JP2004319060A5 - - Google Patents
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一方、このTMR素子と同様に、積層方向にセンス電流が流れるように構成されたCPP(Current Perpendicular to the Plane)−GMR素子を有する薄膜磁気ヘッドの開発も進められている(例えば、非特許文献1参照。)。このような従来のCPP−GMR素子(MR素子110)の断面構成例を図20に示す。図20は、情報の読み出し対象となる磁気記録媒体と対向する記録媒体対向面から眺めた断面図である。図20に示したように、MR素子110は、金属の多層膜からなるSV膜120と、このSV膜120を、記録トラック幅方向に対応する方向(X方向)に挟んで対向するように配置された一対の磁区制御膜112と、これらSV120膜と一対の磁区制御膜112とを積層方向(Z方向)に沿って挟むように形成された下部シールド層111および上部シールド層114とを有している。SV膜120と一対の磁区制御膜112との間には、一対の絶縁層115が形成されている。さらに、上部シールド層114と一対の磁区制御膜112との間には、一対の絶縁層113が形成されている。SV膜120は、下部シールド層111の側から順に、下地層131、反強磁性層132、磁気固定層133、感磁層134および保護層135を備えている。磁気固定層133は、2つの強磁性層133A,133Cとの間に非磁性層133Bが形成された3層構造をなしており、反強磁性層132によって磁化方向が固定されている。感磁層134は、2つの非磁性層134A,134Cとの間に強磁性層134Bが形成された3層構造をなしている。この強磁性層134Bに対し、一対の磁区制御膜112が単磁区化するように作用する。
図3および図4に示したように、再生ヘッド部1Aは、積層方向にセンス電流が流れるように構成されたCPP(Current Perpendicular to the Plane)−GMR(Giant Magnetoresistive)構造をなしたものであり、例えば基体2Eの上に、磁気抵抗効果素子(以下、MR素子という。)10と、それを覆う絶縁層16とを配設したものである。MR素子10は、基体2Eの側から下部シールド層11と、磁気抵抗効果膜(以下、MR膜という。)20および一対の磁区制御膜12と、絶縁膜13と、上部シールド層14とが順に積層された構造を有している。下部シールド層11および上部シールド層14は、例えば、厚みがそれぞれ1μm〜3μmであり、ニッケル鉄合金(NiFe)などの磁性金属材料によりそれぞれ構成されている。これら下部シールド層11および上部シールド層14は、MR膜20に不要な磁界の影響が及ばないようにするためのものである。更に下部シールド層11および上部シールド層14は、パッド12R,12Lに接続され、MR膜20に対して積層方向(Z方向)に電流を流す電流経路としての機能を有している。MR膜20は、磁性材料を含む多層構造をなすスピンバルブ(SV)型のMR膜であり、磁気記録媒体3に記録された情報を読み出す機能を有するものである。一対の磁区制御膜12は、磁気記録媒体3の記録トラック幅方向に対応する方向(X方向)に沿ってMR膜20を挟んで対向するように配置されている。再生ヘッド部1Aでは、磁気記録媒体3からの信号磁界に応じてMR膜20の電気抵抗が変化することを利用して、記録情報を読み出すようになっている。このMR膜20および磁区制御膜12の詳細な構成については後述する。絶縁膜13および絶縁層16は、例えば厚みがそれぞれ10nm〜100nmであり、酸化アルミニウム(Al2 O3 )または窒化アルミニウム(AlN)などの絶縁材料によりそれぞれ構成されている。絶縁膜13は、主に、下部シールド層11と上部シールド層14とを電気的に絶縁するためのものであり、絶縁層16は、再生ヘッド部1Aと記録ヘッド部1Bとを電気的に絶縁するものである。
下部磁極41は、例えば、NiFeなどの磁性材料よりなり、絶縁層16の上に形成されている。記録ギャップ層42は、Al2 O3 などの絶縁材料よりなり、下部磁極41の上に形成されている。この記録ギャップ層42は、XY平面におけるコイル44の中心部に対応する位置に、磁路形成のための開口部42Aを有してる。記録ギャップ層42の上には、記録媒体対向面2Fの側から順に、ポールチップ43、絶縁層45および連結部46が同一平面内に形成されている。絶縁層45にはコイル44が埋設されている。コイル44は、記録ギャップ層42上に開口部42Aを中心とするように形成されており、例えば銅(Cu)または金(Au)により構成されたものである。なお、コイル44の両端末はそれぞれ電極44S,44Eに接続されている。上部磁極47は、例えば、NiFeなどの磁性材料よりなり、記録ギャップ層42、ポールチップ43,絶縁層45および連結部46の上に形成されている。この連結部46は、開口部42Aを介して下部磁極41と接触しており、磁気的に連結している。なお、図示しないが、Al2 O3 などからなるオーバーコート層が記録ヘッド部1Bの上面全体を覆うように形成されている。
このように、一対の中間絶縁膜15を設けることにより、下部シールド層11と上部シールド層14との間を流れるセンス電流が、第1の磁区制御部分122に洩れにくくなる。すなわち、センス電流がX方向に広がることなく確実に上層部分20Bの幅に限定されて通過することとなるので、感磁層34の磁化方向の変化によるセンス電流の抵抗変化を、より高感度に検出することができる。
図16に示したように、比較例1−1では、全体的な磁界の強さは大きいものの、X方向に沿って急勾配の磁界分布となっており、感磁層に均一な縦バイアス磁界を印加することが困難となる。また、比較例1−2では、全体に亘ってより均一な縦バイアス磁界を印加することができるものの、全体的な磁界の強さが不十分である。これらに対し、実施例1−1,1−2は、比較例1−2よりも大きな磁界を得ることができると共に、比較例1−1よりも、磁界分布における平坦な部分をより幅広く確保することができる。実施例1−1と実施例1−2との比較をした場合、実施例1−1は全体に亘って比較的強い磁界を得ることができ、一方の実施例1−2は全体に亘ってより平坦な分布をなす磁界を得ることができる。上記の結果、実施例1−1,1−2のような構成にすれば、比較的強く、かつ、比較的均一な縦バイアス磁界を感磁層に印加することができ、単磁区化を促進することができることがわかった。
図19に示したように、実施例4では、絶縁膜13の厚みが増加するとPW50も増加する傾向が見られた。同じ厚みで比較した場合、実施例4は、比較例4よりも小さなPW50を示した。すなわち、上部シールド層14の下面(境界面13U+境界面50U)に凹凸がなく、平坦であることにより、再生動作の際、磁気記録媒体3の信号磁界による磁束が上部シールド層14に洩れることなくMR膜50の内部に集中して形成されることが確認できた。なお、図示しないが、このPW50と同様の傾向が、MRWuにおいても確認することができた。
Claims (3)
- 前記第2のシールド層と前記第1の積層部分との第1の境界面は前記第1の方向に沿って平坦であり、
前記第2のシールド層と前記絶縁膜との第2の境界面は、前記第1の境界面を延長した面において、または、その延長した面よりも前記第1のシールド層に近い側において第1の方向に沿って延在している
ことを特徴とする請求項8に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記第1の磁区制御部分の積層方向における厚みと前記第2の磁区制御部分の積層方向における厚みとの合計が50nm以下である
ことを特徴とする請求項12に記載の薄膜磁気ヘッド。 - 前記磁区制御膜形成工程において、前記第1の磁区制御部分を形成する際に、前記第2の磁区制御部分と異なる保磁力を有する材料を用いると共に、
さらに、保磁力差を利用することにより、前記第1の磁区制御部分を前記感磁層の磁化容易軸方向に対応した磁化方向に着磁し、かつ、前記第2の磁区制御部分を、前記第1の磁区制御部分の磁化方向と異なる方向に着磁する工程を含む
ことを特徴とする請求項16から請求項18のいずれか1項に記載の薄膜磁気ヘッドの製造方法。
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