JP5494164B2 - Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の機能膜付基板 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 66
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 title claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 317
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 114
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 93
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 72
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 36
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 18
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 14
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 8
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 55
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 16
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 15
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 14
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 13
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 11
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000001659 ion-beam spectroscopy Methods 0.000 description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 7
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 7
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000007687 exposure technique Methods 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- GPTXWRGISTZRIO-UHFFFAOYSA-N chlorquinaldol Chemical compound ClC1=CC(Cl)=C(O)C2=NC(C)=CC=C21 GPTXWRGISTZRIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 150000003304 ruthenium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
吸収体層には、EUV光に対する吸収係数の高い材料、具体的にはたとえば、クロム(Cr)やタンタル(Ta)を主成分とする材料が用いられる。
特に、EUV露光時のEUV光線反射率の低下は、経時的に進行するので、露光条件を途中で変更する必要が生じたり、フォトマスクの寿命の短縮につながるので問題である。
以下、本明細書において、マスクブランク製造時に実施される工程や該マスクブランクからフォトマスクを製造する際に実施される工程(例えば、洗浄、欠陥検査、加熱工程、ドライエッチング、欠陥修正の各工程)において、あるいは該EUV露光時において、Ru保護層、さらには多層反射膜の最上層が酸化されることによって、保護層表面にEUV光を照射した際のEUV光線反射率が低下することを、単に「Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下」と言う場合がある。
また、Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層、および、該Si層の直下のMo層の合計膜厚と、Ru保護層の膜厚と、が特定の関係を満たすように、両者の膜厚を設定することで、初期のEUV光線反射率が高く、かつ、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下を抑制する効果がより向上することを見出した。
前記反射層が、Mo/Si多層反射膜であり、
前記保護層が、Ru層、または、Ru化合物層であり、
前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層の膜厚tSi(nm)、および、前記保護層の膜厚tRu(nm)が下記式(1),(2)を満たし、
