JP2003309155A - ウェーハ裏面検査装置及び検査方法 - Google Patents
ウェーハ裏面検査装置及び検査方法Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチ
などを自動的に検査するウェーハ裏面検査装置及び検査
方法を提供する。 【解決手段】 本発明は、複数のウェーハが積載された
ウェーハ積載カセットと、ウェーハ積載カセットに隣接
して設けられ、ウェーハを移送するウェーハ移送アーム
と、ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェーハ
を反転するウェーハ反転／整列部と、ウェーハ反転／整
列部に隣り合って設けられるものの、ウェーハ移送アー
ムに隣接して設けられ、ウェーハの裏面を検査するウェ
ーハ検査部と、を含むウェーハ裏面検査装置を提供す
る。また、ウェーハ積載カセットとウェーハ反転／整列
部との間に設けられ、ウェーハを一時的に待機させるウ
ェーハ待機ステージをさらに含む。
などを自動的に検査するウェーハ裏面検査装置及び検査
方法を提供する。 【解決手段】 本発明は、複数のウェーハが積載された
ウェーハ積載カセットと、ウェーハ積載カセットに隣接
して設けられ、ウェーハを移送するウェーハ移送アーム
と、ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェーハ
を反転するウェーハ反転／整列部と、ウェーハ反転／整
列部に隣り合って設けられるものの、ウェーハ移送アー
ムに隣接して設けられ、ウェーハの裏面を検査するウェ
ーハ検査部と、を含むウェーハ裏面検査装置を提供す
る。また、ウェーハ積載カセットとウェーハ反転／整列
部との間に設けられ、ウェーハを一時的に待機させるウ
ェーハ待機ステージをさらに含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体検査装置及
び検査方法に関し、より詳しくは、半導体ウェーハ加工
工程が完了したウェーハの裏面の汚染、クラック、スク
ラッチなどを自動に検査するウェーハ裏面検査装置及び
検査方法に関する。
び検査方法に関し、より詳しくは、半導体ウェーハ加工
工程が完了したウェーハの裏面の汚染、クラック、スク
ラッチなどを自動に検査するウェーハ裏面検査装置及び
検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子の製造工程は、大きく半導体
ウェーハ加工、パッケージ組立及びテストに分けられ
る。ウェーハ加工工程は、ウェーハの内部または表面に
回路や素子を設ける一連の操作を言い、拡散、写真、薄
膜、エッチング工程を繰り返し実行することにより行わ
れる。この過程が終われば、ウェーハを切削してウェー
ハ上の半導体素子を個別半導体チップに分離するウェー
ハ切削工程を経て、それぞれの個別半導体チップをパッ
ケージ状態に組立てるパッケージ組立工程を実行する。
ウェーハ加工、パッケージ組立及びテストに分けられ
る。ウェーハ加工工程は、ウェーハの内部または表面に
回路や素子を設ける一連の操作を言い、拡散、写真、薄
膜、エッチング工程を繰り返し実行することにより行わ
れる。この過程が終われば、ウェーハを切削してウェー
ハ上の半導体素子を個別半導体チップに分離するウェー
ハ切削工程を経て、それぞれの個別半導体チップをパッ
ケージ状態に組立てるパッケージ組立工程を実行する。
【０００３】一方、パッケージ組立工程にウェーハを投
入する前に、製造されたウェーハに対する検査工程が行
われる。その理由は、ウェーハ加工工程を経る間、ウェ
ーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどが発生し得
るが、これがパッケージ組立工程の不良及びウェーハ破
損を発生させる要因として指摘されてきたからである。
従来のウェーハ裏面検査は、作業者が直接ウェーハをピ
ックアップして目視により検査した。
入する前に、製造されたウェーハに対する検査工程が行
われる。その理由は、ウェーハ加工工程を経る間、ウェ
ーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどが発生し得
るが、これがパッケージ組立工程の不良及びウェーハ破
損を発生させる要因として指摘されてきたからである。
従来のウェーハ裏面検査は、作業者が直接ウェーハをピ
ックアップして目視により検査した。
【０００４】ところが、作業者による目視検査は、作業
者の熟練度によって差異が生じるため、一定の検査信頼
性を確保することができず、検査時間が多くかかり、人
的資源が多く必要であるという問題点を有している。さ
らに、ウェーハが８インチから１２インチに大口径化す
るほど、作業者による目視検査の信頼性は低下する。
者の熟練度によって差異が生じるため、一定の検査信頼
性を確保することができず、検査時間が多くかかり、人
的資源が多く必要であるという問題点を有している。さ
らに、ウェーハが８インチから１２インチに大口径化す
るほど、作業者による目視検査の信頼性は低下する。
【０００５】そして、作業者による目視検査は、作業者
が直接手で把持した状態で検査するため、手で把持した
ウェーハ表面部分にスクラッチのようなウェーハの再汚
染のおそれを有している。
が直接手で把持した状態で検査するため、手で把持した
ウェーハ表面部分にスクラッチのようなウェーハの再汚
染のおそれを有している。
【０００６】また、ウェーハ裏面検査に対する情報を収
集し分析し、必要な場合、写真などを撮影して管理する
ことにより、全工程にフィードバックする作業が行われ
なければならないが、これもやはり作業者により行われ
るので、分析情報の体系的な管理が容易ではない。
集し分析し、必要な場合、写真などを撮影して管理する
ことにより、全工程にフィードバックする作業が行われ
なければならないが、これもやはり作業者により行われ
るので、分析情報の体系的な管理が容易ではない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、ウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどを
自動に検査するウェーハ裏面検査装置及び検査方法を提
供することにある。
は、ウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッチなどを
自動に検査するウェーハ裏面検査装置及び検査方法を提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の一態様によれば、複数のウェーハが積載さ
れたウェーハ積載カセットと、ウェーハ積載カセットに
隣接して設けられ、ウェーハを移送するウェーハ移送ア
ームと、ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェ
ーハを反転するウェーハ反転／整列部と、ウェーハ反転
／整列部に隣り合って設けられるものの、ウェーハ移送
アームに隣接して設けられ、ウェーハの裏面を検査する
ウェーハ検査部と、を含むことを特徴とするウェーハ裏
面検査装置を提供する。また、ウェーハ積載カセットと
ウェーハ反転／整列部との間に設けられ、ウェーハを一
時的に待機させるウェーハ待機ステージをさらに含む。
に、本発明の一態様によれば、複数のウェーハが積載さ
れたウェーハ積載カセットと、ウェーハ積載カセットに
隣接して設けられ、ウェーハを移送するウェーハ移送ア
ームと、ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェ
ーハを反転するウェーハ反転／整列部と、ウェーハ反転
／整列部に隣り合って設けられるものの、ウェーハ移送
アームに隣接して設けられ、ウェーハの裏面を検査する
ウェーハ検査部と、を含むことを特徴とするウェーハ裏
面検査装置を提供する。また、ウェーハ積載カセットと
ウェーハ反転／整列部との間に設けられ、ウェーハを一
時的に待機させるウェーハ待機ステージをさらに含む。
【０００９】また、本発明の他の態様によれば、ウェー
ハ反転／整列部は、ウェーハを保持し整列するウェーハ
テーブルと、ウェーハテーブルに搭載されたウェーハを
把持した後、ウェーハテーブルに対してウェーハを変位
させ反転する反転機とを含む。
ハ反転／整列部は、ウェーハを保持し整列するウェーハ
テーブルと、ウェーハテーブルに搭載されたウェーハを
把持した後、ウェーハテーブルに対してウェーハを変位
させ反転する反転機とを含む。
【００１０】ウェーハテーブルは、テーブル胴体と、テ
ーブル胴体の上部にウェーハを載置させて回転する面を
有する回転板と、回転板に載置されたウェーハに形成さ
れた所定の放射方向を感知するセンサとを含み、テーブ
ル胴体は、ウェーハの所定の放射方向を感知するセンサ
に対応して回転板の回転位置を固定する。センサは、ウ
ェーハの外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッ
チを感知する。
ーブル胴体の上部にウェーハを載置させて回転する面を
有する回転板と、回転板に載置されたウェーハに形成さ
れた所定の放射方向を感知するセンサとを含み、テーブ
ル胴体は、ウェーハの所定の放射方向を感知するセンサ
に対応して回転板の回転位置を固定する。センサは、ウ
ェーハの外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッ
チを感知する。
【００１１】また、本発明のさらに他の態様によれば、
反転機は、ウェーハの外周を把持する把持部と、一側が
把持部に連結され、把持部及び把持部に連結されたウェ
ーハを回転して裏返す反転アームと、反転アームの他側
に連結され、ウェーハテーブルに対して反転アームを変
位させる移送ガイドと、を含む。移送ガイドは、ウェー
ハテーブルに対して把持部の回転半径以上の高さに把持
部の位置を上下移動させる。
反転機は、ウェーハの外周を把持する把持部と、一側が
把持部に連結され、把持部及び把持部に連結されたウェ
ーハを回転して裏返す反転アームと、反転アームの他側
に連結され、ウェーハテーブルに対して反転アームを変
位させる移送ガイドと、を含む。移送ガイドは、ウェー
ハテーブルに対して把持部の回転半径以上の高さに把持
部の位置を上下移動させる。
【００１２】また、本発明のさらに他の態様によれば、
ウェーハ検査部は、ウェーハを搭載するウェーハステー
ジと、ウェーハステージに搭載されたウェーハの裏面を
検査する検査モジュールと、を含む。検査モジュール
は、照準線がウェーハ表面ステージに対して傾斜するよ
うに設けられる検査カメラと、検査カメラに隣り合って
設けられ、検査カメラの焦点を合せるフォーカスカメラ
と、検査カメラとフォーカスカメラとの間に設けられ、
ウェーハの表面をモニターするモニターカメラと、を含
む。
ウェーハ検査部は、ウェーハを搭載するウェーハステー
ジと、ウェーハステージに搭載されたウェーハの裏面を
検査する検査モジュールと、を含む。検査モジュール
は、照準線がウェーハ表面ステージに対して傾斜するよ
うに設けられる検査カメラと、検査カメラに隣り合って
設けられ、検査カメラの焦点を合せるフォーカスカメラ
と、検査カメラとフォーカスカメラとの間に設けられ、
ウェーハの表面をモニターするモニターカメラと、を含
む。
【００１３】また、本発明のウェーハ裏面検査方法によ
れば、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを取り出
す段階と、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハをウ
ェーハ反転／整列部に移送する段階と、ウェーハ反転／
整列部に移送された第１ウェーハを、裏面が上向きにな
るように反転する段階と、反転後、第１ウェーハをウェ
ーハ検査部に移送する段階と、ウェーハ検査部を使用し
て第１ウェーハの裏面を検査する段階と、を含むことが
できる。
れば、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを取り出
す段階と、ウェーハ積載カセットから第１ウェーハをウ
ェーハ反転／整列部に移送する段階と、ウェーハ反転／
整列部に移送された第１ウェーハを、裏面が上向きにな
るように反転する段階と、反転後、第１ウェーハをウェ
ーハ検査部に移送する段階と、ウェーハ検査部を使用し
て第１ウェーハの裏面を検査する段階と、を含むことが
できる。
【００１４】検査後、第１ウェーハをウェーハ反転／整
列部に移送する段階と、ウェーハ反転／整列部に再移送
された第１ウェーハを、裏面が下向きになるように再反
転する段階と、をさらに含むことができる。
列部に移送する段階と、ウェーハ反転／整列部に再移送
された第１ウェーハを、裏面が下向きになるように再反
転する段階と、をさらに含むことができる。
【００１５】また、検査結果を分析する段階と、検査結
果の分析に基づいて第１ウェーハを分類する段階とをさ
らに含むことができる。
果の分析に基づいて第１ウェーハを分類する段階とをさ
らに含むことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して本発
明の実施例をより詳細に説明する。
明の実施例をより詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明の実施例によるウェーハ裏
面検査装置１００を示す斜視図である。図１を参照すれ
ば、ウェーハ裏面検査装置１００は、ウェーハ移送アー
ム２０を基準にしてほぼ同様の距離をもって一側にウェ
ーハ積載カセット１０と不良ウェーハ積載カセット６０
が配置され、他側にウェーハ反転／整列部３０とウェー
