JP4589163B2 - 画像処理装置、基板配線露光システム及び基板配線形成システム - Google Patents
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Description
α=f(W,t,Zo)
但し、Wは、設計データによるパターン幅,tは銅厚や基板厚などの厚さ,Zoは要求する特性インピーダンスである。
γ=h(x,y,W+α,t)
である。なお、γは補正量であり、x,yは座標値である。
Zo…特性インピーダンス
t…銅厚
10…基板配線形成システム
14…RIP装置
16…DI装置
18…DES装置
20…ワークボード
26…変換部
30…入力部
32…補正部
34…テーブルメモリ
36…露光部
42…エッチング部
44…エッチング後検査部
46…材料基板
50…シート
52…ピース
Claims (10)
- 配線基板の配線パターンを形成するための配線画像に対して画像処理する配線画像用の画像処理装置において、
前記配線基板の設計データに基づいて露光前基板を直接露光するための画像データを生成する生成手段と、
前記露光前基板に直接露光されて現像された後にエッチングした形成基板の電気特性を入力する入力手段と、
入力した前記電気特性に基づいて、予め定めた電気特性の配線パターンとなるように前記配線パターンの形状に関する前記設計データ及び前記画像データの少なくとも一方を補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする配線画像用の画像処理装置。 - 前記電気特性は、特性インピーダンスであることを特徴とする請求項1に記載の画像処理装置。
- 前記配線パターンの形状は、前記配線パターンのパターン幅であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の画像処理装置。
- 前記補正手段は、前記電気特性と前記配線パターンの形状との対応を表すテーブルを備え、入力した前記電気特性に対応する配線パターンの形状で補正することを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の画像処理装置。
- 前記テーブルは、前記配線画像の位置に対応して補正値を定めることを特徴とする請求項4に記載の画像処理装置。
- 前記入力手段は、電気特性として露光前基板の厚さを入力することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の画像処理装置。
- 前記入力手段は、露光前基板の厚さをさらに入力し、前記補正手段は、入力した前記電気特性及び露光前基板の厚さに基づいて、補正することを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載の画像処理装置。
- 前記露光前基板の厚さは、前記露光前基板を構成する絶縁層及び導体層の少なくとも1つの材料厚であることを特徴とする請求項6または請求項7に記載の画像処理装置。
- 請求項1乃至請求項8の何れか1項に記載の画像処理装置と、
前記配線基板に係る設計データに基づいて生成された画像データを用いて露光前基板を直接露光する露光手段と、
を備えたことを特徴とする基板配線露光システム。 - 請求項1乃至請求項8の何れか1項に記載の画像処理装置と、
前記配線基板に係る設計データに基づいて生成された画像データを用いて露光前基板を直接露光する露光手段と、
前記露光前基板に直接露光されて現像された後の現像後基板をエッチングするエッチング手段と、
前記エッチング処理後の配線基板に形成された配線パターン及び電気特性を検査する検査手段と、
を備えたことを特徴とする基板配線形成システム。
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