JP2004176039A - 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 - Google Patents
硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004176039A JP2004176039A JP2003158623A JP2003158623A JP2004176039A JP 2004176039 A JP2004176039 A JP 2004176039A JP 2003158623 A JP2003158623 A JP 2003158623A JP 2003158623 A JP2003158623 A JP 2003158623A JP 2004176039 A JP2004176039 A JP 2004176039A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin composition
- epoxy resin
- compound
- group
- substituted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 title claims abstract description 248
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 title claims abstract description 248
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 211
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 117
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 255
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims abstract description 39
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims abstract description 32
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims abstract description 11
- -1 tri-substituted phosphoniophenolate Chemical group 0.000 claims description 89
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 79
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 39
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 24
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 claims description 24
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 20
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 16
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 14
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 14
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 13
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 claims description 13
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 12
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 8
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 claims description 7
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 claims description 6
- NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N (2s)-2-[[4-[2-(2,4-diaminoquinazolin-6-yl)ethyl]benzoyl]amino]-4-methylidenepentanedioic acid Chemical compound C1=CC2=NC(N)=NC(N)=C2C=C1CCC1=CC=C(C(=O)N[C@@H](CC(=C)C(O)=O)C(O)=O)C=C1 NAWXUBYGYWOOIX-SFHVURJKSA-N 0.000 claims description 5
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 claims description 4
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims description 3
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 claims description 3
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000006165 cyclic alkyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000001174 sulfone group Chemical group 0.000 claims description 2
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 claims description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 38
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 31
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 31
- ZUYRZVQAOUOSQI-UHFFFAOYSA-N 2-phosphaniumylphenolate Chemical class OC1=CC=CC=C1P ZUYRZVQAOUOSQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 55
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 44
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 44
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 40
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N phosphine group Chemical group P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical group O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 239000000047 product Substances 0.000 description 23
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 21
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 20
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 20
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 20
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 20
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 20
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 20
- 238000001819 mass spectrum Methods 0.000 description 20
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 13
- VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N o-anisidine Chemical compound COC1=CC=CC=C1N VMPITZXILSNTON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M sodium iodide Chemical compound [Na+].[I-] FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 10
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 9
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 8
- 239000004203 carnauba wax Substances 0.000 description 8
- 235000013869 carnauba wax Nutrition 0.000 description 8
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 8
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 7
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 238000001721 transfer moulding Methods 0.000 description 7
- WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N Acetic anhydride Chemical compound CC(=O)OC(C)=O WFDIJRYMOXRFFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 6
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 6
- LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M sodium nitrite Chemical compound [Na+].[O-]N=O LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 0 *(C(c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1)c1ccccc1 Chemical compound *(C(c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1)c1ccccc1 0.000 description 5
- UZKBSZSTDQSMDR-UHFFFAOYSA-N 1-[(4-chlorophenyl)-phenylmethyl]piperazine Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)N1CCNCC1 UZKBSZSTDQSMDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- NSGDYZCDUPSTQT-UHFFFAOYSA-N N-[5-bromo-1-[(4-fluorophenyl)methyl]-4-methyl-2-oxopyridin-3-yl]cycloheptanecarboxamide Chemical compound Cc1c(Br)cn(Cc2ccc(F)cc2)c(=O)c1NC(=O)C1CCCCCC1 NSGDYZCDUPSTQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 5
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- NCBZRJODKRCREW-UHFFFAOYSA-N m-anisidine Chemical compound COC1=CC=CC(N)=C1 NCBZRJODKRCREW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 5
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 5
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 5
- DOBSMWOQHGECSJ-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxyphenyl)-triphenylphosphanium;iodide Chemical compound [I-].OC1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DOBSMWOQHGECSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 4
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 4
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BHAAPTBBJKJZER-UHFFFAOYSA-N p-anisidine Chemical compound COC1=CC=C(N)C=C1 BHAAPTBBJKJZER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WXWCDTXEKCVRRO-UHFFFAOYSA-N para-Cresidine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1N WXWCDTXEKCVRRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 4
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-O phosphonium Chemical compound [PH4+] XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- AOJFQRQNPXYVLM-UHFFFAOYSA-N pyridin-1-ium;chloride Chemical compound [Cl-].C1=CC=[NH+]C=C1 AOJFQRQNPXYVLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000004053 quinones Chemical group 0.000 description 4
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 4
- 235000009518 sodium iodide Nutrition 0.000 description 4
- WXAZIUYTQHYBFW-UHFFFAOYSA-N tris(4-methylphenyl)phosphane Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1P(C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 WXAZIUYTQHYBFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 3
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 3
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 3
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 3
- FZZQNEVOYIYFPF-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,6-diol Chemical compound OC1=CC=CC2=CC(O)=CC=C21 FZZQNEVOYIYFPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JRNGUTKWMSBIBF-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,3-diol Chemical compound C1=CC=C2C=C(O)C(O)=CC2=C1 JRNGUTKWMSBIBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 3
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 3
- 235000010288 sodium nitrite Nutrition 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- UYUUAUOYLFIRJG-UHFFFAOYSA-N tris(4-methoxyphenyl)phosphane Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1P(C=1C=CC(OC)=CC=1)C1=CC=C(OC)C=C1 UYUUAUOYLFIRJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NPFAIMQVYGUBJR-UHFFFAOYSA-N (2-methoxyphenyl)-triphenylphosphanium Chemical compound COC1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 NPFAIMQVYGUBJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OCPWMBGYIPVSEI-UHFFFAOYSA-M (2-methoxyphenyl)-triphenylphosphanium;iodide Chemical compound [I-].COC1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 OCPWMBGYIPVSEI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RKIYXPQJEYVWQZ-UHFFFAOYSA-N OC1=CC2C=CC=CC2C=C1O Chemical compound OC1=CC2C=CC=CC2C=C1O RKIYXPQJEYVWQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- VCCBEIPGXKNHFW-UHFFFAOYSA-N biphenyl-4,4'-diol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1=CC=C(O)C=C1 VCCBEIPGXKNHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 2
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O diazynium Chemical compound [NH+]#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 2
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 239000002305 electric material Substances 0.000 description 2
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 2
- KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N glycine betaine Chemical compound C[N+](C)(C)CC([O-])=O KWIUHFFTVRNATP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004464 hydroxyphenyl group Chemical class 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 2
- 150000003003 phosphines Chemical group 0.000 description 2
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 2
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 2
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 2
