JPH08316360A - Ic実装構造 - Google Patents
Ic実装構造Info
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- JPH08316360A JPH08316360A JP7118836A JP11883695A JPH08316360A JP H08316360 A JPH08316360 A JP H08316360A JP 7118836 A JP7118836 A JP 7118836A JP 11883695 A JP11883695 A JP 11883695A JP H08316360 A JPH08316360 A JP H08316360A
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- JP
- Japan
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- chip
- resist film
- die pattern
- opening
- mounting structure
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- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
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- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の信頼性の向上。
【構成】 ダイパターン3を有する樹脂基板1と、該ダ
イパターン3上面を覆うレジスト膜16と、該レジスト
膜16上に接着剤9を介して固着されるICチップ8と
から成るICの実装構造に於いて、前記レジスト膜16
は、IC接着領域からIC外周側に向かって開放し、前
記ダイパターン3の一部を露呈させる開口部16aを有
する。 【効果】 ICチップの密着力向上により剥離がなく、
且つボイドの発生を防止できる。
イパターン3上面を覆うレジスト膜16と、該レジスト
膜16上に接着剤9を介して固着されるICチップ8と
から成るICの実装構造に於いて、前記レジスト膜16
は、IC接着領域からIC外周側に向かって開放し、前
記ダイパターン3の一部を露呈させる開口部16aを有
する。 【効果】 ICチップの密着力向上により剥離がなく、
且つボイドの発生を防止できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はICの実装構造に関する
ものである。
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりIC実装構造に於いて、回路基
板とダイパターンを構成する銅パターン及び封止樹脂と
の収縮率の違いから、回路基板が反ってしまい、ICチ
ップとダイパターンとの間に応力が発生し、ICチップ
がダイパターンから剥離することが問題になっていた。
更に、近年のICチップの大型化に伴い、その傾向は強
くなり、ますますICチップとダイパターンとの密着力
の不足が問題になっている。
板とダイパターンを構成する銅パターン及び封止樹脂と
の収縮率の違いから、回路基板が反ってしまい、ICチ
ップとダイパターンとの間に応力が発生し、ICチップ
がダイパターンから剥離することが問題になっていた。
更に、近年のICチップの大型化に伴い、その傾向は強
くなり、ますますICチップとダイパターンとの密着力
の不足が問題になっている。
【0003】ところで、ICチップとダイパターンを接
着する接着剤は、接着する対象物が変わることで密着力
が異なり、ダイパターン上の金メッキとの場合は特に密
着力が低いことが知られている。そこで、上記の問題に
対し、ダイパターン上にレジスト膜を形成させることに
より、接着剤の密着力を高め、ICチップの剥離を防止
するIC実装構造が採用されるようになっている。
着する接着剤は、接着する対象物が変わることで密着力
が異なり、ダイパターン上の金メッキとの場合は特に密
着力が低いことが知られている。そこで、上記の問題に
対し、ダイパターン上にレジスト膜を形成させることに
より、接着剤の密着力を高め、ICチップの剥離を防止
するIC実装構造が採用されるようになっている。
【0004】以下に従来のBGAに於けるIC実装構造
を図面を用いて説明する。図3は従来のIC実装構造の
断面図、図4は、図3に示した回路基板7の平面図を示
す。図3に於いて、1は略四角形で板厚が0.2mm程度
のガラスエポキシ樹脂等よりなる上下両面に厚さ18μ
m程度の銅箔張りの樹脂基板で、該樹脂基板1には複数
のスルーホール2が切削ドリル等の手段により加工され
る。前記スルーホール2の壁面を含む基板面を洗浄した
