JP2004182581A - 炭素ナノチューブの製造方法 - Google Patents

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亮 劉
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Abstract

【課題】本発明は、成長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は一種の炭素ナノチューブの製造方法を提供し、それは下記のようなステップを含み、(1)基板を提供するステップと、(2)該基板の上に触媒を堆積するステップと、(3)予定の温度下で、触媒と炭素含有ガスとを一定の時間に接触させ、該基板の上に垂直した特定な長度の炭素ナノチューブを成長するステップと、(4)前記炭素ナノチューブを該基板から離れさせるステップ。従来の技術に比べて、本発明は化学気相成長法により、一種の生長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブのマトリックスの製造方法を提供する。
【選択図】 図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一種の炭素ナノチューブの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
炭素ナノチューブは、優れた物理化学性能を有し、例えば特有の金属或いは半導体導電性、ずいぶん高い機械強さ、水素吸蔵能力、付着能力及びより強いマイクロ波吸蔵能力が90年代初に発現されると、物理、化学、材料科学学界及び先端技術部門において注目されている。炭素ナノチューブは工業上の実現をするために、低いコスト、大量の製造などの問題を解決する必要がある。炭素ナノチューブは1991年に発現されてくる、その製造方法としては広く研究されている。現在、炭素ナノチューブの製造方法は主にアーク放電法、レーザー蒸発法及び化学気相成長法である。アーク放電法及びレーザー蒸発法による産物中に、炭素ナノチューブ及びその他の炭素産物を含み、精製が困難で、収率がより低く、大量的に生産しにくい。メタンを炭素含有ガス(炭素を含むガス)として化学気相成長法による炭素ナノチューブは、製造が簡単で、コストが低い、生産規模が制御し易い、長さが大きい、産率が高いなどの長所を有するため、重要な研究価値を有し、電界効果デイスプレィ、電動真空素子、ナノ電子工学及び高強度複合材料などの方面に広く用いられている。
【0003】
しかし、従来技術により炭素ナノチューブの長さは制御されなく、且つ生産された炭素ナノチューブは、一体に結び易くて分散が困難で、電界効果デイスプレィ及び高強度複合材料などの工業実施に向かない。
【0004】
従って、成長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブの製造方法を提供する必要がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、成長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブの製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記の目的を達成するため、本発明は一種の炭素ナノチューブの製造方法を提供し、それは下記のようなステップを含み、(1)基板を提供するステップと、(2)該基板の上に触媒を堆積するステップと、(3)予定の温度下で、触媒と炭素含有ガスとを一定の時間に接触させ、該基板の上に垂直した特定な長度の炭素ナノチューブを成長するステップと、(4)前記炭素ナノチューブを該基板から離れさせるステップ。
【0007】
また、本発明は前記ステップ(4)の後に、前記カーボンナノチューブを分散溶液中に超音波で分散させる。
【0008】
従来の技術に比べて、本発明は化学気相成長法により、一種の生長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブのマトリックスの製造方法を提供する。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明は化学気相成長法により、成長の長さが均一で且つ制御され、結ばなく、分散し易い炭素ナノチューブのマトリックスの製造方法を提供し、その製造方法の詳細は下記のように、
(1)図1を参照されたい。繰り返し使用される基板3としてシリコン板或はブラジル石板を提供し、
(2)熱堆積法、イオンビーム蒸着法、スプラッシュ法などにより触媒1を前記3の一面或いは両面に堆積させ、厚さ4〜10nmの触媒金属フィルム11を形成し、該触媒1として鉄、コバルト或はニッケルなどを選ばれる。
(3)図2を参照されたい。300〜500℃間に空気雰囲気で該触媒フィルムを8〜12時間アニールし、該触媒フィルムを酸化して離間したナノ粒子12を形成する。
(4)図3を参照されたい。触媒の粒子12を有する複数の基板3を同時に反応炉4に送込み、
(5)不活性ガス(図に示ず)を導入し、同時に反応炉4を600〜1000℃に加熱し、
(6)不活性ガスと炭素含有ガス(図に示ず)を導入し、該不活性ガスとしてアルゴン、窒素或いはヘリウムなどを選ばれ、該炭素含有ガスとしてアセチレン、メタン或はエチレンなどを選ばれ、
(7)15s〜40min間反応した後、一定の高さの炭素ナノチューブのマトリックスが前記基板の表面から成長し、
(8)反応炉4を室温に冷却させる。
(9)図4を参照されたい。基板3を取出し、炭素ナノチューブ5はかき取り機6により掃出し、或いは細線或は高圧の気体により吹き出し、基板3は直接に成長に用いられ、或いは浄化させて次の堆積に用いられる。
【0010】
また、炭素ナノチューブ5をアルコール、或いは1,2−塩化エチリデンなど分散溶液中に超音波で分散させる。
【0011】
炭素ナノチューブのマトリックス中の炭素ナノチューブ5は、平行的に配列し且つ結ばなく、従って、優れた分散される単一の炭素ナノチューブを得易い。図5、図6を合せて参照されたい。本発明の炭素ナノチューブ5は一体に結ばなく、超音波で単一の炭素ナノチューブ或いは小管径の炭素ナノチューブ束に分散させる。
