JP2009244446A - 像位置調整装置および光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】像面における像をシフトさせる像位置調整装置1に、調整機構11、第1ウエッジプリズム13および第2ウエッジプリズム14を設ける。入射する光が所定の入射角となる姿勢で第1ウエッジプリズム13を固定し、第2ウエッジプリズムを第1ウエッジプリズム13に対向して逆向き配置する。第2ウエッジプリズム14をZ軸方向(光軸方向)に移動させつつ、第1ウエッジプリズム13と第2ウエッジプリズム14との相対距離を変更することにより、像面におけるX軸方向のシフト量を調整する。
【選択図】図2
Description
1.平行平板を光軸とシフト方向とを含む面に直交する軸で回転させることによって光の進行方向を変更させる機構、
2.光学系全体、光学系内の一部のレンズあるいはレンズ群を光軸に直交する面内で移動させる機構、
3.物体そのものをシフト方向に移動させる機構、
などが提案されている。
<1−1. 光学装置2の構成>
図1は、発明に係る光学装置2を示す図である。なお、以下の説明では、図1に示すようにX軸、Y軸およびZ軸を定義する。
図2は、像位置調整装置1の構造を示す図である。なお、本実施の形態における像位置調整装置1は、所望されるシフト方向をX軸方向(副走査方向)としており、像位置調整装置1における光軸方向がZ軸方向となる。また、像位置調整装置1におけるシフト方向の像の最大シフト量(調整可能なシフト量)を「s」、第2ウエッジプリズム14の可動範囲幅(最大変化量)を「d」とする。
次に、第1の実施の形態における像位置調整装置1の第1ウエッジプリズム13(第2ウエッジプリズム14)の頂角αと、これらの姿勢を決定するために必要な入射角i1とを最適に決定する設計方法について説明する。
第1の実施の形態における光学装置2は1つの像位置調整装置1を備えていたが、像位置調整装置1が組み込まれる装置はこのような装置に限定されるものではない。
上記実施の形態における像位置調整装置1は、調整機構11によって第2ウエッジプリズム14のZ軸方向の位置を調整することによって像のX軸方向の位置のみ調整が可能とされていた。しかし、像位置調整装置1に他の駆動機構を設けることにより、他の様々状態を調整することも可能である。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
10 光学系
11 調整機構
12 像位置制御部
13 第1ウエッジプリズム
14 第2ウエッジプリズム
15 第1回転機構
16 第2回転機構
17 第3回転機構
2,3 光学装置
20 可動ステージ
21 露光ヘッド
22 制御部
23 光源
24 照明光学系
25 空間光変調デバイス
26 結像光学系
30 ベース
32 保持部
33 主走査機構
34 副走査機構
36 光源部
37 描画ヘッド
371 アパーチャユニット
372 結像レンズ
38 制御部
9 基板
Claims (9)
- 像をシフトさせる像位置調整装置であって、
互いに逆向きに配置される頂角が略同一の2つのウエッジプリズムを有する光学系と、
前記2つのウエッジプリズムの相対距離を変化させる調整機構と、
を備えることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1に記載の像位置調整装置であって、
前記像の最大シフト量と、前記調整機構による前記相対距離の最大変化量とに基づいて、前記調整機構が前記相対距離を変化させる可動範囲において、偏角が最小偏角の近傍となるように前記2つのウエッジプリズムの頂角が決定されていることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1または2に記載の像位置調整装置であって、
前記調整機構が前記相対距離を変化させる可動範囲の中央位置において、非点隔差がほぼゼロとなる入射角となるように前記光学系の姿勢が決定されていることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の像位置調整装置であって、
前記像のシフト方向および光軸方向のいずれにも直交する第1軸を中心に、前記光学系を回転させる第1回転手段をさらに備えることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の像位置調整装置であって、
光軸方向に平行な第2軸を中心に、一方の前記ウエッジプリズムを回転させる第2回転手段をさらに備えることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の像位置調整装置であって、
前記像のシフト方向に平行な第3軸を中心に、一方の前記ウエッジプリズムを回転させる第3回転手段をさらに備えることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の像位置調整装置であって、
前記調整機構は、前記2つのウエッジプリズムのうちの少なくとも一方を光軸方向に移動させることにより前記相対距離を変化させることを特徴とする像位置調整装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の像位置調整装置であって、
前記像面における像のシフト量に応じて、前記調整機構を制御する制御手段をさらに備えることを特徴とする像位置調整装置。 - 基板に光を照射する光学装置であって、
光を出射する光源と、
基板を保持する保持手段と、
結像関係にある光学系の中の物空間または像空間に配置され、前記基板の表面における像をシフトさせる像位置調整装置と、
を備え、
前記像位置調整装置は、
互いに逆向きに配置される頂角が略同一の2つのウエッジプリズムを有する光学系と、
前記2つのウエッジプリズムの相対距離を変化させる調整機構と、
を備えることを特徴とする光学装置。
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