後、前記樹脂基板1の全表面に無電解メッキ及び電解メ
ッキにより銅メッキ層を形成する。該銅メッキ層は前記
スルーホール2内まで施される。
を図面を用いて説明する。図3は従来のIC実装構造の
断面図、図4は、図3に示した回路基板7の平面図を示
す。図3に於いて、1は略四角形で板厚が0.2mm程度
のガラスエポキシ樹脂等よりなる上下両面に厚さ18μ
m程度の銅箔張りの樹脂基板で、該樹脂基板1には複数
のスルーホール2が切削ドリル等の手段により加工され
る。前記スルーホール2の壁面を含む基板面を洗浄した
後、前記樹脂基板1の全表面に無電解メッキ及び電解メ
ッキにより銅メッキ層を形成する。該銅メッキ層は前記
スルーホール2内まで施される。
【0005】更に、メッキレジストをラミネートし、露
光現像してパターンマスクを形成した後、通常の回路基
板エッチング液のCuCl2 +H2 O2 を用いてパター
ンエッチングを行うことにより、回路パターンを形成す
る。前記樹脂基板1の上面側にはICチップ8のダイパ
ターン3及びワイヤーボンディング用の接続電極4を形
成し、下面側には半田バンプを形成するパット電極5を
形成する。尚、前記接続電極4とパット電極5は前記ス
ルーホール2を介して接続されている。
光現像してパターンマスクを形成した後、通常の回路基
板エッチング液のCuCl2 +H2 O2 を用いてパター
ンエッチングを行うことにより、回路パターンを形成す
る。前記樹脂基板1の上面側にはICチップ8のダイパ
ターン3及びワイヤーボンディング用の接続電極4を形
成し、下面側には半田バンプを形成するパット電極5を
形成する。尚、前記接続電極4とパット電極5は前記ス
ルーホール2を介して接続されている。
【0006】次に、所定の部分にソルダーレジスト処理
を行い、前記樹脂基板1の下面側には、マトリックス上
に多数の同一形状の半田付け可能な表面であるレジスト
膜開口部を形成するようなレジスト膜6を設け、上面側
には前記ダイパターン3上にダイパターン3の中央部を
露呈する開口部15aを有するリング状のレジスト膜1
5とスルーホール2を覆うレジスト膜14を形成する。
を行い、前記樹脂基板1の下面側には、マトリックス上
に多数の同一形状の半田付け可能な表面であるレジスト
膜開口部を形成するようなレジスト膜6を設け、上面側
には前記ダイパターン3上にダイパターン3の中央部を
露呈する開口部15aを有するリング状のレジスト膜1
5とスルーホール2を覆うレジスト膜14を形成する。
【0007】また更に、前記樹脂基板1の上下両面の露
出している電極の銅メッキ層の表面に、2〜5μm程度
のNiメッキ層を施す。更にNiメッキ層の上にボンデ
ィングワイヤと導通性の優れた0.5μm程度の金メッ
キを施すことにより回路基板7が完成される。次に、前
記回路基板7上のダイパターン3中央部の前記金メッキ
層とリング状に形成されたレジスト膜15の上にICチ
ップ8を接着剤9を用いて固着し、該ICチップ8の端
子と前記接続電極4とをボンディングワイヤ10で接続
した後、該ICチップ8及びボンディングワイヤ10を
熱硬化性の封止樹脂11を用い、トランスファーモール
ドで樹脂封止することにより、前記ICチップ8の遮光
と保護を行う。また前記樹脂基板1の下面側には、複数
の半田付け可能な表面が形成されており、前記パット電
極5に半田ボールを供給し、加熱炉で加熱することによ
り、半田バンプ12が形成される。この半田バンプ12
により、図示しないマザーボード基板のパターンと導通
される。以上によりBGA13が完成される。
出している電極の銅メッキ層の表面に、2〜5μm程度
のNiメッキ層を施す。更にNiメッキ層の上にボンデ
ィングワイヤと導通性の優れた0.5μm程度の金メッ
キを施すことにより回路基板7が完成される。次に、前
記回路基板7上のダイパターン3中央部の前記金メッキ
層とリング状に形成されたレジスト膜15の上にICチ
ップ8を接着剤9を用いて固着し、該ICチップ8の端
子と前記接続電極4とをボンディングワイヤ10で接続
した後、該ICチップ8及びボンディングワイヤ10を
熱硬化性の封止樹脂11を用い、トランスファーモール
ドで樹脂封止することにより、前記ICチップ8の遮光
と保護を行う。また前記樹脂基板1の下面側には、複数
の半田付け可能な表面が形成されており、前記パット電
極5に半田ボールを供給し、加熱炉で加熱することによ
り、半田バンプ12が形成される。この半田バンプ12
により、図示しないマザーボード基板のパターンと導通
される。以上によりBGA13が完成される。
【0008】上記IC実装構造に於いては、回路基板7
の反りに対して一番応力の働くICチップ8外周部をリ
ング状のレジスト膜15と接着させることにより密着力
を高め、また、ダイパターン3を露呈させる開口部15
aを持つことで、ICチップ8とダイパターン3との電
気的接続、熱的接続を確保している。