【0012】
また、成長条件の制御により、例えば反応時間及び反応温度を制御し、特定の高さの炭素ナノチューブのマトリックスが形成され、その中の炭素ナノチューブ5は所望の精確な長さを有する。これを図7、図8、図9及び図10に示す。
【0013】
第一実施例は長さ10μmの炭素ナノチューブのマトリックスを製造し、その詳細は下記の通りである。
【0014】
多孔シリコン基板の上に厚さ5nmの鉄触媒フィルムを堆積し、空気雰囲気下、400℃に該基板を10時間アニールし、該基板をブラジル石の反応皿中に置き、該反応皿をブラジル石の反応炉の中央反応室中に送込み、アルゴンの雰囲気下で該反応炉を690℃に加熱し、エチレンを導入し、15s反応した後、該反応炉を室温に冷却し、長さ10μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長させる。
【0015】
第二実施例は長さ100μmの炭素ナノチューブのマトリックスを製造し、その詳細が下記のようなことである。
【0016】
多孔シリコン基板の上に厚さ5nmの鉄触媒フィルムを堆積し、空気雰囲気下、400℃で該基板を10時間アニールし、該基板をブラジル石の反応皿中に置き、該反応皿をブラジル石の反応炉の中央反応室中に送込み、アルゴンの雰囲気下で該反応炉を690℃に加熱し、エチレンを導入し、5min反応した後、該反応炉を室温に冷却し、長さ100μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長させる。
【0017】
第三実施例は長さ500μmの炭素ナノチューブのマトリックスを製造し、その詳細は下記の通りである。
【0018】
多孔シリコン基板の上に厚さ5nmの鉄触媒フィルムを堆積し、空気雰囲気下、400℃で該基板を10時間アニールさせ、該基板をブラジル石の反応皿中に置き、該反応皿をブラジル石の反応炉の中央反応室中に送込み、アルゴンの雰囲気下で該反応炉を710℃に加熱し、エチレンを導入し、10min反応した後、該反応炉を室温に冷却し、長さ500μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長させる。
【0019】
実験の結果により、炭素ナノチューブのマトリックスが密度0.1g/cmである。高さ100μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長するのを例として、30片の4インチ(25.4mm/インチ)シリコン基板(一面だけ触媒を堆積した)を同時に置いた反応炉にはに2.4gの高さ100μmの炭素ナノチューブのマトリックスに成長し、成長時間は5min程度である。
【0020】
前記を総じて、本発明は特許の要件として十分に備えているので、法により登録すべきである。また、前記は単なる本願におけるより好ましい実施例にすぎず、本発明の請求範囲を限定するものではない。本発明の技術を熟知している者が本考案の思想に基づきなしうる修飾或いは変更は、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の触媒を基板上に堆積する模式図である。
【図2】本発明の触媒のアニールした模式図である。
【図3】本発明の触媒を有する基板を反応炉中に置い、反応気体を導入し、炭素ナノチューブを生長する模式図である。
【図4】本発明の炭素ナノチューブの基板から掃出しの模式図である。
【図5】本発明の炭素ナノチューブのマトリックスは分散溶液中に超音波で分散された透過電子顕微鏡の写真である。
【図6】本発明の炭素ナノチューブのマトリックスは分散溶液中に超音波で分散された透過電子顕微鏡の写真であり、その中の炭素ナノチューブは単一の炭素ナノチューブに分散される。
【図7】本発明の一定の高さの炭素ナノチューブのSEMの写真である。
【図8】本発明の一定の高さの炭素ナノチューブのSEMの写真である。
【図9】本発明の一定の高さの炭素ナノチューブのSEMの写真である。
【図10】本発明の一定の高さの炭素ナノチューブのSEMの写真である。
【符号の説明】
1 触媒
3 基板
4 反応炉
5 炭素ナノチューブ
6 かき取り機
11 触媒フイルム
12 粒子

Claims (10)

  1. (1)基板を提供するステップと、
    (2)前記基板の上に触媒を堆積するステップと、
    (3)予定の温度の下で、前記触媒と炭素含有ガスとを一定の時間接触させ、前記基板の上に直立した所定の長さの炭素ナノチューブを成長させるステップと、
    (4)前記炭素ナノチューブを前記基板から離れさせるステップと、
    を含むことを特徴とする炭素ナノチューブの製造方法。
  2. 前記ステップ(4)の後に、前記カーボンナノチューブは分散溶液中に超音波で分散することを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブの製造方法。
  3. 前記ステップ(2)中の触媒は鉄、コバルト或いはニッケルであることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブの製造方法。
  4. 前記ステップ(2)は、前記基板の上に厚さ4〜100nmの触媒フィルムを形成し、300〜500℃間で該触媒フィルムを8〜12時間アニールし、該触媒を酸化して離れたナノ粒子に形成することを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブの製造方法。
  5. 前記ステップ(3)中の予定温度は、600〜1000℃であることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブの製造方法。
  6. 前記ステップ(3)中の炭素含有ガスは、アセチレン、メタン或いはエチレンであることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブの製造方法。