- PPTXVXKCQZKFBN-UHFFFAOYSA-N (S)-(-)-1,1'-Bi-2-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(C3=C4C=CC=CC4=CC=C3O)=C(O)C=CC2=C1 PPTXVXKCQZKFBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCNHNBLSNVSJTJ-UHFFFAOYSA-N 1,1-Bis(4-hydroxyphenyl)ethane Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)C1=CC=C(O)C=C1 HCNHNBLSNVSJTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWGJDPKCLMLPJW-UHFFFAOYSA-N 1,8-diaminooctane Chemical compound NCCCCCCCCN PWGJDPKCLMLPJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRSFXANHGVSNEB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyphenyl)-3,3,5,5-tetramethylcyclohexen-1-ol Chemical compound CC1(C)CC(C)(C)CC(O)=C1C1=CC=CC=C1O WRSFXANHGVSNEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DTYBRSLINXBXMP-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-5-phenylaniline Chemical compound C1=C(N)C(OC)=CC=C1C1=CC=CC=C1 DTYBRSLINXBXMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AGBJJOIVDGQVLV-UHFFFAOYSA-N 3-[(3-hydroxy-2,4-dimethylphenyl)methyl]-2,6-dimethylphenol Chemical compound CC1=C(O)C(C)=CC=C1CC1=CC=C(C)C(O)=C1C AGBJJOIVDGQVLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXNYJUSEXLAVNQ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Dihydroxybenzophenone Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(O)C=C1 RXNYJUSEXLAVNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSDQQAQKBAQLLE-UHFFFAOYSA-N 4-(4-chlorophenyl)-4,5,6,7-tetrahydrothieno[3,2-c]pyridine Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C1C(C=CS2)=C2CCN1 CSDQQAQKBAQLLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQXCWYJPHCRVRX-UHFFFAOYSA-O C1(=CC=CC=C1)O.C1(=CC=CC=C1)O.OC1=C(C=CC=C1)[P+](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)O.C1(=CC=CC=C1)O.OC1=C(C=CC=C1)[P+](C1=CC=CC=C1)(C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 MQXCWYJPHCRVRX-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJXBSPLQKSKTOT-UHFFFAOYSA-N Oc(cc1)ccc1P(c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1 Chemical compound Oc(cc1)ccc1P(c1ccccc1)(c1ccccc1)c1ccccc1 SJXBSPLQKSKTOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPYHHZQJCSQRJY-UHFFFAOYSA-N Phloroglucinol Natural products CCC=CCC=CCC=CCC=CCCCCC(=O)C1=C(O)C=C(O)C=C1O JPYHHZQJCSQRJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N Sodium Chemical compound [Na] KEAYESYHFKHZAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229960003237 betaine Drugs 0.000 description 1
- IMHDGJOMLMDPJN-UHFFFAOYSA-N biphenyl-2,2'-diol Chemical compound OC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1O IMHDGJOMLMDPJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004841 bisphenol A epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004842 bisphenol F epoxy resin Substances 0.000 description 1
- GHWVXCQZPNWFRO-UHFFFAOYSA-N butane-2,3-diamine Chemical compound CC(N)C(C)N GHWVXCQZPNWFRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229910002026 crystalline silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010511 deprotection reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 1
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012433 hydrogen halide Substances 0.000 description 1
- 229910000039 hydrogen halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012280 lithium aluminium hydride Substances 0.000 description 1
- SIAPCJWMELPYOE-UHFFFAOYSA-N lithium hydride Chemical compound [LiH] SIAPCJWMELPYOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000103 lithium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Chemical class 0.000 description 1
- 239000002184 metal Chemical class 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- NXPPAOGUKPJVDI-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2-diol Chemical compound C1=CC=CC2=C(O)C(O)=CC=C21 NXPPAOGUKPJVDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCILLCXFKWDRMK-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,4-diol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=C(O)C2=C1 PCILLCXFKWDRMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNZMMCVIXORAQL-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,6-diol Chemical compound C1=C(O)C=CC2=CC(O)=CC=C21 MNZMMCVIXORAQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 150000007530 organic bases Chemical class 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethanamine Chemical compound NCC1CO1 AFEQENGXSMURHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- GPCKFIWBUTWTDH-UHFFFAOYSA-N pentane-3,3-diamine Chemical compound CCC(N)(N)CC GPCKFIWBUTWTDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004965 peroxy acids Chemical class 0.000 description 1
- QCDYQQDYXPDABM-UHFFFAOYSA-N phloroglucinol Chemical compound OC1=CC(O)=CC(O)=C1 QCDYQQDYXPDABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001553 phloroglucinol Drugs 0.000 description 1
- 125000005499 phosphonyl group Chemical class 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- ZNZJJSYHZBXQSM-UHFFFAOYSA-N propane-2,2-diamine Chemical compound CC(C)(N)N ZNZJJSYHZBXQSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- GUEIZVNYDFNHJU-UHFFFAOYSA-N quinizarin Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C(O)=CC=C2O GUEIZVNYDFNHJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012312 sodium hydride Substances 0.000 description 1
- 229910000104 sodium hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- BRKFQVAOMSWFDU-UHFFFAOYSA-M tetraphenylphosphanium;bromide Chemical compound [Br-].C1=CC=CC=C1[P+](C=1C=CC=CC=1)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 BRKFQVAOMSWFDU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 235000010215 titanium dioxide Nutrition 0.000 description 1
- IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N tributylamine Chemical compound CCCCN(CCCC)CCCC IMFACGCPASFAPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUQOTMZNTHZOKS-UHFFFAOYSA-N tributylphosphine Chemical compound CCCCP(CCCC)CCCC TUQOTMZNTHZOKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N tripropylamine Chemical compound CCCN(CCC)CCC YFTHZRPMJXBUME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F9/00—Compounds containing elements of Groups 5 or 15 of the Periodic Table
- C07F9/02—Phosphorus compounds
- C07F9/28—Phosphorus compounds with one or more P—C bonds
- C07F9/54—Quaternary phosphonium compounds
- C07F9/5442—Aromatic phosphonium compounds (P-C aromatic linkage)
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/68—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the catalysts used
- C08G59/688—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the catalysts used containing phosphorus
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K5/00—Use of organic ingredients
- C08K5/49—Phosphorus-containing compounds
- C08K5/50—Phosphorus bound to carbon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L63/00—Compositions of epoxy resins; Compositions of derivatives of epoxy resins
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08L—COMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
- C08L85/00—Compositions of macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage in the main chain of the macromolecule containing atoms other than silicon, sulfur, nitrogen, oxygen and carbon; Compositions of derivatives of such polymers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31511—Of epoxy ether
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のエポキシ樹脂組成物は、1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)と、トリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩である硬化促進剤(C)と、無機充填材(D)とを含むものである。
【選択図】 なし
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置に関するものである。更に詳しくは、熱硬化性樹脂組成物に有用な硬化促進剤、かかる硬化促進剤を含み、硬化性、保存性、流動性が良好で、電気・電子材料分野に好適に使用されるエポキシ樹脂組成物、および、耐半田クラック性、耐湿信頼性に優れた半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
IC、LSI等の半導体素子を封止して半導体装置を得る方法としては、エポキシ樹脂組成物のトランスファー成形が低コスト、大量生産に適しているという点で広く用いられている。また、エポキシ樹脂や、硬化剤であるフェノール樹脂の改良により、半導体装置の特性、信頼性の向上が図られている。
【0003】
しかしながら、昨今の電子機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向において、半導体の高集積化も年々進んでおり、また、半導体装置の表面実装化も促進されている。これに伴い、半導体素子の封止に用いられるエポキシ樹脂組成物への要求は、益々厳しいものとなってきている。このため、従来からのエポキシ樹脂組成物では、解決できない(対応できない)問題も生じている。
【0004】
近年、半導体素子の封止に用いられる材料には、生産効率の向上を目的とした速硬化性の向上と、物流・保管時の取扱い性の向上を目的とした保存性の向上が求められるようになってきている。
【0005】
電気・電子材料分野向けのエポキシ樹脂組成物には、硬化時における樹脂の硬化反応を促進する目的で、第三ホスフィンとキノン類との付加反応物(例えば、特許文献1参照。)を硬化促進剤として、一般的に添加する。
【0006】
ところで、かかる硬化促進剤は、硬化促進効果を示す温度領域が比較的低温にまで及ぶ。このため、例えば硬化前のエポキシ樹脂組成物と他の成分とを混合する際にも、系内に発生する熱や外部から加えられる熱により、エポキシ樹脂組成物の硬化反応は一部進行する。また、混合終了後、このエポキシ樹脂組成物を常温で保管するにあたって、反応はさらに進行する。
【0007】
この部分的な硬化反応の進行は、エポキシ樹脂組成物が液体の場合には、粘度の上昇や流動性の低下をもたらし、また、エポキシ樹脂組成物が固体の場合には、粘性を発現させる。このような状態の変化は、エポキシ樹脂組成物内に厳密な意味で均一に生じるわけではない。このため、エポキシ樹脂組成物の各部分の硬化性には、ばらつきが生じる。
【0008】
これが原因となり、更に、高温で硬化反応を進行させ、エポキシ樹脂組成物を成形(その他賦形という概念も含んで、以下「成形」と記す)する際に、流動性低下による成形上の障害や、成形品の機械的、電気的あるいは化学的特性の低下をもたらす。
【0009】
したがって、このようにエポキシ樹脂組成物の保存性を低下させる原因となる硬化促進剤を用いる際には、諸成分混合時の厳密な品質管理、低温での保管や運搬、更に成形条件の厳密な管理が必須であり、取扱いが非常に煩雑である。
【0010】
また、半導体装置の表面実装の採用により、耐半田クラック性、耐湿信頼性の低下という問題も生じている。これは、次のような理由からである。すなわち、半導体装置は、半田浸漬あるいは半田リフロー工程で、急激に200℃以上の高温に曝される。このため、エポキシ樹脂組成物の硬化物と半導体装置内部に存在する半導体素子やリードフレーム等の基材との界面の密着性が不十分であると、この界面で剥離が生じる。この剥離が生じると、半導体装置にクラックを誘起するとともに、耐湿信頼性の低下も招く。また、エポキシ樹脂組成物中に揮発成分が存在すれば、それが爆発的に気化する際の応力により、半導体装置にクラックが発生しやすい。
【0011】
ところが、前述したような硬化促進剤(第三ホスフィンとキノン類との付加反応物)を用いたエポキシ樹脂組成物の硬化物により、半導体素子等を封止してなる半導体装置では、十分なレベルの耐半田クラック性、耐湿信頼性が得られていないのが現状である。
【0012】
また、保存性の問題を解決すべく、低温での粘度、流動性の経時変化を抑え、賦形、成形時の加熱によってのみ、硬化反応を起こすような硬化促進剤(いわゆる潜伏性硬化促進剤)の研究が盛んになされている。
【0013】
その手段として、硬化促進剤の活性点をイオン対により保護することで、潜伏性を発現する研究がなされており、種々の有機酸とホスホニウムイオンとの塩構造を有する潜伏性硬化促進剤が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
【0014】
しかし、このホスホニウム塩もまた、表面実装に十分なレベルの耐半田クラック性、耐湿信頼性が得られていない。
【0015】
また、表面実装に足る耐半田クラック性、耐湿信頼性を得るべく、別の潜伏性硬化促進剤として、種々のホスホニウムベタインの塩構造を有する潜伏性硬化促進剤も提示されている(例えば、特許文献3参照。)。
【0016】
しかし、このホスホニウムベタインの塩は、近年の低分子エポキシ樹脂やフェノールアラルキル樹脂のような硬化剤を用いる半導体封止材料では、硬化が不十分であるという問題が生じている。
【0017】
【特許文献1】
特開平10−25335号公報
【特許文献2】
特開2001−98053号公報(第5頁)
【特許文献3】
米国特許第4171420号公報(第2−4頁)
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、各種硬化性樹脂組成物に有用な硬化促進剤、硬化性、保存性や流動性が良好なエポキシ樹脂組成物、および、耐半田クラック性や耐湿信頼性に優れる半導体装置を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記(1)〜(22)の本発明により達成される。
【0020】
(1) 硬化性樹脂組成物に混合され、該硬化性樹脂組成物の硬化反応を促進し得る硬化促進剤であって、
前記硬化促進剤は、トリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩であることを特徴とする硬化促進剤。
【0021】
(2) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートは、下記一般式(1)で表されるものである上記(1)に記載の硬化促進剤。
【化12】
[式中、R1、R2、R3は、それぞれ、芳香族基を含み、置換もしくは無置換の1価の有機基、または、置換もしくは無置換の1価のアルキル基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Arは、水酸基以外の置換基により置換もしくは無置換の2価の芳香族基を表す。]
【0022】
(3) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートは、下記一般式(2)で表されるものである上記(1)に記載の硬化促進剤。
【化13】
[式中、Ar1、Ar2、Ar3は、それぞれ、置換もしくは無置換の1価の芳香族基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Arは、水酸基以外の置換基により置換もしくは無置換の2価の芳香族基を表す。]
