JP2005126666A - プライマー組成物及び積層体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のプライマー組成物は、有機シラン化合物及びポリ有機チタン化合物を含む。有機シラン化合物は、アルコキシ基、エポキシ基、メタクリロキシ基の少なくとも1種を含む。ポリ有機チタン化合物は、アルコキシチタンを構成単位として含む。光導波路1は、基材2と、本発明のプライマー組成物からなるプライマー層3と、下部クラッド層4と、上部クラッド層5と、コア部6とからなる。
【選択図】図1
Description
かかる伝送システムを構成する要素の中で、光導波路は、映画や動画等の大容量の情報伝達や光コンピュータ等を実現するための光デバイスや、光電集積回路(OEIC)や、光集積回路(光IC)等における基本構成要素である。そして、光導波路は、大量の需要があることから鋭意研究される一方、特に高性能で、低コストの製品が求められている。
ポリマー系光導波路の材料として、耐熱性に優れたポリシロキサンの他、アクリル系樹脂等のラジカル重合型樹脂が提案されている。しかし、ポリシロキサン等からなる樹脂被覆層(光導波路)は、屈折率の制御性及び耐クラック性に優れているものの、基材との接着性が劣る。そのため、基材と、ポリシロキサン等からなる樹脂被覆層とを強固に接着する技術が求められている。
例えば、光導波路や光合波器等の光学装置を作製する際に、基板と、フッ素を含むポリイミド系樹脂被膜との接着性を向上させるために、トリブトキシアセチルアセトネートジルコニウム等の有機ジルコニウム化合物の被膜を中間層として介在させる技術が知られている(特許文献1)。
また、アルミニウムのパネル等の被着体の表面に、特定のオルガノチタネート及び特定のエポキシシランを含むプライマーを塗布することによって、被着体に対する室温硬化性シリコーン組成物の接着性を改善する技術が知られている(特許文献2)。
そこで、本発明は、基材と、ポリシロキサン等の樹脂からなる樹脂被覆層との接着性、特に耐久密着性を向上させることのできるプライマー組成物であって、当該プライマー組成物を使用前に長時間保存した場合であっても、優れた耐久密着性を安定的に発揮することのできるプライマー組成物を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は、(A)有機シラン化合物、及び(B)ポリ有機チタン化合物を含有することを特徴とするプライマー組成物を提供する。
ここで、上記(B)ポリ有機チタン化合物の一例として、アルコキシチタンを構成単位として含むものが挙げられる。
本発明のプライマー組成物が、基材とポリシロキサン樹脂層との中間層の材料として用いるものである場合、上記(A)有機シラン化合物の好適な例として、例えば、アルコキシ基及び/又はエポキシ基を有する化合物が挙げられる。該化合物の具体例としては、例えば、アルコキシ基、グリシジル基及びエポキシシクロアルキル基から選ばれる1つ以上の構造を含むものが挙げられる。
本発明のプライマー組成物が、基材とラジカル重合型樹脂層との中間層の材料として用いるものである場合、上記(A)有機シラン化合物の好適な例として、例えば、アルコキシ基及び/又はエチレン性不飽和基を有する化合物が挙げられる。該化合物の具体例としては、例えば、アルコキシ基、ビニル基、メタクリロキシ基、アクリロキシ基から選ばれる1つ以上の構造を含むものが挙げられる。
本発明において、上記(B)ポリ有機チタン化合物の配合量は、好ましくは、上記(A)有機シラン化合物1重量部に対して0.1〜30重量部である。
本発明は、また、上記プライマー組成物の硬化体からなる中間層を介して、基材の上に樹脂被覆層を積層させてなる積層体を提供する。
該積層体の一例としては、光導波路が挙げられる。
また、本発明のプライマー組成物は、調製時から使用時(硬化時)まで長時間に亘り保存した場合であっても、基材と樹脂被覆層との接着性、特に耐久密着性を安定的に発揮することができる。
本発明のプライマー組成物は、光導波路等の各種光学装置を製造する際の基材と樹脂被覆層の中間層の材料として好適に使用することができる。
[(A)有機シラン化合物]
本発明で用いられる(A)有機シラン化合物の種類は、特に限定されないが、例えば、アルコキシ基、エポキシ基、エチレン性不飽和基の少なくとも1種を含有する化合物が挙げられる。
(A)有機シラン化合物の種類は、本発明のプライマー組成物を適用する樹脂被覆層の材料の種類に応じて、以下のものを用いることが好ましい。
(1)樹脂被覆層がポリシロキサン樹脂からなる場合
ポリシロキサン樹脂は、感光性ポリシロキサン樹脂、非感光性ポリシロキサン樹脂を含む。中でも、光導波路の用途に用いる樹脂としては、パターニング性、生産効率等の観点から、感光性ポリシロキサン樹脂が好ましい。この場合、主にシングルモードの光導波路として用いられる。
なお、感光性ポリシロキサン樹脂の一例としては、成分(A):
(A)下記一般式で表される加水分解性シラン化合物の加水分解物及び該加水分解物の縮合物からなる群より選ばれる少なくとも一種以上、
(R1)p(R2)qSi(X)r
