JP2004191931A - 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 - Google Patents
電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004191931A JP2004191931A JP2003321779A JP2003321779A JP2004191931A JP 2004191931 A JP2004191931 A JP 2004191931A JP 2003321779 A JP2003321779 A JP 2003321779A JP 2003321779 A JP2003321779 A JP 2003321779A JP 2004191931 A JP2004191931 A JP 2004191931A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- electrode
- relay
- layer
- pixel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 420
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 169
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 81
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 70
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 236
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims description 76
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 43
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 37
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 34
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 28
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 abstract 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 30
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 29
- 230000008569 process Effects 0.000 description 25
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 19
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 19
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 11
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004988 Nematic liquid crystal Substances 0.000 description 3
- 229910003070 TaOx Inorganic materials 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004983 Polymer Dispersed Liquid Crystal Substances 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N [B].[P] Chemical compound [B].[P] GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 2
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SDTHIDMOBRXVOQ-UHFFFAOYSA-N 5-[bis(2-chloroethyl)amino]-6-methyl-1h-pyrimidine-2,4-dione Chemical compound CC=1NC(=O)NC(=O)C=1N(CCCl)CCCl SDTHIDMOBRXVOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N [Sr].[Ba] Chemical compound [Sr].[Ba] WOIHABYNKOEWFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 1
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- WNUPENMBHHEARK-UHFFFAOYSA-N silicon tungsten Chemical compound [Si].[W] WNUPENMBHHEARK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136213—Storage capacitors associated with the pixel electrode
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136209—Light shielding layers, e.g. black matrix, incorporated in the active matrix substrate, e.g. structurally associated with the switching element
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/136227—Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
- H10K59/1315—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals comprising structures specially adapted for lowering the resistance
Abstract
【解決手段】 電気光学装置は、基板(10)上に、TFT(30)、該TFT上に蓄積容量(70)及び画素電極(9a)を備えている。そして、TFT(30)のゲート電極を含む走査線(3a)と同一膜として、中継電極(719)が備えられており、該中継電極と蓄積容量の画素電位側容量電極としての下部電極(71)とはコンタクトホール(881)を介して、該中継電極と画素電極とはコンタクトホール(882)等を介して電気的に接続されている。
【選択図】 図4
Description
TFTの寿命が比較的短期間であったことが問題であった。これは、TFTを構成する半導体層ないしゲート絶縁膜に対して水分が混入すると、水分子がゲート絶縁膜及び半導体層の界面に拡散することによって正電荷が発生し、比較的短期間でスレッショルド電圧Vthが上昇してしまうことによる。このような現象は、Pチャネル型TFTにおいて、より妥当する。このようにTFTが比較的短命であると、当然ながら電気光学装置全体にも影響が及び、画像品質の低下が比較的早期の段階から観察されることになり、やがては装置自体が動作しなくなるおそれすらある。
さらに、他の態様として、前記第4中継膜は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同一膜で形成するとよい。