【0023】
(4) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートは、下記一般式(3)で表されるものである上記(1)に記載の硬化促進剤。
【化14】
[式中、R4、R5、R6は、それぞれ、水素原子、メチル基、メトキシ基および水酸基から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。]
【0024】
(5) 前記一般式(3)において、オキシアニオンは、リン原子に対してオルト位またはメタ位に位置する上記(4)に記載の硬化促進剤。
【0025】
(6) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートの塩は、下記一般式(4)で表されるものである上記(1)に記載の硬化促進剤。
【化15】
[式中、R7、R8、R9は、それぞれ、置換もしくは無置換の1価の芳香族基、または、置換もしくは無置換の1価のアルキル基を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Arは、水酸基以外の置換基により置換もしくは無置換の2価の芳香族基を表す。Aは、芳香環または複素環を含むp価の有機基を表し、pは2〜8の整数、qは0〜2の値を表す。]
【0026】
(7) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートの塩は、下記一般式(5)で表されるものである上記(1)に記載の硬化促進剤。
【化16】
[式中、R10、R11、R12は、それぞれ、水素原子、メチル基、メトキシ基および水酸基から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Aは、芳香環または複素環を含むp価の有機基を表し、pは2〜8の整数、qは0〜2の値を表す。]
【0027】
(8) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートの塩は、下記一般式(6)または一般式(7)で表されるものである上記(1)に記載の硬化促進剤。
【化17】
【化18】
[式中、R13、R14、R15は、それぞれ、水素原子、メチル基、メトキシ基および水酸基から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。R16、R17、R18およびR19は、それぞれ、水素原子、ハロゲン原子および炭素数1〜6の1価の有機基から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。Xは、単結合、エーテル基、スルホン基、スルフィド基、カルボニル基または炭素数1〜13の2価の有機基を表す。qは、0〜2の値を表す。]
【0028】
(9) 前記トリ置換ホスホニオフェノラートの塩を形成するカチオン成分が有する水酸基は、リン原子に対してオルト位またはメタ位に位置する上記(6)ないし(8)のいずれかに記載の硬化促進剤。
【0029】
(10) 1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物と、上記(1)ないし(9)のいずれかに記載の硬化促進剤とを含むことを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
【0030】
(11) 前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物は、下記一般式(8)で表されるエポキシ樹脂および下記一般式(9)で表されるエポキシ樹脂の少なくとも一方を主成分とする上記(10)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【化19】
[式中、R20、R21、R22およびR23は、それぞれ、水素原子、炭素数1〜6の鎖状もしくは環状アルキル基、フェニル基およびハロゲン原子から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。]
【化20】
[式中、R24〜R31は、それぞれ、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基およびハロゲン原子から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。ただし、aは1以上の整数である。]
【0031】
(12) 前記aは、1〜10である上記(11)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【0032】
(13) 前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物は、下記一般式(10)で表されるフェノール樹脂および下記一般式(11)で表されるフェノール樹脂の少なくとも一方を主成分とする上記(10)ないし(12)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
【化21】
[式中、R32〜R35は、それぞれ、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、およびハロゲン原子から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。ただし、bは、1以上の整数である。]
【化22】
[式中、R36〜R43は、それぞれ、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、およびハロゲン原子から選択される1種を表し、互いに同一であっても異なっていてもよい。ただし、cは、1以上の整数である。]
【0033】
(14) 前記bは、1〜10である上記(13)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【0034】
(15) 前記cは、1〜10である上記(13)または(14)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【0035】
(16) 前記硬化促進剤の含有量は、0.01〜10重量%である上記(10)ないし(15)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
【0036】
(17) 無機充填材を含む上記(10)ないし(16)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
【0037】
(18) 前記無機充填材は、溶融シリカである上記(17)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【0038】
(19) 前記無機充填材は、粒状をなしている上記(17)または(18)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【0039】
(20) 前記無機充填材の平均粒径は、1〜100μmである上記(19)に記載のエポキシ樹脂組成物。
【0040】
(21) 前記無機充填材の含有量は、前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物と、前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物との合計量100重量部あたり、200〜2400重量部である上記(17)ないし(20)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
【0041】
(22) 上記(17)ないし(21)のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
【0042】
【発明の実施の形態】
本発明者は、前述したような問題点を解決すべく、鋭意検討を重ねた結果、次のようなI〜IIIの事項を見出し、本発明を完成するに至った。
【0043】
すなわち、I:特定構造のトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩が、各種硬化性樹脂組成物の硬化反応を促進する硬化促進剤として極めて有用であることを見出した。
【0044】
II:かかるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩を硬化性樹脂組成物、特にエポキシ樹脂組成物に硬化促進剤として混合することにより、エポキシ樹脂組成物が、硬化性、保存性および流動性に優れたものとなることを見出した。
【0045】
III:かかるエポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなる半導体装置が、高温に曝された場合であっても、クラックや剥離等の欠陥が発生し難いことを見出した。
【0046】
以下、本発明の硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適実施形態について説明する。
【0047】
本発明の硬化促進剤は、各種硬化性樹脂組成物の硬化促進剤として適用可能であるが、以下では、熱硬化性樹脂組成物の1種であるエポキシ樹脂組成物に適用した場合を代表して説明する。
【0048】
本実施形態のエポキシ樹脂組成物は、1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物(A)と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(B)と、本発明の硬化促進剤であるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)と、無機充填材(D)とを含むものである。かかるエポキシ樹脂組成物は、硬化性、保存性および流動性に優れたものである。
以下、各成分について、順次説明する。
【0049】
[化合物(A)]
化合物(A)は、1分子内にエポキシ基を2個以上有するものであり、1分子内にエポキシ基を2個以上有するものであれば、何ら制限はない。
【0050】
この化合物(A)としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノール型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂など、フェノール類やフェノール樹脂、ナフトール類などの水酸基にエピクロロヒドリンを反応させて製造するエポキシ樹脂、エポキシ化合物、または、その他、脂環式エポキシ樹脂のように、オレフィンを過酸を用いて酸化させエポキシ化したエポキシ樹脂や、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0051】
これらの中でも、化合物(A)は、特に、前記一般式(8)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂および前記一般式(9)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂のいずれか一方または双方を主成分とするものを用いるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の成形時(例えば半導体装置の製造時等)の流動性が向上するとともに、得られた半導体装置の耐半田クラック性がより向上する。
【0052】
ここで、「耐半田クラック性の向上」とは、得られた半導体装置が、例えば半田浸漬や半田リフロー工程等において、高温に曝された場合であっても、クラックや剥離等の欠陥の発生が生じ難くなることを言う。
【0053】
ここで、前記一般式(8)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂の置換基R20〜R23の具体例としては、それぞれ、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、塩素原子、臭素原子等が挙げられるが、これらの中でも、特に、メチル基であるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の溶融粘度が低下し、例えば半導体装置の製造時等に、その取り扱いが容易となる。また、その硬化物は、吸水性が低減するので、得られた半導体装置は、その内部の部材の経時劣化(例えば断線の発生等)が好適に防止され、その耐湿信頼性がより向上する。
【0054】
また、前記一般式(9)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂の置換基R24〜R31の具体例としては、それぞれ、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、塩素原子、臭素原子等が挙げられるが、これらの中でも、特に、水素原子またはメチル基であるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の溶融粘度が低下し、例えば半導体装置の製造時等に、その取り扱いが容易となるとともに、半導体装置の耐湿信頼性がより向上する。
【0055】
また、前記一般式(9)におけるaは、エポキシ樹脂単位の平均の繰り返し数を表している。すなわち、aは、1以上の整数であれば、特に限定されず、1〜10程度であるのが好ましく、1〜5程度であるのがより好ましい。aを前記範囲とすることにより、エポキシ樹脂組成物の流動性がより向上する。
【0056】
[化合物(B)]
化合物(B)は、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するものであり、前記化合物(A)の硬化剤として作用(機能)するものである。
【0057】
この化合物(B)としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノール樹脂、トリスフェノール樹脂、キシリレン変性ノボラック樹脂、テルペン変性ノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0058】
これらの中でも、化合物(B)は、特に、前記一般式(10)で表されるフェノールアラルキル樹脂および前記一般式(11)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂のいずれか一方または双方を主成分とするものを用いるのが好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の成形時(例えば半導体装置の製造時等)の流動性が向上するとともに、得られた半導体装置の耐半田クラック性や耐湿信頼性がより向上する。
【0059】
ここで、前記一般式(10)で表されるフェノールアラルキル樹脂における置換基R32〜R35、および、前記一般式(11)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂の置換基R36〜R43の具体例としては、それぞれ、例えば、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、塩素原子、臭素原子等が挙げられるが、これらの中でも、特に、水素原子またはメチル基であるのが好ましい。かかるフェノール樹脂は、それ自体の溶融粘度が低いため、エポキシ樹脂組成物中に含有しても、エポキシ樹脂組成物の溶融粘度を低く保持することができ、その結果、例えば半導体装置の製造時等に、その取り扱いが容易となる。また、エポキシ樹脂組成物の硬化物(得られる半導体装置)の吸水性(吸湿性)が低減して耐湿信頼性がより向上するとともに、耐半田クラック性もより向上する。
【0060】
また、前記一般式(10)におけるb、および、前記一般式(11)におけるcは、それぞれ、フェノール樹脂単位の平均の繰り返し数を表している。すなわち、bおよびcは、それぞれ、1以上の整数であれば、特に限定されず、1〜10程度であるのが好ましく、1〜5程度であるのがより好ましい。bおよびcを、それぞれ、前記範囲とすることにより、エポキシ樹脂組成物の流動性の低下が好適に防止または抑制される。
【0061】
[トリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C):本発明の硬化促進剤]
トリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)は、エポキシ樹脂組成物の硬化反応を促進し得る作用(機能)を有するものである。
【0062】
このうち、トリ置換ホスホニオフェノラート(ホスホニウム分子内塩)は、前記一般式(1)で表されるものであるのが好ましく、前記一般式(2)で表されるものであるのがより好ましく、前記一般式(3)で表されるものであるのがさらに好ましい。
【0063】
ここで、前記一般式(1)において、リン原子に結合する置換基R1、R2、R3の具体例としては、例えば、ベンジル基、メチル基、エチル基、n−ブチル基、n−オクチル基、シクロヘキシル基等が挙げられるが、これらの中でも、前記一般式(2)において、Ar1、Ar2、Ar3で表されるように、ナフチル基、p−ターシャリーブチルフェニル基、2,6−ジメトキシフェニル基等の置換もしくは無置換の1価の芳香族基であるのが好ましく、特に、前記一般式(3)で表されるように、フェニル基、メチルフェニル基の各種異性体、メトキシフェニル基の各種異性体、ヒドロキシフェニル基の各種異性体等であるのがより好ましい。
【0064】
また、前記一般式(1)および前記一般式(2)において、Arは、水酸基以外の置換基により置換もしくは無置換の2価の芳香族基を表す。
【0065】
この置換基Arの具体例としては、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフチレン基、または、これらにハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素数1〜12のアルキル基やアルコキシ基等の水酸基以外の置換基により置換された芳香族基が挙げられる。
【0066】
総じて、前記一般式(1)において、置換基R1、R2、R3およびArの組み合わせとしては、置換基R1、R2、R3がそれぞれフェニル基であり、Arがフェニレン基であるものが好適である。すなわち、前記一般式(3)において、置換基R4、R5、R6がそれぞれ水素原子であるものが好適である。このものは、熱安定性、硬化促進能に特に優れ、製造コストが安価である。
【0067】
更には、前記一般式(3)において、オキシアニオン(解離状態のフェノール性水酸基)は、リン原子に対してオルト位またはメタ位に位置することが好ましい。オルト位またはメタ位のものを硬化促進剤として用いることにより、パラ位のものを硬化促進剤として用いる場合に比較して、エポキシ樹脂組成物は、加熱時の弾性率がより低減する。さらに、かかる弾性率の低いエポキシ樹脂組成物で半導体素子を封止することにより、得られる半導体装置の耐半田クラック性の向上を図ることができる。
【0068】
一方、トリ置換ホスホニオフェノラートの塩(ホスホニウム分子化合物)は、前記一般式(4)で表されるものであるのが好ましく、前記一般式(5)で表されるものであるのがより好ましく、前記一般式(6)または前記一般式(7)で表されるものであるのがさらに好ましい。
【0069】
ここで、前記一般式(4)において、リン原子に結合する置換基R7、R8、R9の具体例としては、例えば、ベンジル基、メチル基、エチル基、n−ブチル基、n−オクチル基、シクロヘキシル基等が挙げられるが、これらの中でも、ナフチル基、p−ターシャリーブチルフェニル基、2,6−ジメトキシフェニル基等の置換もしくは無置換の1価の芳香族基であるのが好ましく、特に、前記一般式(5)、前記一般式(6)、または前記一般式(7)で表されるように、フェニル基、メチルフェニル基の各種異性体、メトキシフェニル基の各種異性体、ヒドロキシフェニル基の各種異性体等であるのがより好ましい。
【0070】
また、前記一般式(4)において、Arは、水酸基以外の置換基により置換もしくは無置換の2価の芳香族基を表す。
【0071】
この置換基Arの具体例としては、フェニレン基、ビフェニレン基、ナフチレン基、または、これらにハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素数1〜12のアルキル基やアルコキシ基等の水酸基以外の置換基により置換された芳香族基が挙げられる。
【0072】
総じて、前記一般式(4)において、置換基R7、R8、R9およびArの組み合わせとしては、置換基R7、R8、R9がそれぞれフェニル基であり、Arがフェニレン基であるものが好適である。すなわち、前記一般式(5)ないし(7)において、置換基R10〜R12およびR13〜R15がそれぞれ水素原子であるものが好適である。これらのものは、熱安定性、硬化促進能に特に優れ、製造コストが安価である。
【0073】
更には、トリ置換ホスホニオフェノラートの塩を形成するカチオン成分が有する水酸基(フェノール性水酸基)は、リン原子に対してオルト位またはメタ位に位置することが好ましい。オルト位またはメタ位のものを硬化促進剤として用いることにより、パラ位のものを硬化促進剤として用いる場合に比較して、エポキシ樹脂組成物は、加熱時の弾性率がより低減する。さらに、かかる弾性率の低いエポキシ樹脂組成物で半導体素子を封止することにより、得られる半導体装置の耐半田クラック性の向上を図ることができる。
【0074】
また、前記一般式(4)ないし(7)において、トリ置換ホスホニオフェノラートの塩を形成するアニオン成分には、各種のフェノール化合物(フェノール系化合物)を好適に用いることができる。このフェノール化合物としては、例えば、ビスフェノールA(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン)、ビスフェノールF(4,4−メチレンビスフェノール、2,4−メチレンビスフェノール、2,2−メチレンビスフェノール)、ビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)、ビスフェノールE(4,4−エチリデンビスフェノール)、ビスフェノールフルオレン(4,4−(9H−フルオレン−9−イリデン)ビスフェノール)、4,4−メチリデンビス(2,6−ジメチルフェノール)、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタノンなどのビスフェノール類、4,4−ビフェノール、2,2−ビフェノール、3,3,5,5−テトラメチルビフェノールなどのビフェノール類、ヒドロキノン、レゾルシノール、カテコール、2,6−ジヒドロキシナフタレン、1,4−ジヒドロキシナフタレン、2,3−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、1,1−ビ−2−ナフトール、1,4−ジヒドロキシアントラキノン、ピロガロール、フロログルシノールなどが例示される。
【0075】
これらの中でも、フェノール化合物としては、前記一般式(4)および(5)において、pが2である2価のフェノール化合物であるのが好ましく、前記一般式(4)ないし(7)において、qが0.5〜2である化合物がより好ましく、特に、ビスフェノールA、ビスフェノールF(4,4−メチレンビスフェノール、2,4−メチレンビスフェノール、2,2−メチレンビスフェノールや、本州化学製ビスフェノールF−Dのようなこれらの異性体混合物を含む)、ビスフェノールS、4,4−ビフェノール、2,3−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレンが好適である。かかるフェノール化合物をアニオン成分として含むトリ置換ホスホニオフェノラートの塩を、硬化促進剤として用いることにより、硬化性樹脂組成物の流動性およびその硬化物の各種物性を、特に優れたものとすることができる。
【0076】
なお、本発明に供されるトリ置換ホスホニオフェノラートの塩としては、通常のアニオン部とカチオン部とのイオン結合性の塩の他に、分子化合物、包接化合物、または錯化合物等の形態(構造)をとる(形成する)ものであってもよい。
【0077】
本発明のエポキシ樹脂組成物において、トリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)の含有量(配合量)は、特に限定されないが、0.01〜10重量%程度であるのが好ましく、0.1〜5重量%程度であるのがより好ましく、0.1〜1重量%程度であるのがさらに好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の硬化性、保存性、流動性、他特性がバランスよく発揮される。
【0078】
また、化合物(A)と、化合物(B)との配合比率も、特に限定されないが、化合物(A)のエポキシ基1モルに対し、化合物(B)のフェノール性水酸基が0.5〜2モル程度となるように用いるのが好ましく、0.7〜1.5モル程度となるように用いるのがより好ましい。これにより、エポキシ樹脂組成物の諸特性のバランスを好適なものに維持しつつ、諸特性がより向上する。
【0079】
ここで、本発明の硬化促進剤であるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)の製造方法の一例について下記式(12)を参照しつつ説明する。
【0080】
【化23】
[式中、Rは、水素原子、または、適宜選択される残基を表し、Xは、ハロゲン原子を表す。]
【0081】
工程[1]
まず、例えば、アルコキシ置換芳香族アミンを、酸性条件下で亜硝酸ナトリウム等のジアゾ化試薬と反応させてジアゾニウム塩化する。用いるアルコキシ置換芳香族アミンとしては、例えば、o−メトキシアニリン、m−メトキシアニリン、p−メトキシアニリン、2−メトキシ−5−メチルアニリンなどが挙げられる。
【0082】
次いで、このジアゾニウム塩と第三ホスフィン類とを接触させる。これにより、N2を脱離させるとともに、第三ホスフィンのリン原子にアルコキシ置換芳香族基を導入して、第四ホスホニウム塩を生成させる。すなわち、本工程[1]において、第三ホスフィンとジアゾニウム塩が有するジアゾニウム基との置換が起こる。用いる第三ホスフィン類としては、例えば、トリフェニルホスフィン、トリ−p−トリルホスフィン、トリ(4−メトキシフェニル)ホスフィンなどが挙げられる。
【0083】
この置換反応は、好ましくはアルカリ存在下で行われる。これにより、置換反応をより効率よく進行させることができる。用いるアルカリとしては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、水素化ナトリウム、水素化リチウム、水素化カルシウム、水素化アルミニウムリチウムのような無機塩基、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、トリブチルアミン、ピリジン、ピペリジン、ジアミノエタン、ジアミノプロパン、ジアミノブタン、ジアミノペンタン、ジアミノヘキサン、ジアミノオクタン、トリエタノールアミンのような有機塩基等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。
【0084】
置換反応における反応温度は、特に限定されないが、−10〜10℃程度であるのが好ましく、0〜5℃程度であるのがより好ましい。反応温度が低すぎると、置換反応が十分に進行しない場合があり、一方、反応温度が高すぎると、第三ホスフィンおよびジアゾニウム塩の種類等によっては、これらに分解が生じる場合がある。
【0085】
また、置換反応における反応時間も、第三ホスフィンおよびジアゾニウム塩の種類等によって適宜設定され、特に限定されないが、20〜120分程度であるのが好ましく、40〜80分程度であるのがより好ましい。反応時間が短すぎると、置換反応が十分に進行しない場合があり、一方、反応時間を前記上限値を超えて長くしても、それ以上の収率の増大が期待できない。
【0086】
工程[2]
次に、アルコキシ基を一般的な脱保護方法によりヒドロキシル基に変換し、トリ置換ホスホニオフェノラートのハロゲン化水素塩を得る。このような工程を経ることにより、トリ置換ホスホニオフェラートの塩を容易な手法で得ることができるが、トリ置換ホスホニオフェノラート自身を合成したい場合や、トリ置換ホスホニオフェノラートの塩が、酸との接触により容易に得られる場合は、この工程の代わりに、直接RXを脱離させる反応工程を利用することもできる。
【0087】
工程[3a][3b]
次に、トリ置換ホスホニオフェノラートのハロゲン化水素塩を、フェノール成分の非存在下([3a])および存在下([3b])にて中和することにより、それぞれ、トリ置換ホスホニオフェノラートおよびトリ置換ホスホニオフェノラートの塩を合成することができる。
【0088】
なお、本発明の硬化促進剤を製造する方法は、以上のようなものに限定されないことは、言うまでもない。
【0089】
ここで、一般的なトリ置換ホスホニオフェノラートとしては、第三ホスフィンとキノン類との付加反応で得られる化合物が知られている。最も代表的なトリ置換ホスホニオフェノラートとしては、下記式(13)で表される、第三ホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物が挙げられる。
【0090】
【化24】
【0091】
このトリ置換ホスホニオフェノラートは、オキシアニオンのパラ位に水酸基を有するのが特徴であり、本発明におけるトリ置換ホスホニオフェノラート(本発明の硬化促進剤)とは決定的に構造が異なる。
【0092】
この構造上の特徴は、第三ホスフィンとキノン類(「キノンとは、芳香族炭化水素のベンゼン環に結合する水素2原子が酸素2原子で置換された形の化合物」、出典:共立出版(株)化学大辞典)との付加反応物であるトリ置換ホスホニオフェノラートに共通したものである。すなわち、原料キノンが有する2つのカルボニル基は、それぞれ、ホスホニオフェノラートが有するオキシアニオンと水酸基に転化する。
【0093】
したがって、本発明におけるオキシアニオンのパラ位に水酸基を有さないトリ置換ホスホニオフェノラートは、第三ホスフィンとキノン類との付加反応から得ることは不可能である。
【0094】
また、本発明の硬化促進剤であるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)は、第三ホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物(前記式(13)の化合物:従来の硬化促進剤)と比較し、硬化促進剤としての特性、特に保存性が極めて優れるものである。その理由は、ホスホニウムカチオンとオキシアニオンとの分子内イオン対の結合が、常温において非常に安定であるためと推察される。これに対し、第三ホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物(前記式(13)の化合物)のように、オキシアニオンのパラ位に水酸基が存在すると、オキシアニオンの電荷の状態が不安定化し、安定な分子内イオン対を形成しにくいものと考えられる。
【0095】
[無機充填材(D)]
無機充填材(D)は、得られる半導体装置の補強を目的として、エポキシ樹脂組成物中に配合(混合)されるものであり、その種類については、特に制限はなく、一般に封止材料に用いられているものを使用することができる。
【0096】
この無機充填材(D)の具体例としては、例えば、溶融破砕シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、2次凝集シリカ、アルミナ、チタンホワイト、水酸化アルミニウム、タルク、クレー、ガラス繊維等が挙げられ、これらのうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、無機充填材(D)としては、特に、溶融シリカであるのが好ましい。溶融シリカは、本発明の硬化促進剤との反応性に乏しいので、後述するようにエポキシ樹脂組成物中に多量に配合(混合)した場合でも、エポキシ樹脂組成物の硬化反応が阻害されるのを防止することができる。また、無機充填材(D)として溶融シリカを用いることにより、得られる半導体装置の補強効果が向上する。
【0097】
また、無機充填材(D)の形状としては、例えば、粒状、塊状、鱗片状等のいかなるものであってもよいが、粒状(特に、球状)であるのが好ましい。
【0098】
この場合、無機充填材(D)の平均粒径は、1〜100μm程度であるのが好ましく、5〜35μm程度であるのがより好ましい。また、この場合、粒度分布は、広いものであるのが好ましい。これにより、無機充填材(D)の充填量(使用量)を多くすることができ、得られる半導体装置の補強効果がより向上する。
【0099】
この無機充填材(D)の含有量(配合量)は、特に限定されないが、前記化合物(A)と前記化合物(B)との合計量100重量部あたり、200〜2400重量部程度であるのが好ましく、400〜1400重量部程度であるのがより好ましい。無機充填材(D)の含有量が前記下限値未満の場合、無機充填材(D)による補強効果が充分に発現しないおそれがあり、一方、無機充填材(D)の含有量が前記上限値を超えた場合、エポキシ樹脂組成物の流動性が低下し、エポキシ樹脂組成物の成形時(例えば半導体装置の製造時等)に、充填不良等が生じるおそれがある。
【0100】
なお、無機充填材(D)の含有量(配合量)が、前記化合物(A)と前記化合物(B)との合計量100重量部あたり、400〜1400重量部であれば、エポキシ樹脂組成物の硬化物の吸湿率が低くなり、半田クラックの発生を防止することができる。また、かかるエポキシ樹脂組成物は、加熱溶融時の流動性も良好であるため、半導体装置内部の金線変形を引き起こすことが好適に防止される。
【0101】
また、無機充填材(D)の含有量(配合量)は、前記化合物(A)、前記化合物(B)や無機充填材(D)自体の比重を、それぞれ考慮し、重量部を体積%に換算して取り扱うようにしてもよい。
【0102】
また、本発明のエポキシ樹脂組成物中には、前記(A)〜(D)の化合物(成分)の他に、必要に応じて、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のカップリング剤、カーボンブラック等の着色剤、臭素化エポキシ樹脂、酸化アンチモン、リン化合物等の難燃剤、シリコーンオイル、シリコーンゴム等の低応力成分、天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸またはその金属塩類、パラフィン等の離型剤、酸化防止剤等の各種添加剤を配合(混合)するようにしてもよい。
【0103】
また、本発明において硬化促進剤として機能するトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)の特性を損なわない範囲で、エポキシ樹脂組成物中には、例えば、トリフェニルホスフィン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−ウンデセン、2−メチルイミダゾール等の他の公知の触媒を配合(混合)するようにしても、何ら問題はない。
【0104】
本発明のエポキシ樹脂組成物は、前記(A)〜(D)の化合物(成分)、および、必要に応じて、その他の添加剤等をミキサーを用いて常温混合し、熱ロール、加熱ニーダー等を用いて加熱混練し、冷却、粉砕することにより得られる。
【0105】
得られたエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用いて、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の成形方法で硬化成形することにより、半導体素子等の電子部品を封止する。これにより、本発明の半導体装置が得られる。
【0106】
本発明の半導体装置の形態としては、特に限定されないが、例えば、SIP(Single Inline Package)、HSIP(SIP with Heatsink)、ZIP(Zig-zag Inline Package)、DIP(Dual Inline Package)、SDIP(Shrink Dual Inline Package)、SOP(Small Outline Package)、SSOP(Shrink SmallOutline Package)、TSOP(Thin Small Outline Package)、SOJ(Small Outline J-leaded Package)、QFP(Quad Flat Package)、QFP(FP)(QFP Fine Pitch)、TQFP(Thin Quad Flat Package)、QFJ(PLCC)(Quad Flat J-leaded Package)、BGA(Ball Grid Array)等が挙げられる。
【0107】
このようにして得られた本発明の半導体装置は、耐半田クラック性および耐湿信頼性に優れる。その理由は、本発明の硬化促進剤であるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)の半田条件(例えば半田リフロー工程等)における安定性に関係すると考えられる。
【0108】
すなわち、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)の硬化促進剤として、第三ホスフィンとキノン類との付加物(例えば前記式(13)の化合物等)を用いると、例えば半田リフロー工程等において、エポキシ樹脂組成物の硬化物が高温に曝された際、一定の割合で付加反応の逆反応が生じ、第三ホスフィンとキノン類とへの分解が生じる。
【0109】
このとき、第三ホスフィンおよびキノン類、または、これらがエポキシ樹脂組成物(硬化物)中の他の成分と反応した化合物(成分)が揮発成分となり、クラックを誘起する可能性がある。
【0110】
これに対し、本発明の硬化促進剤であるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C)は、前述したように、置換反応により合成されたものであり、付加物のような逆反応(化合物の分解)が生じるためには、より高いエネルギーが必要となる。このため、通常の半田条件で、本発明の硬化促進剤に分解が生じる可能性は、極めて低い。
【0111】
したがって、本発明の半導体装置は、第三ホスフィンとキノン類との付加反応物(例えば前記式(13)の化合物等)を硬化促進剤として用いたエポキシ樹脂組成物の硬化物により封止してなる半導体装置と比較して、耐半田クラック性および耐湿信頼性に優れたものとなる。
【0112】
なお、本実施形態では、本発明の硬化促進剤(前記一般式(1)〜一般式(7)で表されるトリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩(C))を、エポキシ樹脂組成物に用いる場合を代表して説明したが、本発明の硬化促進剤は、ホスフィンまたはホスホニウム塩を硬化促進剤として好適に使用し得る熱硬化性樹脂組成物に対して使用可能である。かかる熱硬化性樹脂組成物としては、例えばエポキシ化合物、マレイミド化合物、シアネート化合物、イソシアネート化合物、アクリレート化合物、または、アルケニルおよびアルキニル化合物等を含む樹脂組成物が挙げられる。
【0113】
また、本発明の硬化促進剤は、熱硬化性樹脂組成物の他、例えば反応硬化性樹脂組成物、光硬化性樹脂組成物、嫌気硬化性樹脂組成物等の各種硬化性樹脂組成物に対しても使用可能である。
【0114】
また、本実施形態では、本発明のエポキシ樹脂組成物を、半導体装置の封止材料として用いる場合について説明したが、本発明のエポキシ樹脂組成物の用途としては、これに限定されるものではない。また、エポキシ樹脂組成物の用途等に応じて、本発明のエポキシ樹脂組成物では、無機充填材の混合(配合)を省略することもできる。
【0115】
以上、本発明の硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置の好適実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。
【0116】
【実施例】
次に、本発明の具体的実施例について説明する。
【0117】
1.トリ置換ホスホニオフェノラート類の評価
まず、硬化促進剤として使用する化合物C1〜C10およびトリフェニルホスフィンを用意した。
【0118】
1−1.硬化促進剤の合成
各化合物C1〜C10は、それぞれ、以下のようにして合成した。
【0119】
(化合物C1の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:500mL)に、o−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)と、予め濃塩酸(37%)25mLを200mLの純水に溶解した塩酸水溶液とを供給し、攪拌下で溶解した。
【0120】
その後、セパラブルフラスコを氷冷して、内温を0〜5℃に保ちながら、亜硝酸ナトリウム7.2g(0.104mol)の水溶液20mLを、前記溶液にゆっくりと滴下した。
【0121】
次に、セパラブルフラスコ内に、トリフェニルホスフィン20.0g(0.076mol)の酢酸エチル溶液150mLを滴下し、20分攪拌した。
【0122】
その後、セパラブルフラスコ内に、水酸化ナトリウム8.0g(0.200mol)の水溶液20mLをゆっくり滴下し、約1時間激しく攪拌した。
【0123】
次に、窒素の発泡がおさまった後、pH3以下になるまで希塩酸を加え、ヨウ化ナトリウム30g(0.200mol)を添加して、生成した沈殿を濾過、乾燥し、2−メトキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイドの赤褐色結晶29.7gを得た。
【0124】
次に、冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:500mL)に、前記2−メトキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイド29.7g(0.060mol)と、ピリジン塩酸塩88.7g(0.769mol)と、無水酢酸12.0g(0.118mol)とを供給し、還流・攪拌下200℃で5時間加熱した。
【0125】
反応終了後、反応物を室温まで冷却し、セパラブルフラスコ内へヨウ化ナトリウム3.3g(0.022mol)の水溶液250mLを投入した。析出した固形物を濾過、乾燥し、2−ヒドロキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイドの褐色固形物24.1gを得た。
【0126】
次に、冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:500mL)に、前記2−ヒドロキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイド24.1g(0.050mol)と、メタノール100mLとを供給し、攪拌下で溶解し、10%の炭酸水素ナトリウム水溶液125mLを、攪拌下ゆっくり滴下した。
【0127】
その後、炭酸ガスの発泡がおさまった後、約70℃で2分間程度加温し、冷却後、析出した結晶を濾過、乾燥し、黄褐色の結晶15.9gを得た。
【0128】
この化合物をC1とした。化合物C1を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(14)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C1の収率は、59%であった。
【0129】
【化25】
【0130】
(化合物C2の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、m−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C1の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に黄色の結晶12.0gを得た。
【0131】
この化合物をC2とした。化合物C2を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(15)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C2の収率は、45%であった。
【0132】
【化26】
【0133】
(化合物C3の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、p−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C1の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に淡黄色の結晶17.5gを得た。
【0134】
この化合物をC3とした。化合物C3を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(16)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C3の収率は、65%であった。
【0135】
【化27】
【0136】
(化合物C4の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、2−メトキシ−5−メチルアニリン13.7g(0.100mol)を用い、また、トリフェニルホスフィンに代わり、トリ−p−トリルホスフィン23.1g(0.076mol)を用いた以外は、前記化合物C1の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に褐色の結晶17.0gを得た。
【0137】
この化合物をC4とした。化合物C4を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(17)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C4の収率は、55%であった。
【0138】
【化28】
【0139】
(化合物C5の合成)
トリフェニルホスフィンに代わり、トリス(4−メトキシフェニル)ホスフィン26.8g(0.076mol)を用いた以外は、前記化合物C1の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に淡黄白色の結晶16.5gを得た。
【0140】
この化合物をC5とした。化合物C5を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(18)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C5の収率は、54%であった。