前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層、および、該Si層の直下のMo層の合計膜厚tSi+Mo(nm)と、前記保護層の膜厚tRuと、下記式(7)を満たし、前記合計膜厚t Si+Mo (nm)が、5.9nm≦t Si+Mo ≦6.2nmを満たすEUVリソグラフィ用反射層付基板(以下、本明細書において、「本発明の反射層付基板」ともいう。)を提供する。
−0.494×tRu+4.30≦tSi≦−0.494×tRu+5.70 (1)
2.5nm≦tRu≦3.5nm (2)
−0.494×tRu+7.37≦tSi+Mo≦−0.494×tRu+7.97 (7)
前記反射層が、Mo/Si多層反射膜であり、
前記保護層が、Ru層、または、Ru化合物層であり、
前記保護層の膜厚tRu(nm)が下記式(2)を満たすように予め定めたうえで、下記式(1)を満たすように前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層の膜厚tSiを設定するとともに、下記式(7)を満たし、前記合計膜厚t Si+Mo (nm)が、5.9nm≦t Si+Mo ≦6.2nmを満たすように前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層、および、該Si層の直下のMo層の合計膜厚tSi+Mo(nm)を設定するEUVリソグラフィ用反射層付基板の製造方法(以下、本明細書において、「本発明の反射層付基板の製造方法」ともいう。)を提供する。
−0.494×tRu+4.30≦tSi≦−0.494×tRu+5.70 (1)
2.5nm≦tRu≦3.5nm (2)
−0.494×tRu+7.37≦tSi+Mo≦−0.494×tRu+7.97 (7)
また、本発明の反射層付基板の製造方法において、前記保護層の膜厚tRu(nm)が、3nm≦tRu≦3.5nmを満たすように設定することが好ましい。
また、本発明は、本発明の反射層付基板の製造方法で製造されたEUVリソグラフィ用反射層付基板の前記保護層上に吸収体層を設ける、EUVリソグラフィ用反射型マスクブランクの製造方法を提供する。
本発明のEUVマスクブランクを用いて作成されるEUVマスクは、EUV露光時において、EUV光線反射率の経時的な変化が小さい、信頼性の高いEUVマスクである。
図1は、本発明のEUVマスクブランクの1実施形態を示す概略断面図である。図1に示すマスクブランク1は、基板11上にEUV光を反射する反射層12と、該反射層12を保護するための保護層13が、この順に掲載されている。ここで、反射層12は、Mo膜12aと、Si膜12bと、を交互に複数回積層させたMo/Si多層反射膜である。
以下、マスクブランク1の個々の構成要素について説明する。
そのため、基板11は、低熱膨張係数(0±1.0×10-7/℃であることが好ましく、より好ましくは0±0.3×10-7/℃、さらに好ましくは0±0.2×10-7/℃、さらに好ましくは0±0.1×10-7/℃、特に好ましくは0±0.05×10-7/℃)を有し、平滑性、平坦度、およびマスクブランクまたはパターン形成後のフォトマスクの洗浄等に用いる洗浄液への耐性に優れたものが好ましい。基板11としては、具体的には低熱膨張係数を有するガラス、例えばSiO2−TiO2系ガラス等を用いるが、これに限定されず、β石英固溶体を析出した結晶化ガラスや石英ガラスやシリコンや金属などの基板を用いることもできる。また、基板11上に応力補正膜のような膜を形成してもよい。
基板11は、0.15nm rms以下の平滑な表面と100nm以下の平坦度を有していることがパターン形成後のフォトマスクにおいて高反射率および転写精度が得られるために好ましい。
基板11の大きさや厚みなどはマスクの設計値等により適宜決定されるものである。後で示す実施例では外形6インチ(152.4mm)角で、厚さ0.25インチ(6.3mm)のSiO2−TiO2系ガラスを用いた。
基板11の反射層12が形成される側の表面には欠点が存在しないことが好ましい。しかし、存在している場合であっても、凹状欠点および/または凸状欠点によって位相欠点が生じないように、凹状欠点の深さおよび凸状欠点の高さが2nm以下であり、かつこれら凹状欠点および凸状欠点の半値幅が60nm以下であることが好ましい。
Mo/Si多層反射膜の場合に、EUV光線反射率の最大値が60%以上の反射層12とするには、膜厚2.7±0.1nmのMo層12aと、膜厚4.3±0.1nmのSi層12bとを繰り返し単位数が29〜59になるように積層させた後、Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層12b(top)、および、該Si層の直下のMo層12a(top)を、それらの膜厚が後述する所定の範囲となるように、Mo層12a(top)およびSi層12b(top)の順に積層させればよい。
また、保護層13は、保護層13を形成した後であっても反射層12でのEUV光線反射率を損なうことがないように、保護層13自体もEUV光線反射率が高いことが好ましい。
本発明のEUVマスクブランクでは、上記の条件を満足するため、保護層13として、Ru層、または、Ru化合物(RuB等)層などが形成される。以下、本明細書において、保護層13として形成するRu層およびRu化合物層を総称してRu保護層と言う場合がある。
