JP2004095972A - プラスチックパッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ソルダーレジストとの高密着性、エッチングのえぐれ減少、高密度配線、高信頼性、歩留向上ができるプラスチックパッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】プラスチックパッケージの製造方法において、Cu箔12を除去後、樹脂基板11に無電解Cuめっき被膜14を設ける工程、その上に第1のめっきレジストパターン15を設け無電解Cuめっき被膜14に通電してパターンのない部分に電解Cuめっき被膜19を設ける工程、配線パターン16となる部分に第2のめっきレジストパターン20を設け通電してNi及びAuめっき被膜21を設ける工程、めっきレジストパターンを除去し、Ni及びAuめっき被膜21と電解Cuめっき被膜19で被覆されていない無電解Cuめっき被膜14をエッチングして除去する工程、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18を開口部から露出させるソルダーレジスト膜22を設ける工程を有する。
【選択図】 図1
【解決手段】プラスチックパッケージの製造方法において、Cu箔12を除去後、樹脂基板11に無電解Cuめっき被膜14を設ける工程、その上に第1のめっきレジストパターン15を設け無電解Cuめっき被膜14に通電してパターンのない部分に電解Cuめっき被膜19を設ける工程、配線パターン16となる部分に第2のめっきレジストパターン20を設け通電してNi及びAuめっき被膜21を設ける工程、めっきレジストパターンを除去し、Ni及びAuめっき被膜21と電解Cuめっき被膜19で被覆されていない無電解Cuめっき被膜14をエッチングして除去する工程、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18を開口部から露出させるソルダーレジスト膜22を設ける工程を有する。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体素子搭載用のプラスチックパッケージの製造方法に係り、より詳細には、樹脂基板の片面又は両面にエッチング処理して形成された配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを有するプラスチックパッケージの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体素子の高性能化、小型化にともない、半導体素子を搭載するためのプラスチックパッケージは、外部と接続するための端子の多端子化、半導体素子の実装性、低コスト化、放熱特性、低インピーダンス化等の観点から、BGA(Ball Grid Array)タイプや、フリップチップタイプ等のプラスチックパッケージが多く用いられている。このプラスチックパッケージは、片面又は両面にCu箔を接合して形成した導体層を備えたBT樹脂(ビスマイレイミドトリアジンを主成分にした樹脂)やポリイミド樹脂等からなる1層又は多層の高耐熱性の銅張り樹脂基板を基板として用いて、この銅張り樹脂基板にヒートスラグを接合したキャビティダウンタイプや、直接モールディングするタイプや、半導体素子を直接接続するタイプ等がある。そして、このプラスチックパッケージは、電解めっき法によりめっきを施しながらめっき引き回し用配線を不要として、配線の高密度化及び電気特性の改善を図っている。
【0003】
図6(A)〜(C)、図7(A)、(B)を参照して、従来のめっき引き回し用配線を不要とするプラスチックパッケージ50の製造方法を説明する。図6(A)に示すように、Cu箔52が接合されている樹脂基板51には、表、裏面の導通を取るためにスルーホール53を穿設し、表、裏面及びスルーホール53の壁面に無電解Cuめっき被膜を設け、更に、この無電解Cuめっき被膜に通電して電解Cuめっき被膜を設けてCuめっき被膜54を形成している。このCuめっき被膜54上にドライフィルムを展着し、パターンマスクを当接して露光、現像するフォトリソグラフィ法でめっきレジストパターン55を形成している。次に、図6(B)に示すように、めっきレジストパターン55の開口部から露出するCuめっき被膜54上には、Cuめっき被膜54に通電してスルーホール53の壁面を含めた配線パターン57、外部端子接続用パッド58、及び、半導体素子接続用パッド59となる部分に、電解めっき法でNi及びAuめっき被膜56を形成している。次に、図6(C)に示すように、Cuめっき被膜54上に形成されたドライフィルムからなるめっきレジストパターン55は、剥離液を塗布してドライフィルムを膨潤させて剥離し除去している。
【0004】
次に、図7(A)に示すように、Ni及びAuめっき被膜56から露出するCuめっき被膜54及びCu箔52は、Ni及びAuめっき被膜56をエッチングレジストパターンとしてエッチング処理を行って溶解させ除去している。これによって、配線パターン57、外部端子接続用パッド58、及び、半導体素子接続用パッド59が形成されている。次に、図7(B)に示すように、樹脂基板51の表面には、外部端子接続用パッド58、及び、半導体素子接続用パッド59が開口部として露出するソルダーレジスト膜60を接合して形成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような従来のプラスチックパッケージの製造方法には、未だ解決すべき次のような問題がある。
(1)Ni及びAuめっき被膜が形成された配線パターンとソルダーレジスト膜との接合は、接合面の接合強度が低いので、Auめっき表面とソルダーレジスト膜の界面で剥離が発生しやすく、信頼性の低下となっている。
(2)Ni及びAuめっき被膜をエッチングレジストパターンとしてエッチング処理を行い、エッチングレジストパターンから露出するCuめっき被膜及びCu箔を溶解して除去することで配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを形成しているが、Cuめっき被膜及びCu箔の厚みが厚いので、エッチング処理に時間がかかりNi及びAuめっき被膜の下部分にえぐれが発生し、信頼性の低下となっている。
(3)エッチング処理の進行とともに、Ni及びAuめっき被膜のエッチングレジストパターンが断面視してひさし状に飛び出すので、隣接するエッチングレジストパターンの間のエッチング液の流動が阻害され、ファインパターンの形成が困難となっている。