(式中、R1はフッ素原子を含有する炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基、R2は炭素数が1〜12である非加水分解性の有機基(ただし、フッ素原子を含有するものを除く。)、Xはアルコキシ基、ハロゲン原子等の加水分解性基、pは0〜3の整数、qは0〜3の整数、rは1〜4の整数である。)
および成分(B)光酸発生剤を含有する放射線硬化型組成物を光硬化させてなる樹脂が挙げられる。
樹脂被覆層がポリシロキサン樹脂からなる場合、本発明のプライマー組成物に用いる(A)有機シラン化合物として、好ましくは、アルコキシ基とエポキシ基の少なくとも1種を含有する化合物が用いられ、より好ましくは、これらの両方を含有する化合物が用いられる。
アルコキシ基を有する(A)成分の好ましい例としては、珪素原子に1〜4個(好ましくは3〜4個)のアルコキシ基が結合したアルコキシシランを構成単位として含む有機シラン化合物等が挙げられる。
エポキシ基を有する(A)成分の好ましい例としては、グリシジル基を有する有機シラン化合物や、エポキシシクロアルキル基を有する有機シラン化合物等が挙げられる。
アルコキシ基及びエポキシ基を含有する(A)成分の具体的化合物名としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、2−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等が挙げられる。
エポキシ基及びアルコキシ基を含有する(A)成分の市販品としては、KBM−403、KBM−402、KBM−303(信越シリコーン社製)等が挙げられる。
本発明で用いられる(A)成分は、少なくとも部分的に加水分解された加水分解縮合物であってもよい。
ラジカル重合型樹脂とは、(メタ)アクリロイル基等のラジカル重合性不飽和基を有する化合物(単量体、オリゴマー等)をラジカル重合して得られる樹脂をいう。
ラジカル重合型樹脂は、感光性ラジカル重合型樹脂、非感光性ラジカル重合型樹脂を含む。中でも、光導波路の用途に用いる樹脂としては、パターニング性、生産効率等の観点から、感光性ラジカル重合型樹脂が好ましい。
ラジカル重合型樹脂の例としては、(メタ)アクリル系樹脂等が挙げられる。(メタ)アクリル系樹脂は、光導波路の要求特性の観点から好ましく用いられる。なお、ラジカル重合型樹脂は、主にマルチモードの光導波路として用いられる。
なお、感光性ラジカル重合型の(メタ)アクリル系樹脂の一例としては、(A)下記一般式:
ここで、成分(A)の構成単位であるカルボキシル基を有する基(X)を含む単量体の例としては、アクリル酸、メタクリル酸等が挙げられる。成分(A)中の該単量体の含有割合は、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。
重合性反応基を有する基(Y)を含む単量体の例としては、グリシジル(メタ)アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
XおよびY以外の有機基(Z)を含む単量体の例としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート等が挙げられる。成分(A)中の該単量体の含有割合は、5〜80重量%、好ましくは20〜70重量%である。
成分(A)を得る方法としては、テトラヒドロフラン等の重合溶媒中で、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル等のラジカル重合開始剤の存在下に、上述の各単量体を混合して重合させる方法等が挙げられる。
成分(B)の例としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート等の分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物や、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート等の分子中に2個以上の環状エーテル類を有する化合物等が挙げられる。成分(B)の配合量は、成分(A)100重量部に対して、好ましくは30〜150重量部、より好ましくは50〜130重量部である。
成分(C)(放射線重合開始剤)の例としては、アセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が挙げられる。成分(C)の配合量は、組成物中において、好ましくは0.1〜10重量%、より好ましくは0.2〜5重量%である。
成分(D)(有機溶剤)の例としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、メチルイソブチルケトン等が挙げられる。成分(D)の配合量は、成分(D)を除く組成物の全体量100重量部に対して、好ましくは10〜500重量部である。
樹脂被覆層がラジカル重合型樹脂からなる場合、本発明のプライマー組成物に用いる(A)有機シラン化合物として、好ましくは、アルコキシ基とエチレン性不飽和基の少なくとも1種を含有する化合物が用いられ、より好ましくは、これらの両方を含有する化合物が用いられる。
