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0491794U (ja) * | 1990-05-23 | 1992-08-10 |
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