  7. 前記ステップ(3)は、不活性ガスを導入することを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブの製造方法。
  8. 前記ステップ(3)は、690℃にエチレンと鉄触媒とを15s接触させ、前記基板の上に直立した長さ10μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長させることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブのマトリックス製造方法。
  9. 前記ステップ(3)は、690℃にエチレンと鉄触媒とを5min接触させ、前記基板の上に直立した長さ100μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長させることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブのマトリックス製造方法。
  10. 前記ステップ(3)は、710℃にエチレンと鉄触媒とを10min接触させ、前記基板の上に直立した長さ500μmの炭素ナノチューブのマトリックスを成長させることを特徴とする請求項1に記載の炭素ナノチューブのマトリックス製造方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006052009A1 (ja) * 2004-11-10 2006-05-18 Nikon Corporation カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法
JP2006182640A (ja) * 2004-12-01 2006-07-13 Nissin Electric Co Ltd カーボンナノチューブの形成方法及び形成装置
JP2013509504A (ja) * 2009-11-02 2013-03-14 アプライド ナノストラクチャード ソリューションズ リミテッド ライアビリティー カンパニー Cnt浸出金属繊維材料及びそのための方法
JP2015145317A (ja) * 2014-01-31 2015-08-13 ヤマハ株式会社 カーボンナノチューブの製造装置
JP2015160747A (ja) * 2014-02-25 2015-09-07 ヤマハ株式会社 カーボンナノチューブの製造装置
JP2015174775A (ja) * 2014-03-12 2015-10-05 ヤマハ株式会社 カーボンナノチューブの製造装置

Families Citing this family (106)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7302829B2 (en) * 2003-12-01 2007-12-04 General Electric Company Contactless humidity/chemical vapor sensor device and associated method of fabrication
KR100626016B1 (ko) 2004-09-20 2006-09-20 삼성에스디아이 주식회사 탄소나노케이지 제조 방법
CN100337909C (zh) * 2005-03-16 2007-09-19 清华大学 一种碳纳米管阵列的生长方法
CN100376477C (zh) 2005-03-18 2008-03-26 清华大学 一种碳纳米管阵列生长装置及多壁碳纳米管阵列的生长方法
CN100344532C (zh) * 2005-03-25 2007-10-24 清华大学 一种碳纳米管阵列的生长装置
CN100337910C (zh) * 2005-03-31 2007-09-19 清华大学 一种碳纳米管阵列的生长方法
CN100368080C (zh) * 2005-08-29 2008-02-13 天津大学 以Ni/Al催化剂化学气相沉积制备碳纳米管和碳洋葱的方法
CN1948142B (zh) * 2005-10-12 2010-09-08 王洋 碳纳米管阵列其制备方法及在制备天线阵列中的应用
CN1959896B (zh) * 2005-11-04 2011-03-30 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 碳纳米管场发射体及其制备方法
CN100462301C (zh) * 2005-12-09 2009-02-18 清华大学 一种碳纳米管阵列的制备方法
FR2895393B1 (fr) * 2005-12-23 2008-03-07 Arkema Sa Procede de synthese de nanotubes de carbone
JP4817296B2 (ja) * 2006-01-06 2011-11-16 独立行政法人産業技術総合研究所 配向カーボンナノチューブ・バルク集合体ならびにその製造方法および用途
WO2007117503A2 (en) * 2006-04-07 2007-10-18 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Preparing nanoparticles and carbon nanotubes
US8337979B2 (en) 2006-05-19 2012-12-25 Massachusetts Institute Of Technology Nanostructure-reinforced composite articles and methods
JP2009537339A (ja) 2006-05-19 2009-10-29 マサチューセッツ・インスティテュート・オブ・テクノロジー ナノ構造強化された複合体およびナノ構造強化方法
US9005755B2 (en) 2007-01-03 2015-04-14 Applied Nanostructured Solutions, Llc CNS-infused carbon nanomaterials and process therefor