エチレン性不飽和基を有する(A)成分の好ましい例としては、ビニル基、メタクリロキシ基、アクリロキシ基等の官能基を有する有機シラン化合物等が挙げられる。なお、メタクリロキシ基を有する(A)成分は、アクリロキシ基を有する(A)成分よりも好ましく用いられる。
エチレン性不飽和基を有する(A)成分の具体的化合物名としては、ビニルトリクロロシラン(市販品の例:KA1003、信越シリコーン社製)等が挙げられる。
アルコキシ基及びエチレン性不飽和基を含有する(A)成分の具体的化合物名としては、ビニルメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
アルコキシ基及びエチレン性不飽和基を含有する(A)成分の市販品としては、KBM−1003、KBE−1003、KBM−503、KBE−503(信越シリコーン社製)等が挙げられる。
本発明で用いられる(A)成分は、少なくとも部分的に加水分解された加水分解縮合物であってもよい。
本発明に用いられる(B)ポリ有機チタン化合物の種類は、特に限定されないが、好ましくは、アルコキシチタンを構成単位として含む化合物である。
ここで、アルコキシチタンの構成単位を与えるための化合物(アルコキシチタン化合物)としては、例えば、一般式(1):
Ti(OR1)(OR2)(OR3)(OR4) (1)
(ただし、式中、R1〜R4は各々独立して炭素数1〜20のアルキル基である。)
で表わされるチタン酸テトラアルキルが挙げられる。
上記一般式(1)で表わされるチタン酸テトラアルキルとしては、例えば、チタン酸テトラ−n−ブチル、チタン酸テトラメチル、チタン酸テトライソプロピル、チタン酸エチルメチルジブチル、チタン酸テトラ(2−エチルヘキシル)、チタン酸テトラエチル、チタン酸テトラ−n−ヘキシル、チタン酸テトラ−n−オクチル等が挙げられる。
アルコキシチタン化合物のホモポリマー(ポリチタン酸エステル)は、例えば、上述のアルコキシチタン化合物を構成単位として2〜20個(特に、4〜10個)含むものである。
ポリチタン酸エステルの具体例として、例えば、ポリジブチルチタネート(テトラ−n−ブチルポリチタネート、テトラ−n−ヘキシルポリチタネート、テトラ−n−オクチルポリチタネート等が挙げられる。
市販品としては、PTI−023(アズマックス社製)等が挙げられる。
ポリオールポリチタン酸としては、例えば、上述の一般式(1)で表わされるアルコキシチタンと、ポリオールを共重合して得られる共重合体が挙げられる。
ここで、ポリオールとしては、例えば、オクチレングリコール、エチレングリコール、1,2−プロパンジオール、1,3−ブタンジオール、1,4−ブタンジオール、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の2官能性ポリオールの他、グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール等の3官能性以上のポリオールが挙げられる。
ポリオールポリチタン酸の具体例として、例えば、オクチレングリコールとチタン酸 (テトラ−n−ブチル)が共重合してなるポリオクチレングリコールチタネートが挙げられる。
ポリオールポリチタン酸の市販品としては、PTI−008(アズマックス社製)等が挙げられる。
アルコキシチタン化合物とアルコキシシラン化合物の共重合体の具体的物質名として、例えば、チタン酸テトラエチルとテトラエトキシシランの反応生成物であるジエトキシシロキサン−エチレンチタネート共重合体が挙げられる。
アルコキシチタン化合物とアルコキシシラン化合物の共重合体の市販品としては、PSITI−019(アズマックス社製)等が挙げられる。
本発明で用いられる(B)ポリ有機チタン化合物の数平均分子量は、好ましくは500〜20,000、より好ましくは1,000〜10,000である。
本発明においては、プライマー組成物の調製から使用時(硬化時)までの保存時間が大きい場合であっても、プライマー組成物中に(B)ポリ有機チタン化合物が含まれているため、モノマーである有機チタン化合物を用いた場合と比べて、優れた接着性、特に耐久密着性を発揮することができる。
該配合量を0.1重量部以上とすることによって、プライマー組成物の調製から使用時(硬化時)までの保存時間が大きい場合であっても、優れた接着性(特に耐久密着性)を発揮することができる。また、該配合量を30重量部以下とすることによって、ポリチタン化合物の基板への密着力を向上させることができる。
本発明のプライマー組成物には、必要に応じて、(C)有機溶媒を添加することができる。(C)有機溶媒を使用することによって、プライマー組成物の粘度が低下して、基材に塗布する際の取り扱いが容易になる。
(C)有機溶媒としては、(A)成分及び(B)成分を溶解するものであれば特に限定されず、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、2−プロパノール、ブタノール、ベンゼン、トルエン、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、γ−ブチロラクトン、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、乳酸エチル等が挙げられる。これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテルが好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルが特に好ましい。
