JP7416343B2 - 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 - Google Patents
反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7416343B2 JP7416343B2 JP2023552062A JP2023552062A JP7416343B2 JP 7416343 B2 JP7416343 B2 JP 7416343B2 JP 2023552062 A JP2023552062 A JP 2023552062A JP 2023552062 A JP2023552062 A JP 2023552062A JP 7416343 B2 JP7416343 B2 JP 7416343B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- reflective mask
- mask blank
- layer
- lower layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 63
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 32
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 126
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 96
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 67
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 53
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 34
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 claims description 31
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 claims description 27
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 21
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 15
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 claims description 8
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 51
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 36
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 15
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 11
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910003071 TaON Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- XEMZLVDIUVCKGL-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;sulfuric acid Chemical compound OO.OS(O)(=O)=O XEMZLVDIUVCKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012217 deletion Methods 0.000 description 1
- 230000037430 deletion Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009993 protective function Effects 0.000 description 1
- 238000005001 rutherford backscattering spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000500 β-quartz Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/22—Masks or mask blanks for imaging by radiation of 100nm or shorter wavelength, e.g. X-ray masks, extreme ultraviolet [EUV] masks; Preparation thereof
- G03F1/24—Reflection masks; Preparation thereof
Description
<Si層の成膜条件>
ターゲット:Siターゲット
スパッタガス:Arガス
ガス圧:1.3×10-2Pa~2.7×10-2Pa
イオン加速電圧:300V~1500V
成膜速度:0.030nm/sec~0.300nm/sec
Si層の厚み:4.5±0.1nm
<Mo層の成膜条件>
ターゲット:Moターゲット
スパッタガス:Arガス
ガス圧:1.3×10-2Pa~2.7×10-2Pa
イオン加速電圧:300V~1500V
成膜速度:0.030nm/sec~0.300nm/sec
Mo層の厚み:2.3±0.1nm
<Si層とMo層の繰り返し単位>
繰り返し単位数:30~60(好ましくは40~50)。
k<-0.15n+0.16・・・(I)
〔式中、nは屈折率であり、kは消衰係数である〕をEUV域において満たす下層12Lを設けることで、保護膜12と多層反射膜11との間でのミキシングを抑制できることを見出した。すなわち、本実施形態における上式(I)を満たす下層12Lを設けることによって、上層12Uに含まれる物質が多層反射膜11に向かって下方に拡散することを防止でき、また下層12Lに含まれる物質も多層反射膜11内へ拡散しにくいことを見出した。多層反射膜11がSi/Mo多層反射膜である場合には、保護膜12と、多層反射膜11の最上層を構成するSi層とのミキシングを抑制できる。層間でのミキシングは反射率の低下や耐久性の低下に繋がるが、本実施形態の構成によって層間でのミキシングを抑制することで、反射型マスク2のEUV光に対する反射率を維持できる。
R=|(sinθ-((n+ik)2-cos2θ)1/2)/(sinθ+((n+ik)2-cos2θ)1/2)|・・・(1)
入射角θと反射率Rの組み合わせを複数測定し、複数の測定データと式(1)との誤差が最小になるようにフィッテイングすることで屈折率nと消衰係数kを算出できる。
<Rh膜の成膜条件>
ターゲット:Rhターゲット
スパッタガス:Arガスガス圧:0.10Pa~0.20Pa
ターゲットの出力密度:1.0W/cm2~2.0W/cm2
成膜速度:0.02nm/sec~0.07nm/sec
Rh膜の膜厚:0.5nm~3.5nm。
<Ru膜の成膜条件>
ターゲット:Ruターゲット
スパッタガス:Arガスガス圧:0.010Pa~0.020Pa
成膜速度:0.01nm/sec~0.10nm/sec
Ru膜の膜厚:0.5nm~2.5nm。
<RuTaON膜の成膜条件>
ターゲット:Ruターゲット及びTaターゲット
Ruターゲットの出力密度:8.8W/cm2
Raターゲットの出力密度:0.41W/cm2
スパッタガス:ArガスとO2ガスとN2ガスとの混合ガス
スパッタガス中のO2ガスの体積比(O2/(Ar+O2+N2)):0.06
スパッタガス中のN2ガスの体積比(N2/(Ar+O2+N2)):0.21。