(4)Ni及びAuめっき被膜のエッチングレジストパターンがひさし状となった場合には、Ni及びAuめっき被膜とCuめっき被膜及びCu箔との接合面積が小さくなるので、Ni及びAuめっき被膜がCuめっき被膜及びCu箔から崩れやすくなり、プラスチックパッケージの歩留の低下をきたしている。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、電解めっき法によってめっきを施しながらめっき引き回し用配線を不要とするプラスチックパッケージであって、ソルダーレジスト膜との密着強度を高め、エッチング処理によるえぐれが少なく、しかも配線の高密度化、高信頼性、及び歩留の向上を可能とするプラスチックパッケージの製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う本発明に係るプラスチックパッケージの製造方法は、片面又は両面にCu箔を接合して有する樹脂基板を用いて、樹脂基板の片面又は両面に配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを設けるプラスチックパッケージの製造方法において、樹脂基板の表面に形成されたCu箔をエッチング処理して除去した後、Cu箔が形成されていた樹脂基板の表面に無電解Cuめっき被膜を形成する工程と、無電解Cuめっき被膜の表面に第1のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第1のめっきレジストパターンで被覆されていない無電解Cuめっき被膜の表面に電解Cuめっき被膜を形成する工程と、配線パターンとなる電解Cuめっき被膜の表面に第2のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第2のめっきレジストパターンで被覆されていない電解Cuめっき被膜の表面に、電解めっき法によるNi及びAuめっき被膜を設ける外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを形成する工程と、第1及び第2のめっきレジストパターンを除去し、Ni及びAuめっき被膜と電解Cuめっき被膜で被覆されていない無電解Cuめっき被膜をエッチング処理して除去する工程と、配線パターンを被覆し、外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを開口部から露出させるソルダーレジスト膜を形成する工程を有する。これにより、Cu箔を除去した後の樹脂基板表面は、適度な表面粗度を有するので、無電解Cuめっき被膜を接合強度を高くして形成できる。また、無電解Cuめっき被膜は、薄く形成されているので、容易にエッチング処理して、えぐれによるひさし状を発生させることなく除去することができ、高密度なファインパターンを有する配線を容易に歩留よく形成することができる。更に、ソルダーレジスト膜は、Ni及びAuめっき被膜の上に接合されないので、ソルダーレジスト膜を樹脂基板と、適度な表面粗度を有するCuめっき被膜からなる配線パターンの上に強固に接合することができる。
【0008】
ここで、配線パターンの表面にソルダーレジスト膜を形成すると共に、外部端子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成するのがよい。これにより、外部端子接続用パッドに半田ボールが接続される時の接合面積を規制できると同時に、半田ボールが接続される時に熱応力が発生しても外部端子接続用パッドの樹脂基板からの剥がれを防止することができる。
【0009】
また、配線パターンの表面にソルダーレジスト膜を形成すると共に、外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成するのがよい。これにより、例えば、半導体素子接続用パッドに半導体素子がフリップチップ方式で接合される場合の接合面積を規制できる。また、外部端子接続用パッドに半田ボールが接続される時の接合面積を規制できると同時に、半田ボールが接続される時に熱応力が発生しても外部端子接続用パッドの樹脂基板からの剥がれを防止することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)〜(C)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図2(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図3(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図4(A)〜(C)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図5(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す説明図である。
【0011】
図1〜図5を参照しながら本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法を説明する。
図1(A)に示すように、樹脂基板11は、例えば、BT樹脂(ビスマイレイミドトリアジンを主成分にした樹脂)やポリイミド樹脂等の高耐熱性、誘電特性、絶縁特性、加工性に優れた樹脂を基材とする1層又は多層の樹脂基材からなり、その片面又は両面にCu箔12が接合されている。そして、樹脂基板11の両面に導体パターンが形成される場合には、ドリルマシーンや、パンチングマシーン等を用いて上面と下面の導通を形成するための多数個のスルーホール13が穿設される。
【0012】
次に、図1(B)に示すように、樹脂基板11に形成されているCu箔12は、例えば、FeCl3溶液を用いてエッチング処理して除去する。次に、図1(C)に示すように、スルーホール13の側壁面を含む樹脂基板11の上、下面全面には、パラジウム等の触媒を付与した後、ホルマリンを還元剤とする強アルカリ浴中でCu箔12の厚さの10分の1程度の厚さの無電解Cuめっき被膜14を形成する。そして、樹脂基板11の上面と下面に形成される無電解Cuめっき被膜14は、スルーホール13に形成された無電解Cuめっき被膜14を介して電気的に接続しておく。更に、無電解Cuめっき被膜14の表面には、後のドライフィルムを貼着する時の密着性を高めるためにジェットスクラブ(バフ研磨による機械研磨)、硫酸による酸洗浄等による整面処理を施しておくのがよい。
【0013】
次に、図2(A)に示すように、無電解Cuめっき被膜14の表面には、第1のめっきレジストパターン15をフォトリソグラフィック法で形成するために、無電解Cuめっき被膜14の表面にアクリル樹脂を主成分とするドライフィルムを展着する。そして、このドライフィルムに配線パターン16、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の導体パターンと逆パターンからなるパターンマスクを当接して露光処理を施し、現像して逆パターンのドライフィルムを残し、熱硬化処理を行って、第1のめっきレジストパターン15を形成する。