この態様によれば、第4中継電極を特別な工程を経て製造するなどという場合に比べて、製造工程の簡略化、あるいは製造コストの低廉化等を図ることができる。また、走査線がゲート電極を含む場合においては、該ゲート電極としての機能を十分に発揮しえるように、該走査線中、少なくとも該ゲート電極部分については、例えば導電性のポリシリコン膜からなるように構成するとよい。このような場合においては、第4中継電極もまた導電性のポリシリコン膜等からなることになる。
また、本発明の電気光学装置の態様では、前記蓄積容量の前記画素電位側容量電極と前記固定電位側容量電極の間には、相異なる材料を含む複数の層からなるとともに、そのうちの一の層は他の層に比べて高誘電率材料からなる層を含む誘電体膜であるとよい。さらに、前記誘電体膜は、酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜からなるとよい。
この態様によれば、従来に比べて、電荷蓄積特性がより優れており、これにより画素電極における電位保持特性を更に向上させることができ、もってより高品質な画像を表示することが可能となる。なお、本発明にいう「高誘電率材料」としては、後述する窒化シリコンの他、TaOx(酸化タンタル)、BST(チタン酸ストロンチウムバリウム)、PZT(チタン酸ジルコン酸塩)、TiO2(酸化チタン)、ZiO2(酸化ジルコニウム)、HfO2(酸化ハフニウム)及びSiON(酸窒化シリコン)及びSiN(窒化シリコン)のうち少なくとも一つを含んでなる絶縁材料等を挙げることができる。特に、TaOx、BST、PZT、TiO2、ZiO2及びHfO2といった高誘電率材料を使用すれば、限られた基板上領域で容量値を増大できる。あるいは、SiO2(酸化シリコン)、SiON(酸窒化シリコン)及びSiNといったシリコンを含む材料を使用すれば、層間絶縁膜等におけるストレス発生を低減できる。
以上により、本発明によれば、画素電位側容量電極と画素電極との電気的接続を良好に実現することができると共に、蓄積容量に無用な欠陥(例えば、上述したような画素電位側容量電極における突き抜け、あるいは短絡等)を生じさせるおそれが極めて低減されることにより、より良好な動作が可能な電気光学装置を提供することができる。そして、上述のような中継電極、蓄積容量等の配置関係を備える電気光学装置は、好適な積層構造を提供しているといえるから、更なる小型化・高精細化を比較的容易に実現可能である。
また、本発明は、前記容量線は、遮光膜で形成されると共に、前記データ線に沿い、且つ、前記データ線よりも幅広に形成されるとよい。
また、本発明は、前記画素電極の下地として配置された第1絶縁膜と、前記容量線の下地として配置された第2絶縁膜のうち、少なくとも前記第1絶縁膜の表面には平坦化処理が施されるとよい。
この態様によれば、画素電極下に層間絶縁膜が備えられているとともに、該層間絶縁膜の表面は例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)処理等の平坦化処理が施されていることにより、液晶等の電気光学物質の配向状態に乱れを生じさせる可能性を低減することができ、もってより高品質な画像を表示することが可能となる。これは、本発明において、中継電極が備えられていることにより、画素電極下の層間絶縁膜表面における凹凸の程度がより大きくなるという場合が考えられることを鑑みるに、より正確な動作を行う電気光学装置を提供する上で有利となる。
まず、本発明の実施形態における電気光学装置の画素部における構成について、図1から図4を参照して説明する。ここに図1は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。図2は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたTFTアレイ基板の相隣接する複数の画素群の平面図である。なお、図3は、図2のうち要部、具体的には、データ線、シールド層及び画素電極間の配置関係を示すために、主にこれらのみを抜き出した平面図である。図4は、図2のA−A´断面図である。なお、図4においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
さらに、TFT30を構成する半導体層1aは非単結晶層でも単結晶層でも構わない。単結晶層の形成には、貼り合わせ法等の公知の方法を用いることができる。半導体層1aを単結晶層とすることで、特に周辺回路の高性能化を図ることができる。
これにより、例えば、該走査線11aの一部に何らかの欠陥があって、正常な通電が不可能となったような場合においても、当該走査線11aと同一の行に存在する別の走査線が健全である限り、それを介してTFT30の動作制御を依然正常に行うことができることになる。
これにより、本実施形態に係る蓄積容量70は、平面的に無駄な広がりを有さず、即ち画素開口率を低落させることなく、且つ、当該状況下で最大限の容量値を実現し得ることになる。すなわち、本実施形態において、蓄積容量70は、より小面積で、より大きな容量値をもつ。
そして、プラズマ窒化膜は、その下層のアルミニウム層と窒化チタン層を覆うように少し大きなサイズにパターンニングされている。窒化チタン層は、シールド層用中継層6a1、第2中継電極6a2に対して形成するコンタクトホール803,804のエッチングの突き抜け防止のためのバリアメタルとして機能する。
また、シールド層用中継層6a1及び第2中継電極6a2上に、水分の浸入をせき止める作用に比較的優れた窒化シリコン膜が形成されることにより、TFT30の耐湿性向上を図ることができ、その寿命長期化を実現することができる。尚、窒化シリコン膜は、プラズマ窒化シリコン膜が望ましい。
このように、下部電極71及び画素電極9aが、これらそれぞれからみて、より下層に位置する中継電極719を介して接続されていることにより、該中継電極719と下部電極71との電気的接続点、とりわけ下部電極71に着目した電気的接続点は、該下部電極71の下側に位置することになる(図4におけるコンタクトホール881参照)。
以下では、上記実施形態に類似する電気光学装置の製造方法について、図6及び図7を参照しながら説明する。ここに、図6及び図7は、本実施形態に係る電気光学装置の製造方法を、順を追って示す工程断面図である。
次に、高濃度ソース領域1d及び高濃度ドレイン領域1eを形成するために、ゲート電極3aよりも幅の広い平面パターンを有するレジスト層をゲート電極3a上に形成する。その後、P等のV続元素のドーパントを高濃度で(例えば、Pイオンを1〜3×1015/cm2のドーズ量にて)ドープする。
以下では、以上のように構成された本実施形態における電気光学装置の全体構成を図8及び図9を参照して説明する。なお、図8は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素とともに対向基板20の側からみた平面図であり、図9は図8のH−H´断面図である。
また、対向基板20のコーナ部の少なくとも一箇所においては、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的に導通をとるための導通材106が設けられている。
次に、以上詳細に説明した電気光学装置をライトバルブとして用いた電子機器の一例たる投射型カラー表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。ここに、図10は、投射型カラー表示装置の図式的断面図である。
6a…データ線
9a…画素電極
10…TFTアレイ基板
30…TFT
70…蓄積容量
71…下部電極
75…誘電体膜
75a…酸化シリコン膜
75b…窒化シリコン膜
300…容量電極
400…シールド層
719…中継電極
43…第3層間絶縁膜
44…第4層間絶縁膜
881…(下部電極と中継電極を接続する)コンタクトホール
882…(画素電極と中継電極を接続する)コンタクトホール