該濃度を0.5重量%以上とすることによって、プライマー組成物の調製から使用時(硬化時)までの保存時間が大きい場合であっても、優れた接着性(特に耐久密着性)を発揮することができる。該濃度を10重量%以下とすることによって、プライマー組成物の貯蔵の安定性を良好にすることができる。
本発明のプライマー組成物は、スピンコート法、スプレーコート法、ディップコート法等の公知の方法によって基材の表面に塗布された後、50〜300℃で乾燥されて硬化体となり、プライマー層が形成される。なお、加熱時間は、加熱温度によっても異なるが、通常、1〜60分程度である。
プライマー層の厚さは、厚すぎるとクラック等の膜荒れを引き起こすため、3,000Å以下であることが望ましい。
本発明のプライマー組成物を塗布する基材としては、シリコンウェハや、酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化タンタル等の被膜を表面に形成したシリコンウェハ等が挙げられる。
なお、基板上には、発光ダイオード、フォトダイオード等の半導体装置や、電極等の金属膜が形成されることがある。
基板の保護や基板の屈折率の制御のために、基板上に酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化タンタル等の被膜が形成されることもある。
図1は、本発明のプライマー組成物からなるプライマー層を含む光導波路の一例を模式的に示す断面図である。
図1中、光導波路1は、シリコンウェハの如き基材2と、本発明のプライマー組成物からなるプライマー層2と、下部クラッド層4と、上部クラッド層5と、2つのクラッド層4,5で保護されたコア部6(光導波路の本体)とからなる。
[A.樹脂被覆層がポリシロキサン樹脂である場合]
実施例1、2及び比較例1〜8
[1.プライマー組成物の調製]
(1)プライマーAの調製
ポリ有機チタン化合物であるテトラ−n−ブチルポリチタネート(ポリジブチルチタネート)(商品名「PTI−023」、アズマックス社製)0.15gと、有機シラン化合物である3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(KBM−403、信越シリコーン社製)0.47gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーAとした。
(2)プライマーBの調製
ポリ有機チタン化合物であるポリジブチルチタネート(商品名「PTI−023」、アズマックス社製)0.15gと、有機シラン化合物である2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン0.47gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーBとした。
(3)プライマーCの調製
有機チタン化合物(モノマー)であるチタン酸テトラ−n−ブチル(テトラブチルチタネート)0.15gと、有機シラン化合物である3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「KBM−403」、信越シリコーン社製)0.47gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーCとした。
ポリ有機チタン化合物であるポリジブチルチタネート(商品名「PTI−023」、アズマックス社製)0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーDとした。
(5)プライマーEの調製
有機シラン化合物である3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解し、プライマーEとした。
(6)プライマーFの調製
有機ジルコニウム化合物であるテトラブトキシジルコニウム0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーFとした。
(7)プライマーGの調製
有機ジルコニウム化合物であるトリアセトキシアセチルアセトネートジルコニウム0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーGとした。
有機ジルコニウム化合物であるテトラブトキシジルコニウム0.15gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、0.75重量%のテトラブトキシジルコニウムを含む溶液を調製した。一方、有機シラン化合物である3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.47gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、2.25重量%の3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン溶液を含む溶液を調製した。これら2つの溶液を、使用する直前に混ぜ合わせて1分間良く撹拌し、プライマーHとした。