【0014】
次に、図2(B)に示すように、ドライフィルムからなる第1のめっきレジストパターン15で覆われていない無電解Cuめっき被膜14の表面部分には、電解Cuめっき被膜19を形成するために、樹脂基板11を、例えば、硫酸銅浴、ピロリン酸浴等のめっき液中に浸漬して無電解Cuめっき被膜14に通電を行い、電解めっき処理を施して電解Cuめっき被膜19を形成する。
【0015】
次に、図3(A)に示すように、電解Cuめっき被膜19の表面及び第1のめっきレジストパターン15の表面には、第2のめっきレジストパターン20をフォトリソグラフィ法で形成するために、アクリル樹脂を主成分とするドライフィルムを展着する。そして、このドライフィルムに配線パターン16の電解Cuめっき被膜19の表面は被覆し、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の電解Cuめっき被膜19の表面が開口部から露出するように、パターンマスクを当接して露光処理を施し、現像してドライフィルムからなるパターンを形成し、熱硬化処理を行って、第2のめっきレジストパターン20を形成する。
【0016】
次に、図3(B)に示すように、第2のめっきレジストパターン20で覆われていない外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の電解Cuめっき被膜19の表面部分には、Ni及びAuめっき被膜21を形成するために、樹脂基板11を、例えば、スルファミン酸浴等のめっき液中に浸漬して無電解Cuめっき被膜14に通電を行い、電解めっき処理を施して、先ず、電解Niめっき被膜を形成する。更に、電解Niめっき被膜が形成された樹脂基板11には、例えば、硬質金の各種めっき浴のめっき液中に浸漬して無電解Cuめっき被膜14に通電を行い、電解めっき処理を施して電解Niめっき被膜の上に電解Auめっき被膜を形成する。これによって、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18には、Ni及びAuめっき被膜21が形成される。
【0017】
次に、図4(A)に示すように、第1及び第2のめっきレジストパターン15、20を形成しているドライフィルムは、例えば、ドライフィルムがアルカリ可溶タイプの場合には、樹脂基板11に、50℃、3%程度のNaOH水溶液をスプレーで噴射させたり、樹脂基板11をNaOH水溶液中に浸漬して、ドライフィルムを膨潤させながら樹脂基板11から剥離させ、除去する。更に、樹脂基板11は、洗浄、乾燥が行われる。これによって、樹脂基板11には、無電解Cuめっき被膜14上に部分的に電解Cuめっき被膜19を設けた部分からなる配線パターン16と、無電解Cuめっき被膜14上に部分的に電解Cuめっき被膜19を設け、更に電解Cuめっき被膜19上にNi及びAuめっき被膜21を設けた部分からなる外部端子接続用パッド17と、半導体素子接続用パッド18が形成される。
【0018】
次に、図4(B)に示すように、配線パターン16となる電解Cuめっき被膜19と、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18となるNi及びAuめっき被膜21で被覆されていない無電解Cuめっき被膜14は、エッチング処理を行って除去する。エッチング液としては、電解Cuめっき被膜19や、Ni及びAuめっき被膜21をエッチングせずに、無電解Cuめっき被膜14のみをエッチングするものが好ましいが、無電解Cuめっき被膜14は、電解Cuめっき被膜19や、Ni及びAuめっき被膜21に比べて非常に薄く形成されているので、例えば、過硫酸ソーダや、過酸化水素と硫酸との混合液等のソフトエッチング液をエッチング液として用いることができる。このエッチング処理によって、Ni及びAuめっき被膜21の表面は、殆どエッチングされないが、電解Cuめっき被膜19の表面は、若干エッチングされるものの、無電解Cuめっき被膜14の厚さより厚いのでパターン形状を維持することができる。そして、このエッチング処理により、それぞれのパターンが独立した無電解Cuめっき被膜14と電解Cuめっき被膜19からなる配線パターン16と、無電解Cuめっき被膜14と電解Cuめっき被膜19とNi及びAuめっき被膜21からなる外部端子接続用パッド17と、半導体素子接続用パッド18が形成される。
【0019】
次に、図4(C)に示すように、配線パターン16を被覆し、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18をソルダーレジスト膜22の開口部から露出させるためのソルダーレジスト膜22は、ソルダーレジストペーストを用いて樹脂基板11にスクリーン印刷法で全面印刷を行い、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18の部分が開口部となるようにパターンマスクを載置し、フォトリソグラフィ法で露光、現像を行って形成する。これにより、配線パターン16と密着強度を高くして被覆し、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18の部分が開口部とするソルダーレジスト膜22を形成したプラスチックパッケージ10を作製する。
【0020】
なお、樹脂基板11の片面側に外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18を形成し、反対面にはCu板等からなる放熱板を接合して形成する放熱型BGAパッケージからなるプラスチックパッケージ10においては、樹脂基板11にソルダーレジスト膜22を形成した後、更に、樹脂基板11の実質的中央部分を切り抜いている。そして、樹脂基板11と放熱板を接合することで、半導体素子を搭載するためのキャビティ部を形成している。
【0021】
上記本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法においては、配線パターン16の表面にソルダーレジスト膜22を形成すると共に、図5(A)、(B)に示すように、無電解Cuめっき被膜14と、電解Cuめっき被膜19と,Ni及びAuめっき被膜21とからなる外部端子接続用パッド17の外周縁部にもソルダーレジスト膜22を形成するのがよい。これにより、外部端子接続用パッド17に半田ボールを接合するときに熱応力が発生しても樹脂基板11から外部端子接続用パッド17が剥がれるのを防止することができる。また、半田ボールを接合するための接合面積を規制することができるので、半田ボールの溶融量を揃えることができ、半田ボールの高さを実質的に同じにすることができて、ボードへの実装を確実に行うことができる。
【0022】