Claims (17)
- 基板上に、第1方向に延在するデータ線及び該データ線に交差する第2方向に延在する走査線、並びに、前記データ線及び前記走査線の交差領域に対応するように配置された画素電極及び薄膜トランジスタが積層構造の一部をなして備えられた電気光学装置であって、
前記基板上には更に、
前記データ線より下層に形成され、前記薄膜トランジスタ及び前記画素電極に電気的に接続された蓄積容量と、
前記データ線より上層に形成された容量線と、
前記蓄積容量の画素電位側容量電極と前記画素電極との間を電気的に接続し、前記データ線と同一層で形成された第1中継電極と、
前記蓄積容量の固定電位側容量と前記容量線との間を電気的に接続し、前記データ線と同一層で形成された第2中継電極とを備え、
前記データ線、前記第1中継層、前記第2中継層には、窒化膜が含まれている
ことを特徴とする電気光学装置。 - 前記データ線、前記第1中継層、前記第2中継層は、導電層上に窒化膜を含むことを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記データ線、前記第1中継層、前記第2中継層は、アルミニウム、窒化チタン膜、窒化シリコン膜の3層構造であることを特徴とする請求項2に記載の電気光学装置。
- 前記第1中継層は、前記容量線と同一層で形成された第3中継膜を介して前記画素電極に電気的に接続されることを特徴とする請求項1乃至3にいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記容量線及び前記第3中継膜は、導電層上に窒化膜を含むことを特徴とする請求項4に記載の電気光学装置。
- 前記容量線及び前記第3中継膜は、アルミニウム、窒化チタン膜、窒化シリコン膜の3層構造であることを特徴とする請求項5に記載の電気光学装置。
- 前記画素電位側容量電極は、前記薄膜トランジスタが形成される絶縁膜上に形成された第4中継膜を介して前記第1中継膜に電気的に接続されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記第4中継膜は、前記薄膜トランジスタのゲート電極と同一膜で形成されることを特徴とする請求項7に記載の電気光学装置。
- 前記走査線は前記薄膜トランジスタの下層に設けられ、かつ、前記薄膜トランジスタの半導体置層上に設けられたゲート電極とコンタクトホールを介して接続されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記蓄積容量の前記画素電位側容量電極と前記固定電位側容量電極の間には、相異なる材料を含む複数の層からなるとともに、そのうちの一の層は他の層に比べて高誘電率材料からなる層を含む誘電体膜であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記誘電体膜は、酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜からなることを特徴とする請求項10に記載の電気光学装置。
- 前記容量線は、遮光膜で形成されると共に、前記データ線に沿い、且つ、前記データ線よりも幅広に形成されることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 前記画素電極の下地として配置された第1絶縁膜と、前記容量線の下地として配置された第2絶縁膜のうち、少なくとも前記第1絶縁膜の表面には平坦化処理が施されていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 請求項1乃至13のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
- 基板上に、
薄膜トランジスタを形成する工程と、
前記薄膜トランジスタのゲート電極上に第1層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層間絶縁膜の上側に、下から順に、画素電位側容量電極、誘電体膜及び固定電位側容量電極を形成し、蓄積容量を形成する工程と、
前記蓄積容量の上側に第2層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第2層間絶縁膜の上側に、窒化膜を含む導電材料で、前記薄膜トランジスタの半導体層に電気的に接続されるデータ線と、前記画素電位側容量電極に電気的に接続される第1中継膜と、前記固定電位側容量電極に電気的に接続される第2中継膜を形成する工程と、
前記データ線、前記第1中継膜、前記第2中継膜の上側に第3層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第3層間絶縁膜の上側に、前記第1中継膜に電気的に接続される第3中継膜と、前記第2中継膜に電気的に接続される容量線を形成する工程と、
前記第3中継膜、前記容量線の上側に、第4層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第4層間絶縁膜の上側に、前記第3中継膜に電気的に接続される画素電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 前記蓄積容量を形成する工程は、
前記画素電位側容量電極の第1前駆膜を形成する工程と、
前記第1前駆膜の上側に、前記誘電体膜の第2前駆膜を形成する工程と、
前記第2前駆膜の上側に、前記固定電位側容量電極の第3前駆膜を形成する工程と、
前記第1前駆膜、前記第2前駆膜及び前記第3前駆膜を一挙にパターニングして前記画素電位側容量電極、前記誘電体膜及び前記固定電位側容量電極を形成する工程と
からなることを特徴とする請求項15に記載の電気光学装置の製造方法。 - 前記蓄積容量を形成する工程は、
前記画素電位側容量電極の第1前駆膜を形成する工程と、
前記第1前駆膜をパターニングして前記画素電位側容量電極を形成する工程と 前記第1前駆膜の上側に、前記誘電体膜の第2前駆膜を形成する工程と、
前記第2前駆膜の上側に、前記固定電位側容量電極の第3前駆膜を形成する工程と、
前記第3前駆膜をパターニングして前記誘電体膜及び前記固定電位側容量電極を形成する工程と、からなり、
前記固定電位側容量電極及び前記誘電体膜は、その面積が前記画素電位側容量電極及び前記誘電体膜の面積よりも大きくなるように形成されることを特徴とする請求項15に記載の電気光学装置の製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003321779A JP3767590B2 (ja) | 2002-11-26 | 2003-09-12 | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
TW092130984A TWI234126B (en) | 2002-11-26 | 2003-11-05 | Electro-optical device, process for manufacturing the same, and electronic apparatus |
US10/700,619 US7053410B2 (en) | 2002-11-26 | 2003-11-05 | Electro-optical device providing enhanced TFT life |
EP03257235A EP1437618B1 (en) | 2002-11-26 | 2003-11-17 | Electro-optical device, process for manufacturing the same, and electronic apparatus |
DE60311408T DE60311408T2 (de) | 2002-11-26 | 2003-11-17 | Elektrooptische Vorrichtung, Herstellungsverfahren derselben und elektronisches Gerät |
CNB2003101137713A CN1257428C (zh) | 2002-11-26 | 2003-11-21 | 电光装置及其制造方法和电子设备 |
KR1020030084373A KR100564510B1 (ko) | 2002-11-26 | 2003-11-26 | 전기 광학 장치 및 그 제조 방법 및 전자 기기 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002342493 | 2002-11-26 | ||
JP2003321779A JP3767590B2 (ja) | 2002-11-26 | 2003-09-12 | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005310940A Division JP3925549B2 (ja) | 2002-11-26 | 2005-10-26 | 電気光学装置及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004191931A true JP2004191931A (ja) | 2004-07-08 |
JP3767590B2 JP3767590B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=32510586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003321779A Expired - Lifetime JP3767590B2 (ja) | 2002-11-26 | 2003-09-12 | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7053410B2 (ja) |
EP (1) | EP1437618B1 (ja) |
JP (1) | JP3767590B2 (ja) |
KR (1) | KR100564510B1 (ja) |
CN (1) | CN1257428C (ja) |
DE (1) | DE60311408T2 (ja) |
TW (1) | TWI234126B (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100669720B1 (ko) | 2004-08-06 | 2007-01-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 디스플레이 장치 |
JP2007025611A (ja) * | 2005-06-17 | 2007-02-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
JP2007065157A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
JP2007240927A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2008102230A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Sony Corp | 電気光学装置 |
JP2009069251A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Casio Comput Co Ltd | 表示パネル及びその製造方法 |
JP2009251025A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2013008063A (ja) * | 2012-09-28 | 2013-01-10 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2014199403A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-10-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2015197584A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2015197582A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
TWI581312B (zh) * | 2011-12-19 | 2017-05-01 | 住友重機械離子技術有限公司 | 離子植入方法及離子植入裝置 |
USRE49592E1 (en) * | 2012-12-28 | 2023-07-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3925549B2 (ja) * | 2002-11-26 | 2007-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
KR100717813B1 (ko) * | 2005-06-30 | 2007-05-11 | 주식회사 하이닉스반도체 | 나노믹스드 유전막을 갖는 캐패시터 및 그의 제조 방법 |
KR100805018B1 (ko) * | 2007-03-23 | 2008-02-20 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조 방법 |
WO2009144966A1 (ja) * | 2008-05-28 | 2009-12-03 | シャープ株式会社 | アクティブマトリクス基板、アクティブマトリクス基板の製造方法、液晶パネル、液晶パネルの製造方法、液晶表示装置、液晶表示ユニット、テレビジョン受像機 |
US8593141B1 (en) | 2009-11-24 | 2013-11-26 | Hypres, Inc. | Magnetic resonance system and method employing a digital squid |
US8970217B1 (en) | 2010-04-14 | 2015-03-03 | Hypres, Inc. | System and method for noise reduction in magnetic resonance imaging |
TW201539095A (zh) * | 2014-04-01 | 2015-10-16 | Seiko Epson Corp | 光電裝置及電子機器 |
JP6303748B2 (ja) * | 2014-04-14 | 2018-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、光学ユニット、及び電子機器 |
KR101640192B1 (ko) | 2014-08-05 | 2016-07-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
CN106340522B (zh) * | 2016-10-21 | 2019-05-28 | 奕瑞影像科技(太仓)有限公司 | 一种薄膜晶体管面板结构及制作方法 |
CN109301080B (zh) * | 2017-07-24 | 2024-03-05 | 固安翌光科技有限公司 | 一种有机电致发光器件 |
CN108254991B (zh) | 2018-03-14 | 2021-08-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 电子纸显示装置及其制备方法和驱动方法 |
JP6813045B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2021-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