(9)プライマーIの調製
有機ジルコニウム化合物であるトリアセトキシアセチルアセトネートジルコニウム0.15gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、0.75重量%のトリアセトキシアセチルアセトネートジルコニウムを含む溶液を調製した。一方、有機シラン化合物である3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン0.47gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、2.25重量%の3−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを含む溶液を調製した。これら2つ溶液を、使用する直前に混ぜ合わせて1分間良く撹拌し、プライマーIとした。
(1)「ポリシロキサン溶液−1」の調製
撹拌機付の容器内に、フェニルトリメトキシシラン(103.65g、0.52モル)と、メチルトリメトキシシラン(136.99g、1.00モル)と、ジメチルジメトキシシラン(24.32g、0.20モル)と、電気伝導率が8×10−5S・cm−1のイオン交換水(90.0g、5.0モル)と、シュウ酸(0.15g、1.66×103モル)とを収容した後、60℃、6時間の条件で加熱撹拌することにより、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン及びジメチルジメトキシシランの加水分解を行った。
次いで、容器内にプロピレングリコールモノメチルエーテルを加えた後、エバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを除去した。そして、最終的に、固形分の含有率が55重量%である、ポリシロキサンを含有するプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液を得た。得られたポリシロキサン溶液100重量部(固形分換算)に対し、光酸発生剤(商品名「NAT−103」、みどり化学社製)1重量部、消泡剤(商品名「SH190」、東レ・ダウコーニング・シリコーン社製)0.01重量部、酸拡散制御剤(トリオクチルアミン)0.01重量部を各々添加し、均一に混合し、0.5μmフィルターで濾過することによって、光学装置のクラッド用材料である「ポリシロキサン溶液−1」を得た。
撹拌機付の容器内に、フェニルトリメトキシシラン(76.9g、0.39モル)と、メチルトリメトキシシラン(101.7g、0.75モル)と、電気伝導率が8×10−5S・cm−1のイオン交換水(45.9g、2.55モル)と、シュウ酸(0.1g、1.1×103モル)とを収容した後、60℃、6時間の条件で加熱撹拌することにより、フェニルトリメトキシシラン及びメチルトリメトキシシランの加水分解を行った。
次いで、容器内にプロピレングリコールモノメチルエーテルを加えた後、エバポレーターを用いて、加水分解により副生したメタノールを除去した。そして、最終的に、固形分の含有率が55重量%である、ポリシロキサンを含有するプロピレングリコールモノメチルエーテル溶液を得た。得られたポリシロキサン溶液100重量部(固形分換算)に対し、光酸発生剤(商品名「NAT−103」、みどり化学社製)1重量部、消泡剤(商品名「SH190」、東レ・ダウコーニング・シリコーン社製)0.01重量部、酸拡散制御剤(トリオクチルアミン)0.01重量部を各々添加し、均一に混合し、0.5μmフィルターで濾過することによって、光学装置のコア用材料である「ポリシロキサン溶液−2」を得た。
(1)耐久密着性
耐久密着性を冷熱衝撃試験により評価した。具体的には、熱酸化膜シリコンウェハ(0.5mm厚)上に、プライマー組成物をスピンコート(2,000rpm×30秒)で厚み2,000Åとなるように塗布した後、200℃のホットプレートで5分間乾燥させ、硬化体であるプライマー層を形成した。
このプライマー層の上に、前記「ポリシロキサン溶液−1」をスピンコートにより塗布し、100℃で10分間乾燥させた後、波長365nm、照度35mW/cm2の紫外線を露光機(商品名「フォトアライナー」、キャノン社製)にて28秒間照射した。さらに、200℃にて1時間加熱して、厚み15μmの下部クラッド層を形成した。
次いで、この下部クラッド層の上に、前記「ポリシロキサン溶液−2」をスピンコータで塗布し、100℃で10分間乾燥させた。その後、幅9μmの光導波路パターンを刻んだフォトマスクを用いて、波長365nm、照度35mW/cm2の紫外線を露光機にて7秒間照射することによって、露光を行った。そして、露光後の基板を100℃にて1分間加熱した後、5重量%のテトラメチルアンモニウムハイドロキサイド(TMAH)水溶液からなる現像液中に浸漬して、未露光部を溶解させ、次いで水洗浄した。その後、250℃にて1時間加熱して、厚さ9μmのコア部を形成した。
さらに、コア部および下部クラッド層の上面に、前記「ポリシロキサン溶液−1」をスピンコータで塗布し、100℃で10分間乾燥させた。その後、波長365nm、照度35mW/cm2の紫外線を28秒間照射した。さらに、250℃にて1時間加熱して、厚み9μmの上部クラッド層を形成した。