の反りに対して一番応力の働くICチップ8外周部をリ
ング状のレジスト膜15と接着させることにより密着力
を高め、また、ダイパターン3を露呈させる開口部15
aを持つことで、ICチップ8とダイパターン3との電
気的接続、熱的接続を確保している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たレジスト膜の構造には次のような問題点がある。近年
のICチップの大型化に伴い、ICチップ外周部を受け
るレジスト膜15だけでは、密着強度が足りなくなって
いること。また、前記ICチップ8とダイパターン3と
を導通させるための開口部15aがあると空気の逃げ場
がなくなり接着剤中にボイドができ易く、接着剤硬化後
は、ボイド部分での応力発生による強度低下、ICチッ
プ8とダイパターン3との電気的接続、熱的接続の不安
定を招き半導体装置の信頼性を損なう問題があった。
たレジスト膜の構造には次のような問題点がある。近年
のICチップの大型化に伴い、ICチップ外周部を受け
るレジスト膜15だけでは、密着強度が足りなくなって
いること。また、前記ICチップ8とダイパターン3と
を導通させるための開口部15aがあると空気の逃げ場
がなくなり接着剤中にボイドができ易く、接着剤硬化後
は、ボイド部分での応力発生による強度低下、ICチッ
プ8とダイパターン3との電気的接続、熱的接続の不安
定を招き半導体装置の信頼性を損なう問題があった。
【0010】本発明は、上記従来の課題に鑑みなされた
ものであり、その目的はICチップの剥離がなく、ボイ
ドの発生を防ぐ信頼性の高いIC実装構造を提供するも
のである。
ものであり、その目的はICチップの剥離がなく、ボイ
ドの発生を防ぐ信頼性の高いIC実装構造を提供するも
のである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に於けるIC実装構造は、ダイパターンを有
する回路基板と、該ダイパターン上面を覆うレジスト膜
と、該レジスト膜上に接着剤を介して固着されるICチ
ップとから成るICの実装構造に於いて、前記レジスト
膜は、IC接着領域からIC外周側に向かって開放し、
前記ダイパターンの一部を露呈させる開口部を有するこ
とを特徴とするものである。
に、本発明に於けるIC実装構造は、ダイパターンを有
する回路基板と、該ダイパターン上面を覆うレジスト膜
と、該レジスト膜上に接着剤を介して固着されるICチ
ップとから成るICの実装構造に於いて、前記レジスト
膜は、IC接着領域からIC外周側に向かって開放し、
前記ダイパターンの一部を露呈させる開口部を有するこ
とを特徴とするものである。
【0012】また、前記開口部は前記IC接着領域から
前記IC外周方向に幅が広くなるように形成されている
ことを特徴とするものである。
前記IC外周方向に幅が広くなるように形成されている
ことを特徴とするものである。
【0013】また、前記開口部は前記ICの4辺に少な
くとも1つずつ設けられていることを特徴とするもので
ある。
くとも1つずつ設けられていることを特徴とするもので
ある。
【0014】
【作用】従って、本発明により得られるIC実装構造に
於いて、前述したように、ICチップの大型化に伴う、
ICチップとダイパターンとの密着力不足に対し、IC
接着領域からIC外周側に向かって開放し、前記ダイパ
ターンの一部を露呈させる開口部を有するレジスト膜を
形成し、ICチップの大部分を接着剤を用いてレジスト
膜上に固着し、密着力を高め、更に、レジスト開口部か
ら空気を逃げ易くすることで、接着剤中にボイドができ
難く、ボイド部分での応力発生による強度低下を招くこ
とがない。
於いて、前述したように、ICチップの大型化に伴う、
ICチップとダイパターンとの密着力不足に対し、IC
接着領域からIC外周側に向かって開放し、前記ダイパ
ターンの一部を露呈させる開口部を有するレジスト膜を
形成し、ICチップの大部分を接着剤を用いてレジスト
膜上に固着し、密着力を高め、更に、レジスト開口部か
ら空気を逃げ易くすることで、接着剤中にボイドができ
難く、ボイド部分での応力発生による強度低下を招くこ
とがない。
【0015】
【実施例】以下図面に基づいて本発明に於けるIC実装
構造について説明する。図1及び図2は本発明の実施例
で、図1は本発明の一実施例であるBGAパッケージの
回路基板を示す平面図、図2は図1に示した回路基板を
用いたBGAパッケージの断面図である。図に於いて、
従来技術と同一部材は同一符号で示す
構造について説明する。図1及び図2は本発明の実施例
で、図1は本発明の一実施例であるBGAパッケージの
回路基板を示す平面図、図2は図1に示した回路基板を
用いたBGAパッケージの断面図である。図に於いて、
従来技術と同一部材は同一符号で示す
【0016】まず図1及び図2に於いて、前述した従来
技術の図4と同様に、樹脂基板1の両面に薄い銅箔が積
層されていて、スルーホール2の穴明け加工後、両面銅
張りされた樹脂基板1の全表面に無電解メッキ及び電解
銅メッキにより銅メッキ層を形成し、更にメッキレジス
トをラミネートし、露光現像してパターンマスクを形成
した後、エッチング液を用いてパターンエッチングを行
うことにより上面側にはICチップ8のダイパターン3
とリードパターン4を形成し、下面側には半田バンプを
形成するパット電極5を形成する。尚、ダイパターン3
とリードパターン4及びパット電極5はスルーホール2
を介して接続されている。
技術の図4と同様に、樹脂基板1の両面に薄い銅箔が積
層されていて、スルーホール2の穴明け加工後、両面銅
張りされた樹脂基板1の全表面に無電解メッキ及び電解
銅メッキにより銅メッキ層を形成し、更にメッキレジス
トをラミネートし、露光現像してパターンマスクを形成
した後、エッチング液を用いてパターンエッチングを行
うことにより上面側にはICチップ8のダイパターン3
とリードパターン4を形成し、下面側には半田バンプを
形成するパット電極5を形成する。尚、ダイパターン3
とリードパターン4及びパット電極5はスルーホール2
を介して接続されている。
【0017】次に、前記樹脂基板1上のダイパターン3
上に、IC接着領域からIC外周側に向かって開放し、
前記ダイパターン3の一部を露呈させる開口部16aを
ICの4辺に1つずつ対応するようにソルダーレジスト
処理を行い、レジスト膜16を形成し、また前記樹脂基
板1の下面側に、マトリックス状に多数の同一形状の半
田付け可能な表面であるレジスト膜6の開口部を形成す
ることにより回路基板7が完成される。
上に、IC接着領域からIC外周側に向かって開放し、
前記ダイパターン3の一部を露呈させる開口部16aを
ICの4辺に1つずつ対応するようにソルダーレジスト
処理を行い、レジスト膜16を形成し、また前記樹脂基
板1の下面側に、マトリックス状に多数の同一形状の半
田付け可能な表面であるレジスト膜6の開口部を形成す
ることにより回路基板7が完成される。
【0018】次に、前記回路基板7上のダイパターン3
上に形成されたレジスト膜16の略中央にICチップ8
を接着剤9を用いて固着し、同時に開口部16a部では
接着剤9を用いて、ダイパターン3に直接固着する。こ
の時接着剤9は、レジスト膜16の略中央に塗布され、
ICチップ8を上から搭載する事で接着剤9はICチッ
プ8の外周部に向かって濡れ広がる。それに伴い、開口
部16aからは、空気が追い出されていく。
上に形成されたレジスト膜16の略中央にICチップ8
を接着剤9を用いて固着し、同時に開口部16a部では
接着剤9を用いて、ダイパターン3に直接固着する。こ
の時接着剤9は、レジスト膜16の略中央に塗布され、
ICチップ8を上から搭載する事で接着剤9はICチッ
プ8の外周部に向かって濡れ広がる。それに伴い、開口
部16aからは、空気が追い出されていく。
【0019】次に、ICチップ8の端子と前記接続電極
4とをボンディングワイヤ10で接続した後、該ICチ
ップ8及びボンディングワイヤ10を熱硬化性の封止樹
脂11でトランスファーモールドにより樹脂封止するこ
とにより、前記ICチップ8の遮光と保護を行う。また
前記樹脂基板1の下面側には、複数の半田付け可能な表
面が形成されており、前記パット電極5に半田ボールを
供給し、加熱炉で加熱することにより、半田バンプ12
が形成される。この半田バンプ12により、図示しない
マザーボード基板のパターンと導通される。以上により
BGA13が完成される。
4とをボンディングワイヤ10で接続した後、該ICチ
ップ8及びボンディングワイヤ10を熱硬化性の封止樹
脂11でトランスファーモールドにより樹脂封止するこ
とにより、前記ICチップ8の遮光と保護を行う。また
前記樹脂基板1の下面側には、複数の半田付け可能な表
面が形成されており、前記パット電極5に半田ボールを
供給し、加熱炉で加熱することにより、半田バンプ12
が形成される。この半田バンプ12により、図示しない
マザーボード基板のパターンと導通される。以上により
BGA13が完成される。
【0020】以上のように、ICチップ8は、大部分を
接着剤9を用いてレジスト膜16上に強固に固着し、密
着力を高めている為ICチップ8は剥離することがな
い。また、開口部16aではICチップ8とダイパター
ン3が接着剤9を用いて直接固着され、ICチップ8と
ダイパターン3との電気的接続、熱的接続がとられてい
る。
接着剤9を用いてレジスト膜16上に強固に固着し、密
着力を高めている為ICチップ8は剥離することがな
い。また、開口部16aではICチップ8とダイパター
ン3が接着剤9を用いて直接固着され、ICチップ8と
ダイパターン3との電気的接続、熱的接続がとられてい
る。
【0021】尚、本実施例はBGAのIC実装構造につ
