JPH1147754A - 配管の殺菌方法及びシステム - Google Patents
配管の殺菌方法及びシステムInfo
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- JPH1147754A JPH1147754A JP22062497A JP22062497A JPH1147754A JP H1147754 A JPH1147754 A JP H1147754A JP 22062497 A JP22062497 A JP 22062497A JP 22062497 A JP22062497 A JP 22062497A JP H1147754 A JPH1147754 A JP H1147754A
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- pure water
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- pipe
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Abstract
(57)【要約】
【課題】純水供給システムにおいて、システム出口の供
給配管よりオゾンを注入して全配管系の殺菌を行うと共
に、ユースポイント近傍にて純水中のオゾン、及びオゾ
ン分解による発生する溶存酸素を除去することで、ユー
スポイントで連続使用しながらの全配管系の殺菌が可能
とする殺菌方法及びシステムの提供。 【解決手段】供給システム出口にあたるＵＦ装置出口に
隣接して設けられたオゾン発生器９より供給配管系にオ
ゾンを注入し、配管内の殺菌を行い、一方、ユースポイ
ントではオゾンを含まない純水が必要とされるため、ユ
ースポイントに隣接した位置に、オゾンを酸素に分解す
るためのＵＶランプ１０と、分解により発生した溶存酸
素を除去するための膜脱気装置１１と、を有している。
給配管よりオゾンを注入して全配管系の殺菌を行うと共
に、ユースポイント近傍にて純水中のオゾン、及びオゾ
ン分解による発生する溶存酸素を除去することで、ユー
スポイントで連続使用しながらの全配管系の殺菌が可能
とする殺菌方法及びシステムの提供。 【解決手段】供給システム出口にあたるＵＦ装置出口に
隣接して設けられたオゾン発生器９より供給配管系にオ
ゾンを注入し、配管内の殺菌を行い、一方、ユースポイ
ントではオゾンを含まない純水が必要とされるため、ユ
ースポイントに隣接した位置に、オゾンを酸素に分解す
るためのＵＶランプ１０と、分解により発生した溶存酸
素を除去するための膜脱気装置１１と、を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は純水の供給システム
に関し、特に配管の殺菌方法に関する。
に関し、特に配管の殺菌方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の純水の供給システムにおける配管
の殺菌方法としては、殺菌処理物質の内、過酸化水素、
高温純水、オゾンを配管内に通水し、殺菌を行ってい
た。
の殺菌方法としては、殺菌処理物質の内、過酸化水素、
高温純水、オゾンを配管内に通水し、殺菌を行ってい
た。
【０００３】図３に、代表的な純水供給システムの構成
を示す。
を示す。
【０００４】過酸化水素、高温純水を用いた殺菌方法で
は、システム内の最終純水槽３１に過酸化水素、高温純
水を注入し、この通水により劣化が生じるイオン交換器
３２をバイパスした後、供給配管系３３に送水され、系
内の殺菌が行われる。
は、システム内の最終純水槽３１に過酸化水素、高温純
水を注入し、この通水により劣化が生じるイオン交換器
３２をバイパスした後、供給配管系３３に送水され、系
内の殺菌が行われる。
【０００５】また、オゾンを用いた殺菌方法では、最終
純水槽３１にオゾンを注入し、オゾンを分解するＵＶ酸
化装置３４、この通水により劣化が生じるイオン交換器
３２、ＵＦ装置（微粒子を捕集する装置）をバイパスし
た後、供給配管系に送水され系内の殺菌が行われる。
純水槽３１にオゾンを注入し、オゾンを分解するＵＶ酸
化装置３４、この通水により劣化が生じるイオン交換器
３２、ＵＦ装置（微粒子を捕集する装置）をバイパスし
た後、供給配管系に送水され系内の殺菌が行われる。
【０００６】さらにユースポイント３６に送水された後
のリターン配管系３７の任意の箇所３８よりオゾンを注
入し、供給システム内のＵＶ酸化装置３４で分解される
までの間を殺菌する方法もある。
のリターン配管系３７の任意の箇所３８よりオゾンを注
入し、供給システム内のＵＶ酸化装置３４で分解される
までの間を殺菌する方法もある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の配管殺菌方法は下記記載の問題点を有してい
る。
た従来の配管殺菌方法は下記記載の問題点を有してい
る。
【０００８】最終純水槽３１に、過酸化水素、高温純