また、上記本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法においては、配線パターン16の表面にソルダーレジスト膜22を形成すると共に、無電解Cuめっき被膜14と、電解Cuめっき被膜19と,Ni及びAuめっき被膜21とからなる外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の外周縁部にもソルダーレジスト膜22を形成するのがよい。これにより、外部端子接続用パッド17と同様に半導体素子接続用パッド18の樹脂基板11への接合強度を高めることができる。また、半導体素子をフリップチップ方式で直接プラスチックパッケージ10に接合する場合に、半導体素子の接合パッドの位置と正確に接合位置を合わせることができる。
【0023】
上記本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法によれば、無電解Cuめっき被膜14は、めっき引き回し配線の役目をして、特段のめっきのためのめっき引き回し配線を設けることなく外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18に、Ni及びAuめっき被膜21を容易に形成でき、しかもめっき引き回し配線が不用な分だけ高密度な配線が可能となる。また、無電解Cuめっき被膜14は、Cu箔12や電解Cuめっき被膜14に比べて非常に厚さが薄いので、パターン形成のための無電解Cuめっき被膜14のエッチング処理は非常に容易なものとなり、えぐれの量を殆どなくすことができ、配線パターン16、外部端子接続用パッド17、及び半導体素子接続用パッド18のパターン精度のよい高密度化を図ることが容易となる。また、めっき引き回し配線が存在せず、部分的に残存するめっき引き回し配線による電気的な反射もなくなり、電気特性を向上させることができる。また、Ni及びAuめっき被膜21は、電解めっき法により形成されるので、ワイヤボンディングや、フリップチップ接合や、半田ボール接合の接着強度を十分大きな値に確保することができる。更に、配線パターン16には、Ni及びAuめっき被膜21が存在しないので、ソルダーレジスト膜22との接合強度を大きくすることができる。
【0024】
また、無電解Cuめっき被膜14のエッチング液として過硫酸ソーダや、過酸化水素と硫酸との混合液を主成分とするソフトエッチング液を用いるので、電解Cuめっき被膜19のエッチング量は少なくて済み、Auめっき被膜は溶解されることなく、無電解Cuめっき被膜14を効率的にエッチング処理することができる。また、これらのソフトエッチング液は、取り扱いが容易で、廃液処理も容易に行うことができる。
【0025】
【発明の効果】
請求項1及びこれに従属する請求項2又は3記載のプラスチックパッケージの製造方法は、樹脂基板の表面に形成されたCu箔をエッチング処理して除去した後、Cu箔が形成されていた樹脂基板の表面に無電解Cuめっき被膜を形成する工程と、無電解Cuめっき被膜の表面に第1のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第1のめっきレジストパターンで被覆されていない無電解Cuめっき被膜の表面に電解Cuめっき被膜を形成する工程と、配線パターンとなる電解Cuめっき被膜の表面に第2のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第2のめっきレジストパターンで被覆されていない電解Cuめっき被膜の表面に、電解めっき法によるNi及びAuめっき被膜を設ける外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを形成する工程と、第1及び第2のめっきレジストパターンを除去し、Ni及びAuめっき被膜と電解Cuめっき被膜で被覆されていない無電解Cuめっき被膜をエッチング処理して除去する工程と、配線パターンを被覆し、外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを開口部から露出させるソルダーレジスト膜を形成する工程を有するので、Cu箔を除去した後の樹脂基板表面は、適度な表面粗度を有し、無電解Cuめっき被膜を接合強度を高く、厚さを薄く形成でき、Ni及びAuめっき被膜と、電解Cuめっき被膜をエッチングレジストパターンとして容易にエッチング処理して、えぐれによるひさし状を発生させることなく除去して、高密度なファインパターンを有する配線を容易に歩留よく形成することができる。また、ソルダーレジスト膜は、Ni及びAuめっき被膜の上に接合されないので、ソルダーレジスト膜を樹脂基板と、適度な表面粗度を有するCuめっき被膜からなる配線パターンの上に強固に接合することができる。
【0026】
特に、請求項2又は3記載のプラスチックパッケージの製造方法は、配線パターンの表面にソルダーレジスト膜を形成すると共に、外部端子接続用パッドの外周縁部、又は、外部端子接合用パッドと半導体素子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成するので、半導体素子接続用パッドや、外部端子接続用パッドの接合面積を規制でき、半導体素子や半田ボールを正確に接合することができる。また、外部端子接合用パッドに半田ボールが接続される時に熱応力が発生しても、外部端子接続用パッドの樹脂基板からの剥がれを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(C)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図2】(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図3】(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図4】(A)〜(C)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図5】(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す説明図である。
【図6】(A)〜(C)は従来のプラスチックパッケージの製造方法の説明図である。
【図7】(A)、(B)は従来のプラスチックパッケージの製造方法の説明図である。
【符号の説明】
10:プラスチックパッケージ、11:樹脂基板、12:Cu箔、13:スルーホール、14:無電解Cuめっき被膜、15:第1のめっきレジストパターン、16:配線パターン、17:外部端子接続用パッド、18:半導体素子接続用パッド、19:電解Cuめっき被膜、20:第2のめっきレジストパターン、21:Ni及びAuめっき被膜、22:ソルダーレジスト膜
