JP2008293032A - 不動態化保護膜二重層 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 EUV反射性Mo/Si多層膜のための新規なキャッピング多層構造は、多層構造を環境から保護する上面層と、上面相と下方構造との間において拡散バリアとして作用する底面層と、からなる。一実施態様では、Ruの第1層をB4Cの第2層と組み合わせている。Ruは、今まで研究されてきた全ての材料のうちで最良の耐酸化性を有する。B4Cは、シリサイド形成に対する優れたバリアであり、Si境界に形成されるシリサイド層は充分に制御される。
【選択図】 図1
Description
本発明の別の目的は、上部保護膜層が多層膜反射コーティングの上面層へ拡散するのを防止する底部保護膜層を提供することにある。
本発明の別の目的は、酸化および腐食に耐え、多層膜反射コーティングを酸化から保護する、という材料で作った上部保護膜層を提供することにある。
これらおよび他の目的は、本願明細書における開示に基づいて明らかとなろう。
Claims (35)
- 多層膜反射コーティングと、
前記多層膜反射コーティング上にあり、相互拡散を少なくとも低減させる材料からなる底面層と、
前記底面層上にあり、前記多層膜反射コーティングを環境から保護する材料からなる上面層と、からなることを特徴とした不動態化保護膜二重層。 - 前記多層膜反射コーティングは、極端紫外線または軟エックス線用途に対して設計され、前記底面層は前記多層膜反射コーティングの上面層に取り付けた底部保護膜層であり、前記上面層は該底部保護膜層に堆積された上部保護膜層であり、前記底部保護膜層は、前記上部保護膜層が前記多層膜反射コーティングの前記上面層に拡散するのを防止する材料からなり、前記上部保護膜層は、酸化および腐食に侵されず且つ前記多層膜反射コーティングを酸化から保護する、という材料からなることを特徴とした請求項1記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層は炭化ホウ素からなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層はモリブデンからなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層は炭素からなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層は、複数の構成要素および/または複数の層からなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層はルテニウムからなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層は、Zr、Rh、Pdからなるグループから選択した材料からなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層は複数の構成要素からなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層は複数の層からなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層は、約1.3ナノメートルのMoからなり、前記上面層は、0.6〜2ナノメートルのRuからなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層はB4Cからなり、前記多層膜コーティングの前記上面層はシリコンからなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層の厚さは、前記多層膜コーティングの上面層と組み合わされることを特徴とした請求項6記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記保護膜二重層の前記上面層および前記底面層は、二重層保護膜が下にある多層膜コーティングと位相で一致するように選択された最適の厚さを有することを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層および前記底面層は厚さを有しており、前記上面層の厚さは、下に位置する層を酸化から保護するように選択され、底面層の厚さは、二重層保護膜が下にある多層膜コーティングと位相で一致するように選択されることを特徴とする請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層および前記底面層は、約15ナノメートル未満の作動波長で垂直入射反射率を最大にするように最適化されるという厚さを有することを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記上面層は、約0.5ナノメートル乃至約7ナノメートルまでの範囲にある厚さを有することを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記底面層がは約0.5ナノメートル乃至約7ナノメートルまでの範囲にある厚さを有することを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記多層膜反射コーティングは複数の対になる下部層からなり、これら下部層が、約15ナノメートル未満の作動波長で約65%以上の反射率を有することを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記下部層の各々の対になる層は、シリコンからなる第1層と、モリブデンからなる第2層と、からなることを特徴とした請求項19の保護膜二重層。
- 前記下部層の各々の対になる層は、ベリリウムからなる第1層と、モリブデンをからなる第2層と、からなることを特徴とした請求項19記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記保護膜二重層および前記多層膜反射コーティングは、約15ナノメートル未満の作動波長で少なくとも約65%の垂直入射反射率を有し、前記多層膜反射コーティングが、シリコンとモリブデンとからなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 前記保護膜二重層および前記多層膜反射コーティングは、約15ナノメートル未満の作動波長で少なくとも約65%の垂直入射反射率を有し、前記多層膜反射コーティングが、ベリリウムとモリブデンとからなることを特徴とした請求項1または2記載の不動態化保護膜二重層。
- 不動態化保護膜二重層を形成する方法であって、
多層膜反射コーティングを設ける工程と、
この多層膜コーティング上に、拡散を低減し或いは阻止する材料からなる底面層を堆積する工程と、
前記底面層上に、前記多層膜反射コーティングを環境から保護する材料からなる上面層を堆積する工程と、
からなることを特徴とした方法。 - 前記底面層は、B4Cからなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記底面層は、Moからなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記上面層は、Ruからなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記底面層または上面層の堆積は気相堆積によって実施されることを特徴とする請求項24記載の方法。
- 上面層の厚さは、前記底面層の意図的な酸化によって制御されるようにしたことを特徴とする請求項24記載の方法。
- 前記底面層は、炭素からなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記底面層は、複数の構成要素からなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記底面層は、複数の層および/または複数の構成要素からなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記上面層は、複数の層からなることを特徴とした、請求項24記載の方法。
- 前記上面層は、Zr、Rh、Pdからなるグループから選択した材料からなることを特徴とした請求項24記載の方法。
- 前記二重層は、極端紫外線または軟エックス線用途の使用に対して設計された多層膜反射コーティング用のものであり、前記上面層が、酸化および腐食に侵されず且つ前記多層膜反射コーティングを酸化から保護する、という材料からなることを特徴とした請求項24〜34のいずれか1項に記載の方法。
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