こうして、樹脂被覆層(光導波路)を含む積層体が完成した。
試験終了後、ハーフカット部分の剥離の有無を顕微鏡で観察した。剥離した場合を「×」、剥離が見られなかった場合を「○」と判定した。評価結果を表1に示す。
プライマー組成物の調製後、0日、7日、14日経過時の各々の時点で、前記「(1)耐久密着性」の試験と同様にして積層体を調製し、前記「(1)耐久密着性」の試験と同様の条件で冷熱衝撃試験を行なうことによって、保存安定性を評価した。剥離した場合を「×」、剥離が見られなかった場合を「○」と判定した。評価結果を表2に示す。
前記「(1)耐久密着性」の試験と同様にして熱酸化膜シリコンウェハ上に本発明のプライマー層を形成した後、その上面に感光性ポリシロキサン樹脂を用いて直線光導波路を作製し、前述と同様の冷熱衝撃試験を行った。試験終了後、光学損失の測定をカットバック法にて行った。具体的には、得られた光導波路の一端から、波長1310nm、及び1550nmの光を入射した場合における光導波路の他端から出射する光量を、光量計のパワーメータにより測定した。光導波路における光学損失は、光導波路をダイシングソーを用いてカットしながら、各長さにおける損失値を測定することで算出した。評価結果を表3に示す。
実施例3、4及び比較例9〜16
[1.プライマー組成物の調製]
(1)プライマーJの調製
ポリ有機チタン化合物であるテトラ−n−ブチルポリチタネート(ポリジブチルチタネート)(商品名「PTI−023」、アズマックス社製)0.15gと、有機シラン化合物である3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「KBM−503」、信越シリコーン社製)0.47gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーJとした。
(2)プライマーKの調製
ポリ有機チタン化合物であるポリジブチルチタネート(商品名「PTI−023」、アズマックス社製)0.15gと、有機シラン化合物である3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン(商品名「KBE503」、信越シリコーン社製)0.47gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーKとした。
(3)プライマーLの調製
有機チタン化合物(モノマー)であるチタン酸テトラ−n−ブチル(テトラブチルチタネート)0.15gと、有機シラン化合物である3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「KBM−503」、信越シリコーン社製)0.47gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーLとした。
(4)プライマーMの調製
ポリ有機チタン化合物であるポリジブチルチタネート(商品名「PTI−023」、アズマックス社製)0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーMとした。
有機シラン化合物である3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(商品名「KBM−503」、信越シリコーン社製)0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解し、プライマーNとした。
(6)プライマーPの調製
有機ジルコニウム化合物であるテトラブトキシジルコニウム0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーPとした。
(7)プライマーQの調製
有機ジルコニウム化合物であるトリアセトキシアセチルアセトネートジルコニウム0.62gを、20gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解した溶液を調製し、プライマーQとした
(8)プライマーRの調製
有機ジルコニウム化合物であるテトラブトキシジルコニウム0.15gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、0.75重量%のテトラブトキシジルコニウムを含む溶液を調製した。一方、有機シラン化合物である3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン0.47gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、2.25重量%の3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン溶液を含む溶液を調製した。これら2つの溶液を、使用する直前に混ぜ合わせて1分間良く撹拌し、プライマーRとした
(9)プライマーSの調製