CN110085648B (zh) * | 2019-05-17 | 2021-03-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置 |
KR20220162202A (ko) * | 2021-05-31 | 2022-12-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001144301A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-05-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2001265253A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置 |
WO2001082273A1 (fr) * | 2000-04-21 | 2001-11-01 | Seiko Epson Corporation | Dispositif electro-optique |
JP2001356709A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法 |
JP2002131778A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板およびこれを備えた電気光学装置並びに電子機器 |
JP2002244155A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び投射型表示装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2983102B2 (ja) | 1991-12-26 | 1999-11-29 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置,およびその製造方法 |
JPH05341315A (ja) | 1992-06-08 | 1993-12-24 | Hitachi Ltd | 薄膜トランジスタ基板、液晶表示パネルおよび液晶表示装置 |
JP3600393B2 (ja) * | 1997-02-10 | 2004-12-15 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH10307305A (ja) | 1997-03-07 | 1998-11-17 | Toshiba Corp | アレイ基板、液晶表示装置及びそれらの製造方法 |
JP3208658B2 (ja) | 1997-03-27 | 2001-09-17 | 株式会社アドバンスト・ディスプレイ | 電気光学素子の製法 |
JP3784491B2 (ja) * | 1997-03-28 | 2006-06-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | アクティブマトリクス型の表示装置 |
CN1267781C (zh) | 1998-03-19 | 2006-08-02 | 精工爱普生株式会社 | 采用开关元件的衬底、液晶和投影型显示装置及电子仪器 |
US6521913B1 (en) * | 1998-11-26 | 2003-02-18 | Seiko Epson Corporation | Electro-optical device and electronic equipment |
JP2002353245A (ja) | 2001-03-23 | 2002-12-06 | Seiko Epson Corp | 電気光学基板装置及びその製造方法、電気光学装置、電子機器、並びに基板装置の製造方法 |
-
2003
- 2003-09-12 JP JP2003321779A patent/JP3767590B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-05 TW TW092130984A patent/TWI234126B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-11-05 US US10/700,619 patent/US7053410B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-17 DE DE60311408T patent/DE60311408T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-17 EP EP03257235A patent/EP1437618B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-21 CN CNB2003101137713A patent/CN1257428C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-11-26 KR KR1020030084373A patent/KR100564510B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001144301A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-05-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
JP2001265253A (ja) * | 2000-03-17 | 2001-09-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置 |
WO2001082273A1 (fr) * | 2000-04-21 | 2001-11-01 | Seiko Epson Corporation | Dispositif electro-optique |
JP2001356709A (ja) * | 2000-06-15 | 2001-12-26 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法 |
JP2002131778A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板およびこれを備えた電気光学装置並びに電子機器 |
JP2002244155A (ja) * | 2001-02-14 | 2002-08-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び投射型表示装置 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100669720B1 (ko) | 2004-08-06 | 2007-01-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 평판 디스플레이 장치 |
JP2007025611A (ja) * | 2005-06-17 | 2007-02-01 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
JP2007065157A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、及びこれを備えた電子機器 |
JP2007240927A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2008102230A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Sony Corp | 電気光学装置 |
JP2009069251A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Casio Comput Co Ltd | 表示パネル及びその製造方法 |
JP2009251025A (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-29 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
TWI581312B (zh) * | 2011-12-19 | 2017-05-01 | 住友重機械離子技術有限公司 | 離子植入方法及離子植入裝置 |
JP2014199403A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-10-23 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2013008063A (ja) * | 2012-09-28 | 2013-01-10 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
USRE49592E1 (en) * | 2012-12-28 | 2023-07-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light-emitting display device |
JP2015197584A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2015197582A (ja) * | 2014-04-01 | 2015-11-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040141223A1 (en) | 2004-07-22 |
TWI234126B (en) | 2005-06-11 |
DE60311408D1 (de) | 2007-03-15 |
US7053410B2 (en) | 2006-05-30 |
DE60311408T2 (de) | 2007-10-31 |
TW200414097A (en) | 2004-08-01 |
EP1437618A2 (en) | 2004-07-14 |
CN1503041A (zh) | 2004-06-09 |
KR20040047647A (ko) | 2004-06-05 |
CN1257428C (zh) | 2006-05-24 |
EP1437618A3 (en) | 2004-09-22 |
KR100564510B1 (ko) | 2006-03-29 |
EP1437618B1 (en) | 2007-01-24 |
JP3767590B2 (ja) | 2006-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3767590B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2004170911A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3791517B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004170913A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004125887A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
KR20040038867A (ko) | 전기 광학 장치 및 전자기기 | |
JP2004170909A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004226954A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 | |
JP2004170921A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3778195B2 (ja) | 平坦化層を有する基板及びその製造方法並びに電気光学装置用基板及び電気光学装置及び電子機器 | |
JP3835403B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP3925549B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004170908A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4214741B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004170910A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004191930A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP4003724B2 (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004317728A (ja) | アライメントマーク付き基板及びその製造方法並びに電気光学装置用基板及び電気光学装置 | |
JP2004170918A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP4269659B2 (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2006065356A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004184495A (ja) | 電気光学装置及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP4400088B2 (ja) | 電気光学装置用基板及びその製造方法並びに電気光学装置 | |
JP2008276256A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
JP2004170912A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050808 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051026 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20051202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060123 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3767590 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110210 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110210 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120210 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130210 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130210 Year of fee payment: 7 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |