JP4460284B2 - 光学要素及びその形成方法 - Google Patents
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Description
アメリカ合衆国政府は、ローレンス・リヴァーモア国立研究所の運営に対し、合衆国エネルギ省及びカリフォルニア大学間で取り交わした契約W-7405-ENG-48に則り、本発明における権利を有するものである。
本発明の別の目的は、上部保護膜層が多層反射コーティングの上面層へ拡散するのを防止する底部保護膜層を提供することにある。
本発明の別の目的は、酸化および腐食に耐え、多層反射コーティングを酸化から保護する、という材料で作った上部保護膜層を提供することにある。
これらおよび他の目的は、本願明細書における開示に基づいて明らかとなろう。
Claims (9)
- 極端紫外線(EUV)あるいは軟エックス線(soft x-ray)における使用のために設計された多層反射コーティング(multilayer refrective coating)(16)上に不動態化保護膜二重層(passsivating overcoat bilayer)(10)を有する光学要素であって、
基板(22)と、
前記基板の上に堆積される、複数の、スペーサ材料(44)と吸収材料(46)とからなる、交互層(alternating layers)よりなり、上面(top surface)を有する最上層(upmost layer)と底面(bottom surface)を有する最下層(bottommost layer)とを有し、前記最上層が前記スペーサ材料からなるものである、多層反射コーティング(16)と、
前記多層反射コ−ティングの前記上面に堆積されている底部保護膜層(bottom overcoat layer)(40)と、
前記底部保護膜層に堆積された上部保護膜層(top overcoat layer)(42)とからなり、
前記底部保護膜層は、
前記上部保護膜層が前記多層反射コーティングの前記最上層に拡散するのを防止し、かつB4C、Mo、C、及びそれらの組合せからなるグループから選択された第1材料から構成され、
前記上部保護膜層は、
酸化および腐食に侵されずかつ前記多層反射コーティングを酸化から保護し、かつRu、Rh、及びそれらの組合せからなるグループから選択された第2材料から構成され、
前記保護膜二重層付き多層反射コーティングの極端紫外線あるいは軟エックス線に対する反射率が作動波長範囲(wavelength range of operation)で最適化され、かつそのような最適反射率を保つために、酸化や腐食に対する耐性が選択されるように、前記上部保護膜層の厚さは約2〜7ナノメートルの範囲に、又前記底部保護膜層の厚さは約0.5〜7ナノメートルの範囲にそれぞれ選択され、
それにより、前記保護膜二重層付き多層反射コーティングの最適反射率を保ちつつ、腐食、酸化、及び拡散を妨げるように選択された厚みを有する多層保護膜が作り出される、ことを特徴とする光学要素。 - 前記多層反射コーティングのスペーサー材料がシリコンからなることを特徴とする請求項1記載の光学要素。
- 前記上部保護膜層および前記底部保護膜層は厚さを有しており、前記上部保護膜層の厚さは、下に位置する層を酸化から保護するように選択され、前記底部保護膜層の厚さは、前記二重層保護膜が下にある前記多層コーティングと位相で一致するように選択されることを特徴とする請求項1記載の光学要素。
- 前記上部保護膜層および前記底部保護膜層は、約15ナノメートル未満の作動波長で垂直入射反射率を最大にするという厚さを有することを特徴とする請求項1記載の光学要素。
- 前記吸収材料はモリブデンからなることを特徴とする請求項1記載の光学要素。
- 極端紫外線あるいは軟エックス線における使用のために設計された多層反射コーティング(16)上に不動態化保護膜二重層(10)を有する光学要素を形成する方法であって、
基板(22)を用意する工程と、
複数の、スペーサ材料(44)と吸収材料(46)とからなる、交互層よりなり、上面を有する最上層と底面を有する最下層とを有し、前記最上層が前記スペーサ材料を含むものである、多層反射コーティング(16)を前記基板上に堆積する工程と、
前記多層反射コ−テイングの前記上面に、相互拡散を減少または防止し、且つB4C、Mo、C、又はそれらの組合せである第1材料から構成される底部保護膜層を堆積する工程と、
前記底部保護膜層上に、酸化および腐食に侵されず且つ前記多層反射コーティングを酸化から保護し、Ru、Rh、及びそれらの組合せからなるグループから選択された第2材料から構成される上部保護膜層(14)を堆積する工程と、から成り、
前記保護膜二重層付き多層反射コーティングの極端紫外線あるいは軟エックス線に対する反射率が作動波長範囲(wavelength range of operation)で最適化され、かつそのような最適反射率を保つために、酸化や腐食に対する耐性が選択されるように、前記上部保護膜層の厚さは約2〜7ナノメートルの範囲に、又前記底部保護膜層の厚さは約0.5〜7ナノメートルの範囲にそれぞれ選択され、
それにより、前記保護膜二重層付き多層反射コーティングの最適反射率を保ちつつ、腐食、酸化、及び拡散を妨げるように選択された厚みを有する多層保護膜が作り出される、ことを特徴とする光学要素を形成する方法。 - 前記底部保護膜層又は前記上部保護膜層の堆積は気相堆積によって実施されることを特徴とする請求項9記載の方法。
- 前記上部保護膜層がRuであり、かつその厚みが約2〜3ナノメータであることを特徴とする請求項1に記載の光学要素。
- 前記底部保護膜層がB4Cであり、かつその厚みが約0.5〜2.0ナノメータであることを特徴とする請求項1に記載の光学要素。
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