【0141】
【化29】
【0142】
(化合物C6の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、5−フェニル−2−メトキシアニリン19.9g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C1の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に黄色結晶23.5gを得た。
【0143】
この化合物をC6とした。化合物C6を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(19)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C6の収率は、72%であった。
【0144】
【化30】
【0145】
(化合物C7の合成)
トリフェニルホスフィンに代わり、トリブチルホスフィン13.0g(0.076mol)を用いた以外は、前記化合物C1と同じ手順で合成を行い、最終的に白色結晶6.7gを得た。
【0146】
この化合物をC7とした。化合物C7を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(20)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C7の収率は、30%であった。
【0147】
【化31】
【0148】
(化合物C8の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、m−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C7と同じ手順で合成を行い、最終的に白色結晶6.0gを得た。
【0149】
この化合物をC8とした。化合物C8を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(21)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C8の収率は、27%であった。
【0150】
【化32】
【0151】
(化合物C9の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、p−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C7と同じ手順で合成を行い、最終的に白色結晶7.8gを得た。
【0152】
この化合物をC9とした。化合物C9を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(22)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラートであることが確認された。得られた化合物C9の収率は、35%であった。
【0153】
【化33】
【0154】
(化合物C10の合成)
トリフェニルホスフィン26.2g(0.100mol)をビーカー(容量:500mL)中で、75mLのアセトンに室温で溶解させた。
【0155】
次に、この溶液中に、p−ベンゾキノン10.8g(0.100mol)をアセトン45mLに溶解した溶液を、撹拌下ゆっくり滴下した。このとき、滴下を続けると、しだいに析出物が現われた。
【0156】
滴下終了後、約1時間撹拌を継続した後、約30分静置した。
その後、析出した結晶を濾過、乾燥し、緑褐色粉末27.75gを得た。
【0157】
この化合物をC10とした。化合物C10を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(13)で表される目的のトリフェニルホスフィンとp−ベンゾキノン付加反応物であることが確認された。得られた化合物C10の収率は、75%であった。
【0158】
【化34】
【0159】
1−2.エポキシ樹脂組成物の調製および半導体装置の製造
以下のようにして、前記化合物C1〜C10およびトリフェニルホスフィンを含むエポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。
【0160】
(実施例1)
まず、化合物(A)として下記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂、化合物(B)として下記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、硬化促進剤(C)として化合物C1、無機充填材(D)として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびカルナバワックスを、それぞれ用意した。
【0161】
【化35】
【0162】
<式(23)の化合物の物性>
融点 :105℃
エポキシ当量 :193
150℃のICI溶融粘度:0.15poise
【0163】
【化36】
【0164】
<式(24)の化合物の物性>
軟化点 :77℃
水酸基当量 :172
150℃のICI溶融粘度:3.6poise
【0165】
次に、ビフェニル型エポキシ樹脂:52重量部、フェノールアラルキル樹脂:48重量部、化合物C1:1.77重量部、溶融球状シリカ:730重量部、カーボンブラック:2重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂:2重量部、カルナバワックス:2重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて95℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0166】
次に、このエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用い、100ピンTQFPのパッケージ(半導体装置)を8個、および、16ピンDIPのパッケージ(半導体装置)を15個、それぞれ製造した。
【0167】
100ピンTQFPは、金型温度175℃、注入圧力7.4MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
【0168】
なお、この100ピンTQFPのパッケージサイズは、14×14mm、厚み1.4mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、8.0×8.0mm、リードフレームは、42アロイ製とした。
【0169】
また、16ピンDIPは、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
【0170】
なお、この16ピンDIPのパッケージサイズは、6.4×19.8mm、厚み3.5mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、3.5×3.5mm、リードフレームは、42アロイ製とした。
【0171】
(実施例2)
まず、化合物(A)として下記式(25)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、化合物(B)として下記式(26)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、硬化促進剤(C)として化合物C1、無機充填材(D)として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびカルナバワックスを、それぞれ用意した。
【0172】
【化37】
【0173】
<式(25)の化合物の物性>
軟化点 :60℃
エポキシ当量 :272
150℃のICI溶融粘度:1.3poise
【0174】
【化38】
【0175】
<式(26)の化合物の物性>
軟化点 :68℃
水酸基当量 :199
150℃のICI溶融粘度:0.9poise
【0176】
次に、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂:57重量部、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂:43重量部、化合物C1:1.77重量部、溶融球状シリカ:650重量部、カーボンブラック:2重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂:2重量部、カルナバワックス:2重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて105℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0177】
次に、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0178】
(実施例3)
化合物C1に代わり、化合物C2を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0179】
(実施例4)
化合物C1に代わり、化合物C2を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0180】
(実施例5)
化合物C1に代わり、化合物C3を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0181】
(実施例6)
化合物C1に代わり、化合物C3を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0182】
(実施例7)
化合物C1に代わり、化合物C4:2.05重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0183】
(実施例8)
化合物C1に代わり、化合物C4:2.05重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0184】
(実施例9)
化合物C1に代わり、化合物C5:2.01重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0185】
(実施例10)
化合物C1に代わり、化合物C5:2.01重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0186】
(実施例11)
化合物C1に代わり、化合物C6:2.15重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0187】
(実施例12)
化合物C1に代わり、化合物C6:2.15重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0188】
(実施例13)
化合物C1に代わり、化合物C7:1.47重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0189】
(実施例14)
化合物C1に代わり、化合物C7:1.47重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0190】
(実施例15)
化合物C7に代わり、化合物C8を用いた以外は、前記実施例13と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0191】
(実施例16)
化合物C7に代わり、化合物C8を用いた以外は、前記実施例14と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0192】
(実施例17)
化合物C7に代わり、化合物C9を用いた以外は、前記実施例13と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0193】
(実施例18)
化合物C7に代わり、化合物C9を用いた以外は、前記実施例14と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0194】
(比較例1)
化合物C1に代わり、化合物C10:1.85重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0195】
(比較例2)
化合物C1に代わり、化合物C10:1.85重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0196】
(比較例3)
化合物C1に代わり、トリフェニルホスフィン:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例1と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例1と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0197】
(比較例4)
化合物C1に代わり、トリフェニルホスフィン:1.00重量部を用いた以外は、前記実施例2と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例2と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0198】
1−3.特性評価
各実施例および各比較例で得られたエポキシ樹脂組成物の特性評価I〜III、および、各実施例および各比較例で得られた半導体装置の特性評価IVおよびVを、それぞれ、以下のようにして行った。
【0199】
I:スパイラルフロー
EMMI−I−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分で測定した。
【0200】
このスパイラルフローは、流動性のパラメータであり、数値が大きい程、流動性が良好であることを示す。
【0201】
II:硬化トルク
キュラストメーター(オリエンテック(株)製、JSRキュラストメーターIV PS型)を用い、175℃、45秒後のトルクを測定した。
この硬化トルクは、数値が大きい程、硬化性が良好であることを示す。
【0202】
III:フロー残存率
得られたエポキシ樹脂組成物を、大気中30℃で1週間保存した後、前記Iと同様にしてスパイラルフローを測定し、調製直後のスパイラルフローに対する百分率(%)を求めた。
このフロー残存率は、数値が大きい程、保存性が良好であることを示す。
【0203】
IV:耐半田クラック性
100ピンTQFPを85℃、相対湿度85%の環境下で168時間放置し、その後、260℃の半田槽に10秒間浸漬した。
【0204】
その後、顕微鏡下に、外部クラックの発生の有無を観察し、クラック発生率=(クラックが発生したパッケージ数)/(全パッケージ数)×100として、百分率(%)で表示した。
【0205】
また、シリコンチップとエポキシ樹脂組成物の硬化物との剥離面積の割合を、超音波探傷装置を用いて測定し、剥離率=(剥離面積)/(シリコンチップの面積)×100として、8個のパッケージの平均値を求め、百分率(%)で表示した。
【0206】
これらのクラック発生率および剥離率は、それぞれ、数値が小さい程、耐半田クラック性が良好であることを示す。
【0207】
V:耐湿信頼性
16ピンDIPに、125℃、相対湿度100%の水蒸気中で、20Vの電圧を印加し、断線不良を調べた。15個のパッケージのうち8個以上に不良が出るまでの時間を不良時間とした。
【0208】
なお、測定時間は、最長で500時間とし、その時点で不良パッケージ数が8個未満であったものは、不良時間を500時間超(>500)と示す。
この不良時間は、数値が大きい程、耐湿信頼性に優れることを示す。
各特性評価I〜Vの結果を、表1に示す。
【0209】
【表1】
【0210】
表1に示すように、各実施例で得られたエポキシ樹脂組成物(本発明のエポキシ樹脂組成物)は、いずれも、硬化性、保存性、流動性が極めて良好であり、さらに、この硬化物で封止された各実施例のパッケージ(本発明の半導体装置)は、いずれも、耐半田クラック性、耐湿信頼性が良好なものであった。
【0211】
また、硬化促進剤として化合物C1およびC2を用いた実施例では、硬化促進剤として化合物C3を用いた実施例に対して、また、硬化促進剤として化合物C7およびC8を用いた実施例では、硬化促進剤として化合物C9を用いた実施例に対して、それぞれ、耐半田クラック性が向上した。すなわち、オキシアニオンをリン原子に対してオルト位またはメタ位に有するトリ置換ホスホニオフェノラートを硬化促進剤として用いることにより、オキシアニオンをリン原子に対してパラ位に有するトリ置換ホスホニオフェノラートを用いる場合に比較して、得られるパッケージにおいて耐半田クラック性をより向上させ得ることが確認された。
【0212】
これに対し、比較例1および比較例2で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、保存性に劣り、これらの比較例で得られたパッケージは、いずれも、耐半田クラック性に劣るとともに、耐湿信頼性が極めて低いものであった。また、比較例3および比較例4で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、硬化性、保存性、流動性が極めて悪く、これらの比較例で得られたパッケージは、いずれも、耐半田クラック性に劣るものであった。
【0213】
(実施例19〜27、比較例5および6)
化合物(A)として、前記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:26重量部、前記式(25)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂:28.5重量部、および、化合物(B)として、前記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂:45.5重量部を配合した以外は、それぞれ、前記実施例1、3、5、7、9、11、13、15、17、比較例1、3と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、パッケージ(半導体装置)を製造した。
【0214】
各実施例19〜27、比較例5および6で得られたエポキシ樹脂組成物およびパッケージの特性評価を、前記と同様にして行ったところ、前記表1とほぼ同様の結果が得られた。
【0215】
(実施例28〜36、比較例7および8)
化合物(A)として、前記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:54.5重量部、化合物(B)として、前記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂:24重量部、および、前記式(26)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂:21.5重量部を配合した以外は、それぞれ、前記実施例1、3、5、7、9、11、13、15、17、比較例1、3と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、パッケージ(半導体装置)を製造した。
【0216】
各実施例28〜36、比較例7および8で得られたエポキシ樹脂組成物およびパッケージの特性評価を、前記と同様にして行ったところ、前記表1とほぼ同様の結果が得られた。
【0217】
(実施例37〜45、比較例9)
ジアミノジフェニルメタンのビスマレイミド樹脂(ケイ・アイ化成製BMI−H)100重量部に、硬化促進剤として化合物C1〜C9およびトリフェニルホスフィンを、それぞれ、表2に示す配合比で配合し、これらを均一に混合した樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0218】
実施例37〜45および比較例9で得られた樹脂組成物に対して、175℃におけるゲル化時間を測定した。
この結果を、各硬化促進剤の配合比と合わせて、表2に示す。
【0219】
【表2】
【0220】
表2に示すように、各実施例で得られた樹脂組成物は、いずれも、速やかに硬化に至るものであった。これに対し、比較例で得られた樹脂組成物は、硬化には至らず、ミクロゲル化した。
【0221】
2.トリ置換ホスホニオフェノラート塩の評価
まず、硬化促進剤として使用する化合物C11〜C20を用意した。
【0222】
2−1.硬化促進剤の合成
各化合物C11〜C20は、それぞれ、以下のようにして合成した。
【0223】
(化合物C11の合成)
冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:500mL)に、o−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)と、予め濃塩酸(37%)25mLを200mLの純水に溶解した塩酸水溶液とを供給し、攪拌下で溶解した。
【0224】
その後、セパラブルフラスコを氷冷して、内温を0〜5℃に保ちながら、亜硝酸ナトリウム7.2g(0.104mol)の水溶液20mLを、前記溶液にゆっくりと滴下した。
【0225】
次に、セパラブルフラスコ内に、トリフェニルホスフィン20.0g(0.076mol)の酢酸エチル溶液150mLを滴下し、20分攪拌した。
【0226】
その後、セパラブルフラスコ内に、水酸化ナトリウム8.0g(0.200mol)の水溶液20mLをゆっくり滴下し、約1時間激しく攪拌した。
【0227】
次に、窒素の発泡がおさまった後、pH3以下になるまで希塩酸を加え、ヨウ化ナトリウム30g(0.200mol)を添加して、生成した沈殿を濾過、乾燥し、2−メトキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイドの赤褐色結晶29.7gを得た。
【0228】
次に、冷却管および撹拌装置付きのセパラブルフラスコ(容量:500mL)に、前記2−メトキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイド29.7g(0.060mol)と、ピリジン塩酸塩88.7g(0.769mol)と、無水酢酸12.0g(0.118mol)とを供給し、還流・攪拌下200℃で5時間加熱した。
【0229】
反応終了後、反応物を室温まで冷却し、セパラブルフラスコ内へヨウ化ナトリウム3.3g(0.022mol)の水溶液250mLを投入した。析出した固形物を濾過、乾燥し、2−ヒドロキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイドの褐色固形物24.1gを得た。
【0230】
次に、ビーカー(容量:500mL)に2−ヒドロキシフェニルトリフェニルホスホニウムヨーダイド24.1g(0.050mol)とビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)12.5g(0.050mol)と、メタノール180mLとを供給し、攪拌した。
【0231】
その後、ビーカー内に水酸化ナトリウム2g(0.050mol)のメタノール溶液200mLを滴下し、30分間攪拌した。
【0232】
次に反応物を純水2000mLに滴下し、析出した固形物を濾過、乾燥し、2−ヒドロキシフェニルトリフェニルホスホニウム−ビスフェノールS塩の褐色固形物10.2gを得た。
【0233】