ハ検査部４０が互いに隣り合うように設けられ、ウェー
ハ積載カセット１０とウェーハ反転／整列部３０との間
にウェーハ待機ステージ５０が設けられた構造を有す
る。ウェーハ積載カセット１０及び不良ウェーハ積載カ
セット６０は、積載カセット保持台７０に載置されて固
定される。
面検査装置１００を示す斜視図である。図１を参照すれ
ば、ウェーハ裏面検査装置１００は、ウェーハ移送アー
ム２０を基準にしてほぼ同様の距離をもって一側にウェ
ーハ積載カセット１０と不良ウェーハ積載カセット６０
が配置され、他側にウェーハ反転／整列部３０とウェー
ハ検査部４０が互いに隣り合うように設けられ、ウェー
ハ積載カセット１０とウェーハ反転／整列部３０との間
にウェーハ待機ステージ５０が設けられた構造を有す
る。ウェーハ積載カセット１０及び不良ウェーハ積載カ
セット６０は、積載カセット保持台７０に載置されて固
定される。
【００１８】ウェーハ移送アーム２０は、ウェーハ裏面
検査装置１００においてウェーハ移送を担当する手段で
あり、前後左右及び上下に移動しながらウェーハを所望
の位置に移送する。したがって、ウェーハ移送アーム２
０を中心にしてほぼ同様の距離をもってウェーハ検査装
置１００の各部分が設けられる。
検査装置１００においてウェーハ移送を担当する手段で
あり、前後左右及び上下に移動しながらウェーハを所望
の位置に移送する。したがって、ウェーハ移送アーム２
０を中心にしてほぼ同様の距離をもってウェーハ検査装
置１００の各部分が設けられる。
【００１９】ウェーハ積載カセット１０には、ウェーハ
加工工程が完了したウェーハが積載されている。この
際、ウェーハ積載カセット１０に積載されたウェーハ
は、集積回路が設けられた面が上向きになるように積載
されている。本発明の実施例では、ウェーハ積載カセッ
ト１０に、ウェーハ裏面検査工程が完了したウェーハの
うち良品と判定されたウェーハがさらに積載される。
加工工程が完了したウェーハが積載されている。この
際、ウェーハ積載カセット１０に積載されたウェーハ
は、集積回路が設けられた面が上向きになるように積載
されている。本発明の実施例では、ウェーハ積載カセッ
ト１０に、ウェーハ裏面検査工程が完了したウェーハの
うち良品と判定されたウェーハがさらに積載される。
【００２０】ウェーハ反転／整列部３０は、図３及び図
４に示されたように、ウェーハ移送アーム２０によりウ
ェーハ積載カセット１０から移送されたウェーハを裏返
した後、整列させる部分であり、ウェーハテーブル３２
と反転機３４とで構成される。
４に示されたように、ウェーハ移送アーム２０によりウ
ェーハ積載カセット１０から移送されたウェーハを裏返
した後、整列させる部分であり、ウェーハテーブル３２
と反転機３４とで構成される。
【００２１】ウェーハテーブル３２は、ウェーハ移送ア
ーム２０により移送されたウェーハを真空吸着し固定
し、吸着されたウェーハを反転させて整列させる。ウェ
ーハテーブル３２は、テーブル胴体３９と、テーブル胴
体３９の上部から所定の高さに突出し、ウェーハ移送ア
ーム２０により移送されるウェーハより小さな直径を有
する回転板３６であって、ウェーハ移送アーム２０によ
り移送されたウェーハを真空吸着し固定し、ウェーハを
所定の速度で回転させる回転板３６と、回転板３６に移
送されるウェーハの外周に対応する前記テーブル胴体３
９の上部に設けられ、ウェーハに形成されたフラットゾ
ーン（ｆｌａｔ ｚｏｎｅ）またはノッチ（ｎｏｔｃ
ｈ）を感知しウェーハを整列するセンサ（図５の３８）
とを含む。
ーム２０により移送されたウェーハを真空吸着し固定
し、吸着されたウェーハを反転させて整列させる。ウェ
ーハテーブル３２は、テーブル胴体３９と、テーブル胴
体３９の上部から所定の高さに突出し、ウェーハ移送ア
ーム２０により移送されるウェーハより小さな直径を有
する回転板３６であって、ウェーハ移送アーム２０によ
り移送されたウェーハを真空吸着し固定し、ウェーハを
所定の速度で回転させる回転板３６と、回転板３６に移
送されるウェーハの外周に対応する前記テーブル胴体３
９の上部に設けられ、ウェーハに形成されたフラットゾ
ーン（ｆｌａｔ ｚｏｎｅ）またはノッチ（ｎｏｔｃ
ｈ）を感知しウェーハを整列するセンサ（図５の３８）
とを含む。
【００２２】反転機３４は、ウェーハテーブル３２に搭
載されたウェーハを把持した後、所定の高さにピックア
ップして裏返す手段であり、移送ガイド３５、反転アー
ム３３及び把持部３１で構成される。移送ガイド３５
は、上下に長くガイド穴３７が形成され、反転アーム３
３の上下移動を案内する。反転アーム３３は、一側がガ
イド穴３７を介して移送ガイド３５に連結されており、
他側には、半分に切られたリング形態の把持部３１が設
けられた構造を有する。
載されたウェーハを把持した後、所定の高さにピックア
ップして裏返す手段であり、移送ガイド３５、反転アー
ム３３及び把持部３１で構成される。移送ガイド３５
は、上下に長くガイド穴３７が形成され、反転アーム３
３の上下移動を案内する。反転アーム３３は、一側がガ
イド穴３７を介して移送ガイド３５に連結されており、
他側には、半分に切られたリング形態の把持部３１が設
けられた構造を有する。
【００２３】把持部３１は、ウェーハテーブル３２上に
搭載されたウェーハの外周を把持する手段であり、反転
機３４の他側を軸にして拡縮する。すなわち、ウェーハ
テーブルの回転板３６にウェーハが搭載されると、把持
部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、ウェーハの外
周を把持する。ウェーハを把持した把持部３１は、移送
ガイド３５に沿って所定の高さ、例えば、把持部３１が
形成された半径よりも高く上昇した後、反転アーム３３
はウェーハを裏返す。次いで、把持部３１は、さらに、
移送ガイド３５に沿って下降し、ウェーハをウェーハテ
ーブルの回転板３６に搭載させ、回転板３６は、ウェー
ハを真空吸着した後、ウェーハを回動しして、ウェーハ
の外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッチをセ
ンサ（図５の３８）が確認し、位置を整列する。
搭載されたウェーハの外周を把持する手段であり、反転
機３４の他側を軸にして拡縮する。すなわち、ウェーハ
テーブルの回転板３６にウェーハが搭載されると、把持
部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、ウェーハの外
周を把持する。ウェーハを把持した把持部３１は、移送
ガイド３５に沿って所定の高さ、例えば、把持部３１が
形成された半径よりも高く上昇した後、反転アーム３３
はウェーハを裏返す。次いで、把持部３１は、さらに、
移送ガイド３５に沿って下降し、ウェーハをウェーハテ
ーブルの回転板３６に搭載させ、回転板３６は、ウェー
