JP2004517484A - 極紫外線リソグラフィー用の自己浄化光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
発明の背景
この発明は、概して、リソグラフィック分野特に極紫外線リソグラフィーで用いられる光学装置の表面または“キャッピング”層に関する。多層ミラーのような光学装置上に配置された表面または“キャッピング”層は、エネルギー放射の存在中、O2 、H2 及びH2 Oのような分子種と相俟って、光学装置の表面が、炭素汚染を免れる状態に維持されるように作用する。しかも、キャッピング層は、酸化または酸化分解から表面を保護するようになっている。
【0002】
密度及び分解能の高い形状、すなわち小型の回路に対して、所望のパターンを発生するのに放射の波長をかつてないほど短い波長にする必要がある。極紫外線(EUV)放射すなわち3〜15nmの波長範囲内の放射は従来の透過光学装置により著しく弱められているので、光を透過するよりも反射する光学装置を用いるリソグラフィック投影方法が必要となっている。現在、極紫外線リソグラフィー(EUVL)に用いられる反射光学装置及びマスクは、約40Åのシリコンより成る最上層を有するMo/Si多層構造体に基づいている。
【0003】
炭化水素分子及び水蒸気は、EUVLに用いるリソグラフィック装置(ステッパ)の至る所に存在する。これら炭化水素分子及び水蒸気は、ステッパの背景雰囲気内に存在し、ステッパ内部の雰囲気を所望の低さの圧力に維持する真空ポンプで用いる油や、フォトレジスト材料及び配線のようなステッパの雰囲気内のその他の有機材料から生じる可能性がある。水は、表面全体に吸着し、厳密な真空ベーキング技術を用いたとしても除去するのに極めて困難である。EUV放射は、表面上に吸着された水分子あるいは表面付近の水分子の分解を生じさせるのに充分なエネルギーを有するので、光学装置の表面を侵食、劣化または汚染するおそれのある水素及び反応性酸素種を発生させる。EUVにより生じる有機材料の分解によりMo/Si多層光学装置及びマスクの表面が炭素で汚染させるおそれがある。これらの炭素膜は、被覆された素子の特性を除々に劣化させ、例えば、光学装置の表面の反射率を減少させる。この現象を図1の曲線100に示し、図中、相対反射率(R/R0 )は、EUV放射束中、炭化水素蒸気(ネオプレン)にさらされたMo/Si多層ミラーの露出時間に対してプロットしてある。3時間露出した後、反射率に、許容しえない7%の損失が生じることが分かる。
【0004】
炭素汚染物を除去するのに用いることができる方法は、H2 O及びO2 のように酸素を含有する分子を使用し、これら分子は、エネルギー放射の存在中、反応性化学種を形成し、これら反応性化学種は炭素汚染物と反応して、ポンプで排気できるCO及びCO2 のような揮発性炭素成分を形成することができる。酸化処理は、炭素汚染物を除去するように機能するが、炭素膜がMo/Si多層光学装置の表面から除去された後、反応性酸素種が、下側の終端のシリコン表面層を酸化し、シリコン酸化物(一般にSiO2 )を形成するおそれがある。酸素は、EUVを著しく吸収し、従って、図1に示すように、Siで終端するMo/Si光学装置の酸化は、光学装置の反射能力を著しく劣化させる。
【0005】
環境汚染との相互作用に関連した光学素子の特性の劣化が確認され、種々の解決策が提案されている。一例として、米国特許第5814156号明細書、米国特許第5312519号明細書及びRev.Sci.Instrum.63,1428〜1431,1992の文献に開示されたように、表面の汚染物特に炭素汚染物を除去するのに気体プラズマが有効であると分かった。しかし、反応の範囲を正確に制御できないので、上述したように、光学装置の素子と不所望かつ有害な反応が生じるおそれがある。
【0006】
米国特許第5958605号明細書は、Mo/Si多層ミラー構造体の表面に被着し、酸化を防止する保護膜(または“キャッピング”)層を開示している。多層光学装置の反射率を保護膜層により劣化させないため、保護膜層と、この下側に直接に配置された反射層との双方の厚さを、これら層から反射されたビームが同位相となるように調整し、構造的に追加する必要がある。このことは、保護膜層の厚さと、保護膜層の下側の層の厚さと、これら双方の層の厚さとを最適化するのに複雑な一連の計算が必要となるおそれがある。更に、この既知の保護膜層は、多層光学装置を炭素汚染から防ぐように作用しない。