US8951632B2 (en) 2007-01-03 2015-02-10 Applied Nanostructured Solutions, Llc CNT-infused carbon fiber materials and process therefor
US20120189846A1 (en) * 2007-01-03 2012-07-26 Lockheed Martin Corporation Cnt-infused ceramic fiber materials and process therefor
US8158217B2 (en) * 2007-01-03 2012-04-17 Applied Nanostructured Solutions, Llc CNT-infused fiber and method therefor
CN101239712B (zh) * 2007-02-09 2010-05-26 清华大学 碳纳米管薄膜结构及其制备方法
JP5194513B2 (ja) 2007-03-29 2013-05-08 富士通セミコンダクター株式会社 配線構造及びその形成方法
CN102207574B (zh) * 2007-03-30 2013-04-10 清华大学 偏光元件及其制备方法
CN102207575B (zh) * 2007-03-30 2013-08-21 清华大学 偏光元件及其制备方法
CN101276012B (zh) * 2007-03-30 2016-04-27 清华大学 偏光元件及其制备方法
CN101284661B (zh) * 2007-04-13 2011-03-23 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 碳纳米管薄片的制备方法
CN101290857B (zh) * 2007-04-20 2011-06-22 清华大学 场发射阴极及其制备方法
CN101315974B (zh) * 2007-06-01 2010-05-26 清华大学 锂离子电池负极及其制备方法
US8367506B2 (en) 2007-06-04 2013-02-05 Micron Technology, Inc. High-k dielectrics with gold nano-particles
CN101338452B (zh) * 2007-07-04 2011-06-22 清华大学 高密度碳纳米管阵列及其制备方法
CN101353785B (zh) * 2007-07-25 2010-09-29 清华大学 高密度碳纳米管阵列复合材料的制备方法
CN101372614B (zh) * 2007-08-24 2011-06-08 清华大学 碳纳米管阵列复合导热片及其制备方法
US20090081441A1 (en) * 2007-09-20 2009-03-26 Lockheed Martin Corporation Fiber Tow Comprising Carbon-Nanotube-Infused Fibers
CN101425583B (zh) * 2007-11-02 2011-06-08 清华大学 燃料电池膜电极及其制备方法
US7897209B2 (en) * 2008-04-16 2011-03-01 Zeon Corporation Apparatus and method for producing aligned carbon-nanotube aggregates
CN101591015B (zh) 2008-05-28 2013-02-13 清华大学 带状碳纳米管薄膜的制备方法
TWI412491B (zh) * 2008-06-13 2013-10-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 帶狀奈米碳管薄膜的製備方法
US8318250B2 (en) 2009-02-13 2012-11-27 Babcock & Wilcox Technical Services Y-12, Llc Anchored nanostructure materials and method of fabrication
US20100210456A1 (en) * 2009-02-13 2010-08-19 Babcock & Wilcox Technical Services Y-12, Llc Catalytic Materials for Fabricating Nanostructures
US8974719B2 (en) 2009-02-13 2015-03-10 Consolidated Nuclear Security, LLC Composite materials formed with anchored nanostructures
US8945691B2 (en) * 2009-02-13 2015-02-03 Consolidated Nuclear Security, LLC Nano-material and method of fabrication
WO2010093932A2 (en) * 2009-02-13 2010-08-19 Babcock & Wilcox Technical Services Y-12, Llc Anchored nanostructure materials and ball milling method of fabrication
BRPI1007300A2 (pt) 2009-02-17 2019-09-24 Applied Nanostructured Sols compósitos compreendendo nanotubos de carbono sobre fibra
BRPI1008131A2 (pt) 2009-02-27 2016-03-08 Applied Nanostructured Sols "crescimento de nanotubo de carbono de baixa temperatura usando método de preaquecimento de gás".
US20100224129A1 (en) 2009-03-03 2010-09-09 Lockheed Martin Corporation System and method for surface treatment and barrier coating of fibers for in situ cnt growth
US20100260998A1 (en) * 2009-04-10 2010-10-14 Lockheed Martin Corporation Fiber sizing comprising nanoparticles
KR101753918B1 (ko) 2009-04-17 2017-07-04 시어스톤 엘엘씨 탄소 산화물을 환원시켜 고형 탄소를 제조하는 방법
US9111658B2 (en) 2009-04-24 2015-08-18 Applied Nanostructured Solutions, Llc CNS-shielded wires
WO2010124260A1 (en) 2009-04-24 2010-10-28 Lockheed Martin Corporation Cnt-infused emi shielding composite and coating
KR101696207B1 (ko) 2009-04-27 2017-01-13 어플라이드 나노스트럭처드 솔루션스, 엘엘씨. 복합 구조물 제빙을 위한 cnt계 저항 가열
CN102470546B (zh) 2009-08-03 2014-08-13 应用纳米结构方案公司 纳米颗粒在复合材料纤维中的结合
WO2011054008A2 (en) * 2009-11-02 2011-05-05 Applied Nanostructured Solutions, Llc Cnt-infused aramid fiber materials and process therefor
JP5643835B2 (ja) 2009-11-23 2014-12-17 アプライド ナノストラクチャード ソリューションズ リミテッド ライアビリティー カンパニーApplied Nanostructuredsolutions, Llc Cntを適合された海ベース複合材料構造体
BR112012010907A2 (pt) 2009-11-23 2019-09-24 Applied Nanostructured Sols "materiais compósitos de cerâmica contendo materiais de fibra infundidos em nanotubo de carbono e métodos para a produção dos mesmos"
CA2780354A1 (en) 2009-12-14 2011-11-17 Applied Nanostructured Solutions, Llc Flame-resistant composite materials and articles containing carbon nanotube-infused fiber materials
US9167736B2 (en) 2010-01-15 2015-10-20 Applied Nanostructured Solutions, Llc CNT-infused fiber as a self shielding wire for enhanced power transmission line
EP2531558B1 (en) 2010-02-02 2018-08-22 Applied NanoStructured Solutions, LLC Carbon nanotube-infused fiber materials containing parallel-aligned carbon nanotubes, methods for production thereof, and composite materials derived therefrom
WO2011109485A1 (en) 2010-03-02 2011-09-09 Applied Nanostructured Solutions,Llc Electrical devices containing carbon nanotube-infused fibers and methods for production thereof
US8665581B2 (en) 2010-03-02 2014-03-04 Applied Nanostructured Solutions, Llc Spiral wound electrical devices containing carbon nanotube-infused electrode materials and methods and apparatuses for production thereof
CA2712051A1 (en) * 2010-08-12 2012-02-12 The Governors Of The University Of Alberta Method of fabricating a carbon nanotube array
US8780526B2 (en) 2010-06-15 2014-07-15 Applied Nanostructured Solutions, Llc Electrical devices containing carbon nanotube-infused fibers and methods for production thereof
US9017854B2 (en) 2010-08-30 2015-04-28 Applied Nanostructured Solutions, Llc Structural energy storage assemblies and methods for production thereof
WO2012037042A1 (en) 2010-09-14 2012-03-22 Applied Nanostructured Solutions, Llc Glass substrates having carbon nanotubes grown thereon and methods for production thereof
AU2011305809A1 (en) 2010-09-22 2013-02-28 Applied Nanostructured Solutions, Llc Carbon fiber substrates having carbon nanotubes grown thereon and processes for production thereof
AU2011305751A1 (en) 2010-09-23 2012-06-21 Applied Nanostructured Solutions, Llc CNT-infused fiber as a self shielding wire for enhanced power transmission line
CN102249216A (zh) * 2011-06-10 2011-11-23 电子科技大学 一种通过控制水解程度影响碳纳米管生长形貌的方法
US8609189B2 (en) 2011-09-28 2013-12-17 King Abdulaziz University Method of forming carbon nanotubes from carbon-rich fly ash
CN102530828A (zh) * 2012-01-09 2012-07-04 重庆大学 基于碳纳米管阵列和金属纳米颗粒的表面增强拉曼散射活性基底
US9085464B2 (en) 2012-03-07 2015-07-21 Applied Nanostructured Solutions, Llc Resistance measurement system and method of using the same
NO2749379T3 (ja) 2012-04-16 2018-07-28
CN104302575B (zh) 2012-04-16 2017-03-22 赛尔斯通股份有限公司 通过还原二氧化碳来产生固体碳的方法
CN104284861A (zh) 2012-04-16 2015-01-14 赛尔斯通股份有限公司 处理含有碳氧化物的废气的方法
MX354526B (es) 2012-04-16 2018-03-07 Seerstone Llc Metodos y sistemas para capturar y secuestrar carbono y para reducir la masa de oxidos de carbono en una corriente de gas de desechos.