基板と多層反射膜と保護膜と吸収膜とを含む反射型マスクブランクを作製した。基板として、SiO2-TiO2系のガラス基板(外形6インチ(152mm)角、厚さが6.3mm)を準備した。このガラス基板は、20℃における熱膨張係数が0.02×10-7/℃であり、ヤング率が67GPaであり、ポアソン比が0.17であり、比剛性は3.07×107m2/s2であった。基板の表面(上面)の品質保証領域は、研磨によって0.15nm以下の二乗平均粗さ(RMS)と、100nm以下の平坦度と、を有していた。基板の裏面(下面)には、マグネトロンスパッタリング法を用いて厚さ100nmのCr膜を成膜した。Cr膜のシート抵抗は100Ω/□であった。
保護膜の成膜条件以外は例1と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例2では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Nb膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、マグネトロンスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてNb膜(膜厚0.5nm)を形成し、当該Nb膜の上に上層としてRh膜(膜厚2.5nm)を形成した。下層に用いられたNbは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜後に大気開放し、Si/Mo多層反射膜の成膜後からNb膜の下層及びRh膜の上層成膜が完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
例3では、例1と同様にして形成されたSi/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、マグネトロンスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚2.5nm)を成膜することによって、保護膜を形成した。
保護膜の成膜条件以外は例1と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例4では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ta膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、マグネトロンスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてTa膜(膜厚0.9nm)を形成し、当該Ta膜の上に上層としてRh膜(膜厚2.3nm)を形成した。下層に用いられたTaは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たさない材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜後に大気開放し、当該多層反射膜の成膜後からTa膜の下層及びRh膜の上層成膜が完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
Ta膜の下層膜厚以外は例4と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例5では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ta膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、マグネトロンスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてTa膜(膜厚1.3nm)を形成し、当該Ta膜の上に上層としてRh膜(膜2.4nm)をイオンビームスパッタリング法を用いて形成した。下層に用いられたTaは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たさない材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜後に大気開放し、Si/Mo多層反射膜の成膜後からTa膜の下層及びRh膜の上層成膜が完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の成膜条件以外は例1と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例6では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚0.9nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚1.6nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例7では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚0.9nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚1.8nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例8では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚0.9nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚2.0nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例9では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚1.1nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚1.6nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例10では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚1.1nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚1.8nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例11では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚1.1nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚2.0nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例12では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚1.6nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚1.6nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
保護膜の膜厚以外は例6と同様にして、反射型マスクブランクを作製した。例12では、Si/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚1.6nm)を形成し、当該Ru膜の上に上層としてイオンビームスパッタリング法を用いてRh膜(膜厚1.8nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。Si/Mo多層反射膜の成膜開始からRu膜の下層及びRh膜の上層成膜を完了するまで大気開放せずに連続して成膜した。
例14では、例1と同様にして形成されたSi/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚0.9nm)を形成し、当該Ru膜の上に、マグネトロンスパッタリング法を用いて上層としてRh膜(膜厚1.6nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。なお、本例では、Ru膜の下層形成後に一旦大気開放した。