水、オゾンを注入し、配管系内を殺菌する方法では、ユ
ースポイント３６で使用する純水内に該殺菌処理物質が
含まれてしまうため、純水の使用を停止した状態での殺
菌が必要とされていた。
水、オゾンを注入し、配管系内を殺菌する方法では、ユ
ースポイント３６で使用する純水内に該殺菌処理物質が
含まれてしまうため、純水の使用を停止した状態での殺
菌が必要とされていた。
【０００９】また、リターン配管系３７にオゾンを注入
することで殺菌を行う方法では、殺菌される範囲がユー
スポイントで使用された後の配管系となり、純度を必要
としない範囲のみの殺菌となってしまうという問題点が
あった。
することで殺菌を行う方法では、殺菌される範囲がユー
スポイントで使用された後の配管系となり、純度を必要
としない範囲のみの殺菌となってしまうという問題点が
あった。
【００１０】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、純水供給システ
ムにおいて、システム出口の供給配管よりオゾンを注入
して全配管系の殺菌を行うと共に、ユースポイント近傍
にて純水中のオゾン、及びオゾン分解による発生する溶
存酸素を除去することで、ユースポイントで連続使用し
ながらの全配管系の殺菌が可能とする配管の殺菌方法及
びシステムを提供することにある。
てなされたものであって、その目的は、純水供給システ
ムにおいて、システム出口の供給配管よりオゾンを注入
して全配管系の殺菌を行うと共に、ユースポイント近傍
にて純水中のオゾン、及びオゾン分解による発生する溶
存酸素を除去することで、ユースポイントで連続使用し
ながらの全配管系の殺菌が可能とする配管の殺菌方法及
びシステムを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の配管の殺菌方法は、供給システムに隣接し
た供給配管にオゾン発生器からオゾンを注入し、ユース
ポイントに隣接して設けられたオソン分解器でオゾンを
酸素に分解して該ユースポイントで使用する純水内にオ
ゾンが含まれることを防ぎ、前記オゾン分解器と前記ユ
ースポイント間に設けられた脱気装置でオゾンの分解に
より発生した溶存酸素を除去する、ことを特徴とする。
め、本発明の配管の殺菌方法は、供給システムに隣接し
た供給配管にオゾン発生器からオゾンを注入し、ユース
ポイントに隣接して設けられたオソン分解器でオゾンを
酸素に分解して該ユースポイントで使用する純水内にオ
ゾンが含まれることを防ぎ、前記オゾン分解器と前記ユ
ースポイント間に設けられた脱気装置でオゾンの分解に
より発生した溶存酸素を除去する、ことを特徴とする。
【００１２】また、本発明の配管殺菌システムは、純水
供給システムにおいて、供給システムに隣接した供給配
管に設けられたオゾン発生器と、ユースポイントの上流
側で該ユースポイントに好ましくは隣接して設けられた
オソン分解器と、前記オゾン分解器と前記ユースポイン
トとの間に設けられ、オゾンの分解により発生した溶存
酸素を除去する脱気装置と、を備えたことを特徴とす
る。
供給システムにおいて、供給システムに隣接した供給配
管に設けられたオゾン発生器と、ユースポイントの上流
側で該ユースポイントに好ましくは隣接して設けられた
オソン分解器と、前記オゾン分解器と前記ユースポイン
トとの間に設けられ、オゾンの分解により発生した溶存
酸素を除去する脱気装置と、を備えたことを特徴とす
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。本発明の好ましい実施の形態において、供
給システムに隣接した供給配管に設けられたオゾン発生
器（図１の９）と、ユースポイント（図１の５）の上流
側で該ユースポイントに好ましくは隣接して設けられた
オソン分解器（図１の１０）と、オゾン分解器とユース
ポイントとの間に設けられ、オゾンの分解により発生し
た溶存酸素を除去する脱気装置（図１の１１）と、を備
えている。
に説明する。本発明の好ましい実施の形態において、供
給システムに隣接した供給配管に設けられたオゾン発生
器（図１の９）と、ユースポイント（図１の５）の上流
側で該ユースポイントに好ましくは隣接して設けられた
オソン分解器（図１の１０）と、オゾン分解器とユース
ポイントとの間に設けられ、オゾンの分解により発生し
た溶存酸素を除去する脱気装置（図１の１１）と、を備
えている。
【００１４】本発明の実施の形態においては、好ましく
は、オゾン発生器（図２の２１）からのオゾン注入量に
応じて前記オゾン分解器（図２の１０）の作動を制御す
る制御手段（図２の２３）を備える。
は、オゾン発生器（図２の２１）からのオゾン注入量に
応じて前記オゾン分解器（図２の１０）の作動を制御す
る制御手段（図２の２３）を備える。
【００１５】本発明の実施の形態においては、オゾン発
生器（図１の９）は、供給システム出口である、二次純
水系の微粒子を除去するＵＦ装置（図１の８）出口に近
接した供給配管（図１の１２）に設けられる。
生器（図１の９）は、供給システム出口である、二次純