ハを真空吸着した後、ウェーハを回動しして、ウェーハ
の外周縁に形成されたフラットゾーンまたはノッチをセ
ンサ（図５の３８）が確認し、位置を整列する。
【００２４】ウェーハ検査部４０は、図１及び図９に示
されるように、反転及び整列工程が完了したウェーハの
裏面を検査する部分であり、ウェーハステージ４２と検
査モジュール４４とで構成される。
されるように、反転及び整列工程が完了したウェーハの
裏面を検査する部分であり、ウェーハステージ４２と検
査モジュール４４とで構成される。
【００２５】ウェーハステージ４２は、ウェーハ移送ア
ーム２０によりウェーハ反転／整列部３０から移送され
た反転／整列されたウェーハを吸着し、ウェーハステー
ジ４２上部に固設された検査モジュール４４がウェーハ
裏面を検査できるように、ウェーハを前後左右に移動さ
せる。この際、ウェーハステージ４２の下部には、ウェ
ーハステージ４２が前後左右に移動できるように案内す
る移動レール４６が設けられている。
ーム２０によりウェーハ反転／整列部３０から移送され
た反転／整列されたウェーハを吸着し、ウェーハステー
ジ４２上部に固設された検査モジュール４４がウェーハ
裏面を検査できるように、ウェーハを前後左右に移動さ
せる。この際、ウェーハステージ４２の下部には、ウェ
ーハステージ４２が前後左右に移動できるように案内す
る移動レール４６が設けられている。
【００２６】検査モジュール４４は、ウェーハステージ
４２に吸着されたウェーハ裏面に対して所定の角度で傾
斜するように設けられる検査カメラ４１と、検査カメラ
４１に隣り合って設けられ、検査カメラ４１の焦点を合
わせるフォーカスカメラ（図示せず）と、検査カメラ４
１及びフォーカスカメラの間に設けられ、検査されてい
るウェーハの裏面部分を示すモニターカメラ４５とを含
む。検査カメラ４１で獲得した映像情報は、ウェーハ裏
面検査装置１００の制御機（図示せず）に伝送され、制
御機は、伝送された映像情報を分析し、ウェーハ裏面の
汚染、クラック及びスクラッチなどを検出し、ウェーハ
の良否を判別する。
４２に吸着されたウェーハ裏面に対して所定の角度で傾
斜するように設けられる検査カメラ４１と、検査カメラ
４１に隣り合って設けられ、検査カメラ４１の焦点を合
わせるフォーカスカメラ（図示せず）と、検査カメラ４
１及びフォーカスカメラの間に設けられ、検査されてい
るウェーハの裏面部分を示すモニターカメラ４５とを含
む。検査カメラ４１で獲得した映像情報は、ウェーハ裏
面検査装置１００の制御機（図示せず）に伝送され、制
御機は、伝送された映像情報を分析し、ウェーハ裏面の
汚染、クラック及びスクラッチなどを検出し、ウェーハ
の良否を判別する。
【００２７】ウェーハ待機ステージ５０は、図１に示さ
れるように、ウェーハ検査部４０により検査が完了した
ウェーハを、ウェーハ反転／整列部３０で元位置に返す
前に、一時的に待機するステージであり、ウェーハ裏面
検査工程が連続的になされるようにする。詳細な説明
は、ウェーハ裏面検査方法と関連して後述する。
れるように、ウェーハ検査部４０により検査が完了した
ウェーハを、ウェーハ反転／整列部３０で元位置に返す
前に、一時的に待機するステージであり、ウェーハ裏面
検査工程が連続的になされるようにする。詳細な説明
は、ウェーハ裏面検査方法と関連して後述する。
【００２８】そして、ウェーハ裏面検査で良品と判定さ
れたウェーハは、さらにウェーハ積載カセット１０に積
載されるものの、不良と処理されたウェーハは、不良ウ
ェーハ積載カセット６０に積載される。もちろん、不良
ウェーハ積載カセット６０とウェーハ積載カセット１０
は、同じ構造を有する。なお、本発明の実施例では、良
品と判定されたウェーハをウェーハ積載カセット１０に
さらに積載したが、良品のウェーハを別途に積載できる
良品ウェーハ積載カセットを配設してもよい。
れたウェーハは、さらにウェーハ積載カセット１０に積
載されるものの、不良と処理されたウェーハは、不良ウ
ェーハ積載カセット６０に積載される。もちろん、不良
ウェーハ積載カセット６０とウェーハ積載カセット１０
は、同じ構造を有する。なお、本発明の実施例では、良
品と判定されたウェーハをウェーハ積載カセット１０に
さらに積載したが、良品のウェーハを別途に積載できる
良品ウェーハ積載カセットを配設してもよい。
【００２９】前述した本発明の実施例によるウェーハ裏
面検査装置１００を用いたウェーハ裏面検査方法につい
て説明する。図２は、図１のウェーハ裏面検査装置を用
いたウェーハ裏面検査方法による工程流れ図（８０）で
ある。この際、連続的に実行されるウェーハ裏面検査工
程を説明するために、投入されるウェーハの順序にした
がって第１ウェーハ、第２ウェーハ、第３ウェーハと呼
ぶ。
面検査装置１００を用いたウェーハ裏面検査方法につい
て説明する。図２は、図１のウェーハ裏面検査装置を用
いたウェーハ裏面検査方法による工程流れ図（８０）で
ある。この際、連続的に実行されるウェーハ裏面検査工
程を説明するために、投入されるウェーハの順序にした
がって第１ウェーハ、第２ウェーハ、第３ウェーハと呼
ぶ。
【００３０】図１及び図２を参照すれば、ウェーハ裏面
検査工程は、ウェーハ加工工程が完了したウェーハが積
載されたウェーハ積載カセット１０がウェーハ裏面検査
装置１００に提供される段階から出発する（ステップ８
１）。ウェーハ積載カセット１０に積載されたウェーハ
は、集積回路が設けられた面が上向きになるように積載
されている。
検査工程は、ウェーハ加工工程が完了したウェーハが積
載されたウェーハ積載カセット１０がウェーハ裏面検査
装置１００に提供される段階から出発する（ステップ８
１）。ウェーハ積載カセット１０に積載されたウェーハ
は、集積回路が設けられた面が上向きになるように積載
されている。
【００３１】次に、図３に示されるように、第１ウェー
ハ１３がウェーハ反転／整列部３０に移送される（図２
の８２）。ウェーハ積載カセット１０から第１ウェーハ
１３がウェーハ移送アーム２０によりウェーハ反転／整
列部３０のウェーハテーブル３２に移送されて搭載され
る。
ハ１３がウェーハ反転／整列部３０に移送される（図２
の８２）。ウェーハ積載カセット１０から第１ウェーハ
１３がウェーハ移送アーム２０によりウェーハ反転／整
列部３０のウェーハテーブル３２に移送されて搭載され
る。
【００３２】次に、第１ウェーハ１３を裏返す段階が実
行される（図２のステップ８３）。図４を参照すれば、
ウェーハテーブル３２に第１ウェーハ１３が搭載されれ
ば、ウェーハテーブル１３の上部に位置した把持部３１
が移送ガイド３５に沿って下降し、第１ウェーハ１３の
外周を把持する。引き続いて、図５及び図６に示される
ように、第１ウェーハ１３を把持した把持部３１が移送
ガイド３５に沿って所定の高さに上昇した後、反転アー
ム３３が第１ウェーハ１３を把持した把持部３１を１８