有機ジルコニウム化合物であるトリアセトキシアセチルアセトネートジルコニウム0.15gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、0.75重量%のトリアセトキシアセチルアセトネートジルコニウムを含む溶液を調製した。一方、有機シラン化合物である3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン0.47gを、10gのプロピレングリコールモノメチルエーテルに溶解して、2.25重量%の3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランを含む溶液を調製した。これら2つ溶液を、使用する直前に混ぜ合わせて1分間良く撹拌し、プライマーSとした
(1)耐久密着性
耐久密着性を冷熱衝撃試験により評価した。具体的には、シリコンウェハ(0.5mm厚)上に、プライマー組成物をスピンコート(2,000rpm×30秒)で厚み2,000Åとなるように塗布した後、200℃のホットプレートで5分間乾燥させ、硬化体であるプライマー層を形成させた。このプライマー層の上に、硬化膜厚が20μmとなるようにスピンコートにて感光性樹脂オプスターPJ3010(商品名;JSR社製)を塗布し、100℃で5分間乾燥させた後、マスクアライナーにて照度30mW/cm2の紫外線を30秒空気雰囲気下で紫外線照射した。その後、150℃で1時間加熱することで、アクリル系樹脂からなる下部クラッド層を形成した。
その後、下部クラッド層の上面に、硬化膜厚が50μmとなるようにスピンコートにて感光性樹脂オプスターPJ3009(商品名;JSR社製)を塗布した後、コア部の幅が50μmのパターンを有するマスクを通して、紫外線を照射した。次いで、1%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液からなる現像液によって未照射部を除去し、その後、150℃で1時間加熱することで、アクリル系樹脂からなるコア部を形成した。コア部および下部クラッド層の上面に、コア部上面からの硬化膜厚が50μmとなるようにスピンコートにて感光性樹脂オプスターPJ3010(商品名;JSR社製)を塗布し、マスクアライナーにて照度30mW/cm2の紫外線を30秒空気雰囲気下で紫外線照射し、150℃で1時間の加熱により上部クラッド層を形成し、樹脂被覆層(光導波路)を含む積層体を完成させた。
この積層体を、樹脂被覆層の側からダイシングにより3×3mmの正方形にハーフカット(すなわち、基板を完全には切断せず、基板に0.1mmの深さの切り込みが入るに留めること)し、−40℃/30分(最低温度の保持(ホールド)時間)〜+85℃/30分(最高温度の保持(ホールド)時間)(ただし、低温側から高温側への昇温時間、及び高温側から低温側への降温時間は、各々2分である。)で、かつ、低温・高温各1回を1サイクルとした条件下で、500サイクルの冷熱試験を行った。
試験終了後、ハーフカット部分の剥離の有無を顕微鏡で観察した。剥離した場合を「×」、剥離が見られなかった場合を「○」と判定した。評価結果を表4に示す。
(2)保存安定性
プライマー組成物の調製後、0日、7日、14日経過時の各々の時点で、前記「(1)耐久密着性」の試験と同様にして積層体を調製し、前記「(1)耐久密着性」の試験と同様の条件で冷熱衝撃試験を行なうことによって、保存安定性を評価した。剥離した場合を「×」、剥離が見られなかった場合を「○」と判定した。評価結果を表5に示す。
2 基材
3 プライマー層
4 下部クラッド層
5 上部クラッド層
6 コア部
Claims (11)
- (A)有機シラン化合物、及び(B)ポリ有機チタン化合物を含有することを特徴とするプライマー組成物。
- 上記(B)ポリ有機チタン化合物が、アルコキシチタンを構成単位として含む請求項1に記載のプライマー組成物。
- 上記(A)有機シラン化合物が、アルコキシ基及び/又はエポキシ基を有する請求項1又は2に記載のプライマー組成物。
- 上記(A)有機シラン化合物が、アルコキシシラン、グリシジル基及びエポキシシクロアルキル基から選ばれる1つ以上の構造を含む請求項3に記載のプライマー組成物。
- 上記プライマー組成物が、基材とポリシロキサン樹脂層との中間層の材料として用いるためのものである請求項3又は4に記載のプライマー組成物。
- 上記(A)有機シラン化合物が、アルコキシ基及び/又はエチレン性不飽和基を有する請求項1又は2に記載のプライマー組成物。
- 上記(A)有機シラン化合物が、アルコキシ基、ビニル基、メタクリロキシ基、及びアクリロキシ基から選ばれる1つ以上の構造を含む請求項6に記載のプライマー組成物。
- 上記プライマー組成物が、基材とラジカル重合型樹脂層との中間層の材料として用いるためのものである請求項6又は7に記載のプライマー組成物。
- 上記(B)ポリ有機チタン化合物の配合量が、上記(A)有機シラン化合物1重量部に対して0.1〜30重量部である請求項1〜8のいずれか1項に記載のプライマー組成物。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載のプライマー組成物の硬化体からなる中間層を介して、基材の上に樹脂被覆層を積層させてなることを特徴とする積層体。
- 上記積層体が光導波路である請求項10に記載の積層体。
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