JP2004080026A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004080026A5 JP2004080026A5 JP2003284511A JP2003284511A JP2004080026A5 JP 2004080026 A5 JP2004080026 A5 JP 2004080026A5 JP 2003284511 A JP2003284511 A JP 2003284511A JP 2003284511 A JP2003284511 A JP 2003284511A JP 2004080026 A5 JP2004080026 A5 JP 2004080026A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive
- film
- substrate
- organic thin
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 70
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims 9
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003284511A JP4618990B2 (ja) | 2002-08-02 | 2003-07-31 | 有機薄膜トランジスタ及びその作製方法、並びに有機薄膜トランジスタを有する半導体装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002225772 | 2002-08-02 | ||
| JP2003284511A JP4618990B2 (ja) | 2002-08-02 | 2003-07-31 | 有機薄膜トランジスタ及びその作製方法、並びに有機薄膜トランジスタを有する半導体装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004080026A JP2004080026A (ja) | 2004-03-11 |
| JP2004080026A5 true JP2004080026A5 (enExample) | 2006-09-07 |
| JP4618990B2 JP4618990B2 (ja) | 2011-01-26 |
Family
ID=32032818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003284511A Expired - Fee Related JP4618990B2 (ja) | 2002-08-02 | 2003-07-31 | 有機薄膜トランジスタ及びその作製方法、並びに有機薄膜トランジスタを有する半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4618990B2 (enExample) |
Families Citing this family (29)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100560796B1 (ko) | 2004-06-24 | 2006-03-13 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 박막트랜지스터 및 그의 제조방법 |
| GB2418062A (en) * | 2004-09-03 | 2006-03-15 | Seiko Epson Corp | An organic Field-Effect Transistor with a charge transfer injection layer |
| ATE518259T1 (de) * | 2004-11-09 | 2011-08-15 | Creator Technology Bv | Selbstausgerichtetes verfahren zur herstellung organischer transistoren |
| EP1670079B1 (en) * | 2004-12-08 | 2010-12-01 | Samsung Mobile Display Co., Ltd. | Method of forming a conductive pattern of a thin film transistor |
| KR101122231B1 (ko) * | 2004-12-17 | 2012-03-19 | 삼성전자주식회사 | 유기 반도체를 이용한 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조방법 |
| KR101133767B1 (ko) * | 2005-03-09 | 2012-04-09 | 삼성전자주식회사 | 유기 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
| JP4602920B2 (ja) * | 2005-03-19 | 2010-12-22 | 三星モバイルディスプレイ株式會社 | 有機薄膜トランジスタ、それを備えた平板ディスプレイ装置、及び有機薄膜トランジスタの製造方法 |
| US8053850B2 (en) | 2005-06-30 | 2011-11-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Minute structure, micromachine, organic transistor, electric appliance, and manufacturing method thereof |
| KR101209046B1 (ko) * | 2005-07-27 | 2012-12-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 기판과 박막트랜지스터 기판의 제조방법 |
| KR101240656B1 (ko) * | 2005-08-01 | 2013-03-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판표시장치와 평판표시장치의 제조방법 |
| KR101197053B1 (ko) | 2005-09-30 | 2012-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
| JP2007129007A (ja) | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Hitachi Ltd | 有機半導体膜を有する半導体装置の製造方法 |
| KR20070053060A (ko) | 2005-11-19 | 2007-05-23 | 삼성전자주식회사 | 표시장치와 이의 제조방법 |
| KR101219047B1 (ko) | 2005-12-13 | 2013-01-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치와 이의 제조방법 |
| KR20070063300A (ko) * | 2005-12-14 | 2007-06-19 | 삼성전자주식회사 | 유기 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 |
| JP2007214015A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Kokusai Kiban Zairyo Kenkyusho:Kk | 水及び酸素の捕捉剤、有機電子デバイス |
| KR101189218B1 (ko) | 2006-04-12 | 2012-10-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 |
| KR101279296B1 (ko) | 2006-04-17 | 2013-06-26 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 반도체 구조물, 이의 제조 방법, 이를 이용한 유기박막 트랜지스터 및 이의 제조 방법 및 이를 이용한표시장치 |
| JP5916976B2 (ja) * | 2006-05-18 | 2016-05-11 | コニカミノルタ株式会社 | 有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ |
| JP5036219B2 (ja) | 2006-05-30 | 2012-09-26 | 株式会社日立製作所 | 有機薄膜トランジスタを有する半導体装置の製造方法 |
| JP5521270B2 (ja) | 2007-02-21 | 2014-06-11 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ、薄膜トランジスタアレイの製造方法、および薄膜トランジスタアレイを用いたアクティブマトリクス型ディスプレイ |
| JP2008277469A (ja) | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Hitachi Ltd | 感光性ｓａｍ膜の露光方法および半導体装置の製造方法 |
| JP5277675B2 (ja) * | 2007-07-11 | 2013-08-28 | 株式会社リコー | 有機薄膜トランジスタの製造方法 |
| JP2009105258A (ja) * | 2007-10-24 | 2009-05-14 | Konica Minolta Holdings Inc | 薄膜トランジスタの製造方法、薄膜トランジスタおよび表示装置 |
| JPWO2009087793A1 (ja) * | 2008-01-11 | 2011-05-26 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、中間体及び第２中間体 |
| JP5464586B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2014-04-09 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 有機薄膜の製造方法及びそれを用いた有機デバイス |
| CN103119699B (zh) | 2010-09-22 | 2016-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜晶体管及其制造方法和图像显示装置 |
| CN104662646B (zh) | 2012-09-21 | 2018-01-09 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜晶体管及其制造方法、图像显示装置 |
| JP6274203B2 (ja) * | 2013-03-08 | 2018-02-07 | 国立大学法人神戸大学 | 有機半導体薄膜の作製方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH086041A (ja) * | 1994-06-22 | 1996-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示素子およびその製造方法 |
| US6033202A (en) * | 1998-03-27 | 2000-03-07 | Lucent Technologies Inc. | Mold for non - photolithographic fabrication of microstructures |
| JP2000269504A (ja) * | 1999-03-16 | 2000-09-29 | Hitachi Ltd | 半導体装置、その製造方法及び液晶表示装置 |
| JP2001244467A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Hitachi Ltd | コプラナー型半導体装置とそれを用いた表示装置および製法 |
-
2003
- 2003-07-31 JP JP2003284511A patent/JP4618990B2/ja not_active Expired - Fee Related