JP5916976B2 - 有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ - Google Patents
有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5916976B2 JP5916976B2 JP2008516622A JP2008516622A JP5916976B2 JP 5916976 B2 JP5916976 B2 JP 5916976B2 JP 2008516622 A JP2008516622 A JP 2008516622A JP 2008516622 A JP2008516622 A JP 2008516622A JP 5916976 B2 JP5916976 B2 JP 5916976B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- organic semiconductor
- thin film
- film transistor
- organic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/464—Lateral top-gate IGFETs comprising only a single gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/466—Lateral bottom-gate IGFETs comprising only a single gate
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
- H10K10/462—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs]
- H10K10/484—Insulated gate field-effect transistors [IGFETs] characterised by the channel regions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/10—Organic polymers or oligomers
- H10K85/111—Organic polymers or oligomers comprising aromatic, heteroaromatic, or aryl chains, e.g. polyaniline, polyphenylene or polyphenylene vinylene
- H10K85/113—Heteroaromatic compounds comprising sulfur or selene, e.g. polythiophene
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/40—Organosilicon compounds, e.g. TIPS pentacene
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
- H10K85/649—Aromatic compounds comprising a hetero atom
- H10K85/657—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
- H10K85/6576—Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only sulfur in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. benzothiophene
Description
前記有機半導体膜を成膜した際に、該有機半導体膜は、前記塗布液の乾燥が塗布液周縁部から開始して塗布液内部に進行することによって前記有機半導体膜の四方八方から進行してきた結晶性を有する成膜領域が融合することによって領域境界が高密度に存在する領域を有し、
前記有機半導体膜中の前記領域境界が高密度に存在する領域以外の領域に、方形状の前記チャネル領域を配置することを特徴とする有機薄膜トランジスタの形成方法。
前記領域境界が高密度に存在する領域を、該円形の中心付近に有することを特徴とする前記1に記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。
2 ソース電極
3 ドレイン電極
4 ゲート電極
5 絶縁層
6 支持体
7 ゲートバスライン
8 ソースバスライン
10 有機TFTシート
11 有機TFT
12 出力素子
13 蓄積コンデンサ
14 垂直駆動回路
15 水平駆動回路
キシ基、メルカプト基、シリル基(例えば、トリメチルシリル基、トリイソプロピルシリル基、トリフェニルシリル基、フェニルジエチルシリル基)等が挙げられる。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。
比較例1と同様の方法により、有機半導体層上に、チャネル領域重心の塗膜端からの最短距離を図3の250μmに代えて、それぞれ180、25μmである領域にチャネルを形成した。このときの移動度を表1に示す。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。この表面の表面エネルギーを測定したところ5.5×10-2Nm-1であった。
比較例2と同様に形成された有機半導体層上に、チャネル領域重心の塗膜端からの最短距離を図4の250μmに代えて、それぞれ180μm、25μmである領域にチャネルを形成した。このときの移動度を表1に示す。
比較例2同様に有機半導体層を形成し、図5に示すようにチャネル領域重心の塗膜端からの距離が2.5mmであって、長辺端部からの距離が250μmである領域にチャネルを形成し、また同様に塗膜端からの距離が1.8mm、0.25mmであって、長辺端部からの距離が250μmである領域にチャネルを形成した。このときの移動度を表1に示す。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。この絶縁膜表面に金を蒸着しフォトリソグラフィー法により、チャネル長2μm、チャネル幅30μmのソース・ドレイン電極を形成した。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。この絶縁膜表面に金を蒸着しフォトリソグラフィー法により、チャネル長2μm、チャネル幅30μmのソース・ドレイン電極を形成した。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。この絶縁膜表面に金を蒸着しフォトリソグラフィー法により、チャネル長2μm、チャネル幅30μmのソース・ドレイン電極を形成した。
比抵抗0.02Ω・cmのn型Siウエハーに厚さ200nmの熱酸化膜を形成し、ゲート絶縁膜とした。この絶縁膜表面に金を蒸着しフォトリソグラフィー法により、チャネル長2μm、チャネル幅30μmのソース・ドレイン電極を形成した。
実施例7において、半導体をOSC2−2に代えて素子を作製した。
実施例7において、有機半導体溶液を平均分子量20000である比較化合物(1)(特開2004−140359号公報の例示化合物(15))の0.1質量%o−ジクロロベンゼン分散液に代えた他は、同様に有機半導体層、チャネルを形成した。このときの移動度を表1に示す。
Claims (7)
- 有機半導体材料を含む塗布液をインクジェット又はマイクロインジェクターによって基板の上に塗布して、該塗布液を乾燥させることにより成膜される有機半導体膜を、ソース電極及びドレイン電極間のチャネル領域に成膜する有機薄膜トランジスタの形成方法において、
前記有機半導体膜を成膜した際に、該有機半導体膜は、前記塗布液の乾燥が塗布液周縁部から開始して塗布液内部に進行することによって前記有機半導体膜の四方八方から進行してきた結晶性を有する成膜領域が融合することによって領域境界が高密度に存在する領域を有し、
前記有機半導体膜中の前記領域境界が高密度に存在する領域以外の領域に、方形状の前記チャネル領域を配置することを特徴とする有機薄膜トランジスタの形成方法。 - 前記有機半導体膜を円形に成膜した際に、
前記領域境界が高密度に存在する領域を、該円形の中心付近に有することを特徴とする請求項1に記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。 - 前記基板の表面エネルギーが1.0×10−2〜7.0×10−2Nm−1であることを特徴とする請求項1または2に記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。
- 前記有機半導体膜の面積が100nm2以上、10cm2以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。
- 前記有機半導体材料の分子量が100以上、5000以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。
- 前記有機半導体材料が分子中にヘテロ原子を含む縮合多環芳香族化合物であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。
- 前記分子中にヘテロ原子を含む縮合多環芳香族化合物が6,13−ビスアルキルシリルエチニルペンタセンであることを特徴とする請求項6に記載の有機薄膜トランジスタの形成方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006138707 | 2006-05-18 | ||
JP2006138707 | 2006-05-18 | ||
JP2007070312 | 2007-03-19 | ||
JP2007070312 | 2007-03-19 | ||
PCT/JP2007/060028 WO2007135911A1 (ja) | 2006-05-18 | 2007-05-16 | 有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2007135911A1 JPWO2007135911A1 (ja) | 2009-10-01 |
JP5916976B2 true JP5916976B2 (ja) | 2016-05-11 |
Family
ID=38723225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008516622A Expired - Fee Related JP5916976B2 (ja) | 2006-05-18 | 2007-05-16 | 有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5916976B2 (ja) |
WO (1) | WO2007135911A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4807174B2 (ja) * | 2006-07-27 | 2011-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 有機トランジスタとその製造方法 |
EP2356708A1 (en) * | 2008-11-14 | 2011-08-17 | 3M Innovative Properties Company | Off-center deposition of organic semiconductor in an organic semiconductor device |
US7948016B1 (en) | 2009-11-03 | 2011-05-24 | 3M Innovative Properties Company | Off-center deposition of organic semiconductor in an organic semiconductor device |
JP2011187750A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-22 | Ricoh Co Ltd | 有機薄膜トランジスタの製造方法、有機薄膜トランジスタレイの製造方法及び表示装置の製造方法 |
JP2011233724A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Ricoh Co Ltd | 有機薄膜トランジスタとその製造方法 |
JP5447996B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2014-03-19 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法、および電子機器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003016599A1 (fr) * | 2001-08-09 | 2003-02-27 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Element a semi-conducteur organique |
JP2004080026A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機薄膜トランジスタ及びその作製方法、並びに有機薄膜トランジスタを有する半導体装置 |
JP2004235269A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機電界効果トランジスタ、集積回路装置 |
JP2005294737A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Asahi Kasei Corp | 縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005303161A (ja) * | 2004-04-15 | 2005-10-27 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機半導体材料、有機薄膜トランジスタ、電界効果トランジスタ及びスイッチング素子 |
US7105375B2 (en) * | 2004-07-30 | 2006-09-12 | Xerox Corporation | Reverse printing |
-
2007
- 2007-05-16 WO PCT/JP2007/060028 patent/WO2007135911A1/ja active Application Filing
- 2007-05-16 JP JP2008516622A patent/JP5916976B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003016599A1 (fr) * | 2001-08-09 | 2003-02-27 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Element a semi-conducteur organique |
JP2004080026A (ja) * | 2002-08-02 | 2004-03-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機薄膜トランジスタ及びその作製方法、並びに有機薄膜トランジスタを有する半導体装置 |
JP2004235269A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Matsushita Electric Works Ltd | 有機電界効果トランジスタ、集積回路装置 |
JP2005294737A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Asahi Kasei Corp | 縮合多環芳香族化合物薄膜の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2007135911A1 (ja) | 2009-10-01 |
WO2007135911A1 (ja) | 2007-11-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070243658A1 (en) | Production method of crystalline organic semiconductor thin film, organic semiconductor thin film, electronic device, and thin film transistor | |
US20060145148A1 (en) | Method for forming organic semiconductor layer and organic thin film transistor | |
JP5092269B2 (ja) | 有機半導体薄膜および有機半導体デバイスの製造方法 | |
JP2007019294A (ja) | 有機半導体材料、有機半導体膜、有機半導体素子及び有機薄膜トランジスタ | |
JP5245116B2 (ja) | 有機半導体膜の形成方法、及び有機薄膜トランジスタの製造方法 | |
JPWO2006137233A1 (ja) | 有機半導体材料薄膜の形成方法および有機薄膜トランジスタの製造方法 | |
JPWO2009028453A1 (ja) | 薄膜トランジスタ | |
JP5916976B2 (ja) | 有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2006216654A (ja) | 有機半導体膜の形成方法および有機薄膜トランジスタの製造方法 | |
JPWO2006054686A1 (ja) | 有機薄膜トランジスタの製造方法及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2007335840A (ja) | 有機薄膜トランジスタの形成方法、及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2006339577A (ja) | 有機半導体薄膜及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2007324288A (ja) | 有機半導体膜及びその製造方法、有機薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2007250715A (ja) | 半導体デバイスの製造方法 | |
JP4934955B2 (ja) | 有機薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP2007287961A (ja) | 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2007311609A (ja) | 有機半導体材料、有機半導体膜、有機半導体デバイス及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2008130882A (ja) | 有機半導体薄膜、及び有機薄膜トランジスタ | |
JP5055716B2 (ja) | 有機半導体膜の形成方法及び有機薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP2008311402A (ja) | 有機薄膜トランジスタの製造方法及び有機薄膜トランジスタ | |
JPWO2007055119A1 (ja) | 有機薄膜トランジスタおよび有機薄膜トランジスタの製造方法、tftシート | |
US8003435B2 (en) | Method of manufacturing organic film transistor | |
JP2007123580A (ja) | 有機半導体薄膜の形成方法及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2007294718A (ja) | 有機半導体膜及び有機薄膜トランジスタ | |
JP2008258479A (ja) | 有機半導体材料および有機薄膜トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100510 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130827 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140325 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140625 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20140702 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20140815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5916976 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |