JP2005093693A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 光源からの光で反射型マスクを照明する照明光学系と、該反射型マスクのパターンを基板に投影する投影光学系とを有する露光装置において、
   前記照明光学系は、前記反射型マスクの照明領域を規定する視野絞りと、該視野絞りの開口からの光を前記反射型マスクに導く結像系とを有し、
   前記結像系は、共軸光学系であり、
   前記結像系の前記反射型マスク側の主光線は、該共軸に対して傾斜角を持ち、
   該傾斜角は、前記投影光学系の前記反射型マスク側の主光線と前記反射型マスク表面の法線とがなす角と等しいことを特徴とする露光装置。
2. 前記照明光学系は、前記結像系からの光を反射して前記反射型マスクへと導く平面ミラーを有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
3. 前記結像系の前記視野絞り側の主光線は、前記共軸と平行であることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
4. 前記照明光学系は、前記結像系の瞳面近傍に配置された開口絞りを有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
5. 前記照明光学系は、前記開口絞りの開口の大きさ又は形状を変更する機構を有することを特徴とする請求項４記載の露光装置。
6. 前記視野絞りは、円弧形状の開口を持つ円弧スリットを有し、
   前記円弧の曲率中心は、前記共軸上又はその近傍にあることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
7. 前記照明光学系は、前記光源からの光で複数の２次光源を形成する反射型インテグレータと、該複数の２次光源からの光束を前記視野絞りに重ねて円弧形状の照明領域を形成するミラー系とを有し、
   該円弧の曲率中心は、前記共軸近傍にあることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
8. 前記結像系は、４枚のミラーを有し、
   前記４枚のミラーのうち前記視野絞りから１枚目のミラーと４枚目のミラーの反射面は、凹面であることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
9. 前記４枚のミラーのうち前記視野絞りから３枚目のミラーの反射面は、凸面であることを特徴とする請求項８記載の露光装置。
10. 前記４枚のミラーのうち前記視野絞りから２枚目のミラーの反射面は、凹面であることを特徴とする請求項９記載の露光装置。
11. 前記結像系は、その瞳面の近傍に反射面を持つミラーを有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
12. 前記光源からの光は、２０ｎｍ乃至５ｎｍの波長の光であることを特徴とする請求項１記載の露光装置。
13. 請求項１乃至１２のいずれか一項記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、該露光された基板を現像する工程とを有することを特徴とするデバイス製造方法。