−0.494×tRu+4.30≦tSi≦−0.494×tRu+5.70 (1)
2.5nm≦tRu≦3.5nm (2)
これにより、初期のEUV光線反射率が高く、かつ、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下が抑制されたEUVマスクブランクを得ることができる。
しかしながら、Ru保護層の膜厚を大きくすると、初期のEUV光線反射率が低下するので問題である。
本願発明者らは、Mo/Si多層反射膜の膜厚、および、Ru保護層の膜厚と、初期のEUV光線反射率、および、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下と、の関係について、鋭意検討した結果、Mo/Si多層反射膜(反射層12)の最上層であるSi層12b(top)の膜厚tSi(nm)、および、Ru保護層13の膜厚tRu(nm)が上記式(1)を満たすように両者の膜厚を設定すれば、初期のEUV光線反射率と、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下の抑制と、のバランスが取れたEUVマスクブランクが得られることを見出した。
但し、上記式(1)を満たすように両者の膜厚を設定しても、Ru保護層13の膜厚が大きすぎると、EUVマスクブランクの初期のEUV光線反射率が低下する。また、Ru保護層13の膜厚が小さすぎると、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下を抑制できなくなるおそれがあるうえ、Ru保護層13に本来要求される耐エッチング特性を発揮できなくなるおそれがある。このため、Ru保護層13の膜厚tRu(nm)が上記式(2)を満たすことが求められる。
−0.494×tRu+6.97≦tSi+Mo≦−0.494×tRu+8.37 (3)
これにより、初期のEUV光線反射率がより高く、かつ、Ru保護層の酸化によるEUV光線反射率の低下がより抑制されたEUVマスクブランクを得ることができる。
−0.494×tRu+4.50≦tSi≦−0.494×tRu+5.50 (4)
−0.494×tRu+4.70≦tSi≦−0.494×tRu+5.30 (5)
−0.494×tRu+7.17≦tSi+Mo≦−0.494×tRu+8.17 (6)
−0.494×tRu+7.37≦tSi+Mo≦−0.494×tRu+7.97 (7)
保護層13表面の表面粗さが0.5nm rms以下であれば、該保護層13上に形成される吸収体層14表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。保護層13表面の表面粗さは0.4nm rms以下であることがより好ましく、0.3nm rms以下であることがさらに好ましい。
イオンビームスパッタリング法を用いて、保護層13としてRu層を形成する場合、ターゲットとしてRuターゲットを用い、アルゴン(Ar)雰囲気中で放電させればよい。具体的には、以下の条件でイオンビームスパッタリングを実施すればよい。
スパッタガス:Ar(ガス圧:1.0×10-2〜10×10-2Pa、好ましくは1.0×10-2〜5.0×10-2Pa、より好ましくは1.3×10-2〜2.7×10-2Pa)
イオン加速電圧:300〜1500V、好ましくは400〜1000V、より好ましくは500〜700V
成膜速度:0.01〜1nm/sec、好ましくは0.02〜0.5nm/sec、より好ましくは0.03〜0.3nm/sec
本発明の反射層付基板は、後述する実施例に記載する手順にしたがって、保護層13表面をオゾン水洗浄した場合に、洗浄後のEUV光線反射率が63%以上であるのが好ましく、63.5%以上であるのがより好ましい。
上記の特性を達成するため、EUV光の吸収係数が高い材料で構成されることが好ましく、タンタル(Ta)を主成分とする材料で形成されていることが好ましい。
このような吸収体層14としては、Ta、B、Siおよび窒素(N)を以下に述べる比率で含有するもの(TaBSiN膜)が挙げられる。
Bの含有率 1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは1.5〜4at%
Siの含有率 1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜12at%
TaとNとの組成比(Ta:N) 8:1〜1:1
Taの含有率 好ましくは50〜90at%、より好ましくは60〜80at%
Nの含有率 好ましくは5〜30at%、より好ましくは10〜25at%
上記組成の吸収体層14は、表面粗さが0.5nm rms以下である。吸収体層15表面の表面粗さが大きいと、吸収体層14に形成されるパターンのエッジラフネスが大きくなり、パターンの寸法精度が悪くなる。パターンが微細になるに従いエッジラフネスの影響が顕著になるため、吸収体層14表面は平滑であることが要求される。
吸収体層14表面の表面粗さが0.5nm rms以下であれば、吸収体層14表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。吸収体層14表面の表面粗さは0.4nm rms以下であることがより好ましく、0.3nm rms以下であることがさらに好ましい。
エッチング選択比
=(吸収体層14のエッチング速度)/(保護層13のエッチング速度)
エッチング選択比は、10以上が好ましく、11以上であることがさらに好ましく、12以上であることがさらに好ましい。
(1)Taターゲット、BターゲットおよびSiターゲットを使用し、Arで希釈した窒素(N2)雰囲気中でこれらの個々のターゲットを同時に放電させることによって吸収体層14を形成する。
(2)TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを用いて、これらのターゲットをArで希釈したN2雰囲気中で同時放電させることによって吸収体層14を形成する。
(3)TaBSi化合物ターゲットを用いて、この3元素が一体化されたターゲットをArで希釈したN2雰囲気中で放電させることによって吸収体層14を形成する。
なお、上述した方法のうち、2以上のターゲットを同時に放電させる方法((1)、(2))では、各ターゲットの投入電力を調節することによって、形成される吸収体層14の組成を制御することができる。
上記の中でも(2)および(3)の方法が、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で好ましく、(3)の方法が特に好ましい。TaBSi化合物ターゲットは、その組成がTa=50〜94at%、Si=5〜30at%、B=1〜20at%であることが、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で特に好ましい。
TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを使用する方法(2)
スパッタガス:ArとN2の混合ガス(N2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa。)
投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/sec、好ましくは3.5〜45nm/sec、より好ましくは5〜30nm/sec
TaBSi化合物ターゲットを使用する方法(3)
スパッタガス:ArとN2の混合ガス(N2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/sec、好ましくは3.5〜45nm/sec、より好ましくは5〜30nm/sec
EUVマスクを作製する際、吸収体層にパターンを形成した後、このパターンが設計通りに形成されているかどうか検査する。このマスクパターンの検査では、検査光として通常257nm程度の光を使用した検査機が使用される。つまり、この257nm程度の光の反射率の差、具体的には、吸収体層14がパターン形成により除去されて露出した面と、パターン形成により除去されずに残った吸収体層14表面と、の反射率の差によって検査される。ここで、前者は保護層13表面である。したがって、検査光の波長に対する保護層13表面と吸収体層14表面との反射率の差が小さいと検査時のコントラストが悪くなり、正確な検査が出来ないことになる。
図2に示すEUVマスクブランク1´のように、吸収体層14上に低反射層15を形成することにより、検査時のコントラストが良好となる、別の言い方をすると、検査光の波長での光線反射率が極めて低くなる。このような目的で形成する低反射層15は、検査光の波長領域の光線を照射した際に、該検査光の波長の最大光線反射率が15%以下であることが好ましく、10%以下であることがより好ましく、5%以下であることがさらに好ましい。
低反射層15における検査光の波長の光線反射率が15%以下であれば、該検査時のコントラストが良好である。具体的には、保護層13表面における検査光の波長の反射光と、低反射層15表面における検査光の波長の反射光と、のコントラストが、40%以上となる。
コントラスト(%)=((R2−R1)/(R2+R1))×100
ここで、検査光の波長におけるR2は保護層13表面での反射率であり、R1は低反射層15表面での反射率である。なお、上記R1およびR2は、図2に示すEUVマスクブランク1´の吸収体層14および低反射層15にパターンを形成した状態(つまり、図3に示す状態)で測定する。上記R2は、図3中、パターン形成によって吸収体層14および低反射層15が除去され、外部に露出した保護層13表面で測定した値であり、R1はパターン形成によって除去されずに残った低反射層15表面で測定した値である。
本発明において、上記式で表されるコントラストが45%以上であることがより好ましく、60%以上であることがさらに好ましく、80%以上であることが特に好ましい。
このような低反射層15の具体例としては、Ta、B、Siおよび酸素(O)を以下に述べる比率で含有するもの(低反射層(TaBSiO))が挙げられる。
Bの含有率 1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは1.5〜4at%
Siの含有率 1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜10at%
TaとOとの組成比(Ta:O) 7:2〜1:2、好ましくは7:2〜1:1、より好ましくは2:1〜1:1
Bの含有率 1at%以上5at%未満、好ましくは1〜4.5at%、より好ましくは2〜4.0at%
Siの含有率 1〜25at%、好ましくは1〜20at%、より好ましくは2〜10at%
TaとO及びNの組成比(Ta:(O+N)) 7:2〜1:2、好ましくは7:2〜1:1、より好ましくは2:1〜1:1
上記したように、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度の悪化が防止するため、吸収体層14表面は平滑であることが要求される。低反射層15は、吸収体層14上に形成されるため、同様の理由から、その表面は平滑であることが要求される。
低反射層15表面の表面粗さが0.5nm rms以下であれば、低反射層15表面が十分平滑であるため、エッジラフネスの影響によってパターンの寸法精度が悪化するおそれがない。低反射層15表面の表面粗さは0.4nm rms以下であることがより好ましく、0.3nm rms以下であることがさらに好ましい。
(1)Taターゲット、BターゲットおよびSiターゲットを使用し、アルゴン(Ar)で希釈した酸素(O2)雰囲気中でこれらの個々のターゲットを同時に放電させることによって低反射層(TaBSiO)を形成する。
(2)TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを用いて、これらのターゲットをアルゴンで希釈した酸素雰囲気中で同時放電させることによって低反射層(TaBSiO)を形成する。
(3)TaBSi化合物ターゲットを用いて、この3元素が一体化されたターゲットをアルゴンで希釈した酸素雰囲気中で放電させることによって低反射層(TaBSiO)を形成する。
なお、上述した方法のうち、2以上のターゲットを同時に放電させる方法((1)、(2))では、各ターゲットの投入電力を調節することによって、形成される低反射層(TaBSiO)の組成を制御することができる。
上記の中でも(2)および(3)の方法が、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で好ましく、(3)の方法が特に好ましい。TaBSi化合物ターゲットは、その組成がTa=50〜94at%、Si=5〜30at%、B=1〜20at%であることが、放電の不安定化や膜の組成や膜厚のばらつきを回避できる点で特に好ましい。
低反射層(TaBSiON)を形成する場合、アルゴンで希釈した酸素雰囲気の代わりにアルゴンで希釈した酸素・窒素混合ガス雰囲気で、上記と同様の手順を実施すればよい。
TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを使用する方法(2)
スパッタガス:ArとO2の混合ガス(O2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa。)
投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜60nm/sec、好ましくは3.5〜45nm/sec、より好ましくは5〜30nm/sec
TaBSi化合物ターゲットを使用する方法(3)
スパッタガス:ArとO2の混合ガス(O2ガス濃度3〜80vol%、好ましくは5〜30vol%、より好ましくは8〜15vol%。ガス圧1.0×10-1Pa〜10×10-1Pa、好ましくは1.0×10-1Pa〜5×10-1Pa、より好ましくは1.0×10-1Pa〜3×10-1Pa。)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜50nm/sec、好ましくは2.5〜35nm/sec、より好ましくは5〜25nm/sec
TaB化合物ターゲットおよびSiターゲットを使用する方法(2)
スパッタガス:ArとO2とN2の混合ガス(O2ガス濃度5〜30体積%、N2ガス濃度5〜30体積%、好ましくはO2ガス濃度6〜25体積%、N2ガス濃度6〜25体積%、より好ましくはO2ガス濃度10〜20体積%、N2ガス濃度15〜25体積%。ガス圧1.0×10-2Pa〜10×10-2Pa、好ましくは1.0×10-2Pa〜5×10-2Pa、より好ましくは1.0×10-2Pa〜3×10-2Pa。)
投入電力(各ターゲットについて):30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜50nm/sec、好ましくは2.5〜35nm/sec、より好ましくは5〜25nm/sec
TaBSi化合物ターゲットを使用する方法(3)
スパッタガス:ArとO2とN2の混合ガス(O2ガス濃度5〜30体積%、N2ガス濃度5〜30体積%、好ましくはO2ガス濃度6〜25体積%、N2ガス濃度6〜25体積%、より好ましくはO2ガス濃度10〜20体積%、N2ガス濃度15〜25体積%。ガス圧1.0×10-2Pa〜10×10-2Pa、好ましくは1.0×10-2Pa〜5×10-2Pa、より好ましくは1.0×10-2Pa〜3×10-2Pa。)
投入電力:30〜1000W、好ましくは50〜750W、より好ましくは80〜500W
成膜速度:2.0〜50nm/sec、好ましくは2.5〜35nm/sec、より好ましくは5〜25nm/sec
高誘電性コーティングは、公知の成膜方法、例えば、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法といったスパッタリング法、CVD法、真空蒸着法、電解メッキ法を用いて形成することができる。
平板形状をした通常の静電チャックに、形成したCr膜を用いて基板11(外形6インチ(152.4mm)角、厚さ6.3mm)を固定して、該基板11の表面上にイオンビームスパッタ法を用いてMo膜12a(膜厚2.7nm)およびSi膜12b(膜厚4.3nm)を交互に成膜することを49周期繰り返した後、下記表に記載の膜厚となるように、Mo層12a(top)およびSi層12b(top)を成膜して、Mo/Si多層反射膜(反射層12)を形成した。
Mo膜の成膜条件
ターゲット:Moターゲット
スパッタガス:Arガス(ガス圧0.02Pa)
電圧:600V
成膜速度:0.064nm/sec
Si膜の成膜条件
ターゲット:Siターゲット(ホウ素ドープ)
スパッタガス:Arガス(ガス圧0.02Pa)
電圧:600V
成膜速度:0.077nm/sec
Ru保護層13の形成条件は以下の通りである。
ターゲット:Ruターゲット
スパッタガス:Arガス(ガス圧0.02Pa)
電圧:600V
成膜速度:0.052nm/sec
[洗浄耐性]
上記の手順で作製した反射層付基板のRu保護層13表面をオゾン水によるスピン洗浄で計600秒処理した。この処理の前後に保護層13表面にEUV光(波長13.57nm)を照射し、EUV反射率をEUV反射率計(AIXUV社製MBR(製品名))を用いて測定した。結果を下記表に示した。
一方、式(1)を満たさない例1、7、8、12、13、17は、いずれも初期のEUV光線反射率が65%未満であるか、洗浄後のEUV光線反射率が63%未満であった。
11:基板
12:反射層
12a:Mo層
12b:Si層
13:保護層
14:吸収体層
15:低反射層
Claims (12)
- 基板上に、EUV光を反射する反射層と、該反射層を保護する保護層とがこの順に形成されたEUVリソグラフィ用反射層付基板であって、
前記反射層が、Mo/Si多層反射膜であり、
前記保護層が、Ru層、または、Ru化合物層であり、
前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層の膜厚tSi(nm)、および、前記保護層の膜厚tRu(nm)が下記式(1),(2)を満たし、
前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層、および、該Si層の直下のMo層の合計膜厚tSi+Mo(nm)と、前記保護層の膜厚tRuと、が下記式(7)を満たし、前記合計膜厚t Si+Mo (nm)が、5.9nm≦t Si+Mo ≦6.2nmを満たすEUVリソグラフィ用反射層付基板。
−0.494×tRu+4.30≦tSi≦−0.494×tRu+5.70 (1)
2.5nm≦tRu≦3.5nm (2)
−0.494×tRu+7.37≦tSi+Mo≦−0.494×tRu+7.97 (7) - 前記保護層の膜厚t Ru (nm)が、3nm≦t Ru ≦3.5nmを満たす、請求項1に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板。
- 前記保護層表面の表面粗さが0.5nm rms以下である、請求項1または2に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の反射層付基板の保護層上に吸収体層を形成してなるEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 前記吸収体層がタンタル(Ta)を主成分とする材料で形成される、請求項4に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- エッチングガスとして塩素系ガスを用いてドライエッチングを実施した際の前記保護層と前記吸収体層とのエッチング選択比が10以上である、請求項4または5に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 前記吸収体層上に、タンタル(Ta)を主成分とする材料で形成された、マスクパターンの検査に使用する検査光における低反射層が設けられている、請求項4〜6のいずれかに記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 吸収体層に形成されるパターンの検査に用いられる光の波長に対する前記保護層表面での反射光と、前記低反射層表面での反射光と、のコントラストが、30%以上である、請求項7に記載のEUVリソグラフィ用反射型マスクブランク。
- 請求項4〜8のいずれかに記載のEUVマスクブランクをパターニングしたEUVリソグラフィ用反射型マスク。
- 基板上に、EUV光を反射する反射層と、該反射層を保護する保護層とをこの順に形成するEUVリソグラフィ用反射層付基板の製造方法であって、
前記反射層が、Mo/Si多層反射膜であり、
前記保護層が、Ru層、または、Ru化合物層であり、
前記保護層の膜厚t Ru (nm)が下記式(2)を満たすように予め定めたうえで、下記式(1)を満たすように前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層の膜厚t Si を設定するとともに、下記式(7)を満たし、前記合計膜厚t Si+Mo (nm)が、5.9nm≦t Si+Mo ≦6.2nmを満たすように前記Mo/Si多層反射膜の最上層であるSi層、および、該Si層の直下のMo層の合計膜厚t Si+Mo (nm)を設定するEUVリソグラフィ用反射層付基板の製造方法。
−0.494×t Ru +4.30≦t Si ≦−0.494×t Ru +5.70 (1)
2.5nm≦t Ru ≦3.5nm (2)
−0.494×t Ru +7.37≦t Si+Mo ≦−0.494×t Ru +7.97 (7) - 前記保護層の膜厚t Ru (nm)が、3nm≦t Ru ≦3.5nmを満たすように設定する請求項10に記載のEUVリソグラフィ用反射層付基板の製造方法。
- 請求項10または11に記載の方法で製造されたEUVリソグラフィ用反射層付基板の前記保護層上に吸収体層を設ける、EUVリソグラフィ用反射型マスクブランクの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010093041A JP5494164B2 (ja) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の機能膜付基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010093041A JP5494164B2 (ja) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の機能膜付基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011222887A JP2011222887A (ja) | 2011-11-04 |
JP5494164B2 true JP5494164B2 (ja) | 2014-05-14 |
Family
ID=45039441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010093041A Active JP5494164B2 (ja) | 2010-04-14 | 2010-04-14 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の機能膜付基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5494164B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6069919B2 (ja) | 2012-07-11 | 2017-02-01 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランクおよびその製造方法、ならびに該マスクブランク用の反射層付基板およびその製造方法 |
CN106164771B (zh) * | 2014-03-11 | 2020-08-04 | 芝浦机械电子株式会社 | 反射型掩膜的清洗装置、及反射型掩膜的清洗方法 |
JP7226389B2 (ja) * | 2020-04-28 | 2023-02-21 | 信越化学工業株式会社 | 反射型マスクブランク用膜付き基板及び反射型マスクブランク |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4521696B2 (ja) * | 2003-05-12 | 2010-08-11 | Hoya株式会社 | 反射多層膜付き基板及び反射型マスクブランクス並びに反射型マスク |
JP2007134464A (ja) * | 2005-11-09 | 2007-05-31 | Canon Inc | 多層膜を有する光学素子及びそれを有する露光装置 |
JP4926523B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-05-09 | Hoya株式会社 | 反射型マスクブランクス及び反射型マスク並びに半導体装置の製造方法 |
JP4910856B2 (ja) * | 2006-06-08 | 2012-04-04 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および該マスクブランク用の機能膜付基板 |
JP2009210802A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Asahi Glass Co Ltd | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
CN101978468B (zh) * | 2008-03-18 | 2013-03-20 | 旭硝子株式会社 | Euv光刻用反射型掩模基板及其制造方法 |
JP5541159B2 (ja) * | 2008-07-14 | 2014-07-09 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク、および、euvリソグラフィ用反射型マスク |
-
2010
- 2010-04-14 JP JP2010093041A patent/JP5494164B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011222887A (ja) | 2011-11-04 |
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