水系の微粒子を除去するＵＦ装置（図１の８）出口に近
接した供給配管（図１の１２）に設けられる。
【００１６】本発明の実施の形態においては、オゾン分
解器（図１の１０）は、供給副配管に接続する分岐配管
（図１の１６）に設けられる。
解器（図１の１０）は、供給副配管に接続する分岐配管
（図１の１６）に設けられる。
【００１７】
【実施例】上記した実施の形態について更に詳細に説明
すべく、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
すべく、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
【００１８】図１は、本発明の第一の実施例の機器構成
を示す図である。図１を参照すると、本実施例におい
て、純水の供給システムは、前処理系１、一次純水系
２、二次純水系３より構成される。前処理系１では純粋
製造の原料となる水（原水）に含まれる懸濁物質、硬度
成分の粗い除去を行う。原水が水道水の場合、同系は削
除してもよい。一次純粋系２では、イオン類の除去を行
うイオン交換樹脂、微粒子、有機物の除去を行うＲＯ膜
が必要に応じて多段で構成される。低純水までの製造を
行う二次純水系３は、純水製造の最終工程で微量のイオ
ン類、有機物、微粒子の除去を行うため、紫外線により
純水中の有機成分を分解し、有機酸にするＵＶ酸化装置
６、有機酸を吸着するイオン交換器７、微粒子を捕集す
るＵＦ装置８を有している。純水は一次純水系２と二次
純水系３間の最終純水槽４まで一過性で製造されてく
る。最終純水槽４には、二次純水系３よりユースポイン
ト５に送水され、使用されなかった純水も戻されてく
る。なお、図１において、１２はサプライメイン（供給
主）配管、１３はリターンメイン（戻り主）配管、１４
はサプライサブ（供給副）配管、１５はリターンサブ
（戻り副）配管、１６は分岐配管を示している。
を示す図である。図１を参照すると、本実施例におい
て、純水の供給システムは、前処理系１、一次純水系
２、二次純水系３より構成される。前処理系１では純粋
製造の原料となる水（原水）に含まれる懸濁物質、硬度
成分の粗い除去を行う。原水が水道水の場合、同系は削
除してもよい。一次純粋系２では、イオン類の除去を行
うイオン交換樹脂、微粒子、有機物の除去を行うＲＯ膜
が必要に応じて多段で構成される。低純水までの製造を
行う二次純水系３は、純水製造の最終工程で微量のイオ
ン類、有機物、微粒子の除去を行うため、紫外線により
純水中の有機成分を分解し、有機酸にするＵＶ酸化装置
６、有機酸を吸着するイオン交換器７、微粒子を捕集す
るＵＦ装置８を有している。純水は一次純水系２と二次
純水系３間の最終純水槽４まで一過性で製造されてく
る。最終純水槽４には、二次純水系３よりユースポイン
ト５に送水され、使用されなかった純水も戻されてく
る。なお、図１において、１２はサプライメイン（供給
主）配管、１３はリターンメイン（戻り主）配管、１４
はサプライサブ（供給副）配管、１５はリターンサブ
（戻り副）配管、１６は分岐配管を示している。
【００１９】本実施例における配管の殺菌方法は、供給
システム出口にあたるＵＦ装置８の出口に可能な限り隣
接して設けられたオゾン発生器９より供給配管系にオゾ
ンを注入し、配管内の殺菌を行う。
システム出口にあたるＵＦ装置８の出口に可能な限り隣
接して設けられたオゾン発生器９より供給配管系にオゾ
ンを注入し、配管内の殺菌を行う。
【００２０】一方、ユースポイント５では、オゾンを含
まない純水が必要とされるため、ユースポイント５に可
能な限り隣接した位置、サプライサブ配管又は分岐配管
１６であり、好ましくは分岐配管１６に、オゾンを酸素
に分解するためのＵＶランプ１０と、分解により発生し
た溶存酸素を除去するための膜脱気装置１１と、を有し
ている。
まない純水が必要とされるため、ユースポイント５に可
能な限り隣接した位置、サプライサブ配管又は分岐配管
１６であり、好ましくは分岐配管１６に、オゾンを酸素
に分解するためのＵＶランプ１０と、分解により発生し
た溶存酸素を除去するための膜脱気装置１１と、を有し
ている。
【００２１】上記のように構成されてなる本実施例にお
いては、純水を送水しながら全配管系の殺菌が可能にな
ると共に、ユースポイントにも殺菌処理物質を含まない
純水の供給が可能となる。
いては、純水を送水しながら全配管系の殺菌が可能にな
ると共に、ユースポイントにも殺菌処理物質を含まない
純水の供給が可能となる。
【００２２】次に本発明の第二の実施例について説明す
る。図２は、本発明の第二の実施例の機器構成を示す図
である。図２において、図１と同一又は同等の要素には
同一の参照符号が付されている。
る。図２は、本発明の第二の実施例の機器構成を示す図
である。図２において、図１と同一又は同等の要素には
同一の参照符号が付されている。
【００２３】図２を参照すると、本実施例においては、
オゾン発生器２１からのオゾンの注入量に合わせてＵＶ
ランプ１０の照射量を変化する制御器２３が設けられて
いる。
オゾン発生器２１からのオゾンの注入量に合わせてＵＶ
ランプ１０の照射量を変化する制御器２３が設けられて
いる。
【００２４】例えば、トラブルで供給システムが停止し
た直後に配管内を殺菌する場合などは、通常よりも高い
オゾン注入量を必要とする。このように、オゾン注入量
を増加させる必要が生じた時、オゾン注入量に合わせて
紫外線の照射を行うことで、ＵＶランプ１０でのオゾン
分解が不十分で、ユースポイント５へオゾンがリークす
るという事態が防げる。また、生菌の発生が微量でオゾ
ン注入量を減少させられる場合は、不必要にＵＶランプ
１０を点灯させることなく電力消費量の削減を図ること
ができる。
た直後に配管内を殺菌する場合などは、通常よりも高い
オゾン注入量を必要とする。このように、オゾン注入量
を増加させる必要が生じた時、オゾン注入量に合わせて
紫外線の照射を行うことで、ＵＶランプ１０でのオゾン
分解が不十分で、ユースポイント５へオゾンがリークす
るという事態が防げる。また、生菌の発生が微量でオゾ
ン注入量を減少させられる場合は、不必要にＵＶランプ
１０を点灯させることなく電力消費量の削減を図ること
ができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、純
水を送水しながら全配管系の殺菌が可能になると共に、
ユースポイントにも殺菌処理物資を含まない純水の供給
を可能とするという効果を奏する。
水を送水しながら全配管系の殺菌が可能になると共に、
ユースポイントにも殺菌処理物資を含まない純水の供給
を可能とするという効果を奏する。
【００２６】その理由は、本発明においては、配管内の
生菌を殺菌する目的で、供給システムに可能な限り隣接
した供給配管に設けられたオゾン発生器と、ユースポイ
ントで使用する純水内にオゾン成分が含まれることを防
ぐ目的で、ユースポイントに可能な限り隣接して設けら
れたオゾン分解器と、オゾンの分解により発生した溶存
酸素を除去するために、該オゾン分解器とユースポイン
ト間に設けられた脱気装置を備えたことによる。
生菌を殺菌する目的で、供給システムに可能な限り隣接
した供給配管に設けられたオゾン発生器と、ユースポイ
ントで使用する純水内にオゾン成分が含まれることを防
ぐ目的で、ユースポイントに可能な限り隣接して設けら
れたオゾン分解器と、オゾンの分解により発生した溶存
酸素を除去するために、該オゾン分解器とユースポイン
ト間に設けられた脱気装置を備えたことによる。
【図１】本発明の第一実施例の機器構成を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明の第二実施例の機器構成を示す図であ
る。
る。
【図３】従来の機器構成を示す図である。
１ 前処理系 ２ 一次純水系 ３ 二次純水系 ４ 最終純水槽 ５ ユースポイント ６ ＵＶ酸化装置 ７ イオン交換器 ８ ＵＦ装置 ９ オゾン発生器 １０ ＵＶランプ １１ 膜脱気装置 ２１ オゾン発生器 ２３ 制御器 ３１ 最終純水槽 ３２ イオン交換器 ３３ 供給配管系 ３４ ＵＶ酸化装置 ３５ ＵＦ装置 ３６ ユースポイント ３７ リターン配管系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０２Ｆ 1/50 ５６０ Ｃ０２Ｆ 1/50 ５６０Ｚ 1/20 1/20 Ａ Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１ Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１Ｚ
Claims (6)
- 【請求項１】配管の殺菌方法において、 供給システムに隣接した供給配管にオゾン発生器からオ
ゾンを注入して配管の殺菌を行い、 ユースポイントの近傍に設けられたオソン分解器でオゾ
ンを酸素に分解して該ユースポイントで使用する純水内
にオゾンが含まれることを防ぎ、 前記オゾン分解器と前記ユースポイント間に設けられた
脱気装置にてオゾンの分解により発生した溶存酸素を除
去する、 ことを特徴とする配管の殺菌方法。 - 【請求項２】前記オゾン発生器からのオゾン注入量に応
じて前記オゾン分解器の作動状態を制御するようにした
ことを特徴とする請求項１記載の配管の殺菌方法。 - 【請求項３】純水供給システムにおいて、 供給システムに隣接した供給配管に設けられたオゾン発
生器と、 ユースポイントの上流側で該ユースポイント近傍に設け
られたオソン分解器と、 前記オゾン分解器と前記ユースポイントとの間に設けら
れ、オゾンの分解により発生した溶存酸素を除去する脱
気装置と、 を備えたことを特徴とする配管殺菌システム。 - 【請求項４】前記オゾン発生器からのオゾン注入量に応
じて前記オゾン分解器の作動を制御する制御手段を備え
たことを特徴とする請求項３記載の配管殺菌システム。 - 【請求項５】前記オゾン発生器が、供給システム出口で
ある、二次純水系の微粒子を除去するＵＦ装置出口に近
接した供給配管に設けられたことを特徴とする請求項３
記載の配管殺菌システム。 - 【請求項６】前記オゾン分解器が、供給副配管を前記ユ
ースポイントに接続する分岐配管に設けられたことを特
徴とする請求項３記載の配管殺菌システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22062497A JPH1147754A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 配管の殺菌方法及びシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22062497A JPH1147754A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 配管の殺菌方法及びシステム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1147754A true JPH1147754A (ja) | 1999-02-23 |
Family
ID=16753897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22062497A Pending JPH1147754A (ja) | 1997-07-31 | 1997-07-31 | 配管の殺菌方法及びシステム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1147754A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013008721A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 栗田工業株式会社 | オゾン水供給装置及びオゾン水供給方法 |
| CN105556722A (zh) * | 2013-08-08 | 2016-05-04 | 智慧能量有限公司 | 冷却剂净化 |
| KR20200078496A (ko) | 2017-10-31 | 2020-07-01 | 가부시키가이샤 기츠 | 세정수 처리 방법 |
-
1997
- 1997-07-31 JP JP22062497A patent/JPH1147754A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013008721A1 (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | 栗田工業株式会社 | オゾン水供給装置及びオゾン水供給方法 |
| JP2013017932A (ja) * | 2011-07-08 | 2013-01-31 | Kurita Water Ind Ltd | オゾン水供給装置及びオゾン水供給方法 |
| CN105556722A (zh) * | 2013-08-08 | 2016-05-04 | 智慧能量有限公司 | 冷却剂净化 |
| JP2016534507A (ja) * | 2013-08-08 | 2016-11-04 | インテリジェント エナジー リミテッドＩｎｔｅｌｌｉｇｅｎｔ Ｅｎｅｒｇｙ Ｌｉｍｉｔｅｄ | 冷却液の浄化 |
| US10218009B2 (en) | 2013-08-08 | 2019-02-26 | Intelligent Energy Limited | Coolant purification |
| US10693155B2 (en) | 2013-08-08 | 2020-06-23 | Intelligent Energy Limited | Coolant purification |
| KR20200078496A (ko) | 2017-10-31 | 2020-07-01 | 가부시키가이샤 기츠 | 세정수 처리 방법 |
| US11306014B2 (en) | 2017-10-31 | 2022-04-19 | Kitz Corporation | Wash water processing method |
| KR20230164193A (ko) | 2017-10-31 | 2023-12-01 | 가부시키가이샤 기츠 | 세정수 처리 방법 |
| US11975995B2 (en) | 2017-10-31 | 2024-05-07 | Kitz Corporation | Wash water processing apparatus and sterilization and purification unit, and wash water processing method of semiconductor element or liquid-crystal glasses |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010522 |