例15では、例1と同様にして形成されたSi/Mo多層反射膜の最上層であるSi層上に、Ru膜の下層とRh膜の上層とを有する2層構造の保護膜を形成した。より具体的には、イオンビームスパッタリング法を用いて保護膜の下層としてRu膜(膜厚0.9nm)を形成し、当該Ru膜の上に、マグネトロンスパッタリング法を用いて上層としてRh膜(膜厚1.6nm)を形成した。下層に用いられたRuは、k<-0.15n+0.16(n=屈折率;k=消衰係数)を満たす材料である(図4)。なお、本例では、Ru膜の下層形成後に一旦大気開放した。
2 反射型マスク
10 基板
11 多層反射膜
12 保護膜
12L 保護膜の下層
12U 保護膜の上層
13 吸収膜
13a 開口パターン
14 エッチングマスク膜
Claims (14)
- 基板と、EUV光を反射する多層反射膜と、前記多層反射膜を保護する保護膜と、前記EUV光を吸収する吸収膜とを下から上にこの順で有する、EUVリソグラフィ用反射型マスクブランクであって、
前記保護膜が、
Rh、又はRhと、N、O、C、B、Ru、Nb、Mo、Ta、Ir、Pd、Zr及びTiからなる群から選択される少なくとも1つの元素とを含む、Rhを50~100原子%含むロジウム系材料からなる上層と、
Ru、Nb、Mo、Zr、Y、C及びBからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含み、EUV域において下式(I)
k<-0.15n+0.16・・・(I)
〔式中、nは屈折率であり、kは消衰係数である〕を満たす下層とを備えた、反射型マスクブランク。 - 前記下層は、Ru及びNbからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含む、請求項1に記載の反射型マスクブランク。
- 前記下層の屈折率nは、0.92以下である、請求項1又は2に記載の反射型マスクブランク。
- 前記下層はRuを含む、請求項1又は2に記載の反射型マスクブランク。
- 前記上層の厚みが0.5nm以上3.5nm以下であり、
前記下層の厚みが0.4nm以上2.5nm以下である、請求項1又は2に記載の反射型マスクブランク。 - 前記吸収膜は、
Ru、Ir、Pt、Pd、Au、Ta及びCrから選択される少なくとも1つの元素と、
O、B及びCから選択される少なくとも1つの非金属元素とを含む、請求項1又は2に記載の反射型マスクブランク。 - 前記吸収膜の上にエッチングマスク膜を有し、
前記エッチングマスク膜が、Al、Hf、Y、Cr、Nb、Ti、Mo、Ta及びSiからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含む、請求項1又は2に記載の反射型マスクブランク。 - 請求項1又は2に記載の反射型マスクブランクの前記吸収膜に、パターンが形成されている、反射型マスク。
- 基板上に、
EUV光を反射する多層反射膜を形成し、
前記多層反射膜を保護する保護膜を形成し、
前記EUV光を吸収する吸収膜を形成することを含み、
前記保護膜の形成が、
(i)Ru、Nb、Mo、Zr、Y、C及びBからなる群から選択される少なくとも1つの元素を含み、EUV域において下式(I)
k<-0.15n+0.16(I)
〔式中、nは屈折率であり、kは消衰係数である〕を満たす下層と、
(ii)Rh、又はRhと、N、O、C、B、Ru、Nb、Mo、Ta、Ir、Pd、Zr及びTiからなる群から選択される少なくとも1つの元素とを含む、Rhを50~100原子%含むロジウム系材料からなる上層とを形成することを含む、反射型マスクブランクの製造方法。 - 前記保護膜の前記下層形成開始から前記保護膜の前記上層形成を完了するまでは大気開放せずに連続して成膜する、請求項9記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記多層反射膜の形成開始から前記保護膜の前記下層及び前記上層形成を完了するまでは大気開放せずに連続して成膜する、請求項10記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記保護膜の前記下層及び前記上層をそれぞれ、マグネトロンスパッタリング法又はイオンビームスパッタリング法を用いて成膜する、請求項10又は11記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 前記多層反射膜、並びに前記保護膜の前記下層及び前記上層をそれぞれ、マグネトロンスパッタリング法又はイオンビームスパッタリング法を用いて成膜する、請求項11記載の反射型マスクブランクの製造方法。
- 請求項9に記載の製造方法を用いて反射型マスクブランクを準備し、
前記吸収膜に開口パターンを形成することを含む、反射型マスクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023221417A JP2024024687A (ja) | 2021-12-28 | 2023-12-27 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021214753 | 2021-12-28 | ||
JP2021214753 | 2021-12-28 | ||
PCT/JP2022/047930 WO2023127799A1 (ja) | 2021-12-28 | 2022-12-26 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023221417A Division JP2024024687A (ja) | 2021-12-28 | 2023-12-27 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2023127799A1 JPWO2023127799A1 (ja) | 2023-07-06 |
JPWO2023127799A5 JPWO2023127799A5 (ja) | 2023-11-30 |
JP7416343B2 true JP7416343B2 (ja) | 2024-01-17 |
Family
ID=86998931
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023552062A Active JP7416343B2 (ja) | 2021-12-28 | 2022-12-26 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
JP2023221417A Pending JP2024024687A (ja) | 2021-12-28 | 2023-12-27 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023221417A Pending JP2024024687A (ja) | 2021-12-28 | 2023-12-27 | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7416343B2 (ja) |
KR (1) | KR20240024272A (ja) |
TW (1) | TW202331810A (ja) |
WO (1) | WO2023127799A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004363570A (ja) | 2003-05-12 | 2004-12-24 | Hoya Corp | 反射多層膜付き基板及び反射型マスクブランクス並びに反射型マスク |
WO2011071086A1 (ja) | 2009-12-09 | 2011-06-16 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用光学部材 |
JP2021056502A (ja) | 2019-09-30 | 2021-04-08 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP2021184108A (ja) | 2020-03-27 | 2021-12-02 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク、及び半導体デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4346656B2 (ja) | 2007-05-28 | 2009-10-21 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランク及び反射型マスク |
-
2022
- 2022-12-26 WO PCT/JP2022/047930 patent/WO2023127799A1/ja active Application Filing
- 2022-12-26 KR KR1020247003323A patent/KR20240024272A/ko not_active Application Discontinuation
- 2022-12-26 JP JP2023552062A patent/JP7416343B2/ja active Active
- 2022-12-27 TW TW111150131A patent/TW202331810A/zh unknown
-
2023
- 2023-12-27 JP JP2023221417A patent/JP2024024687A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004363570A (ja) | 2003-05-12 | 2004-12-24 | Hoya Corp | 反射多層膜付き基板及び反射型マスクブランクス並びに反射型マスク |
WO2011071086A1 (ja) | 2009-12-09 | 2011-06-16 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用光学部材 |
JP2021056502A (ja) | 2019-09-30 | 2021-04-08 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 |
JP2021184108A (ja) | 2020-03-27 | 2021-12-02 | Hoya株式会社 | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク、反射型マスク、及び半導体デバイスの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202331810A (zh) | 2023-08-01 |
WO2023127799A1 (ja) | 2023-07-06 |
JP2024024687A (ja) | 2024-02-22 |
KR20240024272A (ko) | 2024-02-23 |
JPWO2023127799A1 (ja) | 2023-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9720317B2 (en) | Substrate with a multilayer reflective film, reflective mask blank for EUV lithography, reflective mask for EUV lithography and method of manufacturing the same, and method of manufacturing a semiconductor device | |
US9740091B2 (en) | Substrate with multilayer reflective film, reflective mask blank for EUV lithography, reflective mask for EUV lithography, and method of manufacturing the same, and method of manufacturing a semiconductor device | |
JP7401356B2 (ja) | 多層反射膜付き基板、反射型マスクブランク及び反射型マスク、並びに半導体装置の製造方法 | |
JP7315123B1 (ja) | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 | |
JP7416343B2 (ja) | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 | |
JP6223756B2 (ja) | 多層反射膜付き基板、euvリソグラフィー用反射型マスクブランク、euvリソグラフィー用反射型マスク及びその製造方法、並びに半導体装置の製造方法 | |
JP7456562B1 (ja) | 反射型マスクブランク、及び反射型マスク | |
JP7416342B1 (ja) | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、および反射型マスクの製造方法 | |
KR102624893B1 (ko) | 반사형 마스크 블랭크, 반사형 마스크, 반사형 마스크 블랭크의 제조 방법 및 반사형 마스크의 제조 방법 | |
TWI832601B (zh) | 反射型光罩基底、反射型光罩、反射型光罩基底之製造方法、及反射型光罩之製造方法 | |
WO2023008435A1 (ja) | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、及び反射型マスクの製造方法 | |
TW202334736A (zh) | 反射型光罩基底、反射型光罩、反射型光罩基底之製造方法、及反射型光罩之製造方法 | |
JP7392236B1 (ja) | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、および反射型マスクの製造方法 | |
TW202405551A (zh) | 反射型光罩基底、反射型光罩、反射型光罩基底之製造方法、及反射型光罩之製造方法 | |
WO2024029409A1 (ja) | 反射型マスクブランク及び反射型マスク | |
WO2024009809A1 (ja) | 反射型マスクブランク、反射型マスク、反射型マスクブランクの製造方法、および反射型マスクの製造方法 | |
US20220244630A1 (en) | Thin film-attached substrate, multilayered reflective film-attached substrate, reflective mask blank, reflective mask, and method of manufacturing semiconductor device | |
JP2018031982A (ja) | 反射型マスク、並びに反射型マスクブランク及び半導体装置の製造方法 | |
TW202409709A (zh) | 反射型光罩基底、反射型光罩、反射型光罩基底之製造方法、及反射型光罩之製造方法 | |
TW202248742A (zh) | 附多層反射膜之基板、反射型光罩基底、反射型光罩及半導體裝置之製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230825 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230825 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20230825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231110 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7416343 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |