JP2004319899A - 露光装置及び露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プレートPTを走査しつつ、これに同期して各可変パターン生成部41a〜41に形成したパターンをスクロールすることによって、プレートPTの所望領域に所望のパターンが徐々に露光される。この際、主制御装置8は、ステージ装置7のステージ移動誤差、投影光学系6の投影収差、プレートPTに後発的に形成されたプレート変位等を、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させる画像の修正によって補正し、或いは各可変パターン生成部41a〜41eの姿勢や配置の修正によって補正し、或いは、フォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等の調節によって補正する。これにより、プレートPT全体に亘って高精度の露光が可能になり、回路等の集積度を高めることができ、回路等の製造の歩留りを高めることができる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体素子、液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド、その他のマイクロデバイスの製造工程において用いられる露光装置及び露光方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
パターンの消去や書込みが可能なマスクを用い、マスクに基準格子を形成することによって光学系を介して投影されるパターンに基づいて光学系の収差を検出し、レチクルに露光用パターンを形成する際に、収差検出結果に基づいて収差を相殺するように露光用パターンデータを補正する露光装置が提案されている(特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平7−111239号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の露光装置は、静的なパターンの転写に適用されるものであり、例えばマスクに対してステージ上のウェハを相対的に移動させつつ、マスクに表示された露光用パターンをウェハの移動に同期して変化させる走査型の露光装置では、ウェハの移動速度や移動状態も転写パターンの形状に影響するため、転写パターンの形状を所望の精度に維持することができない。
【0004】
また、上記の露光装置は、単に光学系の収差を補正するだけであるので、ウェハ自体やウェハ上に既に形成されている既存のパターンが変形している場合には、このようなウェハの変形等に対して露光パターンのマッチングをとることができない。
【0005】
また、上記の露光装置は、単独の投影光学系の投影歪を補正するものであり、複数の投影光学系を用いて全体として1つの転写パターンを形成する場合には対応していない。
【0006】
そこで、本発明は、走査型の露光装置においても、転写パターンの精度を維持することを目的とする。
【0007】
また、本発明は、ウェハの変形等に対処して高精度の露光が可能な露光装置を提供することを目的とする。
【0008】
また、本発明は、複数の投影光学系を用いて全体として1つの転写パターンを形成する場合にも、全体として一体性がある転写パターンを高精度で露光することができる露光装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、第1の発明に係る露光装置は、(a)複数の素子を備え、該複数の素子のスイッチング動作によって所望の露光パターンを形成するパターン形成部と、(b)感光性基板を移動可能に保持する保持手段と、(c)パターン形成部によって形成された露光パターンを保持手段に保持された感光性基板上に投影像として投影する投影手段と、(d)投影手段と保持手段との相対移動により生じる保持手段の移動状態を計測する計測手段と、(e)パターン形成部における複数の素子のスイッチング動作を制御するとともに、計測手段による計測結果に基づいて、パターン形成部によって形成される露光パターンを補正する制御手段とを備える。
【0010】
上記露光装置では、制御手段が、投影手段と保持手段との相対移動により生じる保持手段の移動状態を計測する計測手段の計測結果に基づいて、パターン形成部によって形成される露光パターンを補正するので、保持手段によって感光性基板を移動させて露光パターンの転写を行う際に、保持手段の移動誤差を補償した精密な露光すなわち転写が可能になる。よって、露光装置が例えば走査型の露光を行う装置の場合であっても、転写パターンを高精度なものとすることができる。
【0011】
第2の発明に係る露光装置は、(a)複数の素子を備え、該複数の素子のスイッチング動作によって所望の露光パターンを形成するパターン形成部と、(b)感光性基板を保持する保持手段と、(c)パターン形成部によって形成された露光パターンを感光性基板上に投影像として投影する投影手段と、(d)感光性基板上に形成される被露光領域と投影像との相対変位に関する情報を計測する計測手段と、(e)パターン形成部における複数の素子のスイッチング動作を制御するとともに、計測手段による計測結果に基づいて、被露光領域に対応するようにパターン形成部によって形成される露光パターンを補正する制御手段とを備える。
【0012】
上記露光装置では、制御手段が、感光性基板上に形成される被露光領域と投影像との相対変位に関する情報を計測する計測手段の計測結果に基づいて、被露光領域に対応するようにパターン形成部によって形成される露光パターンを補正するので、感光性基板上に形成される被露光領域に適合するように投影像を形成することができる。よって、感光性基板全体が変形した場合や感光性基板に形成された既存のパターンが変形している場合にも、このような変形を計測することにより転写パターンを高い適応性で転写することができる。
【0013】
第3の発明に係る露光装置は、(a)複数の素子を備え、該複数の素子のスイッチング動作によって所望の露光パターンを形成するパターン形成部と、(b)感光性基板を保持する保持手段と、(c)パターン形成部によって形成された露光パターンを感光性基板上に投影像として投影する複数の投影手段と、(d)複数の投影手段毎に投影像を計測する計測手段と、(e)パターン形成部における複数の素子のスイッチング動作を制御するとともに、計測手段による計測結果に基づいて、各複数の投影手段に対応する露光パターン毎にパターン形成部によって形成される露光パターンを補正する制御手段とを備える。
【0014】
上記露光装置では、制御手段が、複数の投影手段毎に投影像を計測する計測手段の計測結果に基づいて、各複数の投影手段に対応する露光パターン毎にパターン形成部によって形成される露光パターンを補正するので、感光性基板上に形成される投影像を投影手段毎に補正することができるとともに、全体としても統一性がある転写パターンを高精度で露光することができる。また、光学的な収差補正機構によって生じるおそれがあった副作用を小さくすることもできる。
【0015】
第4の発明に係る露光装置は、第1の発明による装置であって、移動状態が、投影手段に対する感光性基板の移動における速度リップル、ヨーイング、及び走り誤差の少なくとも1つを含むことを特徴とする。この場合、感光性基板を保持する保持手段の移動に際しての速度リップル、ヨーイング、及び走り誤差を補償して露光精度を高める露光が可能になる。
【0016】
第5の発明に係る露光装置は、第3の発明による装置であって、制御手段での補正が、感光性基板上に投影される露光パターンの投影倍率、ディストーション、変位及び回転、並びに、パターン形成部の変形の少なくとも1つを含むことを特徴とする。この場合、投影手段の収差やパターン形成部の変形を補償して高精度の露光像を形成することができる。
【0017】
第6の発明に係る露光装置は、第1〜5の発明による装置であって、計測手段による計測結果に基づいて、パターン形成部の空間的配置と、ステージの空間的配置と、投影手段の全体又は要素の空間的配置とを調整することによって、感光性基板上に投影される投影像の位置及び状態を調整する補正機構をさらに備えることを特徴とする。この場合、機械的機構或いは光学的調整によって、補助的に投影像の形成位置や形状を補正することができ、露光精度の向上を図ることができる。具体的には、感光性基板を移動させて露光パターンの転写を行う際の移動誤差を補償した精密な露光が可能になり、感光性基板上に形成される露光領域の形状等に適合する投影像を形成することができ、投影手段毎に投影像を補正して全体として統一性がある転写パターンを高精度で露光することができる。なお、このような補正機構は、パターン形成部を構成する複数の素子の画素単位以下の誤差の補正を可能にするが、パターン形成部を構成する複数の素子の画素単位以上の誤差の補正も可能である。画素単位以上の誤差の補正を行う場合、パターン形成部によって形成される露光パターンを補正際の演算の負担を軽減できる。
【0018】
第7の発明に係る露光装置は、第6の発明による装置であって、補正機構が、露光パターンの投影倍率、シフト、回転、及び、ディストーションの少なくとも1つを含む状態を補正することを特徴とする。この場合、投影手段の収差を補償して高精度の投影像を形成することができる。
【0019】
第8の発明に係る露光装置は、第6の発明による装置であって、補正機構が、パターン形成部、投影手段、及びステージの相対的位置関係を補正することを特徴とする。この場合、感光性基板上の適正な位置に投影像を形成することができ、高精度の露光が可能になる。
【0020】
第9の発明に係る露光装置は、第6〜8の発明による装置であって、補正機構が、投影手段が複数の投影手段から構成される場合に各投影手段によって感光性基板上に投影される複数の投影像の相対的な位置及び状態を補正することを特徴とする。この場合、投影手段毎に投影像を補正して全体として統一性がある転写パターンを高精度で露光することができる。
【0021】
第10の発明に係る露光装置は、第6〜9の発明による装置であって、補正機構が、パターン形成部に設けた素子による単位素子以下の微小な誤差を修正することを特徴とする。この場合、より精度の高い露光が可能になる。
【0022】
第11の発明に係る露光装置は、第1〜10の発明による装置であって、計測手段が、感光性基板上に投影される露光パターンの像、或いは当該感光性基板上と共役な位置へ投影される像を計測する投影像計測部を含むことを特徴とする。この場合、露光パターンの投影像を直接的に計測してパターン形成部やこれに形成する露光パターンのアライメントを行うことができ、高精度で転写パターンを形成する露光が可能になる。
【0023】
第12の発明に係る露光装置は、第11の発明による装置であって、制御手段が、投影像計測部の計測結果に基づいて、パターン形成部によって形成される露光パターンの結像状態を補正することを特徴とする。この場合、投影手段の収差等の補正が可能になる。
【0024】
第13の発明に係る露光装置は、第1〜12の発明による装置であって、計測手段が、保持手段の位置を計測するステージ計測部を含むことを特徴とする。この場合、保持手段の位置計測を利用したアライメントが可能になり、保持手段とともに移動する感光性基板に精密な露光を行うことができる。
【0025】
第14の発明に係る露光装置は、第13の発明による装置であって、パターン補正部が、ステージ計測部の計測結果に基づいて、パターン形成部及び投影手段に対するステージの相対的な位置及び移動の少なくとも一方を補正することを特徴とする。この場合、保持手段と感光性基板とを投影手段等に対して精密に移動させることができる。
【0026】
第15の発明に係る露光装置は、第1〜14の発明による装置であって、計測手段は、感光性基板上のアライメント用マークを計測するマーク計測部をさらに含むことを特徴とする。この場合、感光性基板の変形等を計測することができ、感光性基板に精密な露光を行うことができる。
【0027】
第16の発明に係る露光装置は、第15の発明による装置であって、パターン補正部が、マーク計測部の計測結果に基づいて、外因的要素による露光状態の不整合を修正することを特徴とする。ここで、「外因的要素」とは、露光装置に本質的に内在しない原因によるものを意味し、感光性基板の変形、露光装置間の偏差等を含む。この場合、処理工程に伴う感光性基板の変形、露光装置間の偏差、露光装置自体の変形等を含む変動を補償して高精度の露光が可能になる。
【0028】
第17の発明に係る露光装置は、第1〜16の発明による装置であって、計測手段による計測結果に基づいて露光の空間的誤差に関連するパラメータの少なくとも一部に関連づけて作成された補正データを記憶する記憶手段をさらに備え、パターン補正部は、記憶手段に保持された補正データに基づいて、パターン形成部によって表示される露光パターンを補正することを特徴とする。この場合、計測結果の蓄積によって形成した補正データに基づく露光が可能になり、信頼性の高い安定した露光が可能になる。
【0029】
第18の発明に係る露光装置は、第1〜17の発明による装置であって、ステージが、露光に際して、感光性基板をパターン形成部に対して相対的に移動させ、パターン形成部が、感光性基板の移動に同期して露光パターンが移動するように表示することを特徴とする。この場合、走査型の露光によって広域に亘って高精度の露光が可能になる。
【0030】
第19の発明に係る露光方法は、請求項1乃至請求項18の何れか1項に記載の露光装置を用いた露光方法において、(a)被露光面または被露光面と光学的に共役な位置に配置されたパターン形成部に露光パターンを表示させる露光パターン表示工程と、(b)パターン形成部にて表示された露光パターンを被露光面に配置された感光性基板に転写する転写工程とを含む。
【0031】
上記露光方法では、上記第1〜第20の発明に係る露光装置を用いてパターン形成部に露光パターンを表示し、この露光パターンを感光性基板に転写するので、投影像の感光性基板上における形成位置や形状を補正することができ、露光精度の向上を図ることができる。すなわち、感光性基板を移動させて露光パターンの転写を行う際の移動誤差を補償した精密な露光が可能になり、感光性基板上に形成される露光領域の形状等に適合する投影像を形成することができ、投影手段毎に投影像を補正して全体として統一性がある転写パターンを高精度で露光することができる。
【0032】
第20の発明に係る露光方法は、(a)形成するパターンを可変可能なパターン形成部に所望の露光パターンを形成するパターン形成工程と、(b)パターン形成部と所望の露光パターンが転写される感光性基板との相対的な移動状態を計測する計測工程と、(c)該計測工程の計測結果に基づいて、パターン形成部で形成される露光パターンを補正しつつ、パターン形成工程で形成されたパターンを、感光性基板を移動させて該感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
【0033】
上記露光装置では、パターン形成部と感光性基板との相対的な移動状態の計測結果に基づいて、パターン形成部で形成される露光パターンを補正するので、感光性基板を移動させて露光パターンの転写を行う際に、感光性基板の移動誤差を補償した精密な露光すなわち転写が可能になる。よって、露光方法が例えば走査型の露光を行う場合であっても、転写パターンを高精度なものとすることができる。
【0034】
第21の発明に係る露光方法は、(a)形成するパターンを可変可能なパターン形成部に所望の露光パターンを形成するパターン形成工程と、(b)所望の露光パターンが転写される感光性基板上に形成される被露光領域と露光パターンの転写像との相対変位に関する情報を計測する計測工程と、(c)該計測工程の計測結果に基づいて、パターン形成部で形成される露光パターンを補正しつつ、パターン形成工程で形成されたパターンを該感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
【0035】
上記露光方法では、感光性基板上に形成される被露光領域と露光パターンの転写像との相対変位に関する情報の計測結果に基づいて、パターン形成部で形成される露光パターンを補正するので、感光性基板上に形成される被露光領域の形状または感光性基板上に形成される被露光領域に適合する投影像を形成することができる。よって、感光性基板全体が変形した場合や既存のパターンが変形している場合にも、このような変形に対応してアライメントを行った転写パターンを高い適応性で転写することができる。
【0036】
第22の発明に係る露光方法は、露光装置を用い感光性基板にパターンを露光する露光方法において、(a)形成するパターンを可変可能なパターン形成部に所望の露光パターンを形成するパターン形成工程と、(b)感光性基板の変形及び線幅の変動、露光装置における変形、並びに、他の露光装置を含む複数の露光装置間の偏差の少なくとも1つを計測する計測工程と、(c)該計測工程の計測結果に基づいて、パターン形成部で形成される露光パターンを補正しつつ、パターン形成工程で形成されたパターンを該感光性基板上に転写する転写工程とを含むことを特徴とする。
【0037】
上記露光方法では、感光性基板の変形及び線幅の変動、露光装置における変形、並びに、他の露光装置を含む複数の露光装置間の偏差の少なくとも1つに関する計測結果に基づいて、パターン形成部で形成される露光パターンを補正するので、感光性基板の変形、露光装置における変形、他の露光装置を含む複数の露光装置間の偏差等に起因する露光位置の誤差を補正して、高精度の露光を可能にする。
【0038】
【発明の実施の形態】
〔第1実施形態〕
図1は、第1実施形態に係る露光装置の外観的構成を示す斜視図であり、図2は、第1実施形態に係る露光装置の概略構成を説明するブロック図である。
【0039】
この露光装置10は、照明光源装置2と、マスク装置4と、投影光学系6と、ステージ装置7、主制御装置8とを備え、ステージ装置7に載置したプレート(感光性基板)PT上に、マスク装置4に設けた各可変パターン生成部41a〜41eの透過パターン像を投影することによって露光処理を行う。
【0040】
照明光源装置2は、図1に示すように、以下に詳述するマスク装置4を構成する複数の可変パターン生成部41a〜41eを個別に照明するためのものであり、所定波長の光源光を発生する光源装置21と、光源装置21からの光源光を均一な照明光として各可変パターン生成部41a〜41eに入射させる複数組の光学系23a〜23eとを備える。なお、光源装置21は、例えば超高圧水銀ランプ、波長選択フィルタ、コリメートレンズ、フライアイレンズ等のインテグレータ、コンデンサレンズ等からなる。また、光源装置21は、主制御装置8によって動作が制御されており、可変パターン生成部41a〜41eに対する照明光量を適宜調整することができる。ここでは、照明光源装置2を各照明視野に対して1つの光源を持つ方式として説明するが、単一又は多数の光源をランダム性の良い光ファイバー等のライトガイドにより各照明視野に分割する方式をとることもできる。
【0041】
マスク装置4は、パターン形成部であり、Y軸方向に沿って2列に配列された複数(図1では合計で5つ)の可変パターン生成部41a〜41eと、各可変パターン生成部41a〜41eを電子的に駆動して所望のパターンを表示させるパターン駆動回路43と、各可変パターン生成部41a〜41eを空間的に個別に変位させてこれらの姿勢を調節するマスク駆動装置45とを備える。各可変パターン生成部41a〜41eは、照明光源装置2に設けた各光学系23a〜23eにそれぞれ対向して下方に配置されている。これらの可変パターン生成部41a〜41eは、透過と非透過のスイッチングによって画像の表示を行う非発光型画像表示素子である透過型液晶表示素子からなる。これらの可変パターン生成部41a〜41eは、回路パターン等の設計データに基づいて例えばTFT駆動されオン、オフを繰り返す構造となっている。各可変パターン生成部41a〜41eには、パターン駆動回路43からの制御信号に基づいて、プレートPTの走査に同期して対応する露光領域に投影される転写パターンが順次生成される。なお、各可変パターン生成部41a〜41eには、後述する部分投影光学系61a〜61eの各視野領域に対応した台形状の有効エリアが設けられている。また、パターン駆動回路43は、主制御装置8から出力される画像信号に基づいて各可変パターン生成部41a〜41eに画素単位の精度で透過パターンの表示を行わせ、このよう透過パターンをプレートPTの移動方向(−X軸方向)と同じ−X軸方向に移動させる表示のスクロールを行う。さらに、マスク駆動装置45は、圧電素子等その駆動回路等からなり、次各可変パターン生成部41a〜41eのX−Y面内での位置やZ軸の回りの回転位置を微調整することができる。
【0042】
投影光学系6は、投影手段であり、可変パターン生成部41a〜41eに対応してY軸方向に沿って2列に配列された複数(図1では合計で5つ)の部分投影光学系61a〜61eと、部分投影光学系61a〜61eの結像状態を個別に調整する投影レンズ駆動装置すなわち像調整装置63とを備える。ここで、各部分投影光学系61a〜61eは、互いに同一構造を有するが、第1群の部分投影光学系61a〜61cと、第2群の部分投影光学系61d,61eとは、YZ平面に平行な面を挟んで互いに対称的に配置されている。各可変パターン生成部41a〜41eからの光は、投影光学系6を構成する部分投影光学系61a〜61eに入射する。これらの部分投影光学系61a〜61eを経た光は、後述するプレートステージ71上においてXY平面に平行に支持されたプレートPT上に転写すべきパターンに対応する複数の像すなわち投影像を形成する。
【0043】
図3は、1つの部分投影光学系61aの構造を説明する図である。この部分投影光学系61aは、可変パターン生成部41aからの光に基づいてプレートPT上に露光パターンの像を形成するためのもので、可変パターン生成部41aから−Z軸方向に沿って入射する光を−X軸方向に反射するようにマスク面(XY平面)に対して45°の角度で斜設された第1反射面を有する直角プリズム91を備えている。また、部分投影光学系61aは、直角プリズム91側から順に、正の屈折力を有するレンズ群92aと、負の屈折力を有するレンズ群92bと、第1直角プリズム91a側に凹面を向けた凹面反射鏡92cとを備えている。レンズ群92a、レンズ群92b、及び凹面反射鏡92cは、X軸方向に沿って配置され、全体として反射屈折光学系92を構成している。反射屈折光学系92から+X軸方向に沿って直角プリズム91に入射した光は、可変パターン生成部41aのパターン面(XY平面)に対して45°の角度で斜設された第2反射面によって−Z軸方向に反射される。
【0044】
また、可変パターン生成部41aと直角プリズム91の第1反射面との間の光路中には、フォーカス補正光学系94と、像シフターとしての平行平面板95,96とが付設されている。さらに、直角プリズム91の第2反射面とプレートPTとの間の光路中には、倍率補正光学系97が付設されている。
【0045】
フォーカス補正光学系94は、ZX平面内においてクサビ断面形状を有している一対のクサビ型光学部材からなり、各クサビ型光学部材は、像調整装置63の一部である第1駆動部63aに駆動されてX軸方向に沿って相対的に移動させることができるようになっている。これにより、可変パターン生成部41aのパターン面と直角プリズム91との間の光路長を変化させることができ、この部分投影光学系61aの光軸方向(Z軸方向)の結像位置を変更することが可能である。
【0046】
像シフターとしての平行平面板95,96は、ともに基準状態においてその平行面が光軸(Z軸方向)に垂直に設定されているが、像調整装置63の一部である第2駆動部63bに駆動されて、一方の平行平面板95は、X軸のまわりに微小量だけ適宜回転し、他方の平行平面板96は、Y軸のまわりに微小量だけ適宜回転する。このように、一方の平行平面板95をX軸のまわりに微小量だけ回転させると、プレートPT上に形成される像がXY平面においてY方向に微動(像シフト)し、他方の平行平面板95をY軸のまわりに微小量だけ回転させると、プレートPT上に形成される像がXY平面においてX方向に微動(像シフト)する。
【0047】
倍率補正光学系97は、光軸方向(Z軸方向)に沿って配列された凹凸凹の3つのレンズ要素からなり、各レンズ要素は、、像調整装置63の一部である第3駆動部63cに駆動されて光軸方向に沿って相対的に移動させることができるようになっている。これにより、プレートPT上に形成される可変パターン生成部41aの像の倍率を微調整することができる。
【0048】
直角プリズム91は、像ローテータとして機能するように構成されている。すなわち、直角プリズム91は、基準状態において第1反射面と第2反射面との交差線(稜線)がY軸方向に沿って延びるように設定され、光軸(Z軸)のまわりに微小量だけ回転可能に構成されている。直角プリズム91を像調整装置63の一部である第4駆動部63dによって駆動して、光軸(Z軸)のまわりに微小量だけ回転させると、プレートPT上に形成される像がXY平面において光軸(Z軸)のまわりに微小回転(像回転)する。
【0049】
図1及び図2に戻って、ステージ装置7は、保持手段であり、プレートPTを保持してプレートPTとともに移動するプレートステージ71と、プレートステージ71の姿勢を3次元的に調節するとともにY軸方向に沿って移動させるステージ駆動装置73と、プレートステージ71上に固定された干渉計測用の移動鏡75,76と、プレートステージ71上に固定されるとともに基準マークを有するアライメント部材77と、プレートステージ71内部に組み込まれてアライメント部材77の基準マークを計測する空間像計測センサ78とを備える。ここで、ステージ駆動装置73は、プレートステージ71を走査方向である−X軸方向に沿って移動させるとともに走査直交方向であるY軸方向にステップ移動させることができる走査用駆動系と、プレートステージ71を走査直交方向であるY軸方向に沿って微小量だけ移動させるとともにZ軸やX,Y軸の回りに微小量だけ回転させるためのアライメント用駆動系とからなる。
【0050】
プレートステージ71の位置座標や移動速度は、これに設けた移動鏡75,76による反射を利用して位置計測を行うレーザ干渉計81,82によって計測される。干渉計計測処理部85では、一方の移動鏡75に対向する複数のレーザ干渉計81の検出結果を適宜処理することによって、−X軸方向すなわち走査方向の位置を検出することができ、他方の移動鏡76に対向する複数のレーザ干渉計82の検出結果に基づいてY軸方向すなわち走査直交方向の位置を検出することができる。プレートステージ71のZ軸の回りの回転量は、レーザ干渉計81或いはレーザ干渉計82を構成する各干渉計部分による位置検出量の差に基づいて決定することができる。ここで、レーザ干渉計81,82や干渉計計測処理部85は計測手段すなわちステージ計測部を構成する。なお、プレートステージ71の微動量を計測するためには、変位計を用いることもできる。
【0051】
アライメント部材77には複数の透過型のアライメントマークAMSが形成されている。各アライメントマークAMSの像は、イメージセンサ計測処理部83に駆動されている空間像計測センサ78を介して観察され、この空間像計測センサ78による検出結果はイメージセンサ計測処理部83から主制御装置8に出力される。このアライメント部材77には、プレートステージ71の位置調節によって、可変パターン生成部41a〜41eに形成されたパターンが投影され、アライメント部材77と各可変パターン生成部41a〜41eとのスルー・ザ・レンズ(TTL)方式のアライメントが可能になる。ここで、空間像計測センサ78やイメージセンサ計測処理部83は計測手段を構成し、さらに、空間像計測センサ78は投影像計測部を構成する。
【0052】
なお、空間像計測センサ78は、図3に示すように、レンズ78a、センサ78b等からなる。
【0053】
図4は、アライメント部材77を用いたアライメントを説明する図である。図4(a)は可変パターン生成部41a〜41eの像MIが投影されたアライメント部材77の平面図を示し、図4(b)はマークのアライメントを概念的に説明する図である。図4(a)から明らかなように、プレートステージ71を基準位置に移動させることによって、アライメント部材77には、可変パターン生成部41a〜41eの像MIが投影される。
【0054】
この際、図1のマスク駆動装置45を適宜動作させることによって各可変パターン生成部41a〜41eの並進位置や回転位置を個別に調節して、図4(b)に示すように、可変パターン生成部41a〜41eの像AMMをアライメント部材77のアライメントマークAMSと一致させる。これにより、各可変パターン生成部41a〜41eに形成されるパターンの位置合わせが可能になり、可変パターン生成部41a〜41e全体としても歪がなく継ぎ目部分で滑らかな高精度の画像をプレートPT上に転写することができる。
【0055】
また、パターン駆動回路43を適宜動作させることによって各可変パターン生成部41a〜41eに形成されるパターンをシフトさせたり、回転させたり、拡大したり、ディストーションを元に戻す変形を行ったりして、上記と同様に可変パターン生成部41a〜41eの像AMMをアライメント部材77のアライメントマークAMSと一致させることもできる。この場合において、各可変パターン生成部41a〜41eに生成されるパターンの変化量は、各可変パターン生成部41a〜41eに形成されるパターンの位置合わせのための補正量(現状の露光装置10に固有の固定的な値)に対応し、この補正量を主制御装置8等に適宜記憶して可変パターン生成部41a〜41eにパターンを形成してスクロールする際のオフセット量とすることにより、歪みなく滑らかに継ぎ合わされた高精度の画像をプレートPT上に転写することができる。
【0056】
図1及び図2に戻って、第1群の部分投影光学系61a〜61cと、第2群の部分投影光学系61d,61eとの間に配置されたセンサユニット3は、各部分投影光学系61a〜61eのフォーカス状態を独立して検出することができるAFセンサ31と、プレートPT上のアライメントマークの位置を検出する顕微鏡型位置センサ33とを備える。
【0057】
ここで、AFセンサ31は、計測手段であり、AFセンサ計測処理部35に駆動されて動作し、検査光をプレートPT表面に斜めに入射させてその反射光を検出する。AFセンサ計測処理部35は、AFセンサ31その検出結果を利用することによって各部分投影光学系61a〜61eからプレートPTまでの距離が目標値になっているか否かを計測するものであり、予めキャリブレーションを行うことによって、各部分投影光学系61a〜61eが結像状態にあるか否かや、内側と外側のいずれに結像状態が外れているかを検出することができ、その出力は、主制御装置8で常時監視され、ステージ駆動装置73によるプレートステージ71の移動等に際して必要なデータとして常時参照される。
【0058】
なお、AFセンサ31は、図3に示すように、レンズ31a、センサ31b、光源31c等からなる。
【0059】
後者の顕微鏡型位置センサ33は、計測手段すなわちマーク計測部であり、プレートアライメントセンサ計測処理部37に駆動されて動作し、プレートPT上のアライメントマークの画像を取り込むことによって、オフアクシス型のアライメントを可能にする。プレートアライメントセンサ計測処理部37は、ステージ駆動装置73と連動してプレートステージ71とともにプレートPTをX−Y面内で移動させながらプレートPT上のマーク画像を取り込んで画像処理を行うことによって、アライメント部材77上のアライメントマークAMSを基準としたプレートPT上のマーク位置を計測する。これによって、プレートステージ71上におけるプレートPTの位置を考慮したアライメントを可能にするベースライン計測(露光パターンの投影位置とアライメント系の検出中心との相対位置関係の計測)が達成される。なお、このようなベースライン計測に際しては、レーザ干渉計81,82や干渉計計測処理部85を動作させてセンサユニット3すなわち投影光学系6に対するプレートステージ71すなわちプレートPTの移動量が監視・計測される。
【0060】
なお、顕微鏡型位置センサ33は、図3に示すように、レンズ33a、撮像素子33b等からなる。
【0061】
なお、上記の顕微鏡型位置センサ33やプレートアライメントセンサ計測処理部37に代えて、マスク装置4とプレートPTとの相対位置合わせを行うようにマスク装置4上方にアライメント系を配置し、投影光学系6を介して位置合わせを行うこともできる。
【0062】
図5は、プレートステージ71の理想的な動きと現実との差を概念的に説明する図である。プレートステージ71を−X軸方向に移動させると、固定された投影光学系6によって投影される点はプレートPT上のX軸方向に移動する。この際、露光の中心点は、理想的には下側の直線L0のように移動するはずであるが、プレートステージ71の特性等によって、実際には上側の曲線L1のように移動する。つまり、「●」示す定期的な移動点は、プレートステージ71の移動に際しての速度リップルによってX軸方向の前後に不規則に変位する。また、矢印で示すプレートステージ71の向きは、プレートステージ71の移動に伴うヨーイングによってX軸方向に対して微小角だけ不規則に傾く。さらに、プレートステージ71の位置については、移動鏡76の平面度誤差や傾きにより、実際の位置と干渉計による計測値との間に乖離が生じ、例えばY軸方向に(移動鏡76の平面度にならって)不規則にシフトする。また、干渉計を載置している架台の変形によっても干渉計の計測誤差が生じるため同様の現象が生じる。さらに、移動鏡76のX軸に対する微小な傾きは、プレートステージ71の移動に一定の偏りを生じさせ、プレートステージ71が各軸に沿って移動しなくなるが、この程度は、プレートステージ71の直交度と呼ばれる。以上のようなY軸方向の不規則なシフトや直交度は、プレートステージ71の走り誤差と呼ばれる。
【0063】
以上のような、プレートステージ71の移動におけるステージ移動誤差、すなわち▲1▼速度リップル、▲2▼ヨーイング、▲3▼走り誤差は、プレートステージ71の動作に際して制御の遅延によって回避できない。このため、このようなステージ移動誤差をレーザ干渉計81,82等によって検出した場合には、パターン駆動回路43を適宜動作させることによって各可変パターン生成部41a〜41eに形成されるパターンを変更し、ステージ移動誤差を相殺するような補正をかける。これにより、ステージ移動誤差の有無に拘わらず、安定して高精度の露光が可能になる。なお、上記のようなステージ移動誤差は、XY面内における目標位置からの並進的位置ズレと、Z軸に平行なある中心軸のまわりの微小回転とに分けて考えることができ、このようなステージ移動誤差を部分投影光学系61a〜61eによって逆投影すれば、各可変パターン生成部41a〜41e上におけるパターンの修正に換算することができる。つまり、制御手段である主制御装置8は、このような演算すなわち画像変換を高速度で実施して、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像をリアルタイムで修正することができる。ただし、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像を修正する場合、画素単位でパターンを修正することになるので、画素寸法以下の精度でステージ移動誤差を修正することができない。
【0064】
なお、主制御装置8からの指令に基づいてマスク駆動装置45を適宜動作させて各可変パターン生成部41a〜41eの並進位置や回転位置を個別に調節することによっても、ステージ移動誤差を相殺するような補正をかけることができる。さらに、図3に示すようなフォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等の補正機構を、第1〜第4駆動部63a〜63dを用いて適宜動作させることによっても、ステージ移動誤差を相殺するような補正をかけることができる。以上の場合、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像を修正する場合に比較して修正の自由度が限定されるが、画素寸法以下の精度でステージ移動誤差を修正することができる。例えば、パターン補正量δが、各可変パターン生成部41a〜41eの単位画素長をaとしたとき、
δ=a×m+b(mは整数、b<a)
で与えられる場合、可変パターン生成部41a〜41eをbだけ移動させ、可変パターン生成部41a〜41e上のパターンを画素m個分シフトさせる。つまり、画素長a単位での補正は、マスクである各可変パターン生成部41a〜41eで行うことになり、単位画素長程度のストロークの補正は、例えば投影光学系6内で行うことになる。
【0065】
図6〜8は、投影光学系6を構成する各部分投影光学系61a〜61eの収差を補正する方法を説明したものである。各部分投影光学系61a〜61eの精度や調整が十分でない場合は、継ぎ目部分が滑らで歪のない高精度の画像をプレートPT上に転写することができない。
【0066】
図6(a)は、転写したい原画像OIMと、各可変パターン生成部41a〜41eによって確保される投影領域PAとの関係を示す。また、図6(a)は、各可変パターン生成部41a〜41eの有効エリアに分割された画像領域IA1〜IA5を示す。また、図7(a)は、各可変パターン生成部41a〜41eの有効エリアEA1〜EA5及びこれらに形成されるパターンを示し、図7(b)は、各可変パターン生成部41a〜41eによって投影領域PAに対応する露光領域EXA上に投影される転写エリアTP1〜TP5を示す。図からも明らかなように、転写エリアTP1〜TP5によって形成されるパターンすなわち転写像は、もとの原画像OIMに比較してシフト、回転、拡大、ディストーションによって歪んでおり、各可変パターン生成部41a〜41eのつなぎ目で不連続になっている。
【0067】
図8は、パターン駆動回路43を適宜動作させることによって各可変パターン生成部41a〜41eに形成されるパターンを変更し、各部分投影光学系61a〜61eの投影収差を補正した場合を示す。図8(a)は、各可変パターン生成部41a〜41eの有効エリアEA1〜EA5及びこれらに形成される補正後のパターンを示し、図8(b)は、各可変パターン生成部41a〜41eによって露光領域EXA上に投影される転写像TPAを示す。図8(a)に示す各有効エリアEA1〜EA5に表示した補正後のパターンは、図7(a)に示す各有効エリアEA1〜EA5に対して逆方向のシフト、回転、縮小、ディストーションをそれぞれ施したものである。この場合、図6(a)に示す原画像OIMが中実に投射されており、各可変パターン生成部41a〜41eのつなぎ目が滑らかになっている。
【0068】
各部分投影光学系61a〜61eの投影収差は、例えばプレートPTに試し焼きを行うことによって検出することができる。また、各部分投影光学系61a〜61eの収差(例えば投影像の回転、シフト、拡大若しくは縮小、台形歪み等)は、空間像計測センサ78を利用して各可変パターン生成部41a〜41eの適所に形成したアライメントマークをアライメント部材77を介して観測することによっても計測することができる。このような投影収差を部分投影光学系61a〜61eによって逆投影すれば、各可変パターン生成部41a〜41e上におけるパターンの修正に換算することができる。つまり、制御手段である主制御装置8は、このような演算すなわち画像変換をオフセットとして予め演算し或いは露光中にリアルタイムで実行して、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像を修正することができる。
【0069】
なお、主制御装置8からの指令に基づいてマスク駆動装置45を適宜動作させて各可変パターン生成部41a〜41eの並進位置や回転位置を個別に調節することによっても、上記の投影収差を相殺するような補正をかけることができる。さらに、図3に示すようなフォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等の補正機構を、第1〜第4駆動部63a〜63dを用いて適宜動作させることによっても、投影収差を相殺するような補正をかけることができる。以上の場合、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像を修正する場合に比較して補正の自由度が限定されるが、画素寸法以下の精度で投影収差を補正することができる。
【0070】
図9は、プレートステージ71上におけるプレートPTの理想的な配置及び形状と現実との差を概念的に説明する図である。プレートPTのアライメントマークPAMは、理想的には格子状の仮想的基準線SL上に配置されるべきである。しかしながら、プレートPTに熱処理が施されてプレートPTが部分的に変形したり、プレートステージ71上での載置状態に起因してプレートPTが歪んだりして、実際にはアライメントマークPAMが仮想的基準線SL上からずれた位置に配置される。
【0071】
以上のような、プレートPTの位置誤差は、図2に示す顕微鏡型位置センサ33を利用して精密に計測することができる。つまり、プレートステージ71とともにプレートPTをXY面内で移動させながらプレートPT上のアライメントマークPAMの画像を取り込むことによって、アライメント部材77上のアライメントマークAMSすなわち仮想的基準線SLを基準としたプレートPT上の各点の変位を計測することができる。このような変位は、補間によってプレートPT上の各点における変位若しくは歪みのマップ、すなわち被露光領域と投影像との相対変位に関するマップとして主制御装置8に保管される。
【0072】
主制御装置8は、実際の露光に際して、パターン駆動回路43を適宜動作させることによって各可変パターン生成部41a〜41eに形成されるパターンを変更し、プレートPTの変位若しくは歪み(以下、「プレート変位」)を相殺するような補正をかける。これにより、プレート変位の有無に拘わらず、安定して高精度の露光が可能になる。なお、上記のようなプレート変位は、XY面内における目標位置からの並進的位置ズレと、Z軸に平行なある中心軸のまわりの微小回転と、投影倍率の変化とに分けて考えることができ、このようなプレート変位を部分投影光学系61a〜61eによって逆投影すれば、各可変パターン生成部41a〜41e上におけるパターンの修正に換算することができる。つまり、制御手段である主制御装置8は、このような演算すなわち画像変換をオフセットとして予め演算し或いは露光中にリアルタイムで実行して、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像を修正することができる。この場合、プレートステージ71での補正を最小限に抑えることができる。プレートPTが大型の場合、プレートステージ71のみでの補正は、ステージ計測用の干渉計、プレートステージ稼動系に大きな負担となるので、プレートステージ71での補正を最小限に抑えることによって、干渉計、プレートステージ稼動系の負担を低減して露光精度を高めることができる。
【0073】
なお、主制御装置8からの指令に基づいてマスク駆動装置45を適宜動作させて各可変パターン生成部41a〜41eの並進位置や回転位置を個別に調節することによっても、上記のプレート変位を相殺するような補正をかけることができる。さらに、図3に示すようなフォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等の補正機構を、第1〜第4駆動部63a〜63dを用いて適宜動作させることによっても、プレート変位を相殺するような補正をかけることができる。以上の場合、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させスクロールする画像を修正する場合に比較して補正の自由度が限定されるが、画素寸法以下の精度でプレート変位を補正することができる。
【0074】
以上は、プレートPTの変形等の全体的な誤差要因の補正について説明したが、プレートPT上に形成されたパターンの寸法や間隔が前工程の影響でプレートPT内で変化している場合にも、プレート変位の場合と同様に補正することができる。つまり、このような変化を、プレートPT上に形成されたパターンの寸法に対応する被露光領域と投影像との相対的位置関係として事前に計測してこれを相殺するように補正することができる。この場合、プレートPT上の各パターンの詳細な寸法状態をチェックすることによって、複数工程間でアライメントを行った露光処理が可能になる。
【0075】
さらに、プレートPT上に形成されたパターンの寸法や間隔が前工程の影響で変形していない場合であっても、前工程の露光装置と本実施形態の露光装置との間の差によってパターンの転写ズレ(後側の露光装置における被露光領域の相対的な変位として把握することができる)が発生する可能性があるが、プレートPT上のアライメントマークや各パターンの詳細な寸法状態をチェックすることによって複数工程間でアライメントを行った露光処理が可能になり、良好な重ね精度を得ることができる。この場合、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させる画像を露光装置間の誤差に対応して修正し、或いはマスク駆動装置45を適宜動作させて各可変パターン生成部41a〜41eの姿勢や配置を修正する。さらに、フォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91を、第1〜第4駆動部63a〜63dを用いて適宜動作させることによっても、複数工程間でアライメントを行った露光処理が可能になる。
【0076】
以下、図1等に示す露光装置10の全体的な動作について説明する。それぞれパターンが形成された可変パターン生成部41a〜41eは、照明光源装置2からの照明光によって均一に照明される。各可変パターン生成部41a〜41eのパターンを透過した光束は、投影光学系6を介して、感光性基板であるプレートPT上にマスクパターンの像を形成する。そして、XY平面内においてプレートPTを−X軸方向に走査しつつ、これに同期して各可変パターン生成部41a〜41に形成したパターンをスクロールすることによって、プレートPTの所望領域に所望のパターンが徐々に露光される。この際、主制御装置8は、ステージ装置7のステージ移動誤差、投影光学系6の投影収差、プレートPTに後発的に形成されたプレート変位等を、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させる画像の修正によって補正し、各可変パターン生成部41a〜41eの姿勢や配置の修正によって補正し、或いは、フォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等の調節によって補正する。これにより、プレートPT全体に亘って高精度の露光が可能になり、回路等の集積度を高めることができ、回路等の製造の歩留りを高めることができる。
【0077】
図10は、本実施形態による露光装置10を用いた露光処理の一例を説明するフローチャートである。まず、プレートステージ71の走り誤差を計測するべく、試し焼きを行う(ステップS1)。試し焼きされたプレートPTについては、検査されプレートステージ71の走り誤差が見積もられる。このような走り誤差の見積り量は、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させる画像の修正量として主制御装置8に記憶され、或いは各可変パターン生成部41a〜41eの姿勢や配置の修正に利用される。さらに、このような走り誤差の見積り量は、フォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等による補正量乃至これらの動作量に換算され、投影像の補正に利用される。
【0078】
次に、空間像計測センサ78及びイメージセンサ計測処理部83を利用して、アライメント部材77に設けたアライメントマークAMSと可変パターン生成部41a〜41eに形成されたパターンとの位置関係が計測され、その計測結果に基づいて、各可変パターン生成部41a〜41eに形成する露光パターンのアライメントを行う(ステップS3)。つまり、アライメント部材77に設けたアライメントマークAMSと可変パターン生成部41a〜41eに形成されたパターンとの位置ズレを相殺するように可変パターン生成部41a〜41eのパターンを修正し、この際の修正量を主制御装置8に記憶する。或いは、可変パターン生成部41a〜41eに形成されたパターンの位置ズレを補償するように、各可変パターン生成部41a〜41eの姿勢や配置の修正を行う。さらに、このような位置ズレは、フォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等の駆動によって補正することができる。これにより、マスク装置4のドリフト等の経時変化の影響や、各投影光学系の経時変化等の影響を解消することができる。
【0079】
次に、露光の対象であるプレートPTをプレートステージ71上にセットした後、顕微鏡型位置センサ33及びプレートアライメントセンサ計測処理部37を利用して、ベースライン計測を行う(ステップS5)。これにより、各可変パターン生成部41a〜41eのパターン内の位置と、プレートPT上の各点の位置関係が把握される。このようなベースライン計測値は、各可変パターン生成部41a〜41eに表示させる画像の修正量として主制御装置8に記憶され、或いは各可変パターン生成部41a〜41eの姿勢や配置の修正に利用される。さらに、ベースライン計測値は、フォーカス補正光学系94、像シフターとしての平行平面板95,96、倍率補正光学系97、直角プリズム91等による補正量乃至これらの動作量に換算され、プレートPTの変形に適合する投影像の修正に利用される。
【0080】
最後に、各可変パターン生成部41a〜41eをステップS1〜S3で得た修正量に基づいて駆動し、露光パターンのスクロールを行なわせる。これと並行してプレートステージ71とともにプレートPTを移動させる(ステップS6)。これにより、プレートPT上に所望のパターンを高精度で転写することができる。この際、レーザ干渉計81,82や干渉計計測処理部85からの位置情報に基づいて各可変パターン生成部41a〜41eに表示させる画像をリアルタイムで修正する。これにより、プレートステージ71の速度リップルやヨーイングを修正したパターン転写が可能になる。なお、プレートステージ71の移動誤差を予め測定して補正データを作成しておき、露光と同時にプレートステージ71等を干渉計81,82により計測を行いマスクデータにフィードバックする処理も勿論可能である。
【0081】
以下、図1等に示す露光装置10をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。この場合、ウェハ上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての半導体デバイスを得る。
【0082】
図11は、マイクロデバイスとしての半導体デバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。まず、図11のステップS40において、ウェハ上に金属膜が蒸着される。次のステップS42において、ウェハ上の金属膜上にフォトレジストが塗布され、ウェハである感光性基板が準備される。その後、ステップS44において、図1等に示す露光装置及び方法を用いることによって、マスク(レチクル)として機能するマスク装置4の各可変パターン生成部41a〜41e上でスクロールされるパターンの像が、走査によって移動するウェハ(図1のプレートPTに対応)上に投影光学系6を介して投影される。これにより、所望の形状を有する露光パターンがウェハに精密に転写される。
【0083】
その後、ステップS46において、ウェハ上のフォトレジスト層の現像が行われてレジストパターンが形成された後、ステップS48において、ウェハ上でレジストパターンをマスクとしてエッチングを行うことによって、マスク装置4の各可変パターン生成部41a〜41eに生成される露光パターンに対応する回路パターンが形成されたウェハが準備される。その後、更にウェハを加工した基板上に上側のレイヤの回路パターンの形成等を行うことによって、半導体素子等のデバイスが製造される。上述の半導体デバイス製造方法によれば、極めて微細で精密な線幅、間隔等を有する回路パターンを有する半導体デバイスをスループット良く得ることができる。
【0084】
以下、図1等に示す露光装置10を用いて、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を製造する方法を説明する。
【0085】
図12は、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を製造する方法を説明するためのフローチャートである。この場合、ガラス基板上に所定のパターンを形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得る。
【0086】
図12のパターン形成工程(ステップS50)では、図1等に示す露光装置を用いて、図11で説明した半導体デバイスの場合と同様に、マスク装置4の各可変パターン生成部41a〜41e上でスクロールされるパターンをプレートPTである感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に転写露光する、所謂光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、プレートPT上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、加工後のプレートPTは、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、所定のパターンが形成された基板として、次のカラーフィルタ形成工程(ステップS52)へ移行する。
【0087】
次のカラーフィルタ形成工程S52では、R、G、Bに対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列され、或いはR、G、Bの3本からなるストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。そして、カラーフィルタ形成工程(ステップS52)の後に、セル組み立て工程(ステップS54)が実行される。このセル組み立て工程では、パターン形成工程(ステップS50)にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程(ステップS52)にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネルすなわち液晶セルを組み立てる。
【0088】
セル組み立て工程(ステップS54)では、例えば、パターン形成工程(ステップS50)にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程(ステップS52)にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネルを製造する。その後、モジュール組立工程(ステップS56)にて、組み立てられた液晶パネルの表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。上述の液晶表示素子の製造方法によれば、精密な線幅、間隔等を有する回路パターンを有する液晶表示素子をスループット良く得ることができる。
【0089】
以上、実施形態に即して本発明を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、各可変パターン生成部41a〜41eとして透過型液晶表示素子(LCD)を用いたが、これに代えて、デジタルミラーデバイス(DMD)、反射型液晶表示素子(LCD)、エレクトロクロミックディスプレイ(ECD)等の他の空間光変調器を用いることができる。また、各可変パターン生成部41a〜41eに代えて、CRT、ELディスプレイ、LEDディスプレイ等の自発光型画像表示素子を用いることもできる。この場合、図1に示す照明光源装置2は不要となる。
【0090】
また、上記実施形態では、投影光学系6に対してプレートPTをX軸方向に走査しつつ各可変パターン生成部41a〜41eのパターンをスクロールしているが、X軸方向に走査終了後にプレートPTを投影光学系6に対してY軸方向にステップ移動させた後に、プレートPTを再度X軸方向に走査しつつ各可変パターン生成部41a〜41eのパターンをスクロールすることもできる。さらに、単一の可変パターン生成部のみからなるマスク装置によってステッパータイプの露光を行う場合にも、上記と同様の補正によって精密な露光が可能になる。
【0091】
また、上記実施形態では、露光装置が基本的に反射屈折光学系で構成される場合について説明したが、投影光学系6等は、すべて等価若しくは類似の機能を有する反射光学系又は屈折光学系に置き換えることができる。
【0092】
また、上記実施形態の説明では、露光部分と非露光部分といった2値的な露光によってプレートPTに転写像を形成しているが、通常の露光量の半分程度の露光が必要なハーフドーズと呼ばれる露光を行うこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る露光装置の外観斜視図である。
【図2】実施形態に係る露光装置の概略構成を示すブロック図である。
【図3】1つの部分投影光学系の構造を説明する側面図である。
【図4】(a)、(b)は、アライメント部材を用いたアライメントを説明する図である。
【図5】プレートステージの理想的な動きと現実との差を概念的に説明する図である。
【図6】(a)、(b)は、投影光学系を構成する各部分投影光学系の収差を補正する方法を説明したものである。
【図7】(a)、(b)は、各部分投影光学系の収差を補正する方法を説明したものである。
【図8】(a)、(b)は、各部分投影光学系の収差を補正する方法を説明したものである。
【図9】プレートステージ71上におけるプレートPTの理想的な配置及び形状と現実との差を概念的に説明する図である。
【図10】本実施形態による露光装置を用いた露光処理の一例を説明するフローチャートである。
【図11】マイクロデバイスとしての半導体デバイスの製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図12】マイクロデバイスとしての液晶表示素子を製造する方法を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
2…照明光源装置、 3…センサユニット、 4…マスク装置、 6…投影光学系、 7…ステージ装置、 8…主制御装置、 10…露光装置、 21…光源装置、 AFセンサ…31、 33…顕微鏡型位置センサ、 35…センサ計測処理部、 37…プレートアライメントセンサ計測処理部、 43…パターン駆動回路、 45…マスク駆動装置、 61a〜61e…部分投影光学系、 63…像調整装置、 71…プレートステージ、 73…ステージ駆動装置、 75,76…移動鏡、 77…アライメント部材、 78…空間像計測センサ、 81,82…レーザ干渉計、 83…イメージセンサ計測処理部、 85…干渉計計測処理部、 94…フォーカス補正光学系、 95,96…平行平面板、 97…倍率補正光学系
Claims (22)
- 複数の素子を備え、該複数の素子のスイッチング動作によって所望の露光パターンを形成するパターン形成部と、
感光性基板を移動可能に保持する保持手段と、
前記パターン形成部によって形成された前記露光パターンを前記保持手段に保持された前記感光性基板上に投影像として投影する投影手段と、
前記投影手段と前記保持手段との相対移動により生じる前記保持手段の移動状態を計測する計測手段と、
前記パターン形成部における前記複数の素子のスイッチング動作を制御するとともに、前記計測手段による計測結果に基づいて、前記パターン形成部によって形成される前記露光パターンを補正する制御手段と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 複数の素子を備え、該複数の素子のスイッチング動作によって所望の露光パターンを形成するパターン形成部と、
感光性基板を保持する保持手段と、
前記パターン形成部によって形成された前記露光パターンを前記感光性基板上に投影像として投影する投影手段と、
前記感光性基板上に形成される被露光領域と前記投影像との相対変位に関する情報を計測する計測手段と、
前記パターン形成部における前記複数の素子のスイッチング動作を制御するとともに、前記計測手段による計測結果に基づいて、前記被露光領域に対応するように前記パターン形成部によって形成される前記露光パターンを補正する制御手段と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 複数の素子を備え、該複数の素子のスイッチング動作によって所望の露光パターンを形成するパターン形成部と、
感光性基板を保持する保持手段と、
前記パターン形成部によって形成された前記露光パターンを前記感光性基板上に投影像として投影する複数の投影手段と、
前記複数の投影手段毎に前記投影像を計測する計測手段と、
前記パターン形成部における前記複数の素子のスイッチング動作を制御するとともに、前記計測手段による計測結果に基づいて、各前記複数の投影手段に対応する前記露光パターン毎に前記パターン形成部によって形成される前記露光パターンを補正する制御手段と、
を備えることを特徴とする露光装置。 - 前記移動状態は、前記投影手段に対する前記感光性基板の移動における速度リップル、ヨーイング、及び走り誤差の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記制御手段での補正は、前記感光性基板上に投影される前記露光パターンの投影倍率、ディストーション、変位及び回転、並びに、前記パターン形成部の変形の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記計測手段による計測結果に基づいて、前記パターン形成部の空間的配置と、前記ステージの空間的配置と、前記投影手段の全体又は要素の空間的配置とを調整することによって、前記感光性基板上に投影される前記投影像の位置及び状態を調整する補正機構をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記補正機構は、前記露光パターンの投影倍率、シフト、回転、及び、ディストーションの少なくとも1つを含む状態を補正することを特徴とする請求項6記載の露光装置。
- 前記補正機構は、前記パターン形成部、前記投影手段、及び前記ステージの相対的位置関係を補正することを特徴とする請求項6記載の露光装置。
- 前記補正機構は、前記投影手段が複数の投影手段から構成される場合に各投影手段によって前記感光性基板上に投影される複数の投影像の相対的な位置及び状態を補正することを特徴とする請求項6乃至請求項8の何れか一項記載の露光装置。
- 前記補正機構は、前記パターン形成部に設けた素子による単位素子以下の微小な誤差を修正することを特徴とする請求項6乃至請求項9の何れか一項記載の露光装置。
- 前記計測手段は、前記感光性基板上に投影される前記露光パターンの像、或いは当該感光性基板上と共役な位置へ投影される像を計測する投影像計測部を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項10の何れか一項記載の露光装置。
- 前記制御手段は、前記投影像計測部の計測結果に基づいて、前記パターン形成部によって形成される前記露光パターンの前記結像状態を補正することを特徴とする請求項11記載の露光装置。
- 前記計測手段は、前記保持手段の位置を計測するステージ計測部を含むことを特徴とする請求項1乃至請求項12の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記パターン補正部は、前記ステージ計測部の計測結果に基づいて、前記パターン形成部及び前記投影手段に対する前記ステージの相対的な位置及び移動の少なくとも一方を補正することを特徴とする請求項13記載の露光装置。
- 前記計測手段は、前記感光性基板上のアライメント用マークを計測するマーク計測部をさらに含むことを特徴とする請求項1乃至請求項14の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記パターン補正部は、前記マーク計測部の計測結果に基づいて、外因的要素による露光状態の不整合を修正することを特徴とする請求項15記載の露光装置。
- 前記計測手段による計測結果に基づいて露光の空間的誤差に関連するパラメータの少なくとも一部に関連づけて作成された補正データを記憶する記憶手段をさらに備え、前記パターン補正部は、前記記憶手段に保持された前記補正データに基づいて、前記パターン形成部によって表示される前記露光パターンを補正することを特徴とする請求項1乃至請求項16の何れか一項に記載の露光装置。
- 前記ステージは、露光に際して、前記感光性基板を前記パターン形成部に対して相対的に移動させ、前記パターン形成部は、前記感光性基板の移動に同期して前記露光パターンが移動するように表示することを特徴とする請求項1乃至17の何れか1項に記載の露光装置。
- 請求項1乃至請求項18の何れか1項に記載の露光装置を用いた露光方法において、
被露光面または被露光面と光学的に共役な位置に配置された前記パターン形成部に露光パターンを表示させる露光パターン表示工程と、
前記パターン形成部にて表示された露光パターンを前記被露光面に配置された感光性基板に転写する転写工程とを含むことを特徴とする露光方法。 - 形成するパターンを可変可能なパターン形成部に所望の露光パターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターン形成部と前記所望の露光パターンが転写される前記感光性基板との相対的な移動状態を計測する計測工程と、
該計測工程の計測結果に基づいて、前記パターン形成部で形成される前記露光パターンを補正しつつ、前記パターン形成工程で形成されたパターンを、前記感光性基板を移動させて該感光性基板上に転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 形成するパターンを可変可能なパターン形成部に所望の露光パターンを形成するパターン形成工程と、
前記所望の露光パターンが転写される前記感光性基板上に形成される被露光領域と前記露光パターンの転写像との相対変位に関する情報を計測する計測工程と、
該計測工程の計測結果に基づいて、前記パターン形成部で形成される前記露光パターンを補正しつつ、前記パターン形成工程で形成されたパターンを該感光性基板上に転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 露光装置を用い感光性基板にパターンを露光する露光方法において、
形成するパターンを可変可能なパターン形成部に所望の露光パターンを形成するパターン形成工程と、
前記感光性基板の変形及び線幅の変動、前記露光装置における変形、並びに、他の露光装置を含む複数の露光装置間の偏差の少なくとも1つを計測する計測工程と、
該計測工程の計測結果に基づいて、前記パターン形成部で形成される前記露光パターンを補正しつつ、前記パターン形成工程で形成されたパターンを該感光性基板上に転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。
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