【0007】
EUVリソグラフィーの素子に必要な条件は、例えば炭素膜の形成により多層光学装置の反射率を減少させないようにすることである。酸化により炭素を除去する現在の方法はEUVリソグラフィーの環境で適用するのに困難であり、しばしば光学素子に害を及ぼす。上述したような酸化障壁は、反射率を考慮するため、使用するのに困難である。この問題を解決する最良の手段は、Mo/Si多層ミラー構造体における終端のシリコン層の上部に堆積でき、ほぼすべての入射EUV放射を透過でき、Mo/Si多層ミラー表面の炭素汚染を防止または最小限にできる酸化抵抗層を形成することである。
【0008】
発明の概要
この発明は、概して、金属表面または“キャッピング”層が、O2 、H2 、H2 O及びこれらの組み合わせのような気体反応物と相俟って、リソグラフィー分野特に極紫外線リソグラフィー(EUVL)に用いられる多層反射光学装置の表面から炭素堆積物を連続的に浄化する自己浄化光学装置に関するものである。気体種を光学装置の環境での外来物質とすることができ、あるいは故意に追加することができる。キャッピング層に用いられる金属は、その下側の多層ミラー構造体にほぼすべての(90%より多くの)入射EUV放射を透過させる能力を有し、特にEUV放射の存在中、耐酸化性を有し、気体反応物の触媒解離を行うようにする必要がある。この発明は更に、自己浄化光学装置を製造する方法に関する。
【0009】
現在、EUVLに用いられる反射光学装置及びマスクは、約40Åのシリコンより成る最上層を有するMo/Si多層構造体に基づいている。この発明では、薄い(約5〜400Åで好ましくは5〜10Å)金属キャッピング層が終端のシリコン層の上面上に堆積されている。場合によって、終端のシリコン層とキャッピング層との間に結合層を介在して、キャッピング層の付着性を高めるのが望ましい。しかし、入射放射の透過率に実質的に影響を及ぼさないように、この結合層を薄く(約1〜3Åに)する必要がある。被覆された多層光学装置の環境に存在する低圧力(約10−8〜10−4トル(約1.3×10−6〜1.3×10−2Pa))の1つ以上の上述した反応性気体種は、EUVにより照射され、反応性原子種を発生させ、次に、光学装置の表面上に堆積された炭素汚染物と反応し、いかなる炭素汚染物をも除去する。
【0010】
EUV放射によりO2 及びH2 Oを分解することにより発生させることができる酸化種に加えて、炭素を例えばCH4 として表面から除去するのに水素原子も用いることができる。このように、キャッピング層を有する金属は、水素分子の解離及び結合に対して触媒表面を形成して、水素原子を形成するのが望ましい。キャッピング層に適した金属は、Ru、Rh、Pd、Ir、Pt、Au、及びこれらの組み合わせを含む。
【0011】
発明の詳細な説明
この発明は、多層ミラー構造体特にMo/Si多層ミラーに対する金属表面または“キャッピング”層を、気体反応物及び入射放射特に極紫外線(EUV)放射と組み合わせて用いて、表面から炭素汚染物を連続的に浄化することに関する。
【0012】
図2に、この発明の一例として、EUV分野に用いられる代表的な多層反射ミラー構造体200を示す。一実施例では、Mo210及びSi220より成る複数の交互層が、基板250上に堆積された多層膜230を有する。この特定の構造は例示目的のみに用いられ、非断続的な積層体や、他の材料または2つ以上の材料を有する多層積層体のようなその他の構造も可能である。金属表面またはキャッピング層260は、5〜400Åで好ましくは5〜10Åの代表的な厚さを有し、終端のSi層225上に堆積されている。キャッピング層260は、酸化抵抗性を示すだけでなく、EUV放射の存在中、炭素堆積物と反応すると共に炭素堆積物を気体化できる種を発生するように気体反応物の解離を結合及び触媒することもできる金属または金属合金より成る。しかも、キャッピング層260は、入射EUV放射すなわち、3〜15nmの波長範囲内で特に約13.4nmの放射の少なくとも90%で好ましくは98%よりも高い透過能力を有する。一例として、10ÅのRu膜は13.4nmの波長の入射放射の少なくとも約98.5%を透過する。酸化抵抗性を示し、ほぼすべての入射EUV放射を透過できることが知られている金属はRh、Ir、Pt、Pd、Ru、Au及びこれらの組み合わせを含む。