この化合物をC11とした。化合物C11を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(27)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C11の収率は、22%であった。
【0234】
【化39】
【0235】
(化合物C12の合成)
ビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)に代わり、2,3−ジヒドロキシナフタレン8.0g(0.050mol)を用いた以外は、前記化合物C11の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に褐色の結晶10.8gを得た。
【0236】
この化合物をC12とした。化合物C12を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(28)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C12の収率は、42%であった。
【0237】
【化40】
【0238】
(化合物C13の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、m−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)を用い、またビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)12.5gの代わりに、2,3−ジヒドロキシナフタレン16.0g(0.100mol))とし、水酸化ナトリウムの添加量を4.0g(0.100mol)とした以外は、前記化合物C11の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に桃色の結晶17.5gを得た。
【0239】
この化合物をC13とした。化合物C13を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(29)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C13の収率は、52%であった。
【0240】
【化41】
【0241】
(化合物C14の合成)
m−メトキシアニリンに代わり、p−メトキシアニリン12.3g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C13の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に白色の結晶18.1gを得た。
【0242】
この化合物をC14とした。化合物C14を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(30)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C14の収率は、54%であった。
【0243】
【化42】
【0244】
(化合物C15の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、2−メトキシ−5−メチルアニリン13.7g(0.100mol)を用い、トリフェニルホスフィンに代わり、トリ−p−トリルホスフィン23.1g(0.076mol)、また、ビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)12.5gに代わり、1,6−ジヒドロキシナフタレン8.0g(0.050mol)を用いた以外は、前記化合物C11の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に淡黄白色の結晶14.6gを得た。
【0245】
この化合物をC15とした。化合物C15を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(31)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C15の収率は、51%であった。
【0246】
【化43】
【0247】
(化合物C16の合成)
o−メトキシアニリンに代わり、2−メトキシ−5−メチルアニリン13.7g(0.100mol)を用い、トリフェニルホスフィンに代わり、トリ−p−トリルホスフィン23.1g(0.076mol)を用いた以外は、前記化合物C11の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に黄色結晶16.8gを得た。
【0248】
この化合物をC16とした。化合物C16を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(32)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C16の収率は、51%であった。
【0249】
【化44】
【0250】
(化合物C17の合成)
トリフェニルホスフィンに代わり、トリス(4−メトキシフェニル)ホスフィン26.8g(0.076mol)を用い、またビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)に代わり、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン20.0g(0.100mol)を用いた以外は、前記化合物C11と同じ手順で合成を行い、最終的に白色結晶5.4gを得た。
【0251】
この化合物をC17とした。化合物C17を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(33)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C17の収率は、18%であった。
【0252】
【化45】
【0253】
(化合物C18の合成)
攪拌装置付きの1リットルセパラブルフラスコに、本州化学工業(株)製ビスフェノールF−D(ビスフェノールF異性体混合物)40.0g(0.2mol)、メタノール50mlを仕込み室温で攪拌溶解し、さらに攪拌しながら水酸化ナトリウム4.0g(0.1mol)を、予め50mlのメタノールで溶解した溶液を添加した。次いで、予めテトラフェニルホスホニウムブロミド41.9g(0.1mol)を150mlのメタノールに溶解した溶液を加えた。しばらく攪拌を継続し、300mlのメタノールを追加した後、フラスコ内の溶液を大量の水に攪拌しながら滴下し、白色沈殿を得た。
【0254】
この化合物をC18とした。化合物C18を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(34)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C18の収率は、57%であった。
【0255】
【化46】
【0256】
(化合物C19の合成)
トリフェニルホスフィン26.2g(0.100mol)をビーカー(容量:500mL)中で、75mLのアセトンに室温で溶解させた。
【0257】
次に、この溶液中に、p−ベンゾキノン10.8g(0.100mol)をアセトン45mLに溶解した溶液を、撹拌下ゆっくり滴下した。このとき、滴下を続けると、しだいに析出物が現われた。
【0258】
滴下終了後、約1時間撹拌を継続した後、約30分静置した。
その後、析出した結晶を濾過、乾燥し、緑褐色粉末27.75gを得た。
【0259】
次に、ビーカー(容量:500mL)にこの緑褐色粉末27.75g(0.075mol)とギ酸3.5g(0.075mol)と、メタノール180mLとを供給し、攪拌した。
【0260】
その後、ビーカー内に水酸化ナトリウム3g(0.075mol)のメタノール溶液200mLを滴下し、30分間攪拌した。
【0261】
次に反応物を純水2000mLに滴下し、析出した固形物を濾過、乾燥し、褐色固形物13.4gを得た。
【0262】
この化合物をC19とした。化合物C19を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(35)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C19の収率は、25%であった。
【0263】
【化47】
【0264】
(化合物C20の合成)
ギ酸に代わり、ビスフェノールS(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン)18.8g(0.075mol)を用いた以外は、前記化合物C19の合成と同じ手順で合成を行い、最終的に褐色の結晶30.2gを得た。
【0265】
この化合物をC20とした。化合物C20を、1H−NMR、マススペクトル、元素分析で分析した結果、下記式(36)で表される目的のトリ置換ホスホニオフェノラート塩であることが確認された。得られた化合物C20の収率は、49%であった。
【0266】
【化48】
【0267】
2−2.エポキシ樹脂組成物の調製および半導体装置の製造
以下のようにして、前記化合物C11〜C20を含むエポキシ樹脂組成物を調製し、半導体装置を製造した。
【0268】
(実施例46)
まず、化合物(A)として前記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂、化合物(B)として前記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、硬化促進剤(C)として化合物C11、無機充填材(D)として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびカルナバワックスを、それぞれ用意した。
【0269】
次に、ビフェニル型エポキシ樹脂:52重量部、フェノールアラルキル樹脂:48重量部、化合物C11:3.02重量部、溶融球状シリカ:730重量部、カーボンブラック:2重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂:2重量部、カルナバワックス:2重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて95℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0270】
次に、このエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用い、100ピンTQFPのパッケージ(半導体装置)を8個、および、16ピンDIPのパッケージ(半導体装置)を15個、それぞれ製造した。
【0271】
100ピンTQFPは、金型温度175℃、注入圧力7.4MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
【0272】
なお、この100ピンTQFPのパッケージサイズは、14×14mm、厚み1.4mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、8.0×8.0mm、リードフレームは、42アロイ製とした。
【0273】
また、16ピンDIPは、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
【0274】
なお、この16ピンDIPのパッケージサイズは、6.4×19.8mm、厚み3.5mm、シリコンチップ(半導体素子)サイズは、3.5×3.5mm、リードフレームは、42アロイ製とした。
【0275】
(実施例47)
まず、化合物(A)として前記式(25)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、化合物(B)として前記式(26)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂(ただし、繰り返し単位数:3は、平均値を示す。)、硬化促進剤(C)として化合物C11、無機充填材(D)として溶融球状シリカ(平均粒径15μm)、その他の添加剤としてカーボンブラック、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂およびカルナバワックスを、それぞれ用意した。
【0276】
次に、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂:57重量部、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂:43重量部、化合物C11:3.02重量部、溶融球状シリカ:650重量部、カーボンブラック:2重量部、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂:2重量部、カルナバワックス:2重量部を、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて105℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0277】
次に、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0278】
(実施例48)
化合物C11に代わり、化合物C12:2.56重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0279】
(実施例49)
化合物C11に代わり、化合物C12:2.56重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0280】
(実施例50)
化合物C11に代わり、化合物C13:3.36重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0281】
(実施例51)
化合物C11に代わり、化合物C13:3.36重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0282】
(実施例52)
化合物C13に代わり、化合物C14を用いた以外は、前記実施例50と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0283】
(実施例53)
化合物C13に代わり、化合物C14を用いた以外は、前記実施例51と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0284】
(実施例54)
化合物C11に代わり、化合物C15:2.85重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0285】
(実施例55)
化合物C11に代わり、化合物C15:2.85重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0286】
(実施例56)
化合物C11に代わり、化合物C16:3.32重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0287】
(実施例57)
化合物C11に代わり、化合物C16:3.32重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0288】
(実施例58)
化合物C11に代わり、化合物C17:3.01重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0289】
(実施例59)
化合物C11に代わり、化合物C17:3.01重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0290】
(比較例10)
化合物C11に代わり、化合物C18:3.69重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0291】
(比較例11)
化合物C11に代わり、化合物C18:3.69重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0292】
(比較例12)
化合物C11に代わり、化合物C19:4.34重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0293】
(比較例13)
化合物C11に代わり、化合物C19:4.34重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0294】
(比較例14)
化合物C11に代わり、化合物C20:3.10重量部を用いた以外は、前記実施例46と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例46と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0295】
(比較例15)
化合物C11に代わり、化合物C20:3.10重量部を用いた以外は、前記実施例47と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、前記実施例47と同様にしてパッケージ(半導体装置)を製造した。
【0296】
2−3.特性評価
各実施例および各比較例で得られたエポキシ樹脂組成物の特性評価A〜D、および、各実施例および各比較例で得られた半導体装置の特性評価EおよびFを、それぞれ、以下のようにして行った。
【0297】
A:スパイラルフロー
EMMI−I−66に準じたスパイラルフロー測定用の金型を用い、金型温度175℃、注入圧力6.8MPa、硬化時間2分で測定した。
【0298】
このスパイラルフローは、流動性のパラメータであり、数値が大きい程、流動性が良好であることを示す。
【0299】
B:硬化トルク
キュラストメーター(オリエンテック(株)製、JSRキュラストメーターIV PS型)を用い、175℃、45秒後のトルクを測定した。
この硬化トルクは、数値が大きい程、硬化性が良好であることを示す。
【0300】
C:フロー残存率
得られたエポキシ樹脂組成物を、大気中30℃で1週間保存した後、前記Aと同様にしてスパイラルフローを測定し、調製直後のスパイラルフローに対する百分率(%)を求めた。
このフロー残存率は、数値が大きい程、保存性が良好であることを示す。
【0301】
D:弾性率
化合物(A)として、前記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:52重量部、および、化合物(B)として、前記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂:48重量部、化合物(C)として、C11ないしC20を表3に記してある触媒量を配合し、まず室温で混合し、次いで熱ロールを用いて95℃で8分間混練した後、冷却粉砕して、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0302】
次に、このエポキシ樹脂組成物をモールド樹脂として用い、金型温度175℃、注入圧力7.4MPa、硬化時間2分でトランスファーモールド成形し、175℃、8時間で後硬化させることにより製造した。
【0303】
この硬化物をレオバイブロン DDV−25FP型(オリエンテック(株)製)を用い、175℃での貯蔵弾性率を測定した。
【0304】
E:耐半田クラック性
100ピンTQFPを85℃、相対湿度85%の環境下で168時間放置し、その後、260℃の半田槽に10秒間浸漬した。
【0305】
その後、顕微鏡下に、外部クラックの発生の有無を観察し、クラック発生率=(クラックが発生したパッケージ数)/(全パッケージ数)×100として、百分率(%)で表示した。
【0306】
また、シリコンチップとエポキシ樹脂組成物の硬化物との剥離面積の割合を、超音波探傷装置を用いて測定し、剥離率=(剥離面積)/(シリコンチップの面積)×100として、8個のパッケージの平均値を求め、百分率(%)で表示した。
【0307】
これらのクラック発生率および剥離率は、それぞれ、数値が小さい程、耐半田クラック性が良好であることを示す。
【0308】
F:耐湿信頼性
16ピンDIPに、125℃、相対湿度100%の水蒸気中で、20Vの電圧を印加し、断線不良を調べた。15個のパッケージのうち8個以上に不良が出るまでの時間を不良時間とした。
【0309】
なお、測定時間は、最長で500時間とし、その時点で不良パッケージ数が8個未満であったものは、不良時間を500時間超(>500)と示す。
この不良時間は、数値が大きい程、耐湿信頼性に優れることを示す。
各特性評価A〜Fの結果を、表3に示す。
【0310】
【表3】
【0311】
表3に示すように、各実施例で得られたエポキシ樹脂組成物(本発明のエポキシ樹脂組成物)は、いずれも、硬化性、保存性、流動性が極めて良好であり、さらに、この硬化物で封止された各実施例のパッケージ(本発明の半導体装置)は、樹脂硬化物の弾性率が低いという結果に反映して、いずれも、耐半田クラック性、耐湿信頼性が良好なものであった。
【0312】
また、硬化促進剤として化合物C12およびC13を用いた実施例では、硬化促進剤として化合物C14を用いた実施例に対して、耐半田クラック性が向上した。すなわち、カチオン成分が有する水酸基をリン原子に対してオルト位またはメタ位に有するトリ置換ホスホニオフェノラート塩を硬化促進剤として用いることにより、水酸基をリン原子に対してパラ位に有するトリ置換ホスホニオフェノラート塩を用いる場合に比較して、得られるパッケージにおいて耐半田クラック性をより向上させ得ることが確認された。
【0313】
これに対し、比較例10および比較例11で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、保存性に劣り、これらの比較例で得られたパッケージは、樹脂硬化物の弾性率が高いという結果に反映して、いずれも、耐半田クラック性に極めて劣るものであった。また、比較例12〜15で得られたエポキシ樹脂組成物は、いずれも、硬化性、保存性、流動性が極めて悪く、これらの比較例で得られたパッケージは、樹脂硬化物の弾性率が高いという結果に反映して、いずれも、耐半田クラック性に劣るものであった。
【0314】
(実施例60〜66、比較例16〜18)
化合物(A)として、前記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:26重量部、前記式(25)で表されるビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂:28.5重量部、および、化合物(B)として、前記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂:45.5重量部を配合した以外は、それぞれ、前記実施例46、48、50、52、54、56、58、比較例10、12、14と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、パッケージ(半導体装置)を製造した。
【0315】
各実施例60〜66、比較例16〜18で得られたエポキシ樹脂組成物およびパッケージの特性評価を、前記と同様にして行ったところ、前記表3とほぼ同様の結果が得られた。
【0316】
(実施例67〜73、比較例19〜21)
化合物(A)として、前記式(23)で表されるビフェニル型エポキシ樹脂:54.5重量部、化合物(B)として、前記式(24)で表されるフェノールアラルキル樹脂:24重量部、および、前記式(26)で表されるビフェニルアラルキル型フェノール樹脂:21.5重量部を配合した以外は、それぞれ、前記実施例46、48、50、52、54、56、58、比較例10、12、14と同様にして、エポキシ樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得、このエポキシ樹脂組成物を用いて、パッケージ(半導体装置)を製造した。
【0317】
各実施例67〜73、比較例19〜21で得られたエポキシ樹脂組成物およびパッケージの特性評価を、前記と同様にして行ったところ、前記表3とほぼ同様の結果が得られた。
【0318】
(実施例74〜80、比較例22)
ジアミノジフェニルメタンのビスマレイミド樹脂(ケイ・アイ化成製BMI−H)100重量部に、硬化促進剤として化合物C11〜C17およびC20を、それぞれ、表4に示す配合比で配合し、これらを均一に混合した樹脂組成物(熱硬化性樹脂組成物)を得た。
【0319】
実施例74〜80および比較例22で得られた樹脂組成物に対して、175℃におけるゲル化時間を測定した。
この結果を、各硬化促進剤の配合比と合わせて、表4に示す。
【0320】
【表4】
【0321】
表4に示すように、各実施例で得られた樹脂組成物は、いずれも、速やかに硬化に至るものであった。これに対し、比較例で得られた樹脂組成物は、硬化が遅く、不十分であった。
【0322】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の硬化促進剤によれば、硬化性樹脂組成物を速やかに硬化させることができ、硬化性樹脂組成物の硬化物が、高温に曝された場合であっても、この硬化物に欠陥が生じるのを好適に防止することができる。
【0323】
また、本発明のエポキシ樹脂組成物は、硬化性、保存性、流動性に優れる。
また、本発明の半導体装置は、高温に曝された場合であっても、クラックや剥離等の欠陥が生じ難く、また、吸湿に伴う経時劣化も発生し難い。
Claims (22)
- 硬化性樹脂組成物に混合され、該硬化性樹脂組成物の硬化反応を促進し得る硬化促進剤であって、
前記硬化促進剤は、トリ置換ホスホニオフェノラートまたはその塩であることを特徴とする硬化促進剤。 - 前記一般式(3)において、オキシアニオンは、リン原子に対してオルト位またはメタ位に位置する請求項4に記載の硬化促進剤。
- 前記トリ置換ホスホニオフェノラートの塩を形成するカチオン成分が有する水酸基は、リン原子に対してオルト位またはメタ位に位置する請求項6ないし8のいずれかに記載の硬化促進剤。
- 1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物と、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物と、請求項1ないし9のいずれかに記載の硬化促進剤とを含むことを特徴とするエポキシ樹脂組成物。
- 前記aは、1〜10である請求項11に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物は、下記一般式(10)で表されるフェノール樹脂および下記一般式(11)で表されるフェノール樹脂の少なくとも一方を主成分とする請求項10ないし12のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記bは、1〜10である請求項13に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記cは、1〜10である請求項13または14に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記硬化促進剤の含有量は、0.01〜10重量%である請求項10ないし15のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
- 無機充填材を含む請求項10ないし16のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記無機充填材は、溶融シリカである請求項17に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記無機充填材は、粒状をなしている請求項17または18に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記無機充填材の平均粒径は、1〜100μmである請求項19に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記無機充填材の含有量は、前記1分子内にエポキシ基を2個以上有する化合物と、前記1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有する化合物との合計量100重量部あたり、200〜2400重量部である請求項17ないし20のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物。
- 請求項17ないし21のいずれかに記載のエポキシ樹脂組成物の硬化物により半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003158623A JP4569076B2 (ja) | 2002-06-05 | 2003-06-03 | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002164842 | 2002-06-05 | ||
JP2002287225 | 2002-09-30 | ||
JP2003158623A JP4569076B2 (ja) | 2002-06-05 | 2003-06-03 | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004176039A true JP2004176039A (ja) | 2004-06-24 |
JP4569076B2 JP4569076B2 (ja) | 2010-10-27 |
Family
ID=29552393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003158623A Expired - Lifetime JP4569076B2 (ja) | 2002-06-05 | 2003-06-03 | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7074738B2 (ja) |
EP (1) | EP1369445A1 (ja) |
JP (1) | JP4569076B2 (ja) |
KR (1) | KR100948462B1 (ja) |
CN (1) | CN1318490C (ja) |
MY (2) | MY142243A (ja) |
SG (1) | SG121779A1 (ja) |
TW (1) | TWI317743B (ja) |
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004115742A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂用硬化剤組成物、該硬化剤組成物を用いたエポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004124023A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂用硬化剤組成物、該硬化剤組成物を用いたエポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004156036A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-06-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂の硬化促進剤、硬化性樹脂組成物、電子部品装置、及びホスフィン誘導体の製造方法 |
JP2004156035A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-06-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂の硬化促進剤、硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2004168947A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、硬化促進剤の製造方法、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004211007A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004224902A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004231800A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | アニオン触媒、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004238538A (ja) * | 2003-02-06 | 2004-08-26 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004269586A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004300256A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004300071A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Air Water Chemical Inc | ヒドロキシアリールトリアリールホスホニウムアイオダイド、その製法及びその誘導体の製造方法 |
JP2005082722A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005089707A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005194435A (ja) * | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005240047A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2005240045A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2005240046A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2005256009A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2006199758A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用液状封止樹脂組成物及びそれを用いて封止される半導体装置 |
WO2006080270A1 (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-03 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 硬化促進剤、硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2006232812A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-09-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 新規化合物及びその製造方法 |
JP2006233053A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 |
US7666953B2 (en) | 2003-10-20 | 2010-02-23 | Hitachi Chemical Co, Ltd. | Phosphine-protonated haloaromatic compound accelerator with curing resin and curing agent |
US8129467B2 (en) | 2005-04-15 | 2012-03-06 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Curing accelerating compound-silica composite material, method for producing curing accelerating compound-silica composite material, curing accelerator, curable resin composition, and electronic component device |
JP2012052123A (ja) * | 2005-02-18 | 2012-03-15 | Hitachi Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物、電子部品装置 |
US8345512B2 (en) | 2005-10-03 | 2013-01-01 | Olympus Medical Systems Corp. | Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) device and method of controlling the same |
JP5585760B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2014-09-10 | 住友ベークライト株式会社 | 接着剤用液状樹脂組成物、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2015000940A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 日立化成株式会社 | エポキシ樹脂用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2015000858A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 日立化成株式会社 | ホスホニウム化合物又はその分子間塩、及びその製造方法 |
JP2015153778A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | 日立化成株式会社 | 希土類ボンド磁石用コンパウンド、希土類ボンド磁石及び希土類ボンド磁石の製造方法 |
US9850390B2 (en) | 2015-06-23 | 2017-12-26 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Epoxy resin composition for encapsulating semiconductor device and semiconductor device prepared using the same |
US9870971B2 (en) | 2015-07-03 | 2018-01-16 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor device and semiconductor device prepared using the same |
JP2018065904A (ja) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 日立化成株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物 |
JP2020019902A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | Dic株式会社 | インク組成物、光変換層及びカラーフィルタ |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050165202A1 (en) * | 2003-10-20 | 2005-07-28 | Shinya Nakamura | Curing accelerator for curing resin, curing resin composition and electronic component device |
KR101250033B1 (ko) * | 2005-01-20 | 2013-04-02 | 스미토모 베이클리트 컴퍼니 리미티드 | 에폭시 수지 조성물, 그 잠복화 방법 및 반도체 장치 |
JP4793565B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2011-10-12 | 信越化学工業株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
WO2007041200A1 (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Goodrich Corporation | Electric brake system with flexible force transfer member |
JP5620047B2 (ja) | 2005-09-30 | 2014-11-05 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP5502268B2 (ja) | 2006-09-14 | 2014-05-28 | 信越化学工業株式会社 | システムインパッケージ型半導体装置用の樹脂組成物セット |
CN101967266A (zh) * | 2010-09-25 | 2011-02-09 | 江苏中鹏新材料股份有限公司 | 无卤阻燃环氧树脂组合物 |
JP2013023661A (ja) * | 2011-07-25 | 2013-02-04 | Nitto Denko Corp | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
CN103087664A (zh) * | 2013-01-29 | 2013-05-08 | 深圳市宝力科技有限公司 | 继电器液态环氧树脂灌封胶及其制备方法 |
KR20160038248A (ko) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 에폭시 수지 조성물, 이방성 도전 필름용 조성물 및 반도체 장치 |
JP6803138B2 (ja) | 2014-10-22 | 2020-12-23 | 三星エスディアイ株式会社SAMSUNG SDI Co., LTD. | ホスホニウム系化合物、それを含むエポキシ樹脂組成物、およびそれを用いて製造された半導体装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60500962A (ja) * | 1983-07-21 | 1985-06-27 | ザ ダウ ケミカル カンパニ− | エポキシ樹脂またはチオエポキシ樹脂を多価フエノ−ル、多価チオフエノ−ル、カルボン酸またはカルボン酸無水物と反応させる方法 |
JPH1098136A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-14 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH111541A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 |
JP2000017150A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001098053A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いたエポキシ樹脂成形材料ならびに半導体装置 |
JP2001233944A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001233937A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 |
JP2001288250A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-16 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3674854A (en) | 1971-01-25 | 1972-07-04 | Exxon Research Engineering Co | (3,5 dialkyl-4-hydroxy benzyl-)trialkyl phosphonium chlorides and corresponding zwitterions |
CA1051031A (en) * | 1974-06-21 | 1979-03-20 | The Dow Chemical Company | Latent catalysts for promoting reaction of epoxides with phenols and/or carboxylic acids |
US4171420A (en) | 1974-06-21 | 1979-10-16 | The Dow Chemical Company | Latent catalysts for promoting reaction of epoxides with phenols and/or carboxylic acids |
CA1147741A (en) | 1979-05-23 | 1983-06-07 | George A. Doorakian | Phosphonium phenoxide catalysts for promoting reaction of epoxides with phenols and/or carboxylic acids |
US4302574A (en) | 1979-05-23 | 1981-11-24 | The Dow Chemical Company | Phosphonium phenoxide catalysts for promoting reacting of epoxides with phenols and/or carboxylic acids |
US4395574A (en) | 1980-05-12 | 1983-07-26 | The Dow Chemical Co. | Phosphonium phenoxide catalysts for promoting reaction of epoxides with phenols and/or carboxylic acids |
US4540823A (en) | 1983-07-21 | 1985-09-10 | The Dow Chemical Company | Tetrahydrocarbyl phosphonium salts |
CS237035B1 (cs) * | 1983-09-19 | 1985-06-13 | Jiri Varhanik | Ztlftsoh přípravy strukturně rigidního termossttckéhtt adhezíva |
US4939112A (en) | 1988-10-06 | 1990-07-03 | James River Paper Company, Inc. | Catalyst for synthesis of vesicular phenoxy resins |
JP3478315B2 (ja) * | 1995-12-06 | 2003-12-15 | 日立化成工業株式会社 | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び該樹脂組成物で封止した半導体装置 |
JP3603483B2 (ja) | 1996-07-11 | 2004-12-22 | 日立化成工業株式会社 | 半導体素子用封止材及びそれを用いた半導体装置 |
JPH10287793A (ja) * | 1997-04-16 | 1998-10-27 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 |
KR100567618B1 (ko) | 1997-12-03 | 2006-05-25 | 스미또모 베이크라이트 가부시키가이샤 | 잠복성촉매, 이 촉매를 함유한 열경화성수지조성물, 이 촉매를 함유한 에폭시수지 성형재료 및 반도체장치 |
MY123645A (en) * | 1999-07-22 | 2006-05-31 | Sumitomo Bakelite Co | Composition of polyepoxide, phenolic co-condensate and phosphonium-polyphenolic molecular association product |
-
2003
- 2003-06-03 JP JP2003158623A patent/JP4569076B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-04 US US10/453,868 patent/US7074738B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-06-05 KR KR1020030036405A patent/KR100948462B1/ko active IP Right Grant
- 2003-06-05 TW TW92115191A patent/TWI317743B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-06-05 MY MYPI20032108A patent/MY142243A/en unknown
- 2003-06-05 CN CNB031431895A patent/CN1318490C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-06-05 MY MYPI20093542A patent/MY143183A/en unknown
- 2003-06-05 SG SG200303680A patent/SG121779A1/en unknown
- 2003-06-05 EP EP20030012817 patent/EP1369445A1/en not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-04-25 US US11/410,266 patent/US7442729B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60500962A (ja) * | 1983-07-21 | 1985-06-27 | ザ ダウ ケミカル カンパニ− | エポキシ樹脂またはチオエポキシ樹脂を多価フエノ−ル、多価チオフエノ−ル、カルボン酸またはカルボン酸無水物と反応させる方法 |
JPH1098136A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-14 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
JPH111541A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 |
JP2000017150A (ja) * | 1998-06-29 | 2000-01-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001098053A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いたエポキシ樹脂成形材料ならびに半導体装置 |
JP2001233937A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 |
JP2001233944A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
JP2001288250A (ja) * | 2000-04-03 | 2001-10-16 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 |
Cited By (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004115742A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂用硬化剤組成物、該硬化剤組成物を用いたエポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004124023A (ja) * | 2002-10-07 | 2004-04-22 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | エポキシ樹脂用硬化剤組成物、該硬化剤組成物を用いたエポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005240047A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2004156036A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-06-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂の硬化促進剤、硬化性樹脂組成物、電子部品装置、及びホスフィン誘導体の製造方法 |
JP2004156035A (ja) * | 2002-10-18 | 2004-06-03 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂の硬化促進剤、硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2005256009A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2005240046A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2005240045A (ja) * | 2002-10-18 | 2005-09-08 | Hitachi Chem Co Ltd | 硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2004168947A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、硬化促進剤の製造方法、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004211007A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004224902A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004231800A (ja) * | 2003-01-30 | 2004-08-19 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | アニオン触媒、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004238538A (ja) * | 2003-02-06 | 2004-08-26 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004269586A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2004300071A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Air Water Chemical Inc | ヒドロキシアリールトリアリールホスホニウムアイオダイド、その製法及びその誘導体の製造方法 |
JP2004300256A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005082722A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP4496739B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2010-07-07 | 住友ベークライト株式会社 | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005089707A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
US7666953B2 (en) | 2003-10-20 | 2010-02-23 | Hitachi Chemical Co, Ltd. | Phosphine-protonated haloaromatic compound accelerator with curing resin and curing agent |
JP4496778B2 (ja) * | 2004-01-08 | 2010-07-07 | 住友ベークライト株式会社 | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2005194435A (ja) * | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
JP2006199758A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用液状封止樹脂組成物及びそれを用いて封止される半導体装置 |
WO2006080270A1 (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-03 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | 硬化促進剤、硬化性樹脂組成物及び電子部品装置 |
US7585904B2 (en) | 2005-01-26 | 2009-09-08 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Curing accelerator, curable resin composition and electronic parts device |
KR100893022B1 (ko) | 2005-01-26 | 2009-04-15 | 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 | 경화 촉진제, 경화성 수지 조성물 및 전자 부품 장치 |
JP2006232812A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-09-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 新規化合物及びその製造方法 |
JP2012052123A (ja) * | 2005-02-18 | 2012-03-15 | Hitachi Chem Co Ltd | エポキシ樹脂組成物、電子部品装置 |
JP2006233053A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体用接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 |
US8129467B2 (en) | 2005-04-15 | 2012-03-06 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Curing accelerating compound-silica composite material, method for producing curing accelerating compound-silica composite material, curing accelerator, curable resin composition, and electronic component device |
US8345512B2 (en) | 2005-10-03 | 2013-01-01 | Olympus Medical Systems Corp. | Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) device and method of controlling the same |
JP5585760B2 (ja) * | 2007-07-31 | 2014-09-10 | 住友ベークライト株式会社 | 接着剤用液状樹脂組成物、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2015000940A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 日立化成株式会社 | エポキシ樹脂用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物及び電子部品装置 |
JP2015000858A (ja) * | 2013-06-14 | 2015-01-05 | 日立化成株式会社 | ホスホニウム化合物又はその分子間塩、及びその製造方法 |
JP2015153778A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | 日立化成株式会社 | 希土類ボンド磁石用コンパウンド、希土類ボンド磁石及び希土類ボンド磁石の製造方法 |
US9850390B2 (en) | 2015-06-23 | 2017-12-26 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Epoxy resin composition for encapsulating semiconductor device and semiconductor device prepared using the same |
US9870971B2 (en) | 2015-07-03 | 2018-01-16 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Epoxy resin composition for encapsulating a semiconductor device and semiconductor device prepared using the same |
JP2018065904A (ja) * | 2016-10-18 | 2018-04-26 | 日立化成株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物 |
JP7013643B2 (ja) | 2016-10-18 | 2022-02-01 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | 熱硬化性樹脂組成物 |
JP2020019902A (ja) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | Dic株式会社 | インク組成物、光変換層及びカラーフィルタ |
JP7087797B2 (ja) | 2018-08-01 | 2022-06-21 | Dic株式会社 | インク組成物、光変換層及びカラーフィルタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7442729B2 (en) | 2008-10-28 |
CN1470550A (zh) | 2004-01-28 |
MY143183A (en) | 2011-03-31 |
TW200409790A (en) | 2004-06-16 |
US20040039154A1 (en) | 2004-02-26 |
TWI317743B (en) | 2009-12-01 |
EP1369445A1 (en) | 2003-12-10 |
CN1318490C (zh) | 2007-05-30 |
US20060258822A1 (en) | 2006-11-16 |
KR20030094125A (ko) | 2003-12-11 |
SG121779A1 (en) | 2006-05-26 |
JP4569076B2 (ja) | 2010-10-27 |
MY142243A (en) | 2010-11-15 |
KR100948462B1 (ko) | 2010-03-17 |
US7074738B2 (en) | 2006-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4569076B2 (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4163162B2 (ja) | エポキシ樹脂用潜伏性触媒、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4665616B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4367046B2 (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4152161B2 (ja) | エポキシ樹脂用硬化剤組成物、該硬化剤組成物を用いたエポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4720357B2 (ja) | 潜伏性触媒の製造方法およびエポキシ樹脂組成物 | |
JP2006225630A (ja) | エポキシ樹脂組成物、その潜伏化手法および半導体装置 | |
JP2004115742A (ja) | エポキシ樹脂用硬化剤組成物、該硬化剤組成物を用いたエポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4240976B2 (ja) | 硬化促進剤、硬化促進剤の製造方法、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2004300256A (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4341261B2 (ja) | エポキシ樹脂用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2006348283A (ja) | エポキシ樹脂用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4496778B2 (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4496739B2 (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2005105078A (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4244662B2 (ja) | 熱硬化性樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 | |
JP4128430B2 (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4341251B2 (ja) | エポキシ樹脂用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4341254B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物用硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2005232385A (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP4385696B2 (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2004211007A (ja) | 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2004231800A (ja) | アニオン触媒、エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2006176683A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 | |
JP2006335835A (ja) | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090804 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100713 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100726 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130820 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4569076 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |