JP2005079507A5 - - Google Patents

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  1. 振動板と下部電極と圧電体膜と上部電極とがこの順に積層された圧電体素子であって、
    前記下部電極、前記上部電極及び前記圧電体膜がペロブスカイト型酸化物からなり、前記振動板が金属酸化物からなり、
    前記振動板と前記下部電極との間、前記下部電極と前記圧電体膜との間及び前記圧電体膜と前記上部電極との間に接合界面が実質的に存在しないことを特徴とする圧電体素子。
  2. 振動板と下部電極と圧電体膜と上部電極とがこの順に積層された圧電体素子であって、
    前記下部電極、前記上部電極及び前記圧電体膜がペロブスカイト型酸化物からなり、前記振動板が金属酸化物からなり、
    前記圧電体素子が、前記振動板と前記下部電極との間に前記振動板を構成する物質と前記下部電極を構成する物質とが混在する領域と、前記下部電極と前記圧電体膜との間に前記下部電極を構成する物質と前記圧電体膜を構成する物質とが混在する領域と、前記圧電体膜と前記上部電極との間に前記圧電体膜を構成する物質と前記上部電極を構成する物質とが混在する領域と、を有することを特徴とする圧電体素子。
  3. 前記振動板と前記下部電極との間、前記下部電極と前記圧電体膜との間及び前記圧電体膜と前記上部電極との間の接合界面が実質的に存在しないことを特徴とする請求項２に記載の圧電体素子。
  4. 前記振動板がペロブスカイト型酸化物からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電体素子。
  5. 前記領域はいずれもペロブスカイト型結晶構造をもつことを特徴とする請求項２〜４のいずれかに記載の圧電体素子。
  6. 前記下部電極及び前記上部電極がそれぞれ独立してＭ 1 ＲｕＯ 3 （Ｍ 1 はＳｒ、Ｂａ、およびＣａからなる群から選ばれた少なくとも１種を表す。）、またはＳｒ (1-x) Ｍ 2 (x) ＣｏＯ 3 （Ｍ 2 はＬａ、Ｐｒ、ＳｍおよびＮｄからなる群から選ばれた少なくとも１種を表し、ｘは０≦ｘ＜１である）よりなり、前記圧電体膜がＰｂ (1-x) Ｌａ x （Ｚｒ y Ｔｉ 1-y ）Ｏ 3 （式中、０≦ｘ＜１、０≦ｙ≦１）よりなることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の圧電体素子。
  7. インクの吐出口に連通する圧力室と、前記圧力室に前記吐出口からインクを吐出するための容積変化を生じさせるための圧電体素子と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
    前記圧電体素子として、請求項１〜６のいずれかに記載の圧電体素子が、前記圧力室に対応して配置されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
  8. 振動板と下部電極と圧電体膜と上部電極とがこの順に積層された圧電体素子の製造方法において、
    基板の上に前記振動板を形成するための振動板材料を設ける工程と、
    前記振動板材料を乾燥する工程と、
    前記振動板材料の上に前記下部電極を形成するための電極材料を設ける工程と、
    前記電極材料を乾燥する工程と、
    前記電極材料の上に前記圧電体膜を形成するための圧電体材料を設ける工程と、
    前記圧電体材料を乾燥する工程と、
    前記振動板材料と前記電極材料と前記圧電体材料とを焼成する工程と、
    をこの順に含むことを特徴とする圧電体素子の製造方法。
  9. 前記振動板材料を乾燥する工程と前記電極材料を設ける工程との間と、前記電極材料を乾燥する工程と前記圧電体材料を設ける工程との間には、焼成を行わないことを特徴とする請求項８に記載の圧電体素子の製造方法。
  10. 前記圧電体材料を乾燥する工程と前記焼成する工程との間に、前記圧電体材料の上に前記上部電極を形成するための電極材料を設ける工程と前記電極材料を乾燥する工程とを、更に含むことを特徴とする請求項８または９に記載の圧電体素子の製造方法。
  11. 振動板と下部電極と圧電体膜と上部電極とがこの順に積層された圧電体素子であって、
    前記振動板と前記下部電極との間、前記下部電極と前記圧電体膜との間及び前記圧電体膜と前記上部電極との間に接合界面が実質的に存在せず、
    前記圧電体素子が、前記振動板と前記下部電極との間に前記振動板を構成する物質と前記下部電極を構成する物質とが混在する領域と、前記下部電極と前記圧電体膜との間に前記下部電極を構成する物質と前記圧電体膜を構成する物質とが混在する領域と、前記圧電体膜と前記上部電極との間に前記圧電体膜を構成する物質と前記上部電極を構成する物質とが混在する領域と、を有することを特徴とする圧電体素子。
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