【0013】
EUV放射が所有するように約6eV以上のエネルギーを有する放射は、二次電子をキャッピング層から放出させることができる。これら二次電子は、雰囲気中に存在する酸素を含有する気体(例えばO2 、H2 または空気)を解離して、反応性酸素種を発生させることができる。図1の曲線120で示すように、反応性酸素種は、金属キャッピング層の表面上に存在するいかなる炭素膜とも反応することができる。気体酸化反応物は、雰囲気中の外来的なものとすることができ、あるいは、低分圧(約10−8〜10−4トル(約1.3×10−6〜1.3×10−2Pa))のこれら酸素を含有する気体を多層ミラーの環境中に入れることにより形成することができる。
【0014】
図1を参照するに、前述したように、曲線100は、EUV放射(約0.3mW/mm2 )の存在中、炭化水素蒸気に約3時間当てることによりMo/Si多層ミラーの反射率を7%程度減少させるおそれがあることを示す。曲線120は、約5×10−4トル(約6.7×10−2Pa)の酸化反応物(O2 )及びEUV放射の存在中、炭化水素(HC=ネオプレン)蒸気に当てられたMo/Si多層ミラーの反射率の影響を示す。曲線100に示す反射率の著しい変化とは異なり、曲線120は反射率の変化を示さず、このことは、多層ミラーの表面上に堆積された炭化水素材料の分解を誘起する反射により生じるいかなる炭素をも直ちに酸化除去することを示す。その後、酸化反応物を除去し(3〜5時間)、炭素堆積物がミラーの表面上に形成し始めると、反射率は低下した。酸化反応物を再び導入したら(>5時間)、反射率は増大し始めた。このことは、堆積された炭素が酸化除去されたことを表わす。
【0015】
入射EUV放射の約90%よりも高い透過率に加えて、この発明の金属キャッピング層は、炭素と反応する酸化反応物から反応性酸素種を形成するのを促進でき、更に、これら反応性酸素種に関連する攻撃的な酸化状態に対して抵抗性を示す。図3a及び3bには、Mo/Si多層構造体のMo表面を被覆した20Å厚のRu金属層に約5×10−7トルの水蒸気を当てる前(図3a)と、それを4.5時間当てた後(図3b)とのスパッタオージェ深さの分布解析を示す。EUV放射による露光を擬似するため、露出中、5μA/cm2 の電流密度の2kVの電子の電束で、Mo表面を被覆したRu層を照射した。EUV放射はMo/Siミラー及びキャッピング層と相互反応して、反応性気体種の解離を行う二次電子を発生するので、EUV放射により生じる反応状態を容易かつ正確に励起するのに電束を用いることができる。Ru層自体は、H2 O分子を反応性酸素原子に解離するのを促進することもできる。
【0016】
図3a及び3bに示すオージェスパッタ分布は実質的に同一であり、これらの図は、Ruキャッピング層と、その下側に配置された多層ミラーの終端のMo表面とが露出状態により酸化されなかったことを示す。更に、多層ミラーのEUV反射率(R)は実質的に変化せず、露出前の63.0%の値は露出後、62.8%の値となり、この差は測定誤差内にあった。
【0017】
キャッピング層に対するその他の好ましい金属はPdである。上述したように、環境内に存在する分子のEUV放射による励起分解により水素及び反応性種を形成することができる。Pd金属が水素分子を吸収し、吸収された水素分子の解離を触媒して、化学的に活性化した水素原子を形成することは当該技術で周知である。前述した反応性酸素種の場合のように、水素原子は、表面上の炭素堆積物と反応して、メタン(CH4 )のような揮発性種を形成し、これにより、炭素堆積物を除去することができる。
【0018】
金属キャッピング層を、マグネトロンスパッタまたは電子ビーム蒸着のような当該技術で既知のいかなる手段によっても被着させることができる。ある場合、特に、キャッピング層の厚さが約100Åよりも大きい場合、薄いCr、MoまたはTi金属層を多層ミラーの上面と金属キャッピング層との間に介在させるのが望ましい。このCr、MoまたはTi金属結合層を約1〜3Å厚とすることができ、キャッピング層の接着性を改善させることができる。
【0019】
