JP5590044B2 - Euvリソグラフィ用光学部材 - Google Patents
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Description
吸収体層には、EUV光に対する吸収係数の高い材料、具体的にはたとえば、クロム(Cr)やタンタル(Ta)を主成分とする材料が用いられる。
このような多層膜ミラーでは、多層反射膜を化学的、物理的な侵蝕から保護する目的で保護層(保護キャッピング層)が該多層反射膜上に形成されることが多い。特許文献4には、EUVミラーの構成として、化学的、物理的な侵蝕に耐えうるため、反射層の上に特定のキャッピング層(保護層)を設けることが記載されている。特許文献4に記載の多層膜ミラーの場合、ルテニウム(Ru)およびロジウム(Rh)並びにそれらの化合物や合金の中から選択される材料からなる保護キャッピング層を備えている。
しかしながら、保護層の材料としてRuを用いた場合、マスクブランクやミラー製造時に実施される工程や該マスクブランクからフォトマスクを製造する際に実施される工程(例えば、洗浄、欠陥検査、加熱工程、ドライエッチング、欠陥修正の各工程)において、あるいは該EUV露光時において、Ru保護層、さらには多層反射膜の最上層(Mo/Si多層反射膜の場合、Si層)が酸化されることによって、保護層表面にEUV光を照射した際のEUV光線反射率が低下するという問題がある。
特に、EUV露光時のEUV光線反射率の低下は、経時的に進行するので、露光条件を途中で変更する必要が生じたり、フォトマスクやミラーの寿命の短縮につながるので問題である。
以下、本明細書において、マスクブランクやミラー製造時に実施される工程や該マスクブランクからフォトマスクを製造する際に実施される工程(例えば、洗浄、欠陥検査、加熱工程、ドライエッチング、欠陥修正の各工程)において、あるいは該EUV露光時において、Ru保護層、さらには多層反射膜の最上層が酸化されることによって、保護層表面にEUV光を照射した際のEUV光線反射率が低下することを、単に「Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下」と言う場合がある。
そして、本発明者らは、保護層中のMo中間層の膜厚を特定の範囲とするのが効果的であることを見出した。
前記反射層が、Mo/Si多層反射膜であり、
前記保護層が、前記反射層の側から、Ru層またはRu化合物層からなる第1層、Mo層からなる第2層、および、Ru層またはRu化合物層からなる第3層の順に積層された3層構造であることを特徴とするEUVリソグラフィ用反射層付基板(以下、本明細書において、「本発明の反射層付基板」ともいう。)を提供する。
前記Mo/Si多層反射膜からなる反射層の最上層がSi膜であり、前記保護層が当該Si膜面に接して形成されていることが好ましい。
また、本発明のEUVマスクブランクを用いて作成されるEUVマスクは、EUV露光時において、EUV光線反射率の経時的な変化が小さい、信頼性の高いEUVマスクであり、微細なパターンからなる集積回路の製造に有用である。
図1は、本発明のEUVマスクブランクの1実施形態を示す概略断面図である。図1に示すマスクブランク1は、基板11上にEUV光を反射する反射層12と、該反射層12を保護するための保護層13が、この順に形成されている。本発明のEUVマスクブランクでは、保護層13が、前記反射層12の側から、Ru層またはRu化合物層からなる第1層13a、Mo層からなる第2層13b、および、Ru層またはRu化合物層からなる第3層13cの順に積層された3層構造をなしている。該3層構造の保護層13上には、吸収体層14が形成されている。
図4は、本発明のEUVミラーの1実施形態を示す概略断面図である。図4に示すEUVミラー2は、基板11上にEUV光を反射する反射層12と、該反射層12を保護するための保護層13が、この順に形成されている。但し、本発明のEUVミラーでは、保護層13が、前記反射層12の側から、Ru層またはRu化合物層からなる第1層13a、Mo層からなる第2層13b、および、Ru層またはRu化合物層からなる第3層13cの順に積層された3層構造をなしている。
以下、マスクブランク1およびミラー2の個々の構成要素について説明する。なお、マスクブランクやミラーなどのEUV光を反射する多層膜を有する部材を「EUV光学部材」ともいう。
基板11は、表面粗さrmsが、0.15nm以下の平滑な表面と、100nm以下の平坦度を有していることがパターン形成後のフォトマスクにおいて高反射率および転写精度が得られるために好ましい。
基板11の大きさや厚みなどはマスクの設計値等により適宜決定されるものである。後で示す実施例では外形6インチ(152.4mm)角で、厚さ0.25インチ(6.3mm)のSiO2−TiO2系ガラスを用いた。ミラーに用いられる基板のサイズは露光機の設計値等により適宜決定され、直径50〜500mm程度の大きさの基板が通常用いられる。
マスクブランク用の基板は平面形状が正方形等の矩形である。一方、ミラー用の基板は平面形状が円形や楕円形、多角形が多い。
基板11の反射層12が形成される側の表面には欠点が存在しないことが好ましい。しかし、存在している場合であっても、凹状欠点および/または凸状欠点によって位相欠点が生じないように、凹状欠点の深さおよび凸状欠点の高さが2nm以下であり、かつこれら凹状欠点および凸状欠点の半値幅が60nm以下であることが好ましい。
Mo/Si多層反射膜の場合に、EUV光線反射率の最大値が60%以上の反射層12とするには、膜厚2.3±0.1nmのMo層と、膜厚4.5±0.1nmのSi層とを繰り返し単位数が30〜60になるように積層させればよい。
また、保護層13は、保護層13を形成した後であっても反射層12でのEUV光線反射率を損なうことがないように、保護層13自体もEUV光線反射率が高いことが好ましい。
このような観点から、特許文献1〜3に記載されているように、EUV光学部材の保護層の構成材料として、Ruが用いられている。
本発明のEUV光学部材においても、3層構造の保護層13のうち、第1層13aおよび第3層13cは、Ru層、またはRu化合物層である。ここで、第1層13aおよび第3層13cの両方がRu層であってもよく、Ru化合物層であってもよい。また、第1層13aおよび第3層13cのうち、一方がRu層で、他方がRu化合物層であってもよい。上記Ru化合物としては、RuB、RuNbおよびRuZrからなる群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。
なお、第1層13aおよび第3層13cがRu化合物層である場合、Ruの含有率は50at%以上、80at%以上、特に90at%以上であることが好ましい。但し、第1層13aおよび第3層13cがRuNb層の場合、Nbの含有率が10〜40at%程度であることが好ましい。