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体素子搭載用のプラスチックパッケージの製造方法に係り、より詳細には、樹脂基板の片面又は両面にエッチング処理して形成された配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを有するプラスチックパッケージの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体素子の高性能化、小型化にともない、半導体素子を搭載するためのプラスチックパッケージは、外部と接続するための端子の多端子化、半導体素子の実装性、低コスト化、放熱特性、低インピーダンス化等の観点から、BGA(Ball Grid Array)タイプや、フリップチップタイプ等のプラスチックパッケージが多く用いられている。このプラスチックパッケージは、片面又は両面にCu箔を接合して形成した導体層を備えたBT樹脂(ビスマイレイミドトリアジンを主成分にした樹脂)やポリイミド樹脂等からなる1層又は多層の高耐熱性の銅張り樹脂基板を基板として用いて、この銅張り樹脂基板にヒートスラグを接合したキャビティダウンタイプや、直接モールディングするタイプや、半導体素子を直接接続するタイプ等がある。そして、このプラスチックパッケージは、電解めっき法によりめっきを施しながらめっき引き回し用配線を不要として、配線の高密度化及び電気特性の改善を図っている。
【0003】
図6(A)〜(C)、図7(A)、(B)を参照して、従来のめっき引き回し用配線を不要とするプラスチックパッケージ50の製造方法を説明する。図6(A)に示すように、Cu箔52が接合されている樹脂基板51には、表、裏面の導通を取るためにスルーホール53を穿設し、表、裏面及びスルーホール53の壁面に無電解Cuめっき被膜を設け、更に、この無電解Cuめっき被膜に通電して電解Cuめっき被膜を設けてCuめっき被膜54を形成している。このCuめっき被膜54上にドライフィルムを展着し、パターンマスクを当接して露光、現像するフォトリソグラフィ法でめっきレジストパターン55を形成している。次に、図6(B)に示すように、めっきレジストパターン55の開口部から露出するCuめっき被膜54上には、Cuめっき被膜54に通電してスルーホール53の壁面を含めた配線パターン57、外部端子接続用パッド58、及び、半導体素子接続用パッド59となる部分に、電解めっき法でNi及びAuめっき被膜56を形成している。次に、図6(C)に示すように、Cuめっき被膜54上に形成されたドライフィルムからなるめっきレジストパターン55は、剥離液を塗布してドライフィルムを膨潤させて剥離し除去している。
【0004】
次に、図7(A)に示すように、Ni及びAuめっき被膜56から露出するCuめっき被膜54及びCu箔52は、Ni及びAuめっき被膜56をエッチングレジストパターンとしてエッチング処理を行って溶解させ除去している。これによって、配線パターン57、外部端子接続用パッド58、及び、半導体素子接続用パッド59が形成されている。次に、図7(B)に示すように、樹脂基板51の表面には、外部端子接続用パッド58、及び、半導体素子接続用パッド59が開口部として露出するソルダーレジスト膜60を接合して形成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような従来のプラスチックパッケージの製造方法には、未だ解決すべき次のような問題がある。
(1)Ni及びAuめっき被膜が形成された配線パターンとソルダーレジスト膜との接合は、接合面の接合強度が低いので、Auめっき表面とソルダーレジスト膜の界面で剥離が発生しやすく、信頼性の低下となっている。
(2)Ni及びAuめっき被膜をエッチングレジストパターンとしてエッチング処理を行い、エッチングレジストパターンから露出するCuめっき被膜及びCu箔を溶解して除去することで配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを形成しているが、Cuめっき被膜及びCu箔の厚みが厚いので、エッチング処理に時間がかかりNi及びAuめっき被膜の下部分にえぐれが発生し、信頼性の低下となっている。
(3)エッチング処理の進行とともに、Ni及びAuめっき被膜のエッチングレジストパターンが断面視してひさし状に飛び出すので、隣接するエッチングレジストパターンの間のエッチング液の流動が阻害され、ファインパターンの形成が困難となっている。
(4)Ni及びAuめっき被膜のエッチングレジストパターンがひさし状となった場合には、Ni及びAuめっき被膜とCuめっき被膜及びCu箔との接合面積が小さくなるので、Ni及びAuめっき被膜がCuめっき被膜及びCu箔から崩れやすくなり、プラスチックパッケージの歩留の低下をきたしている。
【0006】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、電解めっき法によってめっきを施しながらめっき引き回し用配線を不要とするプラスチックパッケージであって、ソルダーレジスト膜との密着強度を高め、エッチング処理によるえぐれが少なく、しかも配線の高密度化、高信頼性、及び歩留の向上を可能とするプラスチックパッケージの製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う本発明に係るプラスチックパッケージの製造方法は、片面又は両面にCu箔を接合して有する樹脂基板を用いて、樹脂基板の片面又は両面に配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを設けるプラスチックパッケージの製造方法において、樹脂基板の表面に形成されたCu箔をエッチング処理して除去した後、Cu箔が形成されていた樹脂基板の表面に無電解Cuめっき被膜を形成する工程と、無電解Cuめっき被膜の表面に第1のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第1のめっきレジストパターンで被覆されていない無電解Cuめっき被膜の表面に電解Cuめっき被膜を形成する工程と、配線パターンとなる電解Cuめっき被膜の表面に第2のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第2のめっきレジストパターンで被覆されていない電解Cuめっき被膜の表面に、電解めっき法によるNi及びAuめっき被膜を設ける外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを形成する工程と、第1及び第2のめっきレジストパターンを除去し、Ni及びAuめっき被膜と電解Cuめっき被膜で被覆されていない無電解Cuめっき被膜をエッチング処理して除去する工程と、配線パターンを被覆し、外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを開口部から露出させるソルダーレジスト膜を形成する工程を有する。これにより、Cu箔を除去した後の樹脂基板表面は、適度な表面粗度を有するので、無電解Cuめっき被膜を接合強度を高くして形成できる。また、無電解Cuめっき被膜は、薄く形成されているので、容易にエッチング処理して、えぐれによるひさし状を発生させることなく除去することができ、高密度なファインパターンを有する配線を容易に歩留よく形成することができる。更に、ソルダーレジスト膜は、Ni及びAuめっき被膜の上に接合されないので、ソルダーレジスト膜を樹脂基板と、適度な表面粗度を有するCuめっき被膜からなる配線パターンの上に強固に接合することができる。