０度回転させて、第１ウェーハ１３の裏面が上向きにな
るように第１ウェーハ１３を裏返す。次に、図７に示さ
れるように、反転された第１ウェーハ１３を把持した把
持部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、第１ウェー
ハ１３をウェーハテーブル３２上に搭載させる。最後
に、把持部３１は、第１ウェーハ１３の外周から分離さ
れ、元の位置に復帰する。
行される（図２のステップ８３）。図４を参照すれば、
ウェーハテーブル３２に第１ウェーハ１３が搭載されれ
ば、ウェーハテーブル１３の上部に位置した把持部３１
が移送ガイド３５に沿って下降し、第１ウェーハ１３の
外周を把持する。引き続いて、図５及び図６に示される
ように、第１ウェーハ１３を把持した把持部３１が移送
ガイド３５に沿って所定の高さに上昇した後、反転アー
ム３３が第１ウェーハ１３を把持した把持部３１を１８
０度回転させて、第１ウェーハ１３の裏面が上向きにな
るように第１ウェーハ１３を裏返す。次に、図７に示さ
れるように、反転された第１ウェーハ１３を把持した把
持部３１が移送ガイド３５に沿って下降し、第１ウェー
ハ１３をウェーハテーブル３２上に搭載させる。最後
に、把持部３１は、第１ウェーハ１３の外周から分離さ
れ、元の位置に復帰する。
【００３３】次に、図８に示されるように、第１ウェー
ハ１３を整列する段階が実行される（図２の８４）。反
転された第１ウェーハ１３が搭載されれば、ウェーハテ
ーブルの回転板３６が第１ウェーハ１３の前面を真空吸
着し固定する。次に、回転板３６が第１ウェーハ１３を
所定の速度で回転させながら第１ウェーハ１３の外周縁
に形成されたフラットゾーンまたはノッチ１４をセンサ
３８が確認し、第１ウェーハ１３の位置を整列するよう
になる。通常、８インチ以下のウェーハの場合、ウェー
ハの外周縁の一側にフラットゾーンが形成され、１２イ
ンチウェーハの場合、ウェーハの外周縁にノッチが形成
されている。本発明の実施例では、第１ウェーハ１３の
外周縁にノッチ１４が形成されている。
ハ１３を整列する段階が実行される（図２の８４）。反
転された第１ウェーハ１３が搭載されれば、ウェーハテ
ーブルの回転板３６が第１ウェーハ１３の前面を真空吸
着し固定する。次に、回転板３６が第１ウェーハ１３を
所定の速度で回転させながら第１ウェーハ１３の外周縁
に形成されたフラットゾーンまたはノッチ１４をセンサ
３８が確認し、第１ウェーハ１３の位置を整列するよう
になる。通常、８インチ以下のウェーハの場合、ウェー
ハの外周縁の一側にフラットゾーンが形成され、１２イ
ンチウェーハの場合、ウェーハの外周縁にノッチが形成
されている。本発明の実施例では、第１ウェーハ１３の
外周縁にノッチ１４が形成されている。
【００３４】次に、図９に示されるように、第１ウェー
ハ１３の裏面を検査する段階が実行される（図２の８
５）。すなわち、反転／整列工程が完了した第１ウェー
ハ１３を、ウェーハ移送アームがウェーハテーブルから
ウェーハ検査部４０のウェーハステージ４２に移送す
る。ウェーハステージ４２は、第１ウェーハ１３の前面
を真空吸着し固定する。そして、検査モジュール４４
は、移動レール４６に沿って前後左右に移動する第１ウ
ェーハ１３の裏面を撮影した映像情報を制御機に伝送
し、制御機は、伝送された映像情報を分析し、第１ウェ
ーハ１３裏面の汚染、クラック及びスクラッチなどを検
出し、第１ウェーハ１３の良否を判別する。
ハ１３の裏面を検査する段階が実行される（図２の８
５）。すなわち、反転／整列工程が完了した第１ウェー
ハ１３を、ウェーハ移送アームがウェーハテーブルから
ウェーハ検査部４０のウェーハステージ４２に移送す
る。ウェーハステージ４２は、第１ウェーハ１３の前面
を真空吸着し固定する。そして、検査モジュール４４
は、移動レール４６に沿って前後左右に移動する第１ウ
ェーハ１３の裏面を撮影した映像情報を制御機に伝送
し、制御機は、伝送された映像情報を分析し、第１ウェ
ーハ１３裏面の汚染、クラック及びスクラッチなどを検
出し、第１ウェーハ１３の良否を判別する。
【００３５】一方、第１ウェーハ１３の裏面を検査する
間、図３に示されるように、ウェーハ積載カセット１０
から第２ウェーハがウェーハ移送アーム２０によりウェ
ーハ反転／整列部３０に移送され（図２の８６）、第２
ウェーハに対する反転及び整列段階を実行した後、ウェ
ーハ反転／整列部３０で待機する。すなわち、第１ウェ
ーハ１３の裏面を検査する間、ウェーハ反転／整列部３
０は待機状態にあり、第１ウェーハ１３の裏面を検査す
る間ならば、第２ウェーハに対する反転及び整列段階を
実行する充分な時間があるため、第１ウェーハ１３の裏
面を検査する間、第２ウェーハに対する反転及び整列段
階を実行することによって、ウェーハ裏面検査装置の効
率を最大化できる。
間、図３に示されるように、ウェーハ積載カセット１０
から第２ウェーハがウェーハ移送アーム２０によりウェ
ーハ反転／整列部３０に移送され（図２の８６）、第２
ウェーハに対する反転及び整列段階を実行した後、ウェ
ーハ反転／整列部３０で待機する。すなわち、第１ウェ
ーハ１３の裏面を検査する間、ウェーハ反転／整列部３
０は待機状態にあり、第１ウェーハ１３の裏面を検査す
る間ならば、第２ウェーハに対する反転及び整列段階を
実行する充分な時間があるため、第１ウェーハ１３の裏
面を検査する間、第２ウェーハに対する反転及び整列段
階を実行することによって、ウェーハ裏面検査装置の効
率を最大化できる。
【００３６】例えば、第１ウェーハ１３の裏面を検査す
る時間は、検査精密度によって若干の差異はあるが、１
分乃至２分程度かかるが、ウェーハ積載カセット１０か
らウェーハをウェーハ反転／整列部３０に移送して反転
／整列段階まで実行するには、数秒乃至数十秒で充分で
ある。
る時間は、検査精密度によって若干の差異はあるが、１
分乃至２分程度かかるが、ウェーハ積載カセット１０か
らウェーハをウェーハ反転／整列部３０に移送して反転
／整列段階まで実行するには、数秒乃至数十秒で充分で
ある。
【００３７】次に、図１に示されるように、第１ウェー
ハに対する裏面検査段階が完了すれば、ウェーハ移送ア
ーム２０は、第１ウェーハをウェーハ待機ステージ５０
に移送させた後（図２のステップ８７）、第２ウェーハ
をウェーハ反転／整列部３０からウェーハ検査部４０に
移送する。
ハに対する裏面検査段階が完了すれば、ウェーハ移送ア
ーム２０は、第１ウェーハをウェーハ待機ステージ５０
に移送させた後（図２のステップ８７）、第２ウェーハ
をウェーハ反転／整列部３０からウェーハ検査部４０に
移送する。
【００３８】次いで、第２ウェーハに対する裏面検査段
階が実行される間、第１ウェーハをウェーハ待機ステー
ジ５０からウェーハ反転／整列部３０に移送して再反転
させる段階（図２の８８）と、第１ウェーハをウェーハ
裏面検査結果によって分類する段階（図２の８９）及び
ウェーハ積載カセット１０から第３ウェーハをウェーハ
反転／整列部３０に移送して（図２の９０）、第３ウェ
ーハに対する反転及び整列段階を実行する。
階が実行される間、第１ウェーハをウェーハ待機ステー
ジ５０からウェーハ反転／整列部３０に移送して再反転
させる段階（図２の８８）と、第１ウェーハをウェーハ
裏面検査結果によって分類する段階（図２の８９）及び
ウェーハ積載カセット１０から第３ウェーハをウェーハ
反転／整列部３０に移送して（図２の９０）、第３ウェ
ーハに対する反転及び整列段階を実行する。
【００３９】すなわち、ウェーハ裏面検査段階が完了し
た第１ウェーハは、裏面が上向きになっているので、第
１ウェーハに対する分類作業を実行する前に、第１ウェ
ーハの表面が上向きになるように再反転する段階が実行
される。再反転させる段階は、図４ないし図７に図示さ
れた反転させる段階と同様に実行されるため、詳細な説
明は省略する。
た第１ウェーハは、裏面が上向きになっているので、第
１ウェーハに対する分類作業を実行する前に、第１ウェ
ーハの表面が上向きになるように再反転する段階が実行
される。再反転させる段階は、図４ないし図７に図示さ
れた反転させる段階と同様に実行されるため、詳細な説
明は省略する。
【００４０】第１ウェーハに対する裏面検査結果が良品
と判定された場合には、第１ウェーハは、ウェーハ積載
カセット１０にさらに積載されるが、反対に、不良と判
定された場合には、ウェーハ積載カセット１０の側方に
設置された不良ウェーハ積載カセット６０に積載され
る。次に、第３ウェーハは、ウェーハ反転／整列部３０
に移送されて反転及び整列段階が実行された後、第２ウ
ェーハがウェーハ待機ステージ５０に移送されるまでウ
ェーハ反転／整列部３０で待機する。この際、ウェーハ
の裏面を検査する時間は、１分乃至２分程度で、第１ウ
ェーハに対する再反転及び分類段階と、第３ウェーハに
対する反転及び整列段階を実行する時間は、数十秒以内
で実行できるため、第２ウェーハの裏面を検査する間
に、第１ウェーハに対する再反転及び分類段階と、第３
ウェーハに対する反転及び整列段階を十分に実行でき
る。
と判定された場合には、第１ウェーハは、ウェーハ積載
カセット１０にさらに積載されるが、反対に、不良と判
定された場合には、ウェーハ積載カセット１０の側方に
設置された不良ウェーハ積載カセット６０に積載され
る。次に、第３ウェーハは、ウェーハ反転／整列部３０
に移送されて反転及び整列段階が実行された後、第２ウ
ェーハがウェーハ待機ステージ５０に移送されるまでウ
ェーハ反転／整列部３０で待機する。この際、ウェーハ
の裏面を検査する時間は、１分乃至２分程度で、第１ウ
ェーハに対する再反転及び分類段階と、第３ウェーハに
対する反転及び整列段階を実行する時間は、数十秒以内
で実行できるため、第２ウェーハの裏面を検査する間
に、第１ウェーハに対する再反転及び分類段階と、第３
ウェーハに対する反転及び整列段階を十分に実行でき
る。
【００４１】したがって、ウェーハ検査部で第ｎ＋１ウ
ェーハに対する裏面検査段階が実行される間、第ｎウェ
ーハに対する再反転及び分類段階と、第ｎ＋２ウェーハ
に対する反転及び整列段階を順に実行することによっ
て、ウェーハ裏面検査工程を連続的に実行できる（ｎ：
自然数）。もちろん、第ｎウェーハは、反転、分類及び
裏面検査段階が完了したウェーハであり、第ｎ＋１ウェ
ーハは、反転及び分類段階が完了したウェーハである。
ェーハに対する裏面検査段階が実行される間、第ｎウェ
ーハに対する再反転及び分類段階と、第ｎ＋２ウェーハ
に対する反転及び整列段階を順に実行することによっ
て、ウェーハ裏面検査工程を連続的に実行できる（ｎ：
自然数）。もちろん、第ｎウェーハは、反転、分類及び
裏面検査段階が完了したウェーハであり、第ｎ＋１ウェ
ーハは、反転及び分類段階が完了したウェーハである。
【００４２】ここで、ウェーハ待機ステージ５０は、単
に裏面検査段階が完了したウェーハが待機するステージ
であるが、本発明の実施例によるウェーハ検査装置１０
０において、各工程が有機的で且つ連続的に行われるよ
うにする構成要素であることが分かる。すなわち、ウェ
ーハ待機ステージがない場合、ウェーハ検査装置内での
第１ウェーハに対する分類段階が完了するまで次のウェ
ーハに対する工程を予め実行することはできない。例え
ば、ウェーハ待機ステージがない状態で、前述したよう
に、第１ウェーハに対する裏面検査を実行する間、第２
ウェーハをウェーハ反転／整列部に移送させてウェーハ
反転／整列部に待機させることはできるが、第１ウェー
ハに対する裏面検査を完了した後、再反転させる工程を
ウェーハ反転／整列部で実行しなければならない。しか
し、ウェーハ反転／整列部に第２ウェーハが待機してい
るから、工程をこれ以上実行できないことが容易に分か
る。
に裏面検査段階が完了したウェーハが待機するステージ
であるが、本発明の実施例によるウェーハ検査装置１０
０において、各工程が有機的で且つ連続的に行われるよ
うにする構成要素であることが分かる。すなわち、ウェ
ーハ待機ステージがない場合、ウェーハ検査装置内での
第１ウェーハに対する分類段階が完了するまで次のウェ
ーハに対する工程を予め実行することはできない。例え
ば、ウェーハ待機ステージがない状態で、前述したよう
に、第１ウェーハに対する裏面検査を実行する間、第２
ウェーハをウェーハ反転／整列部に移送させてウェーハ
反転／整列部に待機させることはできるが、第１ウェー
ハに対する裏面検査を完了した後、再反転させる工程を
ウェーハ反転／整列部で実行しなければならない。しか
し、ウェーハ反転／整列部に第２ウェーハが待機してい
るから、工程をこれ以上実行できないことが容易に分か
る。
【００４３】本発明は、本発明の技術的思想から逸脱す
ることなく、他の種々の形態で実施することができる。
前述の実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明ら
かにするものであって、そのような具体例のみに限定し
て狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と
特許請求の範囲内で、いろいろと変更して実施すること
ができるものである。
ることなく、他の種々の形態で実施することができる。
前述の実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明ら
かにするものであって、そのような具体例のみに限定し
て狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と
特許請求の範囲内で、いろいろと変更して実施すること
ができるものである。
【００４４】
【発明の効果】従って、本発明によるウェーハ裏面検査
装置を用いてウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッ
チなどを自動的に検査できる。
装置を用いてウェーハ裏面の汚染、クラック、スクラッ
チなどを自動的に検査できる。
【００４５】また、ウェーハ検査部で第ｎ＋１ウェーハ
に対する裏面検査段階が実行される間、第ｎウェーハに
対する再反転及び分類段階と、第ｎ＋２ウェーハに対す
る反転及び整列段階を順に実行することによって、ウェ
ーハ裏面検査を連続的に実行できるという利点がある。
に対する裏面検査段階が実行される間、第ｎウェーハに
対する再反転及び分類段階と、第ｎ＋２ウェーハに対す
る反転及び整列段階を順に実行することによって、ウェ
ーハ裏面検査を連続的に実行できるという利点がある。
【００４６】さらに、ウェーハ裏面検査装置を利用する
ことによって、ウェーハ裏面検査からの情報を収集し、
特に不良が検出されたウェーハの不良部位を分析して、
全工程にフィードバックする作業を容易に実行でき、収
集及び分析した情報のデータベース化も可能である。
ことによって、ウェーハ裏面検査からの情報を収集し、
特に不良が検出されたウェーハの不良部位を分析して、
全工程にフィードバックする作業を容易に実行でき、収
集及び分析した情報のデータベース化も可能である。
【図１】 本発明の実施例によるウェーハ裏面検査装置
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】 図１のウェーハ裏面検査装置を用いたウェー
ハ裏面検査方法による工程流れ図。
ハ裏面検査方法による工程流れ図。
【図３】 ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図４】 ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図５】 ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図６】 ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図７】 ウェーハ裏面検査装置のウェーハ反転／整列
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
部がウェーハを反転する段階を示す斜視図。
【図８】 ウェーハ反転／整列部が反転されたウェーハ
を整列する段階を示す平面図。
を整列する段階を示す平面図。
【図９】 ウェーハ裏面検査装置のウェーハ検査部によ
りウェーハ裏面に対する検査が実行される段階を示す斜
視図。
りウェーハ裏面に対する検査が実行される段階を示す斜
視図。
１０ ウェーハ積載カセット
２０ ウェーハ移送アーム
３０ ウェーハ反転／整列部
３１ 把持部
３２ ウェーハテーブル
３３ 反転アーム
３４ 反転機
３５ 移送ガイド
３６ 回転板
３８ センサ
４０ ウェーハ検査部
４２ ウェーハステージ
４４ 検査モジュール
５０ ウェーハ待機ステージ
６０ 不良ウェーハ積載カセット
７０ 積載カセット保持台
１００ ウェーハ裏面検査装置
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 丁 起權
大韓民国忠清南道天安市新芳洞（番地な
し） 現代デューレアパート202棟1202號
Ｆターム(参考） 2G051 AA51 AB02 CA04 DA03 DA07
DA08
4M106 AA01 BA10 CA38 DB30
5F031 CA02 DA01 FA01 FA07 FA11
FA12 FA15 FA20 GA08 GA10
GA15 HA57 HA59 JA34 JA35
KA06 KA13 KA14 MA33
Claims (29)
- 【請求項１】 複数のウェーハが積載されたウェーハ積
載カセットと、 前記ウェーハ積載カセットに隣接して設けられ、ウェー
ハを移送するウェーハ移送アームと、 前記ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、ウェーハ
を反転するウェーハ反転／整列部と、 前記ウェーハ反転／整列部に隣り合って設けられるもの
の、前記ウェーハ移送アームに隣接して設けられ、前記
ウェーハの裏面を検査するウェーハ検査部と、を含むこ
とを特徴とするウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項２】 前記ウェーハ積載カセットと前記ウェー
ハ反転／整列部との間に設けられ、ウェーハを一時的に
待機させるウェーハ待機ステージをさらに含むことを特
徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項３】 前記ウェーハ反転／整列部は、ウェーハ
を整列することを特徴とする請求項１に記載のウェーハ
裏面検査装置。 - 【請求項４】 前記ウェーハ移送アームは、少なくとも
ウェーハカセット、ウェーハ反転／整列部及びウェーハ
検査部からなる群のうち２要素間でウェーハを移送する
ことを特徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装
置。 - 【請求項５】 前記ウェーハ反転／整列部は、ウェーハ
を保持し整列するウェーハテーブルと、 前記ウェーハテーブルに搭載されたウェーハを把持した
後、ウェーハテーブルに対してウェーハを変位させ反転
する反転機と、を含むことを特徴とする請求項３に記載
のウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項６】 前記ウェーハテーブルは、 テーブル胴体と、 前記テーブル胴体の上部にウェーハを載置させて回転す
る面を有する回転板と、 前記回転板に載置されたウェーハに形成された所定の放
射方向を感知するセンサと、を含み、 前記テーブル胴体は、ウェーハの所定の放射方向を感知
するセンサに対応して前記回転板の回転位置を固定する
ことを特徴とする請求項５に記載のウェーハ裏面検査装
置。 - 【請求項７】 前記センサは、ウェーハの外周縁に形成
されたフラットゾーンまたはノッチを感知することを特
徴とする請求項６に記載のウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項８】 前記テーブル胴体は、ウェーハ表面と直
角をなす軸を中心にして前記回転板を選択的に回転でき
ることを特徴とする請求項６に記載のウェーハ裏面検査
装置。 - 【請求項９】 前記反転機は、 前記ウェーハの外周を把持する把持部と、 一側が前記把持部に連結され、前記把持部及び前記把持
部に連結されたウェーハを回転して裏返す反転アーム
と、 前記反転アームの他側に連結され、前記ウェーハテーブ
ルに対して反転アームを変位させる移送ガイドと、を含
むことを特徴とする請求項６に記載のウェーハ裏面検査
装置。 - 【請求項１０】 前記移送ガイドは、前記ウェーハテー
ブルに対して前記把持部の回転半径以上の高さに前記把
持部の位置を上下移動させることを特徴とする請求項９
に記載のウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項１１】 前記ウェーハ検査部は、 ウェーハを搭載するウェーハステージと、 前記ウェーハステージに搭載されたウェーハの裏面を検
査する検査モジュールと、を含むことを特徴とする請求
項１に記載のウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項１２】 前記検査モジュールは、 照準線が前記ウェーハ表面ステージに対して傾斜するよ
うに設けられる検査カメラと、 前記検査カメラに隣り合って設けられ、前記検査カメラ
の焦点を合せるフォーカスカメラと、 前記検査カメラとフォーカスカメラとの間に設けられ、
ウェーハの表面をモニターするモニターカメラと、を含
むことを特徴とする請求項１１に記載のウェーハ裏面検
査装置。 - 【請求項１３】 前記検査カメラは、照準線が前記ウェ
ーハの表面に向くように設けられ、その傾斜は、鋭角を
なすことを特徴とする請求項１２に記載のウェーハ裏面
検査装置。 - 【請求項１４】 前記ウェーハ積載カセットに隣接して
設けられ、裏面検査時に不良処理されたウェーハが積載
される不良ウェーハ積載カセットをさらに含むことを特
徴とする請求項１に記載のウェーハ裏面検査装置。 - 【請求項１５】 ウェーハ積載カセットから第１ウェー
ハを取り出す段階と、 前記ウェーハ積載カセットから第１ウェーハを前記ウェ
ーハ反転／整列部に移送する段階と、 前記ウェーハ反転／整列部に移送された第１ウェーハ
を、裏面が上向きになるように反転する段階と、 反転後、前記第１ウェーハを前記ウェーハ検査部に移送
する段階と、 前記ウェーハ検査部を使用して前記第１ウェーハの裏面
を検査する段階と、を含むことを特徴とするウェーハ裏
面検査方法。 - 【請求項１６】 検査後、前記第１ウェーハを前記ウェ
ーハ反転／整列部に移送する段階と、 前記ウェーハ反転／整列部に再移送された第１ウェーハ
を、裏面が下向きになるように再反転する段階と、をさ
らに含むことを特徴とする請求項１５に記載のウェーハ
裏面検査方法。 - 【請求項１７】 前記検査結果を分析する段階と、 前記検査結果の分析に基づいて第１ウェーハを分類する
段階とをさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載
のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項１８】 前記分類段階は、 再反転段階後に実行されることを特徴とする請求項１７
に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項１９】 前記第１ウェーハを取り出す段階は、
前記ウェーハカセットの複数のウェーハ位置のうち１位
置からウェーハを取り出す段階を含むことを特徴とする
請求項１５に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２０】 前記移送及び反転段階は、 ウェーハ移送アームを用いて、ウェーハ積載カセットか
ら第１ウェーハを供給され、前記第１ウェーハをウェー
ハ反転／整列部のウェーハテーブルに移送する段階と、 把持部を使用して、前記ウェーハテーブルに移送された
第１ウェーハの外周を把持する段階と、 前記把持部及び把持部に把持された第１ウェーハを、ウ
ェーハテーブルに対して変位する段階と、 前記把持部を回転して第１ウェーハを裏返す段階と、 裏返しになった前記第１ウェーハをウェーハテーブルに
載置させる段階と、を含むことを特徴とする請求項１５
に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２１】 変位する段階は、前記把持部を上向き
移動させる段階を含むことを特徴とする請求項２０に記
載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２２】 前記第１ウェーハをウェーハテーブル
に整列させる段階をさらに含むことを特徴とする請求項
２０に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２３】 前記整列段階は、前記第１ウェーハの
表示を所定の放射位置に位置させる段階を含むことを特
徴とする請求項２２に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２４】 前記整列段階は、前記第１ウェーハの
外周縁に形成されたフラットゾーン又はノッチを感知し
て確認する段階を含むことを特徴とする請求項２２に記
載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２５】 前記第１ウェーハの裏面を検査する
間、 ウェーハ積載カセットから第２ウェーハを取り出す段階
と、 前記第２ウェーハをウェーハ反転／整列部に移送する段
階と、 前記第２ウェーハの裏面が上向きになるように反転する
段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項１７に記
載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２６】 前記第１ウェーハをウェーハ検査部か
らウェーハ待機ステージに移送する段階をさらに含み、
第１ウェーハを再反転する前に一時的に待機することを
特徴とする請求項２５に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２７】 前記第１ウェーハをウェーハ待機ステ
ージに待機させる間、第２ウェーハをウェーハ反転／整
列部からウェーハ検査部に移送する段階と、 前記ウェーハ検査部を使用して前記第２ウェーハの裏面
を検査する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求
項２６に記載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２８】 前記第２ウェーハを検査する間、第３
ウェーハをウェーハ積載カセットからウェーハ反転／整
列部に移送する段階と、 前記第３ウェーハの裏面が上向きになるように反転する
段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項２７に記
載のウェーハ裏面検査方法。 - 【請求項２９】 前記第１ウェーハを分類する段階は、
第２ウェーハを検査する間に実行されることを特徴とす
る請求項２８に記載のウェーハ裏面検査方法。
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