JP6328611B2 (ja) 2012-04-16 2018-05-23 シーアストーン リミテッド ライアビリティ カンパニー 非鉄触媒で炭素酸化物を還元するための方法および構造
US9896341B2 (en) 2012-04-23 2018-02-20 Seerstone Llc Methods of forming carbon nanotubes having a bimodal size distribution
US9656246B2 (en) * 2012-07-11 2017-05-23 Carbice Corporation Vertically aligned arrays of carbon nanotubes formed on multilayer substrates
JP6284934B2 (ja) 2012-07-12 2018-02-28 シーアストーン リミテッド ライアビリティ カンパニー カーボンナノチューブを含む固体炭素生成物およびそれを形成する方法
US10815124B2 (en) 2012-07-12 2020-10-27 Seerstone Llc Solid carbon products comprising carbon nanotubes and methods of forming same
MX2015000580A (es) 2012-07-13 2015-08-20 Seerstone Llc Metodos y sistemas para formar productos de carbono solido y amoniaco.
US9779845B2 (en) 2012-07-18 2017-10-03 Seerstone Llc Primary voltaic sources including nanofiber Schottky barrier arrays and methods of forming same
JP6389824B2 (ja) 2012-11-29 2018-09-12 シーアストーン リミテッド ライアビリティ カンパニー 固体炭素材料を製造するための反応器および方法
JP6373284B2 (ja) 2013-02-28 2018-08-15 エヌ12 テクノロジーズ, インク.N12 Technologies, Inc. ナノ構造フィルムのカートリッジベース払い出し
WO2014150944A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Seerstone Llc Methods of producing hydrogen and solid carbon
US10086349B2 (en) 2013-03-15 2018-10-02 Seerstone Llc Reactors, systems, and methods for forming solid products
EP3129133A4 (en) 2013-03-15 2018-01-10 Seerstone LLC Systems for producing solid carbon by reducing carbon oxides
WO2014151144A1 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Seerstone Llc Carbon oxide reduction with intermetallic and carbide catalysts
ES2900814T3 (es) 2013-03-15 2022-03-18 Seerstone Llc Electrodos que comprenden carbono nanoestructurado
CN104071767A (zh) * 2013-03-25 2014-10-01 苏州捷迪纳米科技有限公司 碳纳米管生长基底的处理方法
WO2015191897A1 (en) 2014-06-11 2015-12-17 Georgia Tech Research Corporation Polymer-based nanostructured materials with tunable properties and methods of making thereof
US11447391B2 (en) * 2015-06-23 2022-09-20 Polyvalor, Limited Partnership Method of growing a graphene coating or carbon nanotubes on a catalytic substrate
US10791651B2 (en) 2016-05-31 2020-09-29 Carbice Corporation Carbon nanotube-based thermal interface materials and methods of making and using thereof
BR112018072800A2 (pt) 2016-05-31 2019-03-12 Massachusetts Inst Technology artigos compósitos compreendendo nanoestruturas alongadas não lineares e métodos associados
CN106211528A (zh) * 2016-06-20 2016-12-07 青岛科技大学 一种制备碳纳米管防静电薄膜的方法
WO2018022999A1 (en) 2016-07-28 2018-02-01 Seerstone Llc. Solid carbon products comprising compressed carbon nanotubes in a container and methods of forming same
CN108314007B (zh) * 2017-01-18 2021-08-06 中国石油化工股份有限公司 一种镍-碳纳米管复合材料及其制备方法
TWI755492B (zh) 2017-03-06 2022-02-21 美商卡爾拜斯有限公司 基於碳納米管的熱界面材料及其製造和使用方法
CN108735979B (zh) * 2017-04-24 2020-12-04 清华大学 锂离子电池负极的制备方法
CN108735969B (zh) 2017-04-24 2020-09-29 清华大学 锂离子电池负极及柔性锂离子电池
EP3681942A4 (en) 2017-09-15 2021-05-05 Massachusetts Institute of Technology LOW DEFAULT MANUFACTURING OF COMPOSITE MATERIALS
EP3718157A4 (en) 2017-11-28 2021-09-29 Massachusetts Institute of Technology SEPARATORS INCLUDING ELONGATED NANOSTRUCTURES AND ASSOCIATED DEVICES AND PROCESSES FOR STORING AND / OR USING ENERGY
US10707596B2 (en) 2018-09-21 2020-07-07 Carbice Corporation Coated electrical connectors and methods of making and using thereof
CN110211864B (zh) * 2019-05-08 2021-08-06 深圳烯湾科技有限公司 一种硅基底的清洗方法
USD904322S1 (en) 2019-08-28 2020-12-08 Carbice Corporation Flexible heat sink
USD906269S1 (en) 2019-08-28 2020-12-29 Carbice Corporation Flexible heat sink
USD903610S1 (en) 2019-08-28 2020-12-01 Carbice Corporation Flexible heat sink
US20210063099A1 (en) 2019-08-28 2021-03-04 Carbice Corporation Flexible and conformable polymer-based heat sinks and methods of making and using thereof
CN114646689A (zh) * 2020-12-17 2022-06-21 清华大学 二次电子探头及二次电子探测器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5872422A (en) * 1995-12-20 1999-02-16 Advanced Technology Materials, Inc. Carbon fiber-based field emission devices
CN1211199C (zh) * 1996-05-15 2005-07-20 海珀里昂催化国际有限公司 刚性多孔碳结构材料、其制法、用法及含该结构材料的产品
US6129901A (en) * 1997-11-18 2000-10-10 Martin Moskovits Controlled synthesis and metal-filling of aligned carbon nanotubes
KR20010074667A (ko) * 1998-06-19 2001-08-08 추후보정 자립 정렬형 탄소 나노튜브 및 그 합성방법
US6232706B1 (en) * 1998-11-12 2001-05-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Self-oriented bundles of carbon nanotubes and method of making same
US6599961B1 (en) * 2000-02-01 2003-07-29 University Of Kentucky Research Foundation Polymethylmethacrylate augmented with carbon nanotubes
JP4483152B2 (ja) * 2001-11-27 2010-06-16 富士ゼロックス株式会社 中空グラフェンシート構造体及び電極構造体とそれら製造方法並びにデバイス

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006052009A1 (ja) * 2004-11-10 2006-05-18 Nikon Corporation カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法
JPWO2006052009A1 (ja) * 2004-11-10 2008-05-29 株式会社ニコン カーボンナノチューブ集合体及びその製造方法
US7731930B2 (en) 2004-11-10 2010-06-08 Nikon Corporation Carbon nanotube assembly and manufacturing method thereof
JP2012162451A (ja) * 2004-11-10 2012-08-30 Nikon Corp カーボンナノチューブ集合体
KR101286835B1 (ko) 2004-11-10 2013-07-17 가부시키가이샤 니콘 카본 나노튜브 집합체 및 그 제조 방법
JP2006182640A (ja) * 2004-12-01 2006-07-13 Nissin Electric Co Ltd カーボンナノチューブの形成方法及び形成装置
JP2013509504A (ja) * 2009-11-02 2013-03-14 アプライド ナノストラクチャード ソリューションズ リミテッド ライアビリティー カンパニー Cnt浸出金属繊維材料及びそのための方法
JP2015145317A (ja) * 2014-01-31 2015-08-13 ヤマハ株式会社 カーボンナノチューブの製造装置
JP2015160747A (ja) * 2014-02-25 2015-09-07 ヤマハ株式会社 カーボンナノチューブの製造装置
JP2015174775A (ja) * 2014-03-12 2015-10-05 ヤマハ株式会社 カーボンナノチューブの製造装置

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