いて説明したが、樹脂封止型半導体装置、例えば、ピン
グリッドアレイ(PGA)等のIC実装構造についても
適用されることは言うまでもない。
いて説明したが、樹脂封止型半導体装置、例えば、ピン
グリッドアレイ(PGA)等のIC実装構造についても
適用されることは言うまでもない。
【0022】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
ICチップをIC接着領域からIC外周側に向かって開
放し、前記ダイパターンの一部を露呈させる開口部を有
するレジスト膜上に接着させることにより、ICチップ
とダイパターンとの密着力を高めることができ、更に、
レジスト開口部から空気を逃げ易くしたことで、接着剤
中にボイドができ難く、ボイド部分での応力発生による
強度低下を招くことがない信頼性の高いIC実装をする
ことが可能である。
ICチップをIC接着領域からIC外周側に向かって開
放し、前記ダイパターンの一部を露呈させる開口部を有
するレジスト膜上に接着させることにより、ICチップ
とダイパターンとの密着力を高めることができ、更に、
レジスト開口部から空気を逃げ易くしたことで、接着剤
中にボイドができ難く、ボイド部分での応力発生による
強度低下を招くことがない信頼性の高いIC実装をする
ことが可能である。
【図1】本発明の一実施例に係わるIC実装構造を示す
回路基板の平面図である。
回路基板の平面図である。
【図2】図1の回路基板を用いたBGAの断面図であ
る。
る。
【図3】従来技術のIC実装構造の要部断面図である。
【図4】図3に示した回路基板の平面図である。
1 樹脂基板 2 スルーホール 3 ダイパターン 4 リードパターン 5 パット電極 6 下面側レジスト膜 7 回路基板 8 ICチップ 9 接着剤 10 ボンディングワイヤ 11 封止樹脂 12 半田バンプ 13 BGA 14 スルーホールを覆うレジスト膜 15 リング状レジスト膜 15a レジスト開口部 16 レジスト膜 16a レジスト開口部
Claims (3)
- 【請求項1】 ダイパターンを有する回路基板と、該ダ
イパターン上面を覆うレジスト膜と、該レジスト膜上に
接着剤を介して固着されるICチップとから成るICの
実装構造に於いて、前記レジスト膜は、IC接着領域か
らIC外周側に向かって開放し、前記ダイパターンの一
部を露呈させる開口部を有することを特徴とするIC実
装構造。 - 【請求項2】 前記開口部は前記IC接着領域から前記
IC外周方向に幅が広くなるように形成されていること
を特徴とする請求項1記載のIC実装構造。 - 【請求項3】 前記開口部は前記ICの4辺に少なくと
も1つずつ設けられていることを特徴とする請求項1又
は2記載のIC実装構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7118836A JPH08316360A (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | Ic実装構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7118836A JPH08316360A (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | Ic実装構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08316360A true JPH08316360A (ja) | 1996-11-29 |
Family
ID=14746365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7118836A Pending JPH08316360A (ja) | 1995-05-18 | 1995-05-18 | Ic実装構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08316360A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US7420282B2 (en) | 2004-10-18 | 2008-09-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Connection structure for connecting semiconductor element and wiring board, and semiconductor device |
-
1995
- 1995-05-18 JP JP7118836A patent/JPH08316360A/ja active Pending
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