要約すれば、光学装置の表面特に多層ミラーの表面のような表面を、ほぼすべての放射特にEUV放射を透過すると共に酸化抵抗性を示す金属キャッピング層で被覆し、入射放射と、外来的に存在する、または故意に追加することができるO2 、H2 またはH2 Oのような少量の気体反応物と組み合わせることにより、酸化抵抗性を示すだけでなく、炭素堆積物を断続的に浄化される表面を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】Mo/Siミラーの相対反射率がいくつかの条件に対して変化することを示す。
【図2】多層ミラーの構造を線図的に示す。
【図3a】Ruで被覆されたMo/Si多層ミラーにH2 Oを当てる前のスパッタオージェ深さの分布解析を示す。
【図3b】Ruで被覆されたMo/Si多層ミラーにH2 Oを当てた後のスパッタオージェ深さの分布解析を示す。
Claims (15)
- 光学装置の表面上に堆積された金属と、
入射放射と
少なくとも1つの気体反応物と
を有する自己浄化反射光学装置であって、前記金属が前記光学装置の表面を酸化から保護し、前記入射放射のほぼすべてが下側の前記光学装置の表面を透過するようになっている自己浄化反射光学装置。 - 請求項1に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記入射放射を極紫外線放射とする自己浄化反射光学装置。
- 請求項1または2に記載の自己浄化反射光学装置であって、この自己浄化反射光学装置が多層ミラーを有する自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、この自己浄化反射光学装置が複数の層を有し、これら層の各々がモリブデンの第1層とシリコンの第2層とを有する自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記金属が、入射極紫外線放射の98%よりも多くを透過するようになっている自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記金属をルテニウムとする自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記金属が、リジウム、白金、イリジウム、パラジウム、金及びこれらの組み合わせより成る群から選択される自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記金属が約5Å〜約400Åの範囲の厚さを有する自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記気体反応物が、酸素、水蒸気、空気、水素及びこれらの組み合わせにより成る群から選択される自己浄化反射光学装置。
- 請求項9に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記気体反応物の濃度を少なくとも約10−8トル(約1.3×10−6Pa)とする自己浄化反射光学装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の自己浄化反射光学装置であって、この自己浄化反射光学装置が更に、前記光学装置とキャッピング層との間に介在された金属層を有する自己浄化反射光学装置。
- 請求項11に記載の自己浄化反射光学装置であって、前記金属層がクロム、モリブデンまたはチタンより成る自己浄化反射光学装置。
- 極紫外線分野に用いるように設計された反射光学装置から炭素汚染物を浄化する浄化方法であって、この浄化方法が、
反射光学装置を形成する工程と、
酸化を防止し、入射極紫外線放射の約90%よりも多くを透過できる金属キャッピング層で前記反射光学装置の表面を被覆する工程と、
反応性気体を発生する工程と、
被覆された反射光学装置と、前記反応性気体とを極紫外線放射にさらす工程とを有する浄化方法。 - 請求項13に記載の浄化方法であって、前記被覆する工程をマグネトロンスパッタまたは電子ビーム蒸着法により行う浄化方法。
- 請求項13に記載の浄化方法であって、前記発生する工程を、外来的に存在する気体により行う浄化方法。
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