JP2010503197A - 汚染物質又は望ましくない物質で覆われた表面領域をクリーニングする方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 真空容器
3 集光鏡
4 ガス出口
5 中間焦点
6 放射線ビーム
7 デブリ軽減手段
8 水素分子含有ガス
9 ガス出口
10 ガス入口
11 触媒物質
12 内壁
Claims (15)
- 汚染物質又は望ましくない物質で少なくとも部分的に覆われた第1の表面領域をクリーニングする方法であって、前記汚染物質又は望ましくない物質は、水素原子への暴露によって除去可能又は変換可能であり、前記方法は、
触媒物質を備えた1つ又は幾つかの第2の表面領域を前記第1の表面領域に近接して設けるステップを有し、前記触媒物質は、水素分子の原子化を生じさせるよう選択され、前記1つ又は幾つかの第2の表面領域は、前記第1の表面領域の表面積の少なくとも2倍である全表面積を有し、
水素分子含有ガス又はガス混合物のガス流を、前記水素分子含有ガス又はガス混合物が前記第1の表面領域を通過する前に前記1つ又は幾つかの第2の表面領域と接触状態になるような仕方で前記1つ又は幾つかの第2の表面領域に向かって又は該第2の表面領域に沿って差し向けるステップを有し、前記水素分子の一部は、原子化して水素原子になり、このような水素原子は、前記ガス流と共に前記第1の表面領域に運ばれ、それにより前記汚染物質又は望ましくない物質を除去し又は変換する、
ことを特徴とする方法。 - 前記触媒物質を備えた前記1つ又は幾つかの第2の表面領域は、前記第1の表面領域が設けられている装置の1つ又は幾つかの部品上に設けられ、前記第2の表面領域を有する前記部品は又、前記装置の動作に必要な他の機能を実行する、請求項1記載の方法。
- 前記第1の表面領域は、EUV放射線及び(又は)軟X線のための照射ユニットに設けられている光学部品の光学面の少なくとも一部であり、前記汚染物質は、前記光学面上に付着したデブリ物質である、請求項1記載の方法。
- 前記1つ又は幾つかの第2の表面領域は、前記照射ユニットの部品の表面領域及び(又は)真空容器の内壁の表面領域及び(又は)流れ中に位置決めされた専用装置の表面領域である、請求項3記載の方法。
- 前記1つ又は幾つかの第2の表面領域は、前記照射ユニットの光学部品の前記光学面の表面領域及び(又は)前記光学部品の裏側の表面領域である、請求項3記載の方法。
- 前記光学部品は、集光鏡であり、前記1つ又は幾つかの第2の表面領域の少なくとも一部分は、前記集光鏡のシェルの前及び(又は)後側に設けられている、請求項3記載の方法。
- 水素分子含有ガス又はガス混合物の前記ガス流は、前記照射ユニットの放射線源と反対の側から前記放射線源に向かって前記集光鏡に差し向けられる、請求項6記載の方法。
- 前記1つ又は幾つかの第2の表面領域は、前記水素分子含有ガス又はガス混合物を前記光学面に供給する1つ又は幾つかのガス供給源の内部に設けられている、請求項4記載の方法。
- 前記触媒物質は、物質Pd、Pt、Ru、及びRhから選択される、請求項1記載の方法。
- 特にEUV放射線及び(又は)軟X線のための照射ユニットであって、1つ又は幾つかのガス入口通路及びガス出口通路を有する真空容器内に設けられた少なくとも1つの放射線源及び1つ又は幾つかの光学部品を有し、
触媒物質を備えた1つ又は幾つかの表面領域が、前記光学部品の中の少なくとも1つの光学表面領域に近接して配置され、前記触媒物質は、水素分子の原子化を生じさせるよう選択され、前記触媒物質を備えた前記1つ又は幾つかの表面領域は、前記光学表面領域の表面積の少なくとも2倍である全表面積を有し、
前記1つ又は幾つかのガス入口通路の中の少なくとも1つは、ガスの流れを、ガスが前記光学表面領域を通過する前に、前記触媒物質を備えた前記1つ又は幾つかの表面領域と接触状態になるような仕方で前記触媒物質を備えた前記1つ又は幾つかの表面領域に沿って差し向けるように形成されている、照射ユニット。 - 前記触媒物質を備えた前記1つ又は幾つかの表面領域は、前記1つ又は幾つかの入口通路の内面領域及び(又は)前記真空容器の内壁の内面領域及び(又は)流れ中に位置決めされた専用装置の内面領域である、請求項10記載の照射ユニット。
- 前記触媒物質を備えた前記1つ又は幾つかの第2の表面領域は、前記光学面の表面領域及び(又は)前記光学部品の裏側の表面領域である、請求項10記載の照明ユニット。
- 前記光学部品の中の1つは、集光鏡であり、前記1つ又は幾つかの第2の表面領域の少なくとも一部分は、前記集光鏡のシェルの前及び(又は)後側に設けられている、請求項10記載の照明ユニット。
- 前記1つ又は幾つかのガス入口通路の中の前記少なくとも1つは、前記ガス流を前記照射ユニットの放射線源と反対の側から前記放射線源に向かって前記集光鏡に差し向けるよう配置されている、請求項13記載の照射ユニット。
- 前記触媒物質は、物質Pd、Pt、Ru、及びRhから選択される、請求項10記載の照明ユニット。
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