JP2003185406A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4600060B2 (ja) 2005-02-01 2010-12-15 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置
JP4400500B2 (ja) * 2005-04-06 2010-01-20 コニカミノルタオプト株式会社 位置検出器および位置決め装置
JP2007093287A (ja) * 2005-09-27 2007-04-12 Tietech Co Ltd リニアモータ
JP2007139862A (ja) * 2005-11-15 2007-06-07 Olympus Corp レンズ駆動機構
JP2008125229A (ja) 2006-11-10 2008-05-29 Olympus Corp 慣性駆動アクチュエータ
JP5230926B2 (ja) 2006-11-10 2013-07-10 オリンパス株式会社 慣性駆動アクチュエータ
JP4951318B2 (ja) * 2006-11-16 2012-06-13 ペンタックスリコーイメージング株式会社 移動装置
KR20080093882A (ko) 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093877A (ko) 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093880A (ko) 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080093885A (ko) 2007-04-18 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
KR20080094572A (ko) 2007-04-19 2008-10-23 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
US7956513B2 (en) 2007-04-20 2011-06-07 Mitsumi Electric Co., Ltd. Method of driving a driving device
US7759634B2 (en) 2007-04-24 2010-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy
JP2009022067A (ja) 2007-07-10 2009-01-29 Olympus Corp 慣性駆動アクチュエータ
EP2019439A3 (en) 2007-07-26 2011-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy
JP5171395B2 (ja) * 2007-07-31 2013-03-27 京セラ株式会社 ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置
EP2078981A1 (en) 2008-01-10 2009-07-15 Dialog Imaging Systems GmbH Lens positioning system
JP5155731B2 (ja) 2008-05-08 2013-03-06 オリンパス株式会社 慣性駆動アクチュエータ
JP5153457B2 (ja) * 2008-05-29 2013-02-27 京セラ株式会社 ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置
JP5522960B2 (ja) * 2009-03-17 2014-06-18 オリンパス株式会社 慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法、慣性駆動アクチュエータ装置及び移動体の位置算出方法
JP5522961B2 (ja) 2009-03-17 2014-06-18 オリンパス株式会社 慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法及び慣性駆動アクチュエータ装置
JP2010273439A (ja) * 2009-05-20 2010-12-02 Konica Minolta Opto Inc 振動型駆動装置
JP5337619B2 (ja) * 2009-08-05 2013-11-06 株式会社日立ハイテクノロジーズ 自動分析装置及び分注装置の制御方法
JP5355334B2 (ja) * 2009-10-05 2013-11-27 オリンパス株式会社 慣性駆動アクチュエータのキャリブレーション方法及び慣性駆動アクチュエータ装置
JP2021076530A (ja) 2019-11-12 2021-05-20 愛三工業株式会社 バルブ装置及びバルブ装置を搭載するシステム
CN113300563B (zh) * 2021-07-27 2021-11-19 基合半导体（宁波）有限公司 对焦马达、对焦马达的闭环控制方法及摄像设备
CN119666038A (zh) * 2024-12-09 2025-03-21 清华大学 转换电路、电子装置及操作方法

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