JP2004308007A5

JP2004308007A5 -

Info

Publication number: JP2004308007A5
Application number: JP2004099110A
Authority: JP
Filing date: 2004-03-30
Publication date: 2007-04-26
Anticipated expiration: 2024-03-30

Claims

シリコン、ゲルマニウムおよびその組み合わせを含有する金属フィルムを堆積させるために好適な有機金属化合物で飽和させた流体流れを、断面積を有する内部表面を有する長いシリンダー形部分、トップクロージャー部分およびボトムクロージャー部分を有する容器を含む化学蒸着システムに供給するための装置であって、該トップクロージャー部分はキャリアガスを導入するためのインレット開口部およびアウトレット開口部を有し、長いシリンダー形部分は式Ｉの有機金属化合物を含むチャンバーを有し：

（式中、ＭはＳｉまたはＧｅである；Ｒ^１およびＲ^２は独立に、Ｈ、アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される；各Ｒ^３は独立に、（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択され、ただし、Ｒ^３はシクロペンタジエニルでないとする；各Ｒ^４は独立に（Ｃ_３−Ｃ_１２）アルキルから選択される；Ｘはハロゲンである；ａ＝０〜３；ｂ＝０〜３；ｃ＝０〜３；ｄ＝０〜２；ｅ＝０〜４；ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＋ｅ＝４；Ｒ^３≠Ｒ^４；ａ＋ｂおよびａ＋ｄはそれぞれ３以下である；ただし、Ｍ＝Ｓｉである場合、ｂ＋ｃは３以下であるとする）；該インレット開口部は該チャンバーと流体が連絡し；該チャンバーは該アウトレット開口部と流体が連絡する装置。
式ＩＩＡまたはＩＩＢ：

（式中、Ｒ^１およびＲ^２は独立に、アルキル、アルケニル、アルキニルまたはアリールから選択される；各Ｒ^３は独立に、（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される；各Ｒ^４は独立に、分岐および環状（Ｃ_３−Ｃ_５）アルキルから選択される；各Ｒ^５は独立に、（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルキル、アルケニル、アルキニルおよびアリールから選択される；Ｘはハロゲンである；ａ’＝０〜３；ｂ’＝０〜２；ｃ’＝１〜３；ｄ’＝０〜３；ａ’＋ｂ’＋ｃ’＋ｄ’＝４；ａ”＝０〜２；ｂ”＝０〜２；ｅ”＝１〜２；ｆ”＝０〜２；ａ”＋ｂ”＋ｅ”＋ｆ”＝４であり；ａ”、ｂ”およびｆ”のうちの少なくとも２つが０ではなく；ただしａ”＝１、ｅ”＝１、ｆ”＝２、およびＲ^４が（ＣＨ_３）Ｃである場合、Ｒ^５≠ＣＨ_３とする；ただし、ｃ’＋ｄ’＝４である場合、Ｒ^３は分岐または環状（Ｃ_３−Ｃ_５）アルキルであるとする）
の化合物。