JP2003244712A - 撮像装置及びシステム - Google Patents
撮像装置及びシステムInfo
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Abstract
うにする。 【解決手段】 被写体からの光信号を電気信号に変換す
る光電変換領域を備えた画素のいくつかに、色分解フィ
ルタを形成した撮像装置であって、前記色分解フィルタ
を形成した画素からの電気信号に基づいて画像を形成
し、前記色分解フィルタを形成していない画素からの電
気信号に基づいて焦点検出を行うことを特徴とする。
Description
テムに関し、特に、デジタルカメラ、デジタルビデオカ
メラ、デジタルスチルカメラ等の撮像装置及びシステム
に関する。
置は、カラーの画像を得るために、2次元に配列された
画素と、被写体からの光を画素に集める撮像レンズとの
間にカラーフィルタが配列されている。
略図である。ここでは、いわゆるベイヤ配列を示してい
る。R,G,Bは、それぞれ赤色透過フィルタ、緑色透
過フィルタ、青色透過フィルタである。
タが配列された撮像装置からの信号を用いて、撮像だけ
でなく、焦点検出も行っている。
めのイメージセンサについて説明する。
方式の焦点検出を行う方法の原理説明図、図13はイメ
ージセンサの1画素の断面図である。
結像面に配置されている。また、イメージセンサ10の
1画素は2つの光電変換部101α、101βとから構
成されており、各光電変換部の撮影レンズ側に形成され
たマイクロレンズ130によって光電変換部101α、
101βは撮影レンズ5の瞳と略結像関係になるように
設定されている。
5の瞳の図中上方を透過する光束Lαを受光し、光電変
換部101βは撮影レンズ5の瞳の図中下方を透過する
光束Lβを受光する。焦点検出時は、光電変換部101
α及び光電変換部101βの光電荷を転送ゲート120
α及び120βを介して異なるタイミングでフローティ
ングディフュージョン部121に個別に出力し、イメー
ジセンサ10の外部に読み出す。さらに複数の画素の各
光電変換部からの出力より撮影レンズの異なる瞳位置を
透過した光束による像が生成される。
より生成される像を用いて焦点検出を行う方法は特開平
5−127074号公報等により公知の技術である。
光電変換部101βの光電荷は転送ゲート120α及び
120βを同時にONすることにより、同じタイミング
でフローティングディフュージョン部121へ出力をさ
れ、画素内で加算して出力するように構成されている。
は、カラーの画像を得るために、カラーフィルタが配列
されているため、各画素から出力される信号のレベル
は、カラーフィルタが配列されていない場合に比して低
くなる。具体的には約1/3になる。
を工夫して、撮像と焦点検出との双方を都合よく行える
ようにすることを第1の課題とする。
それを構成するすべての画素が図13に示すように1画
素内が2つ光電変換部に分割された構造を有しており、
2つの光電変換部に対して1つのフローティングディフ
ュージョン部で光電荷出力の転送を行わなければならな
いため、2つの光電変換部の光電荷を個別に出力する際
は通常の2倍の読み出し時間が必要となる。
ンズの焦点状態を検出する場合、2つの光電変換部の出
力を個別に読み出す必要があるが、2つの光電変換部の
光電荷を異なるタイミングで読み出すと特に動いている
被写体においてはその時間差によって2つの光電変換部
により生成される画像が異なってきて2つの像の一致度
が低下して焦点検出精度を低下させていた。
いない画素のフローティングディフュージョン部を2つ
の光電変換部に分割された画素の光電変換部から離れた
位置に配置したり、また非分割画素と分割画素にわたっ
て引き回した構造にすると、光電荷の転送効率の低下を
もたらしたり、フローティングディフュージョン部の容
量が大きくしてS/Nの低下を招いていた。本発明は、
回路構成を工夫することにより、撮像と焦点検出との双
方を都合よく行えるようにすることを第2の課題とす
る。
に、本発明は、被写体からの光信号を電気信号に変換す
る光電変換領域を備えた画素のいくつかに、色分解フィ
ルタを形成した撮像装置であって、前記色分解フィルタ
を形成した画素からの電気信号に基づいて画像を形成
し、前記色分解フィルタを形成していない画素からの電
気信号に基づいて焦点検出を行うことを特徴とする。
換部からの信号と前記第2の光電変換部からの信号とを
増幅する第1の増幅手段と、前記第1の光電変換部から
の信号を前記第1の増幅手段に転送する第1の転送スイ
ッチと、前記第2の光電変換部からの信号を前記第1の
増幅手段に転送する第2の転送スイッチと、前記第2の
光電変換部からの信号を増幅する第2の増幅手段と、前
記第2の光電変換部からの信号を前記第2の増幅手段へ
転送する第3の転送スイッチと、前記第1の光電変換部
からの信号と前記第2の光電変換部からの信号とを前記
第1の増幅手段の入力部で加算して出力する第1のモー
ドと、前記第1の光電変換部からの信号を前記第1の増
幅手段から出力し、前記第2の光電変換部からの信号を
前記第2の増幅手段より出力する第2のモードとを制御
する制御手段とを有することを特徴とする。
装置と、前記撮像装置からの電気信号を読み出して画像
を形成する画像形成装置とを備えることを特徴とする。
図面を用いて説明する。
のデジタルスチルカメラ1の模式的な構成図である。図
1に示すデジタルスチルカメラ1は、被写体からの光を
集める凸レンズ5a,凹レンズ5b及び絞り手段53を
有する撮影レンズ5と、絞り手段53を所定の絞り値に
絞り込む絞り駆動手段52と、撮影レンズ5を動かす撮
影レンズ駆動手段51と、レンズ駆動手段51,絞り駆
動手段52の動作を制御するレンズCPU50と、撮影
レンズ5の予定結像面に配置されているイメージセンサ
10と、イメージセンサ10の駆動を制御するイメージ
センサ制御回路21と、イメージセンサ10からの画像
信号を処理する画像処理回路24と、画像処理回路24
で処理された画像を表示する液晶表示素子9と、液晶表
示素子9を駆動する液晶表示素子駆動回路25と、液晶
表示素子9に表示された被写体像を視るための接眼レン
ズ3、イメージセンサ10からの画像信号を記録するメ
モリ回路22と、画像処理回路24で処理された画像を
デジタルスチルカメラ1の外部に出力するためのインタ
ーフェイス回路23と、イメージセンサ制御回路21,
メモリ回路22,インターフェイス回路23,画像処理
回路24,51の動作を制御すると共に焦点検出のため
の演算を行うCPU20と、CPU20からレンズCP
U50へ送られる焦点調節情報を中継する電気接点部2
6とを備えている。
を便宜上図示しているが、実際は多数枚のレンズで構成
されている。また、メモリ回路22には撮影レンズ5の
固有情報(開放F値、射出窓情報等)も記憶しており、
撮影レンズ5はデジタルスチルカメラ本体1に対して着
脱可能としている。
を示す平面図である。図2には、8行8列の画素を配列
した様子を示しているが、実際には、用途に応じた数の
画素が配列されている。「R」「G」「B」は各画素の
カラーフィルタの色相、赤、緑、青を示している。カラ
ーフィルタの光の透過率は、約30%である。また、同
一の色相の画素は千鳥状に配列しており、撮影画像の解
像感を向上させている。
する画素の光電変換部は2分割させている。このような
画素の光電変換部の面積は、非分割画素の光電変換部の
面積の例えば半分以下としている。このため、画素の全
てが光電変換部を分割してない撮像装置に比して、S/
N比が相対的に低下するが、光電変換部を分割させた画
素には無色透明のカラーフィルタ「W」を形成すること
により入射光の利用効率を上昇させS/N比の低下を最
小限にしている。
電変換部の分割方向と平行な方向(図2では行方向)に
それぞれ画素を配列している。
している。ベイヤ配列との違いは、「G」が少ない点で
ある。このため、通常画像の撮影時は「R」「G」
「B」の画素出力で色差信号を生成し、カラーフィルタ
が形成されていない画素の画素出力で輝度信号を生成し
ている。
よく、またベイヤ配列と異なる他の配列に近い配列とし
てもよい。
電変換部の分割方向が直交するような構成にして、例え
ば柵のように方向性のある被写体に依存しない良好な焦
点検出できるようにしてもよい。
の画素(0,0),(0,4)の拡大図である。画素
(0,0),(0,4)は、図示しているように画素
(0,0)の光電変換部の面積を、画素(0,4)の光
電変換部の面積よりも大きくしている。
の幅Wα0,Wβ0を、画素(4,0)の光電変換部の
幅Wα4,Wβ4より狭くし、画素(0,0)の光電変
換部相互の間隔W0を、画素(4,0)の光電変換部相
互の間隔W4よりも広くしている。
変換部の面積を変えているのは、測光の精度を高めるた
めである。したがって、測光の精度を必要としない撮像
装置では、これらの面積を同じにしてよい。
(1,1)の光電変換部の面積を等しくしているが、R
GBの出力レベルの差に応じて変えてもよい。なお、光
電変換部の面積とは、画素の開口率で決まる実質的に光
電変換が行われる光電変換領域の面積のことを意味す
る。
する焦点検出光束を示す図である。各光電変換部は撮影
レンズ5の瞳のほぼ全領域の光束を受光できるようにな
っているため、開放F値の大きい小口径の撮影レンズに
おいても焦点検出が可能である。
する際は、光電変換部の分割方向と同一の方向に配設さ
れている画素の2分割された光電変換部の各出力が独立
して読み出される。2つの光電変換部からの出力をそれ
ぞれ独立して読み出す方法については後述する。
(a),図3(b)の画素(0,0),(0,4)から
焦点検出用に読み出した信号のレベルを示す図である。
光束による像Iα、Iβの像ずれ量δ1から撮影レンズ
5のデフォーカス量が算出されるのは公知の技術で、デ
フォーカス量defは例えば def=K1×δ1 という式で算出される。
逆数に相当するパラメータで、デフォーカス量に対する
像ずれ量δの敏感度を表している。撮影レンズ5の開放
F値が小さくデフォーカス量が大きい場合、図6(b)
のように被写体像はボケが大きくコントラストの低いも
のになる。
(0,0)は光電変換部の分割方向の幅Wα0,Wβ0
が狭く、また2つの光電変換部の分割方向の間隔W0が
広いので、画素(0,4)の位置に配設された画素の光
電変換部の幅と間隔とを比較すると、 Wα0(=Wβ0)<Wα4(=Wβ4) W0>W4 を満足するようにしている。
光する焦点検出光束を示したのが図6(a)である。各
光電変換部は撮影レンズ5の瞳の一部の光束のみを受光
できるようになっている。
合にも、図6(a)のように被写体像はボケが小さくコ
ントラストの高いものが得られる。そのため、像Iα、
Iβの相関演算を行い算出される像ずれ量δ2の精度は
高い。このときのデフォーカス量defは def=K2×δ2 として算出される。ここで、三角測量における基線長の
逆数に相当するパラメータK2は K1>K2 の関係にあり、同じデフォーカス量でも焦点検出像I
α、Iβの像ずれ量δ2が大きいため、焦点検出像I
α、Iβによって得られる焦点検出結果は精度の高いも
のとなる。
0)の断面図である。図10において、117はP型ウ
ェル、118はMOSのゲート絶縁膜であるSiO2膜
である。126α0〜126γ0は表面P+層であり、n
層125α0〜125γ0と共に光電変換部101α0〜
101γ0を構成している。
101α0〜101γ0に蓄積された光電荷をFD部12
1α0,121γ0へ転送するための転送ゲートである。
はマイクロレンズで、マイクロレンズ130は撮影レン
ズ5の瞳とイメージセンサ10の光電変換部101α0
〜101γ0とが共役になるような形状及び位置に形成
されている。
0を挟んで、光電変換部101α0,101β0がそれぞ
れ形成されており、更に各光電変換部101α0,10
1β0で発生した光電荷は、それぞれ転送ゲート120
α0、120β0’を介して転送される。
γ0は光電変換部101γ0,光電変換部101β0の間
に形成されており、更に各光電変換部101γ0,10
1β0で発生した光電荷は、それぞれ転送ゲート120
γ0、120β0を介して転送される。
β0’は、同じ制御パルスΦTXγ0で制御されるように
構成されている。そして、光電変換部101β0の光電
荷は制御パルスΦTXβ0及びΦTXγ0のハイ/ロー状
態で、FD部121α0,121γ0に選択的に転送され
る。
回路構成図である。なお、図7には、説明の都合上
(0,0)、(1,0)、(0,1)、(1,1)の4
画素分を示している。
10の転送ゲート120α0〜120γ0を含む転送スイ
ッチMOSトランジスタ、104はFD部121α0,
121γ0等を所定電位にリセットするリセット用MO
Sトランジスタ、105は転送スイッチMOSトランジ
スタ103α0〜103γ0によって転送された電荷に基
づく増幅信号を得るための増幅手段であるソースフォロ
ワアンプMOSトランジスタ、106はソースフォロワ
アンプMOSトランジスタ105で得られる増幅信号の
読出対象の画素を選択する水平選択スイッチMOSトラ
ンジスタ、107はソースフォロワアンプMOSトラン
ジスタ105と共にソースフォロワを構成する負荷MO
Sトランジスタ、108α0,108β0は画素の暗出力
を転送する暗出力転送MOSトランジスタ、109
α0,109β0は画素の明出力を転送する明出力転送M
OSトランジスタ、110α0,110β0は暗出力転送
MOSトランジスタ108α0,108β0によって転送
された暗出力を蓄積する暗出力蓄積容量、111α0,
111β0は明出力転送MOSトランジスタ109α0,
109β0によって転送された明出力を蓄積する明出力
蓄積容量、112α0,112β0は暗出力蓄積容量11
0α0,110β0及び明出力蓄積容量111α0,11
1β0に蓄積されている各出力を水平出力線へ転送する
水平転送MOSトランジスタ、113は水平出力線を所
定電位にリセットする水平出力線リセットMOSトラン
ジスタ、114は水平出力線相互に転送された信号の差
分を増幅して出力する差動出力アンプで、115は水平
転送MOSトランジスタ112α0,112β0のオン/
オフを制御する水平走査回路、116は転送スイッチM
OSトランジスタ103α0〜103γ0等のオン/オフ
を制御する垂直走査回路である。
チルカメラ1の動作の概要を示すフローチャートであ
る。
チルカメラ1のメインスイッチをオンすると(S30
1)、CPU20は、撮影レンズ5の焦点検出のための
演算を行う。
10の出力を用いて行われる。撮影レンズ5の瞳の異な
る領域を透過した光束による像を用いて撮影レンズの焦
点状態を検出する方法は、例えば特開2001−124
984号公報に記載されている手法を用いている(S3
02)。
レンズ5のデフォーカス量が算出されると、撮影レンズ
5の駆動量が算出される。CPU20は、この算出結果
に基づいてレンズCPU50を介して撮影レンズ駆動手
段51にレンズ駆動信号を送る。撮影レンズ駆動手段5
1は、レンズ駆動信号に従って撮影レンズ5を合焦状態
に設定するために駆動する (S303)。
PU20はイメージセンサ制御回路21を通じてイメー
ジセンサ10に撮像を行わせる(S304)。
は、画像処理回路24でA/D変換された後に画像処理
が行われる。このとき、イメージセンサ10からの出力
信号に基づいて色再現のために所定の画像処理が行われ
る。
接眼レンズ3を通して被写体像を観察できるようにする
ために、液晶表示素子駆動回路25に従って液晶表示素
子9に表示される(S305)。
の操作スイッチSW2がオンされると(S306)、CP
U20はイメージセンサ制御回路21に制御信号を送っ
てイメージセンサ10によって本撮像を行う(S30
7)。
る輝度調整を含む画像処理が施されて生成された画像
は、液晶表示素子駆動回路25に送られ液晶表示素子9
に表示される(S308)。
は、そのままデジタルスチルカメラ1のメモリ回路22
に記憶される(S309)。
チをオフすると(S310)、デジタルスチルカメラ1の
電源が落ちる。
素からの電荷だけを読み出すようにすればよい。電荷を
読み出すラインは、撮像レンズ5の集光特性などを考慮
してイメージセンサ10の中央部付近とすることが好ま
しい。
の動作を示すタイミングチャートである。図9(a)に
は、通常の撮像を行う際の第0ラインのタイミングチャ
ートである。図9(b)には、焦点検出用画像を読み出
す際の第0ラインのタイミングチャートを示している。
(1,0)では光電変換部101α0,101β0で変換
された電荷が同時にFD部121α0に転送され、FD
部121α0で加算されてから読み出される。このと
き、同時に画素(2,0)では光電変換部101γ0で
変換された電荷がFD部121γ0に転送され読み出さ
れる。
について説明する。まず、垂直走査回路116からのタ
イミング出力によって、制御パルスΦS0をハイレベル
に切り換えて、水平選択スイッチMOSトランジスタ1
06をオンして、第0ラインの画素部を選択する。
り換えて、FD部121α0,121γ0のリセットを止
めFD部121α0,121γ0をフローティング状態と
し、ソースフォロワアンプMOSトランジスタ105の