【0008】
ここで、配線パターンの表面にソルダーレジスト膜を形成すると共に、外部端子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成するのがよい。これにより、外部端子接続用パッドに半田ボールが接続される時の接合面積を規制できると同時に、半田ボールが接続される時に熱応力が発生しても外部端子接続用パッドの樹脂基板からの剥がれを防止することができる。
【0009】
また、配線パターンの表面にソルダーレジスト膜を形成すると共に、外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成するのがよい。これにより、例えば、半導体素子接続用パッドに半導体素子がフリップチップ方式で接合される場合の接合面積を規制できる。また、外部端子接続用パッドに半田ボールが接続される時の接合面積を規制できると同時に、半田ボールが接続される時に熱応力が発生しても外部端子接続用パッドの樹脂基板からの剥がれを防止することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)〜(C)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図2(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図3(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図4(A)〜(C)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図、図5(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す説明図である。
【0011】
図1〜図5を参照しながら本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法を説明する。
図1(A)に示すように、樹脂基板11は、例えば、BT樹脂(ビスマイレイミドトリアジンを主成分にした樹脂)やポリイミド樹脂等の高耐熱性、誘電特性、絶縁特性、加工性に優れた樹脂を基材とする1層又は多層の樹脂基材からなり、その片面又は両面にCu箔12が接合されている。そして、樹脂基板11の両面に導体パターンが形成される場合には、ドリルマシーンや、パンチングマシーン等を用いて上面と下面の導通を形成するための多数個のスルーホール13が穿設される。
【0012】
次に、図1(B)に示すように、樹脂基板11に形成されているCu箔12は、例えば、FeCl3溶液を用いてエッチング処理して除去する。次に、図1(C)に示すように、スルーホール13の側壁面を含む樹脂基板11の上、下面全面には、パラジウム等の触媒を付与した後、ホルマリンを還元剤とする強アルカリ浴中でCu箔12の厚さの10分の1程度の厚さの無電解Cuめっき被膜14を形成する。そして、樹脂基板11の上面と下面に形成される無電解Cuめっき被膜14は、スルーホール13に形成された無電解Cuめっき被膜14を介して電気的に接続しておく。更に、無電解Cuめっき被膜14の表面には、後のドライフィルムを貼着する時の密着性を高めるためにジェットスクラブ(バフ研磨による機械研磨)、硫酸による酸洗浄等による整面処理を施しておくのがよい。
【0013】
次に、図2(A)に示すように、無電解Cuめっき被膜14の表面には、第1のめっきレジストパターン15をフォトリソグラフィック法で形成するために、無電解Cuめっき被膜14の表面にアクリル樹脂を主成分とするドライフィルムを展着する。そして、このドライフィルムに配線パターン16、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の導体パターンと逆パターンからなるパターンマスクを当接して露光処理を施し、現像して逆パターンのドライフィルムを残し、熱硬化処理を行って、第1のめっきレジストパターン15を形成する。
【0014】
次に、図2(B)に示すように、ドライフィルムからなる第1のめっきレジストパターン15で覆われていない無電解Cuめっき被膜14の表面部分には、電解Cuめっき被膜19を形成するために、樹脂基板11を、例えば、硫酸銅浴、ピロリン酸浴等のめっき液中に浸漬して無電解Cuめっき被膜14に通電を行い、電解めっき処理を施して電解Cuめっき被膜19を形成する。
【0015】
次に、図3(A)に示すように、電解Cuめっき被膜19の表面及び第1のめっきレジストパターン15の表面には、第2のめっきレジストパターン20をフォトリソグラフィ法で形成するために、アクリル樹脂を主成分とするドライフィルムを展着する。そして、このドライフィルムに配線パターン16の電解Cuめっき被膜19の表面は被覆し、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の電解Cuめっき被膜19の表面が開口部から露出するように、パターンマスクを当接して露光処理を施し、現像してドライフィルムからなるパターンを形成し、熱硬化処理を行って、第2のめっきレジストパターン20を形成する。
【0016】
次に、図3(B)に示すように、第2のめっきレジストパターン20で覆われていない外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の電解Cuめっき被膜19の表面部分には、Ni及びAuめっき被膜21を形成するために、樹脂基板11を、例えば、スルファミン酸浴等のめっき液中に浸漬して無電解Cuめっき被膜14に通電を行い、電解めっき処理を施して、先ず、電解Niめっき被膜を形成する。更に、電解Niめっき被膜が形成された樹脂基板11には、例えば、硬質金の各種めっき浴のめっき液中に浸漬して無電解Cuめっき被膜14に通電を行い、電解めっき処理を施して電解Niめっき被膜の上に電解Auめっき被膜を形成する。これによって、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18には、Ni及びAuめっき被膜21が形成される。
【0017】
次に、図4(A)に示すように、第1及び第2のめっきレジストパターン15、20を形成しているドライフィルムは、例えば、ドライフィルムがアルカリ可溶タイプの場合には、樹脂基板11に、50℃、3%程度のNaOH水溶液をスプレーで噴射させたり、樹脂基板11をNaOH水溶液中に浸漬して、ドライフィルムを膨潤させながら樹脂基板11から剥離させ、除去する。更に、樹脂基板11は、洗浄、乾燥が行われる。これによって、樹脂基板11には、無電解Cuめっき被膜14上に部分的に電解Cuめっき被膜19を設けた部分からなる配線パターン16と、無電解Cuめっき被膜14上に部分的に電解Cuめっき被膜19を設け、更に電解Cuめっき被膜19上にNi及びAuめっき被膜21を設けた部分からなる外部端子接続用パッド17と、半導体素子接続用パッド18が形成される。
【0018】
次に、図4(B)に示すように、配線パターン16となる電解Cuめっき被膜19と、外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18となるNi及びAuめっき被膜21で被覆されていない無電解Cuめっき被膜14は、エッチング処理を行って除去する。エッチング液としては、電解Cuめっき被膜19や、Ni及びAuめっき被膜21をエッチングせずに、無電解Cuめっき被膜14のみをエッチングするものが好ましいが、無電解Cuめっき被膜14は、電解Cuめっき被膜19や、Ni及びAuめっき被膜21に比べて非常に薄く形成されているので、例えば、過硫酸ソーダや、過酸化水素と硫酸との混合液等のソフトエッチング液をエッチング液として用いることができる。このエッチング処理によって、Ni及びAuめっき被膜21の表面は、殆どエッチングされないが、電解Cuめっき被膜19の表面は、若干エッチングされるものの、無電解Cuめっき被膜14の厚さより厚いのでパターン形状を維持することができる。そして、このエッチング処理により、それぞれのパターンが独立した無電解Cuめっき被膜14と電解Cuめっき被膜19からなる配線パターン16と、無電解Cuめっき被膜14と電解Cuめっき被膜19とNi及びAuめっき被膜21からなる外部端子接続用パッド17と、半導体素子接続用パッド18が形成される。
【0019】
次に、図4(C)に示すように、配線パターン16を被覆し、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18をソルダーレジスト膜22の開口部から露出させるためのソルダーレジスト膜22は、ソルダーレジストペーストを用いて樹脂基板11にスクリーン印刷法で全面印刷を行い、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18の部分が開口部となるようにパターンマスクを載置し、フォトリソグラフィ法で露光、現像を行って形成する。これにより、配線パターン16と密着強度を高くして被覆し、外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18の部分が開口部とするソルダーレジスト膜22を形成したプラスチックパッケージ10を作製する。
【0020】
なお、樹脂基板11の片面側に外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18を形成し、反対面にはCu板等からなる放熱板を接合して形成する放熱型BGAパッケージからなるプラスチックパッケージ10においては、樹脂基板11にソルダーレジスト膜22を形成した後、更に、樹脂基板11の実質的中央部分を切り抜いている。そして、樹脂基板11と放熱板を接合することで、半導体素子を搭載するためのキャビティ部を形成している。
【0021】
上記本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法においては、配線パターン16の表面にソルダーレジスト膜22を形成すると共に、図5(A)、(B)に示すように、無電解Cuめっき被膜14と、電解Cuめっき被膜19と,Ni及びAuめっき被膜21とからなる外部端子接続用パッド17の外周縁部にもソルダーレジスト膜22を形成するのがよい。これにより、外部端子接続用パッド17に半田ボールを接合するときに熱応力が発生しても樹脂基板11から外部端子接続用パッド17が剥がれるのを防止することができる。また、半田ボールを接合するための接合面積を規制することができるので、半田ボールの溶融量を揃えることができ、半田ボールの高さを実質的に同じにすることができて、ボードへの実装を確実に行うことができる。
【0022】
また、上記本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法においては、配線パターン16の表面にソルダーレジスト膜22を形成すると共に、無電解Cuめっき被膜14と、電解Cuめっき被膜19と,Ni及びAuめっき被膜21とからなる外部端子接続用パッド17及び半導体素子接続用パッド18の外周縁部にもソルダーレジスト膜22を形成するのがよい。これにより、外部端子接続用パッド17と同様に半導体素子接続用パッド18の樹脂基板11への接合強度を高めることができる。また、半導体素子をフリップチップ方式で直接プラスチックパッケージ10に接合する場合に、半導体素子の接合パッドの位置と正確に接合位置を合わせることができる。
【0023】
上記本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージ10の製造方法によれば、無電解Cuめっき被膜14は、めっき引き回し配線の役目をして、特段のめっきのためのめっき引き回し配線を設けることなく外部端子接続用パッド17と半導体素子接続用パッド18に、Ni及びAuめっき被膜21を容易に形成でき、しかもめっき引き回し配線が不用な分だけ高密度な配線が可能となる。また、無電解Cuめっき被膜14は、Cu箔12や電解Cuめっき被膜14に比べて非常に厚さが薄いので、パターン形成のための無電解Cuめっき被膜14のエッチング処理は非常に容易なものとなり、えぐれの量を殆どなくすことができ、配線パターン16、外部端子接続用パッド17、及び半導体素子接続用パッド18のパターン精度のよい高密度化を図ることが容易となる。また、めっき引き回し配線が存在せず、部分的に残存するめっき引き回し配線による電気的な反射もなくなり、電気特性を向上させることができる。また、Ni及びAuめっき被膜21は、電解めっき法により形成されるので、ワイヤボンディングや、フリップチップ接合や、半田ボール接合の接着強度を十分大きな値に確保することができる。更に、配線パターン16には、Ni及びAuめっき被膜21が存在しないので、ソルダーレジスト膜22との接合強度を大きくすることができる。
【0024】
また、無電解Cuめっき被膜14のエッチング液として過硫酸ソーダや、過酸化水素と硫酸との混合液を主成分とするソフトエッチング液を用いるので、電解Cuめっき被膜19のエッチング量は少なくて済み、Auめっき被膜は溶解されることなく、無電解Cuめっき被膜14を効率的にエッチング処理することができる。また、これらのソフトエッチング液は、取り扱いが容易で、廃液処理も容易に行うことができる。
【0025】
【発明の効果】
請求項1及びこれに従属する請求項2又は3記載のプラスチックパッケージの製造方法は、樹脂基板の表面に形成されたCu箔をエッチング処理して除去した後、Cu箔が形成されていた樹脂基板の表面に無電解Cuめっき被膜を形成する工程と、無電解Cuめっき被膜の表面に第1のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第1のめっきレジストパターンで被覆されていない無電解Cuめっき被膜の表面に電解Cuめっき被膜を形成する工程と、配線パターンとなる電解Cuめっき被膜の表面に第2のめっきレジストパターンを形成し、無電解Cuめっき被膜に通電して第2のめっきレジストパターンで被覆されていない電解Cuめっき被膜の表面に、電解めっき法によるNi及びAuめっき被膜を設ける外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを形成する工程と、第1及び第2のめっきレジストパターンを除去し、Ni及びAuめっき被膜と電解Cuめっき被膜で被覆されていない無電解Cuめっき被膜をエッチング処理して除去する工程と、配線パターンを被覆し、外部端子接続用パッド及び半導体素子接続用パッドを開口部から露出させるソルダーレジスト膜を形成する工程を有するので、Cu箔を除去した後の樹脂基板表面は、適度な表面粗度を有し、無電解Cuめっき被膜を接合強度を高く、厚さを薄く形成でき、Ni及びAuめっき被膜と、電解Cuめっき被膜をエッチングレジストパターンとして容易にエッチング処理して、えぐれによるひさし状を発生させることなく除去して、高密度なファインパターンを有する配線を容易に歩留よく形成することができる。また、ソルダーレジスト膜は、Ni及びAuめっき被膜の上に接合されないので、ソルダーレジスト膜を樹脂基板と、適度な表面粗度を有するCuめっき被膜からなる配線パターンの上に強固に接合することができる。
【0026】
特に、請求項2又は3記載のプラスチックパッケージの製造方法は、配線パターンの表面にソルダーレジスト膜を形成すると共に、外部端子接続用パッドの外周縁部、又は、外部端子接合用パッドと半導体素子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成するので、半導体素子接続用パッドや、外部端子接続用パッドの接合面積を規制でき、半導体素子や半田ボールを正確に接合することができる。また、外部端子接合用パッドに半田ボールが接続される時に熱応力が発生しても、外部端子接続用パッドの樹脂基板からの剥がれを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(C)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係るプラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図2】(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図3】(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図4】(A)〜(C)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す断面図である。
【図5】(A)、(B)はそれぞれ同プラスチックパッケージの製造方法の一部を示す説明図である。
【図6】(A)〜(C)は従来のプラスチックパッケージの製造方法の説明図である。
【図7】(A)、(B)は従来のプラスチックパッケージの製造方法の説明図である。
【符号の説明】
10:プラスチックパッケージ、11:樹脂基板、12:Cu箔、13:スルーホール、14:無電解Cuめっき被膜、15:第1のめっきレジストパターン、16:配線パターン、17:外部端子接続用パッド、18:半導体素子接続用パッド、19:電解Cuめっき被膜、20:第2のめっきレジストパターン、21:Ni及びAuめっき被膜、22:ソルダーレジスト膜
Claims (3)
- 片面又は両面にCu箔を接合して有する樹脂基板を用いて、該樹脂基板の片面又は両面に配線パターン、外部端子接続用パッド、及び、半導体素子接続用パッドを設けるプラスチックパッケージの製造方法において、
前記樹脂基板の表面に形成された前記Cu箔をエッチング処理して除去した後、前記Cu箔が形成されていた前記樹脂基板の表面に無電解Cuめっき被膜を形成する工程と、
前記無電解Cuめっき被膜の表面に第1のめっきレジストパターンを形成し、前記無電解Cuめっき被膜に通電して前記第1のめっきレジストパターンで被覆されていない前記無電解Cuめっき被膜の表面に電解Cuめっき被膜を形成する工程と、
前記配線パターンとなる前記電解Cuめっき被膜の表面に第2のめっきレジストパターンを形成し、前記無電解Cuめっき被膜に通電して前記第2のめっきレジストパターンで被覆されていない前記電解Cuめっき被膜の表面に、電解めっき法によるNi及びAuめっき被膜を設ける前記外部端子接続用パッド及び前記半導体素子接続用パッドを形成する工程と、
前記第1及び第2のめっきレジストパターンを除去し、前記Ni及びAuめっき被膜と前記電解Cuめっき被膜で被覆されていない前記無電解Cuめっき被膜をエッチング処理して除去する工程と、
前記配線パターンを被覆し、前記外部端子接続用パッド及び前記半導体素子接続用パッドを開口部から露出させるソルダーレジスト膜を形成する工程を有することを特徴とするプラスチックパッケージの製造方法。 - 請求項1記載のプラスチックパッケージの製造方法において、前記配線パターンの表面に前記ソルダーレジスト膜を形成すると共に、前記外部端子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成することを特徴とするプラスチックパッケージの製造方法。
- 請求項1記載のプラスチックパッケージの製造方法において、前記配線パターンの表面に前記ソルダーレジスト膜を形成すると共に、前記外部端子接続用パッド及び前記半導体素子接続用パッドの外周縁部にソルダーレジスト膜を形成することを特徴とするプラスチックパッケージの製造方法。
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