第1層13aおよび第3層13cは、Siの含有量が5at%以下であることが好ましく、3at%以下であることがより好ましく、1at%以下であることがさらに好ましい。
マスクブランクやミラー製造時に実施される工程や該マスクブランクからフォトマスクを製造する際に実施される工程(例えば、洗浄、欠陥検査、加熱工程、ドライエッチング、欠陥修正の各工程)において、あるいは該EUV露光時において、保護層13が酸化されるような状況が生じた場合、3層構造の保護層13は、最上層である第3層13cから酸化され、続いて第2層13b、さらに第1層13aの順に酸化が進行することとなる。
また、Ru単膜(またはRu化合物単膜)で保護層を形成する場合と比較した場合、個々のRu層(またはRu化合物層)の膜厚を1/2程度に薄くすることができるので、結晶性が低く結晶粒界の少ないRu層とすることができる。これにより、Ru層において結晶粒界を通した酸素の拡散を効果的に抑制することができる。
これらの作用によって、第1層13aよりも下にあるMo/Si多層反射膜が酸化されること、より具体的には、Mo/Si多層反射膜の最上層のSi膜が酸化されることが抑制されると考えられ、その結果、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下が抑制されると考えられる。
また、Mo/Si多層反射膜上にRu保護層を形成する際、Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi膜中のSiがRu保護層中に拡散する場合があり、問題となる可能性があるが、本発明のEUV光学部材では、Si膜中のSiが第1層13aであるRu層中またはRu化合物層中に拡散する状況が発生した場合でも、第2層13bであるMo層の存在により、第2層13bよりも上にある第3層13c中にSiが拡散することが抑制される。したがって、Ru保護層の形成時にSi膜中のSiがRu保護層中に拡散する状況が発生した場合でも、Ru保護層中へのSiの拡散、より具体的には、Ru保護層の最上層である第3層13c中へのSiの拡散、を最小限に抑制することができる。
また、第2層13bをなすMo層は、Moの含有率が60at%以上、特に80at%以上、さらには90at%以上であることが好ましい。
一方、第2層13bの膜厚は、EUV特性への影響を考慮すると、2nm以下、または、保護層13の合計膜厚の1/2以下のうち、いずれか小さいほうを満たすことが好ましい。
3層構造の保護層13のうち、EUV光学部材の保護層としての機能、すなわち、エッチングプロセスによるダメージを受けないように反射層12を保護する機能、を発揮するのは、Ru層またはRu化合物層である第1層13aおよび第3層13cである。
第2層13bの膜厚が保護層13の合計膜厚の1/2よりも大きいと、第1層13aおよび第3層13cの膜厚が小さくなるので、上述したEUV光学部材の保護層としての機能を発揮できなくなるおそれがある。
第2層13bの膜厚が2nm超だと、上述したEUV光学部材の保護層としての機能を発揮するために必要となる保護層13の合計膜厚が増加し、EUV光線反射率の低下につながるおそれがあるうえ、第2層13bの酸化によるEUV光線反射率の低下が無視できなくなるおそれがある。
第2層13bの膜厚は、0.3nm〜1nmであることがより好ましく、0.3nm〜0.6nmであることがさらに好ましい。
保護層13表面の表面粗さrmsが0.5nm以下であれば、該保護層13上に形成される吸収体層14表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。保護層13表面の表面粗さrmsは0.4nm以下であることがより好ましく、0.3nm以下であることがさらに好ましい。
イオンビームスパッタリング法を用いて、第1層13aおよび第3層13cとしてRu層を形成する場合、ターゲットとしてRuターゲットを用い、アルゴン(Ar)雰囲気中で放電させればよい。具体的には、以下の条件でイオンビームスパッタリングを実施すればよい。
・スパッタガス:Ar(ガス圧:1.0×10−1〜10×10−1Pa、好ましくは1.0×10−1〜5.0×10−1Pa、より好ましくは1.0×10−1〜3.0×10−1Pa)。
・投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W。
・成膜速度:0.1〜6nm/sec、好ましくは0.1〜4.5nm/sec、より好ましくは0.1〜3nm/sec。
一方、イオンビームスパッタリング法を用いて、第2層13bとしてのMo層を形成する場合、ターゲットとしてMoターゲットを用い、アルゴン(Ar)雰囲気中で放電させればよい。具体的には、以下の条件でイオンビームスパッタリングを実施すればよい。
・スパッタガス:Ar(ガス圧:1.3×10−2Pa〜2.7×10−2Pa)。
・イオン加速電圧:300〜1500V。
・成膜速度:0.005〜0.3nm/sec、好ましくは0.01〜0.2nm/sec、より好ましくは0.02〜0.1nm/sec。
なお、後述する実施例では、本発明による効果を確認するために、マスクブランクやミラー製造時に実施される加熱工程やマスクブランクからフォトマスクを製造時に実施される加熱工程よりも過酷な条件で加熱処理を実施した。
上記の特性を達成するため、EUV光の吸収係数が高い材料で構成されることが好ましく、タンタル(Ta)を主成分とする材料で形成されていることが好ましい。
このような吸収体層14としては、Ta、B、Siおよび窒素(N)を以下に述べる比率で含有するもの(TaBSiN膜)が挙げられる。
・Bの含有率:1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは1.5〜4at%。
・Siの含有率:1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜12at%。
・TaとNとの組成比(Ta:N)(原子比): 8:1〜1:1。
・Taの含有率:好ましくは50〜90at%、より好ましくは60〜80at%
・Nの含有率:好ましくは5〜30at%、より好ましくは10〜25at%
上記組成の吸収体層14は、表面粗さが0.5nm以下であることが好ましい。吸収体層14表面の表面粗さが大きいと、吸収体層14に形成されるパターンのエッジラフネスが大きくなり、パターンの寸法精度が悪くなる。パターンが微細になるに従いエッジラフネスの影響が顕著になるため、吸収体層14表面は平滑であることが要求される。
吸収体層14表面の表面粗さが0.5nm以下であれば、吸収体層14表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。吸収体層14表面の表面粗さは0.4nm以下であることがより好ましく、0.3nm以下であることがさらに好ましい。
・エッチング選択比
=(吸収体層14のエッチング速度)/(保護層13のエッチング速度)…(1)
エッチング選択比は、10以上が好ましく、11以上であることがさらに好ましく、12以上であることがさらに好ましい。
EUVマスクを作製する際、吸収体層にパターンを形成した後、このパターンが設計通りに形成されているかどうか検査する。このマスクパターンの検査では、検査光として通常257nm程度の光を使用した検査機が使用される。つまり、この257nm程度の光の反射率の差、具体的には、吸収体層14がパターン形成により除去されて露出した面と、パターン形成により除去されずに残った吸収体層14表面と、の反射率の差によって検査される。ここで、前者は保護層13表面である。したがって、検査光の波長に対する保護層13表面と吸収体層14表面との反射率の差が小さいと検査時のコントラストが悪くなり、正確な検査が出来ないことになる。
図2に示すEUVマスクブランク1´のように、吸収体層14上に低反射層15を形成することにより、検査時のコントラストが良好となる、別の言い方をすると、検査光の波長での光線反射率が極めて低くなる。このような目的で形成する低反射層15は、検査光の波長領域の光線を照射した際に、該検査光の波長の最大光線反射率が15%以下であることが好ましく、10%以下であることがより好ましく、5%以下であることがさらに好ましい。
低反射層15における検査光の波長の光線反射率が15%以下であれば、該検査時のコントラストが良好である。具体的には、保護層13表面における検査光の波長の反射光と、低反射層15表面における検査光の波長の反射光と、のコントラストが、30%以上となる。
・コントラスト(%)=((R2−R1)/(R2+R1))×100…(2)
ここで、検査光の波長におけるR2は保護層13表面での反射率であり、R1は低反射層15表面での反射率である。なお、上記R1およびR2は、図2に示すEUVマスクブランク1´の吸収体層14および低反射層15にパターンを形成した状態(つまり、図3に示す状態)で測定する。上記R2は、図3中、パターン形成によって吸収体層14および低反射層15が除去され、外部に露出した保護層13表面で測定した値であり、R1はパターン形成によって除去されずに残った低反射層15表面で測定した値である。
本発明において、上記(2)式で表されるコントラストが45%以上であることがより好ましく、60%以上であることがさらに好ましく、80%以上であることが特に好ましい。
このような低反射層15の具体例としては、Ta、B、Siおよび酸素(O)を以下に述べる比率で含有するもの(低反射層(TaBSiO))が挙げられる。
・Bの含有率:1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは1.5〜4at%。
・Siの含有率:1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜10at%。
・TaとOとの組成比(Ta:O)(原子比):7:2〜1:2、好ましくは7:2〜1:1、より好ましくは2:1〜1:1。
・Bの含有率:1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは2〜4.0at%。
・Siの含有率:1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜10at%。
・TaとO及びNの組成比(Ta:(O+N))(原子比): 7:2〜1:2、好ましくは7:2〜1:1、より好ましくは2:1〜1:1。
上記したように、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度の悪化が防止するため、吸収体層14表面は平滑であることが要求される。低反射層15は、吸収体層14上に形成されるため、同様の理由から、その表面は平滑であることが要求される。
低反射層15表面の表面粗さrmsが0.5nm以下であれば、低反射層15表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。低反射層15表面の表面粗さrmsは0.4nm以下であることがより好ましく、0.3nm以下であることがさらに好ましい。
高誘電性コーティングは、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法といったスパッタリング法、CVD法、真空蒸着法、または電解メッキ法を用いて形成することができる。
なお、本発明のEUVミラーについても、上述した高誘電性コーティングを有していてもよい。
(実施例1)
本実施例では、図2に示すマスクブランク1´を作製した。
成膜用の基板11として、SiO2−TiO2系のガラス基板(外形6インチ(152.4mm)角、厚さが6.3mm)を使用した。このガラス基板の熱膨張率は0.2×10−7/℃、ヤング率は67GPa、ポアソン比は0.17、比剛性は3.07×107m2/s2である。このガラス基板を研磨により、表面粗さrmsが0.15nm以下の平滑な表面と、100nm以下の平坦度に形成した。
平板形状をした通常の静電チャックに、形成したCr膜を用いて基板11(外形6インチ(152.4mm)角、厚さ6.3mm)を固定して、該基板11の表面上にイオンビームスパッタ法を用いてMo膜およびSi膜を交互に成膜することを50周期繰り返すことにより、合計膜厚340nm((2.3nm+4.5nm)×50)のMo/Si多層反射膜(反射層12)を形成した。なお、Mo/Si多層反射膜の最上層はSi膜である。
(Mo膜の成膜条件)
・ターゲット:Moターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.064nm/sec。
・膜厚:2.3nm。
(Si膜の成膜条件)
・ターゲット:Siターゲット(ホウ素ドープ)。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.077nm/sec。
・膜厚:4.5nm。
第1層13aの形成条件は以下の通りである。
・ターゲット:Ruターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.052nm/sec。
・膜厚:1.25nm。
第2層13bの形成条件は以下の通りである。
・ターゲット:Moターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.064nm/sec。
・膜厚:0.5nm。
第3層13cの形成条件は以下の通りである。
・ターゲット:Ruターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.052nm/sec。
・膜厚:1.25nm。
TaBSiN層の成膜条件は以下の通りである。
(TaBSiN層の成膜条件)
・ターゲット:TaBSi化合物ターゲット(組成比:Ta 80at%、B 10at%、Si 10at%)。
・スパッタガス:ArとN2の混合ガス(Ar:86体積%、N2:14体積%、ガス圧:0.3Pa)。
・投入電力:150W。
・成膜速度:0.12nm/sec。
・膜厚:60nm。
TaBSiON層の成膜条件は以下の通りである。
(TaBSiON層の成膜条件)
・ターゲット:TaBSiターゲット(組成比:Ta 80at%、B 10at%、Si 10at%)。
・スパッタガス:ArとN2とO2の混合ガス(Ar:60体積%、N2:20体積%、O2:20体積%、ガス圧:0.3Pa)。
・投入電力:150W。
・成膜速度:0.18nm/sec。
・膜厚:10nm。
(1)膜組成
上記の手順で保護層13まで形成したサンプルについて、保護層13の表面から反射層(Mo/Si多層反射膜)12までの深さ方向組成を、X線光電子分光装置(X−ray Photoelectron Spectrometer)(アルバック・ファイ社製:Quantera SXM)を用いて測定することによって、該保護層13が下記3層構造であることを確認した。
・第1層13a:Ru層。
・第2層13b:Mo層。
・第3層13c:Ru層。
また、X線光電子分光装置による測定結果から、保護層13の全組成に対するMoの組成が20%であることが確認された。この結果は、上記成膜条件における保護層13の合計膜厚(1.25+0.5+1.25=3nm)と、第2層13bの膜厚(0.5nm)と、の関係に対して、矛盾しない組成量のMoが保護層13中に含まれていることを示している。
(2)表面粗さ
保護層13の表面粗さを、JIS−B0601(1994年)にしたがって、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope)(セイコーインスツルメンツ社製:番号SPI3800)を用いて確認した。保護層13の表面粗さrmsは0.15nmであった。
(3)加熱処理耐性
上記の手順で保護層13まで形成したサンプルに対して、210℃で10分間の加熱処理(大気中)をした。この処理の前後に保護層13表面にEUV光(波長13.5nm)を照射し、EUV反射率をEUV反射率計(AIXUV社製MBR(製品名))を用いて測定した。この処理前後での、EUV反射率の低下は5.4%であった。
(4)反射特性(コントラスト評価)
上記の手順で保護層13まで形成したサンプルについて、保護層13表面におけるパターン検査光(波長257nm)の反射率を分光光度計を用いて測定する。また、低反射層15まで形成したサンプルについて、低反射層15表面におけるパターン検査光の反射率を測定する。その結果、保護層13層表面での反射率は60.0%であり、低反射層15表面の反射率は6.9%である。これらの結果と上述した(2)式を用いてコントラストを求めると79.4%となる。
得られるEUVマスクブランク1´について、低反射層15表面にEUV光(波長13.5nm)を照射してEUV光の反射率を測定する。その結果、EUV光の反射率は0.4%であり、EUV吸収特性に優れていることが確認される。
比較例1は、反射層12上に、保護層13として単層のRu層をイオンビームスパッタ法を用いて形成した以外は実施例1と同様の手順で実施した。
Ru層の成膜条件は以下の通りである。
(Ru層の成膜条件)
・ターゲット:Ruターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.052nm/sec。
・膜厚:3nm。
(1)膜組成
上記の手順で保護層13まで形成したサンプルについて、保護層13の表面から多層反射膜12までの深さ方向組成を、X線光電子分光装置(X−ray Photoelectron Spectrometer)(アルバック・ファイ社製:Quantera SXM)を用いて測定した。保護層13は単層のRu層であり、該保護層13中にMo組成は検出されなかった。
(2)表面粗さ
上記の手順で保護層13まで形成したサンプルについて、保護層13の表面粗さを、JIS−B0601(1994年)にしたがって、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope)(セイコーインスツルメンツ社製:番号SPI3800)を用いて確認した。保護層13の表面粗さrmsは0.15nmであった。
(3)加熱処理耐性
上記の手順で保護層13まで形成したサンプルに対して、210℃で10分間の加熱処理(大気中)をした。この処理の前後に保護層13表面にEUV光(波長13.5nm)を照射し、EUV反射率をEUV反射率計を用いて測定した。この処理前後での、EUV反射率の低下は7.8%であった。
この結果から、比較例1のマスクブランクは、実施例1のマスクブランクに比べて加熱処理耐性に劣ることが確認された。
本実施例では、図4に示すEUVミラー2を作製した。
成膜用の基板11として、SiO2−TiO2系のガラス基板(外形6インチ(152.4mm)角、厚さが6.3mm)を使用した。このガラス基板の熱膨張率は0.2×10−7/℃、ヤング率は67GPa、ポアソン比は0.17、比剛性は3.07×107m2/s2である。このガラス基板を研磨により、表面粗さrmsが0.15nm以下の平滑な表面と、100nm以下の平坦度に形成した。
平板形状をした通常の静電チャックに、形成したCr膜を用いて基板11(外形6インチ(152.4mm)角、厚さ6.3mm)を固定して、該基板11の表面上にイオンビームスパッタ法を用いてMo膜およびSi膜を交互に成膜することを50周期繰り返すことにより、合計膜厚340nm((2.3nm+4.5nm)×50)のMo/Si多層反射膜(反射層12)を形成した。なお、Mo/Si多層反射膜の最上層はSi膜である。
(Mo膜の成膜条件)
・ターゲット:Moターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.064nm/sec。
・膜厚:2.3nm。
(Si膜の成膜条件)
・ターゲット:Siターゲット(ホウ素ドープ)。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.077nm/sec。
・膜厚:4.5nm。
第1層13aの形成条件は以下の通りである。
・ターゲット:Ruターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.052nm/sec。
・膜厚:1.25nm。
第2層13bの形成条件は以下の通りである。
・ターゲット:Moターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.064nm/sec。
・膜厚:0.5nm。
第3層13cの形成条件は以下の通りである。
・ターゲット:Ruターゲット。
・スパッタガス:Arガス(ガス圧:0.02Pa)。
・電圧:700V。
・成膜速度:0.052nm/sec。
・膜厚:1.25nm。
(1)膜組成
保護層13の表面から反射層(Mo/Si多層反射膜)12までの深さ方向組成を、X線光電子分光装置(X−ray Photoelectron Spectrometer)(アルバック・ファイ社製:Quantera SXM)を用いて測定することによって、該保護層13が下記3層構造であることを確認した。
・第1層13a:Ru層。
・第2層13b:Mo層。
・第3層13c:Ru層。
また、X線光電子分光装置による測定結果から、保護層13の全組成に対するMoの組成が20%であることが確認された。この結果は、上記成膜条件における保護層13の合計膜厚(1.25+0.5+1.25=3nm)と、第2層13bの膜厚(0.5nm)と、の関係に対して、矛盾しない組成量のMoが保護層13中に含まれていることを示している。
(2)表面粗さ
保護層13の表面粗さを、JIS−B0601(1994年)にしたがって、原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope)(セイコーインスツルメンツ社製:番号SPI3800)を用いて確認した。保護層13の表面粗さrmsは0.15nmであった。
(3)加熱処理耐性
EUVミラーを210℃で10分間の加熱処理(大気中)した。この処理の前後に保護層13表面にEUV光(波長13.5nm)を照射し、EUV反射率をEUV反射率計(AIXUV社製MBR(製品名))を用いて測定した。この処理前後での、EUV反射率の低下は5.4%であった。
また、本発明のEUVマスクブランクを用いて作成されるEUVマスクは、EUV露光時において、EUV光線反射率の経時的な変化が小さい、信頼性の高いEUVマスクであり、微細なパターンからなる集積回路の製造に有用である。
なお、2009年12月9日に出願された日本特許出願2009−279401号の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
2:EUVミラー
11:基板
12:多層反射膜
13:保護層
13a:第1層
13b:第2層
13c:第3層
14:吸収体層
15:低反射層
Claims (13)
- 基板上に、EUV光を反射する反射層と、該反射層を保護する保護層とがこの順に形成されたEUVリソグラフィ用反射層付基板であって、
前記反射層が、Mo/Si多層反射膜であり、
前記保護層が、前記反射層の側から、Ru層またはRu化合物層からなる第1層、Mo層からなる第2層、および、Ru層またはRu化合物層からなる第3層の順に積層された3層構造であることを特徴とするEUVリソグラフィ用反射層付基板。 - 前記Mo/Si多層反射膜からなる反射層の最上層がSi膜であり、前記保護層が当該Si膜面に接して形成されている、請求項1に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板。
- 前記第2層の膜厚が、0.2nm以上であり、かつ、2nm以下、または、前記保護層の合計膜厚の1/2以下のうち、いずれか小さいほうを満たす、請求項1または2に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板。
- 前記保護層の合計膜厚が1〜10nmである、請求項1〜3のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板。
- 前記保護層表面の表面粗さrmsが0.5nm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の反射層付基板の保護層上に吸収体層を形成してなるEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 前記吸収体層がタンタル(Ta)を主成分とする材料で形成される、請求項6に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- エッチングガスとして塩素系ガスを用いてドライエッチングを実施した際の前記保護層と前記吸収体層とのエッチング選択比が10以上である、請求項6または7に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 前記吸収体層上に、タンタル(Ta)を主成分とする材料で形成された、マスクパターンの検査に使用する検査光における低反射層が設けられている、請求項6〜8のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 吸収体層に形成されるパターンの検査に用いられる光の波長に対する前記保護層表面での反射光と、前記低反射層表面での反射光と、のコントラストが、30%以上である、請求項9に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 請求項6〜10のいずれか1項に記載のEUVマスクブランクをパターニングしたEUVリソグラフィ用反射型マスク。
- 請求項11に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクを用いて、被露光体に露光を行うことにより半導体集積回路を製造することを特徴とする半導体集積回路の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板を用いたEUVリソグラフィ用反射型ミラー。
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WO2012014904A1 (ja) | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射層付基板、およびeuvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
DE102011083462A1 (de) * | 2011-09-27 | 2013-03-28 | Carl Zeiss Smt Gmbh | EUV-Spiegel mit einer Oxynitrid-Deckschicht mit stabiler Zusammensetzung |
JP6125772B2 (ja) | 2011-09-28 | 2017-05-10 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランク、反射型マスクおよび反射型マスクの製造方法 |
DE102012202057B4 (de) * | 2012-02-10 | 2021-07-08 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsobjektiv für EUV-Mikrolithographie, Folienelement und Verfahren zur Herstellung eines Projektionsobjektivs mit Folienelement |
JP6069919B2 (ja) | 2012-07-11 | 2017-02-01 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよびその製造方法、ならびに該マスクブランク用の反射層付基板およびその製造方法 |
DE102012222466A1 (de) * | 2012-12-06 | 2014-06-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Reflektives optisches Element für die EUV-Lithographie |
JP6377361B2 (ja) * | 2013-02-11 | 2018-08-22 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板及びその製造方法、反射型マスクブランクの製造方法、反射型マスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
WO2015012151A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、euvリソグラフィー用反射型マスクブランク、euvリソグラフィー用反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
KR102239726B1 (ko) * | 2013-09-11 | 2021-04-12 | 호야 가부시키가이샤 | 다층 반사막을 구비한 기판, euv 리소그래피용 반사형 마스크 블랭크, euv 리소그래피용 반사형 마스크 및 그 제조 방법과 반도체 장치의 제조 방법 |
JP6301127B2 (ja) | 2013-12-25 | 2018-03-28 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体装置の製造方法 |
JP6361283B2 (ja) * | 2014-05-23 | 2018-07-25 | 凸版印刷株式会社 | 反射型マスクブランクおよび反射型マスク |
US10254640B2 (en) * | 2016-02-16 | 2019-04-09 | AGC Inc. | Reflective element for mask blank and process for producing reflective element for mask blank |
KR102402767B1 (ko) | 2017-12-21 | 2022-05-26 | 삼성전자주식회사 | 극자외선 마스크 블랭크, 극자외선 마스크 블랭크를 이용하여 제조된 포토마스크, 포토마스크를 이용한 리소그래피 장치 및 포토마스크를 이용한 반도체 장치 제조 방법 |
JP6556885B2 (ja) * | 2018-02-22 | 2019-08-07 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体装置の製造方法 |
DE102019212910A1 (de) * | 2019-08-28 | 2021-03-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Optisches Element und EUV-Lithographiesystem |
JP2021056502A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP7318565B2 (ja) | 2020-03-03 | 2023-08-01 | 信越化学工業株式会社 | 反射型マスクブランクの製造方法 |
JP2022045936A (ja) * | 2020-09-10 | 2022-03-23 | 信越化学工業株式会社 | Euvマスクブランク用多層反射膜付き基板、その製造方法及びeuvマスクブランク |
JP7420027B2 (ja) * | 2020-09-10 | 2024-01-23 | 信越化学工業株式会社 | Euvマスクブランク用多層反射膜付き基板、その製造方法及びeuvマスクブランク |
JP7416343B2 (ja) * | 2021-12-28 | 2024-01-17 | Agc株式会社 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
JP2024089128A (ja) * | 2022-12-21 | 2024-07-03 | 信越化学工業株式会社 | 反射型マスクブランク、反射型マスク及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001523007A (ja) * | 1997-11-10 | 2001-11-20 | ザ、リージェンツ、オブ、ザ、ユニバーシティ、オブ、カリフォルニア | 極紫外リソグラフィー用の多重層反射性コーティング用不動態化オーバーコート二重層 |
JP2005516182A (ja) * | 2001-07-03 | 2005-06-02 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ カリフォルニア | 不動態化保護膜二重層 |
JP2006170916A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Nikon Corp | 光学素子及びこれを用いた投影露光装置 |
WO2008090988A1 (ja) * | 2007-01-25 | 2008-07-31 | Nikon Corporation | 光学素子、これを用いた露光装置、及びデバイス製造方法 |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5928817A (en) | 1997-12-22 | 1999-07-27 | Intel Corporation | Method of protecting an EUV mask from damage and contamination |
US6355381B1 (en) | 1998-09-25 | 2002-03-12 | Intel Corporation | Method to fabricate extreme ultraviolet lithography masks |
AU5597000A (en) | 1999-06-07 | 2000-12-28 | Regents Of The University Of California, The | Coatings on reflective mask substrates |
TWI267704B (en) | 1999-07-02 | 2006-12-01 | Asml Netherlands Bv | Capping layer for EUV optical elements |
US6596465B1 (en) | 1999-10-08 | 2003-07-22 | Motorola, Inc. | Method of manufacturing a semiconductor component |
US6410193B1 (en) | 1999-12-30 | 2002-06-25 | Intel Corporation | Method and apparatus for a reflective mask that is inspected at a first wavelength and exposed during semiconductor manufacturing at a second wavelength |
US6479195B1 (en) | 2000-09-15 | 2002-11-12 | Intel Corporation | Mask absorber for extreme ultraviolet lithography |
JP5371162B2 (ja) | 2000-10-13 | 2013-12-18 | 三星電子株式会社 | 反射型フォトマスク |
US6645679B1 (en) | 2001-03-12 | 2003-11-11 | Advanced Micro Devices, Inc. | Attenuated phase shift mask for use in EUV lithography and a method of making such a mask |
US6583068B2 (en) | 2001-03-30 | 2003-06-24 | Intel Corporation | Enhanced inspection of extreme ultraviolet mask |
US6610447B2 (en) | 2001-03-30 | 2003-08-26 | Intel Corporation | Extreme ultraviolet mask with improved absorber |
US6593037B1 (en) | 2001-05-02 | 2003-07-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | EUV mask or reticle having reduced reflections |
US6830851B2 (en) | 2001-06-30 | 2004-12-14 | Intel Corporation | Photolithographic mask fabrication |
US20030008148A1 (en) | 2001-07-03 | 2003-01-09 | Sasa Bajt | Optimized capping layers for EUV multilayers |
US6593041B2 (en) | 2001-07-31 | 2003-07-15 | Intel Corporation | Damascene extreme ultraviolet lithography (EUVL) photomask and method of making |
US6607862B2 (en) | 2001-08-24 | 2003-08-19 | Intel Corporation | Damascene extreme ultraviolet lithography alternative phase shift photomask and method of making |
US6653053B2 (en) | 2001-08-27 | 2003-11-25 | Motorola, Inc. | Method of forming a pattern on a semiconductor wafer using an attenuated phase shifting reflective mask |
US6818357B2 (en) | 2001-10-03 | 2004-11-16 | Intel Corporation | Photolithographic mask fabrication |
DE10150874A1 (de) | 2001-10-04 | 2003-04-30 | Zeiss Carl | Optisches Element und Verfahren zu dessen Herstellung sowie ein Lithographiegerät und ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements |
EP1306698A1 (en) * | 2001-10-26 | 2003-05-02 | Nikon Corporation | Multilayer reflective mirrors for EUV, wavefront-aberration-correction methods for the same, and EUV optical systems comprising the same |
US6627362B2 (en) | 2001-10-30 | 2003-09-30 | Intel Corporation | Photolithographic mask fabrication |
DE10156366B4 (de) | 2001-11-16 | 2007-01-11 | Infineon Technologies Ag | Reflexionsmaske und Verfahren zur Herstellung der Reflexionsmaske |
JP3939167B2 (ja) * | 2002-02-28 | 2007-07-04 | Hoya株式会社 | 露光用反射型マスクブランク、その製造方法及び露光用反射型マスク |
KR100455383B1 (ko) | 2002-04-18 | 2004-11-06 | 삼성전자주식회사 | 반사 포토마스크, 반사 포토마스크의 제조방법 및 이를이용한 집적회로 제조방법 |
DE10223113B4 (de) | 2002-05-21 | 2007-09-13 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Herstellung einer photolithographischen Maske |
TW200411339A (en) * | 2002-10-31 | 2004-07-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US6913706B2 (en) | 2002-12-28 | 2005-07-05 | Intel Corporation | Double-metal EUV mask absorber |
US6905801B2 (en) | 2002-12-28 | 2005-06-14 | Intel Corporation | High performance EUV mask |
US7118832B2 (en) | 2003-01-08 | 2006-10-10 | Intel Corporation | Reflective mask with high inspection contrast |
US6908713B2 (en) | 2003-02-05 | 2005-06-21 | Intel Corporation | EUV mask blank defect mitigation |
US7169514B2 (en) | 2003-12-31 | 2007-01-30 | Intel Corporation | Extreme ultraviolet mask with molybdenum phase shifter |
JP4693395B2 (ja) | 2004-02-19 | 2011-06-01 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランクス及び反射型マスク並びに半導体装置の製造方法 |
US7300724B2 (en) * | 2004-06-09 | 2007-11-27 | Intel Corporation | Interference multilayer capping design for multilayer reflective mask blanks |
JP2006332153A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Hoya Corp | 反射型マスクブランク及び反射型マスク並びに半導体装置の製造方法 |
TWI444757B (zh) | 2006-04-21 | 2014-07-11 | Asahi Glass Co Ltd | 用於極紫外光(euv)微影術之反射性空白光罩 |
TWI417647B (zh) | 2006-06-08 | 2013-12-01 | Asahi Glass Co Ltd | Euv微影術用之反射性空白遮光罩及用於彼之具有功能性薄膜的基板 |
EP2028681B1 (en) * | 2007-01-31 | 2014-04-23 | Asahi Glass Company, Limited | Reflective mask blank for euv lithography |
KR101409642B1 (ko) | 2007-04-17 | 2014-06-18 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | Euv 리소그래피용 반사형 마스크 블랭크 |
US8128642B2 (en) | 2008-05-02 | 2012-03-06 | Tyco Healthcare Group Lp | Fluid delivery system for surgical instruments |
-
2010
- 2010-12-08 JP JP2011545229A patent/JP5590044B2/ja active Active
- 2010-12-08 EP EP10836006.6A patent/EP2511943A4/en not_active Withdrawn
- 2010-12-08 KR KR1020127008116A patent/KR20130007533A/ko not_active Application Discontinuation
- 2010-12-08 WO PCT/JP2010/072047 patent/WO2011071086A1/ja active Application Filing
- 2010-12-09 TW TW99143003A patent/TWI467317B/zh not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-05-15 US US13/472,002 patent/US8986910B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001523007A (ja) * | 1997-11-10 | 2001-11-20 | ザ、リージェンツ、オブ、ザ、ユニバーシティ、オブ、カリフォルニア | 極紫外リソグラフィー用の多重層反射性コーティング用不動態化オーバーコート二重層 |
JP2005516182A (ja) * | 2001-07-03 | 2005-06-02 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニヴァーシティ オブ カリフォルニア | 不動態化保護膜二重層 |
JP2006170916A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Nikon Corp | 光学素子及びこれを用いた投影露光装置 |
WO2008090988A1 (ja) * | 2007-01-25 | 2008-07-31 | Nikon Corporation | 光学素子、これを用いた露光装置、及びデバイス製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130007533A (ko) | 2013-01-18 |
US20120225375A1 (en) | 2012-09-06 |
EP2511943A4 (en) | 2015-09-09 |
US8986910B2 (en) | 2015-03-24 |
TWI467317B (zh) | 2015-01-01 |
EP2511943A1 (en) | 2012-10-17 |
JPWO2011071086A1 (ja) | 2013-04-22 |
TW201131284A (en) | 2011-09-16 |
WO2011071086A1 (ja) | 2011-06-16 |
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