ゲート・ソース間をスルーとしてから、所定時間後に、
制御パルスΦTNを一時的にハイレベルに切り換えて、
FD部121α0,121γ0の暗電圧をソースフォロワ
動作で暗出力蓄積容量110α0,110β0に出力す
る。
01α0〜101γ0からの電荷の出力を行うため、制御
パルスΦTXα0,ΦTXγ0を一時的にハイレベルに切
り換えて、転送スイッチMOSトランジスタ103
α0,103β0’及び103γ0を導通する。
β0で変換された電荷はFD部121α0に転送され、光
電変換部101γ0で変換された電荷はFD部121γ0
に転送される。
荷がFD部121α0に転送されることにより、FD部
121α0の電位が光に応じて変化することになる。こ
のときソースフォロワアンプMOSトランジスタ105
がフローティング状態であるので、FD部121α0,
121γ0の電位を、制御パルスΦTSを一時的にハイ
レベルに切り換えることによって明出力蓄積容量111
α0,111β0に出力する。
0)、(1,0)の暗出力及び明出力はそれぞれ暗出力
蓄積容量110α0,110β0及び明出力蓄積容量11
1α0,111β0に蓄積されており、更に制御パルスΦ
HCを一時的にハイレベルに切り換えて、水平出力線リ
セットMOSトランジスタ113を導通して水平出力線
をリセットする。
路115からの水平転送MOSトランジスタ112
α0,112β0への走査タイミング信号により、水平出
力線に画素(0,0)、(1,0)の暗出力と光出力と
が出力される。
10β0及び明出力蓄積容量111α 0,111β0から
の信号を差動増幅器114によって差動増幅して出力V
outするため、画素のランダムノイズ、固定パターン
ノイズを除去したS/Nのよい信号が得られる。
切り換え、制御パルスΦS0をローレベルに切り換え
て、第0ラインの画素の選択を終了する。
々に、次のラインの画素からの電荷の読み出しを行うこ
とにより、イメージセンサ10の全画素からの信号を出
力する。この出力は、画像処理回路24によって信号処
理が行われ、液晶表示素子9に表示され、またメモリ回
路22に画像が記憶される。
と、光電変換部101α0,101β0のそれぞれの出力
から得られる2つの画像の相関演算を行い、2つの画像
の像ずれ量から撮影レンズ5の焦点状態を検出する。
読み出さないようにする。そして、光電変換部101β
0の出力は画素(1,0)から出力されるようにする。
出時の動作について説明する。まず、垂直走査回路11
6からのタイミング出力によって、制御パルスΦS0を
ハイレベルに切り換えて、水平選択スイッチMOSトラ
ンジスタ106をオンして、第0ラインの画素部を選択
する。
り換えて、FD部121α0,121γ0のリセットを止
めFD部121α0,121γ0をフローティング状態と
し、ソースフォロワアンプMOSトランジスタ105の
ゲート・ソース間をスルーとしてから、所定時間後に、
制御パルスΦTNを一時的にハイレベルに切り換えて、
FD部121α0,121γ0の暗電圧をソースフォロワ
動作で暗出力蓄積容量110に出力する。
ハイレベルに切り換えて、転送スイッチMOSトランジ
スタ103α0,103β0を導通し、光電変換部101
α0,101β0で変換された電荷をFD部121α0,
121γ0に同時に転送する。
あるため、光電変換部101γ0の光電荷はFD部12
1γ0には転送されない。
れた電荷がFD部121α0,121β0で変換されたに
転送されることにより、FD部121α0,121β0の
電位が光に応じて変化することになる。このときソース
フォロワアンプMOSトランジスタ105がフローティ
ング状態であるので、FD部121α0,121β0の電
位を、制御パルスΦTSを一時的にハイレベルに切り換
えることによって明出力蓄積容量111α0,111β0
に出力する。
0)、(1,0)の暗出力及び明出力はそれぞれ暗出力
蓄積容量110α0,110β0及び明出力蓄積容量11
1α0,111β0に蓄積されており、更に制御パルスΦ
HCを一時的にハイレベルに切り換えて、水平出力線リ
セットMOSトランジスタ113を導通して水平出力線
をリセットする。
路115からの水平転送MOSトランジスタ112
α0,112β0への走査タイミング信号により、水平出
力線に画素(0,0)、(1,0)の暗出力と光出力と
が出力される。
10β0及び明出力蓄積容量111α 0,111β0から
の信号を差動増幅器114によって差動増幅して出力V
outするため、画素のランダムノイズ、固定パターン
ノイズを除去したS/Nのよい信号が得られる。
切り換え、制御パルスΦS0をローレベルに切り換え
て、第0ラインの画素の選択を終了する。
20の演算によって、焦点検出用画像信号として整形さ
れ、相関演算処理を行った後に撮影レンズ5の焦点状態
が算出されることとなる。
撮像用の画素と焦点検出用の画素とを備えているので、
撮像と焦点検出との双方を都合よく行うことができる。
の模式的な構成図である。
である。
ある。
ローチャートである。
ある。
である。
タイミングチャートである。
る。
出を行う方法の原理説明図である。
Claims (11)
- 【請求項1】 被写体からの光信号を電気信号に変換す
る光電変換領域を備えた画素のいくつかに、色分解フィ
ルタを形成した撮像装置であって、 前記色分解フィルタを形成した画素からの電気信号に基
づいて画像を形成し、前記色分解フィルタを形成してい
ない画素からの電気信号に基づいて焦点検出を行うこと
を特徴とする撮像装置。 - 【請求項2】 前記色分解フィルタを形成していない画
素の光電変換領域は、複数の光電変換部を有することを
特徴とする請求項1記載の撮像装置。 - 【請求項3】 焦点検出の際に前記複数の光電変換部か
らの信号を互いに異なる転送部に出力し、 画像の撮像の際に前記複数の光電変換部からの出力を同
じ転送部に出力することを特徴とする請求項2記載の撮
像装置。 - 【請求項4】 色分解フィルタを形成していない画素の
光電変換領域は、互いに異なる大きさの光電変換領域を
有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項
記載の撮像装置。 - 【請求項5】 前記複数の光電変換部から選択的に電気
信号を出力することによって輝度調整を行うことを特徴
とする請求項2から4のいずれか1項記載の撮像装置。 - 【請求項6】 前記色分解フィルタを形成していない画
素側に前記電気信号の転送先のフローティングディフュ
ージョン領域を形成していることを特徴とする請求項1
から5のいずれか1項記載の撮像装置。 - 【請求項7】 前記各画素の形状は矩形又は六角形であ
ることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載
の撮像装置。 - 【請求項8】 前記色分解フィルタは、赤色透過フィル
タ、青色透過フィルタ、緑色透過フィルタの組合せであ
り、 赤色透過フィルタを形成した画素と青色透過フィルタを
形成した画素とを対角状に配列し、緑色透過フィルタを
形成した画素と前記色分解フィルタを形成していない画
素とを対角状に配列することを特徴とする請求項1から
7のいずれか1項記載の撮像装置。 - 【請求項9】 第1の光電変換部からの信号と前記第2
の光電変換部からの信号とを増幅する第1の増幅手段
と、 前記第1の光電変換部からの信号を前記第1の増幅手段
に転送する第1の転送スイッチと、前記第2の光電変換
部からの信号を前記第1の増幅手段に転送する第2の転
送スイッチと、 前記第2の光電変換部からの信号を増幅する第2の増幅
手段と、 前記第2の光電変換部からの信号を前記第2の増幅手段
へ転送する第3の転送スイッチと、 前記第1の光電変換部からの信号と前記第2の光電変換
部からの信号とを前記第1の増幅手段の入力部で加算し
て出力する第1のモードと、前記第1の光電変換部から
の信号を前記第1の増幅手段から出力し、前記第2の光
電変換部からの信号を前記第2の増幅手段より出力する
第2のモードとを制御する制御手段とを有することを特
徴とする撮像装置。 - 【請求項10】 前記第1のモードは、画像の撮像を行
うモードであり、前記第2のモードは、焦点検出を行う
モードであることを特徴とする請求項9記載の撮像装
置。 - 【請求項11】 請求項1から10のいずれか1項記載
の撮像装置と、前記撮像装置からの電気信号を読み出し
て画像を形成する画像形成装置とを備えることを特徴と
する撮像システム。
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