KR101524447B1

KR101524447B1 - 전기 기계 변환 소자, 진동 액추에이터, 진동 액추에이터의구동 장치, 렌즈 경통 및 카메라

Info

Publication number: KR101524447B1
Application number: KR1020080027936A
Authority: KR
Inventors: 도시카즈 모리오케
Original assignee: 가부시키가이샤 니콘
Priority date: 2007-03-30
Filing date: 2008-03-26
Publication date: 2015-06-01
Also published as: US20100201225A1; EP1976037A2; JP5343322B2; US8013494B2; US20080265714A1; EP1976037B1; EP1976037A3; JP2008253078A; KR20080089211A; US7732980B2

Abstract

(과제) 원하는 구동 특성을 얻기 쉬운 전기 기계 변환 소자, 진동 액추에이터, 진동 액추에이터의 구동 장치, 렌즈 경통 및 카메라를 제공한다.

(해결수단) 전기 기계 변환 소자 (12) 는 일정 방향으로 분극된 분극 부분 (121a) 을 갖는 압전체 (121) 와, 분극 부분 (121a) 이 연속된 1 개의 영역 (P) 의 표면에, 각각 분리되어 형성된 복수의 전극 (122-4, 122-5, 122-6) 을 구비한다.

렌즈 경통, 카메라, 전기 기계 변환 소자, 분극, 압전체

Description

전기 기계 변환 소자, 진동 액추에이터, 진동 액추에이터의 구동 장치, 렌즈 경통 및 카메라{ELECTROMECHANICAL CONVERSION DEVICE, VIBRATION ACTUATOR, DRIVING DEVICE OF VIBRATION ACTUATOR, LENS BARREL, AND CAMERA}

본 발명은 전기 기계 변환 소자, 진동 액추에이터, 진동 액추에이터의 구동 장치, 렌즈 경통 및 카메라에 관한 것이다.

특허 문헌 1 은, 외부 부착 콘덴서를 압전 소자에 접속함으로써 정전 용량치를 규정치에 맞추는 수법을 제안하고 있다.

그러나, 초음파 모터를 구동시키기 위한 압전 소자의 정전 용량치는, 일반적으로 정(正) 의 온도 계수를 갖고 (온도가 높아지면 높아질수록 정전 용량치가 증가한다는 것), 환경 온도 등에 따라 변동한다.

그 때문에, 압전 소자의 진동 특성도, 환경 온도 등의 변화에 수반하여 변화한다. 그 때문에, 예를 들어, 압전 소자를 렌즈 구동용 모터의 구동원으로서 사용한 경우에는, 원하는 구동 특성을 얻기 어려워질 가능성이 있었다.

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 평9-103082호

본 발명의 과제는, 원하는 구동 특성을 얻기 쉬운 전기 기계 변환 소자, 진동 액추에이터, 진동 액추에이터의 구동 장치, 렌즈 경통 및 카메라를 제공하는 것이다.

본 발명은 이하와 같은 해결 수단에 의해 상기 과제를 해결한다.

청구항 1 의 발명은, 일정 방향으로 분극된 분극 부분 (121a) 을 갖는 압전체 (121) 와, 상기 분극 부분 (121a) 이 연속된 1 개의 영역 (P) 의 표면에, 각각 분리되어 형성된 복수의 전극 (122-4, 122-5, 122-6) 을 구비한 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환 소자 (12) 이다.

청구항 2 의 발명은, 청구항 1 에 기재된 전기 기계 변환 소자 (12) 에 있어서, 상기 압전체 (121) 는, 원환 형상이며, 상기 복수의 전극 (122-4, 122-5, 122-6) 은, 상기 압전체 (121) 의 상기 영역 (P) 에 직경 방향 Y 로 구획하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환 소자 (12) 이다.

청구항 3 의 발명은, 청구항 2 에 기재된 전기 기계 변환 소자 (12) 에 있어서, 상기 복수의 전극은, 상기 원환 형상의 중심을 통과하는 선 (L) 에 대해 거의 대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환 소자 (12) 이다.

청구항 4 의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 전기 기계 변환 소자 (12) 에 있어서, 상기 복수의 전극 (122-4, 122-5, 122-6) 은, 각 각 독립적으로 구동 신호를 입력할 수 있도록 배선되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 기계 변환 소자 (12) 이다.

청구항 5 의 발명은, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 전기 기계 변환 소자 (12) 와, 상기 전기 기계 변환 소자 (12) 와 접촉하여 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자 (12) 의 구동에 의해 진동하는 탄성체 (13) 와, 상기 탄성체 (13) 의 상기 전기 기계 변환 소자 (12) 가 형성되는 부분과는 상이한 부분에 접촉하여 형성되고, 상기 진동에 의해 상기 탄성체 (13) 에 대해 상대 이동을 하는 상대 이동 부재 (15) 를 구비한 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터 (10) 이다.

청구항 6 의 발명은, 청구항 1 에 기재된 전기 기계 변환 소자와, 상기 전기 기계 변환 소자와 접촉하여 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자의 구동에 의해 진동하는 탄성체와, 상기 탄성체의 상기 전기 기계 변환 소자가 형성되는 부분과는 상이한 부분에 접촉하여 형성되고, 상기 진동에 의해 상기 탄성체에 대해 상대 이동을 하는 상대 이동 부재를 구비하고, 상기 복수의 전극은 상기 상대 이동 부재의 상대 이동 방향과 거의 직교하는 방향으로 구획하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터이다.

청구항 7 의 발명은, 전기 기계 변환 소자 (12) 의 전기적으로 독립된 복수의 전극 (122-4, 122-5, 122-6) 에 대응하여 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자 (12) 를 구동하는 구동 신호를 입력하는 복수의 배선부 (35-1) 와, 상기 복수의 배선부 (35-1) 에 대해 서로 독립적으로 상기 구동 신호를 공급할 수 있는 공급 제어부 (32, 33, 34A, 34B) 를 구비한 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장 치 (30) 이다.

청구항 8 의 발명은, 전기 기계 변환 소자 (12) 의 전기적으로 독립된 복수의 전극 (122-4, 122-5, 122-6) 에 대해 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자 (12) 를 구동하는 구동 신호를 입력하는 복수의 배선부 (35-1) 와, 상기 복수의 배선부 (35-1) 에 상기 구동 신호를 공급하는 구동 신호 발생부와, 상기 복수의 배선부의 각각에 대해, 상기 구동 신호를 공급할 지의 여부를 선택할 수 있는 공급 제어부 (32, 33, 34A, 34B) 를 구비한 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 9 의 발명은, 청구항 7 또는 청구항 8 에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 에 있어서, 온도를 검출하는 온도 검출부 (31) 를 구비하고, 상기 공급 제어부 (32) 는, 상기 온도 검출부 (31) 의 검출 결과에 따라 상기 구동 신호를 공급하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 10 의 발명은, 청구항 9 에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 에 있어서, 상기 온도 검출부 (31) 는, 상기 전기 기계 변환 소자 (12) 또는 그 부근의 온도를 검출하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 11 의 발명은, 청구항 9 또는 청구항 10 에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 에 있어서, 상기 공급 제어부 (32) 는, 상기 온도 검출부 (31) 의 검출 결과에 따라 온도가 높을 때에, 온도가 낮을 때와 비교하여 상기 구동 신호를 공급하는 상기 배선부 (35-1) 의 수를 감소시키는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 12 의 발명은, 청구항 7 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 에 있어서, 상기 복수의 전극은, 소정의 선 (L) 에 대해 거의 대칭으로 배치되어 있고, 상기 공급 제어부 (32) 는, 상기 소정의 선 (L) 에 대해 거의 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 상기 구동 신호를 공급하는 제어를 실시하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 13 의 발명은, 청구항 12 에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 에 있어서, 상기 공급 제어부 (32) 는, 상기 소정의 선 (L) 에 대해 거의 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 서로 위상이 상이한 상기 구동 신호를 공급하는 제어를 실시하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 14 의 발명은, 청구항 11 에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 에 있어서, 상기 복수의 전극은, 소정의 선 (L) 에 대해 거의 대칭으로 배치되어 있고, 상기 공급 제어부 (32) 는, 상기 구동 신호를 공급하는 상기 배선부 (35-1) 의 수를 감소시킬 때에는, 상기 소정의 선 (L) 에 대해 거의 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 대응하는 배선부 (35-1) 에 대한 상기 구동 신호의 공급을 정지시키는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 이다.

청구항 15 의 발명은, 청구항 5 또는 청구항 6 에 기재된 진동 액추에이터 (10) 와, 청구항 7 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 를 구비한 것을 특징으로 하는 렌즈 경통 (3) 이다.

청구항 16 의 발명은, 청구항 5 또는 청구항 6 에 기재된 진동 액추에이터 (10) 와, 청구항 7 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치 (30) 를 구비한 것을 특징으로 하는 카메라 (1) 이다.

또한, 본 발명을 알기 쉽게 설명하기 위해, 실시형태를 나타내는 도면의 부호에 대응시켜 설명했는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 후술하는 실시형태의 구성을 적절히 개량해도 되고, 또, 적어도 일부를 다른 구성물에 대체시켜도 된다. 또한, 그 배치에 대해 특별히 한정되지 않는 구성 요건은, 실시형태에서 개시한 배치에 한정되지 않고, 그 기능을 달성할 수 있는 위치에 배치할 수 있다.

본 발명에 의하면, 원하는 구동 특성을 얻기 쉬운 전기 기계 변환 소자, 진동 액추에이터, 진동 액추에이터의 구동 장치, 렌즈 경통 및 카메라를 제공할 수 있다.

이하, 도면 등을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 들어, 더욱 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 각 실시형태에서는, 초음파의 진동역을 이용한 초음파 모터를 예로 들어 설명한다.

(제 1 실시형태)

도 1 은, 제 1 실시형태의 카메라를 나타내는 도면이다.

본 실시형태의 카메라 (1) 는, 촬상 소자 (6) 를 갖는 카메라 보디 (2) 와, 렌즈 경통 (3) 을 구비한다. 렌즈 경통 (3) 은, 카메라 보디 (2) 에 착탈 가능한 교환 렌즈이다. 또한, 본 실시형태의 카메라 (1) 에서는, 렌즈 경통 (3) 이 교환 렌즈인 예를 나타냈는데, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 카메라 보디와 일체형의 렌즈 경통을 구비한 카메라이어도 된다.

렌즈 경통 (3) 은, 렌즈 (4) 와, 캠통 (5) 와, 초음파 모터 (10) 와, 초음파 모터의 구동 장치 (30) 를 구비한다. 본 실시형태에서는, 초음파 모터 (10) 는, 카메라 (1) 의 포커스 동작시에 렌즈 (4) 를 구동하는 구동원으로서 사용되어 있고, 초음파 모터 (10) 로부터 얻어진 구동력은 캠통 (5) 으로 전달된다. 렌즈 (4) 는, 캠통 (5) 에 걸어맞춰져 있고, 초음파 모터 (10) 의 구동력에 의해 캠통 (5) 이 회전하면, 렌즈 (4) 는, 캠통 (5) 과의 걸어맞춤에 의해 렌즈 (4) 의 광축 방향으로 이동하여, 초점 조절이 이루어진다.

도 2 는, 제 1 실시형태의 초음파 모터를 나타내는 단면도이다.

제 1 실시형태의 초음파 모터 (10) 는, 진동체 (스테이터)(11) 에 진동을 발생시켜 진동 에너지를 발생시키고, 이 진동 에너지를 출력으로 하여, 구동력을 얻는 장치이다.

초음파 모터 (10) 는, 압전 소자 (12) 와 탄성체 (13) 를 갖는 진동체 (11) 와, 탄성체 (13) 의 구동면에 가압 접촉되는 이동체 (로터)(15) 를 구비한다. 진동체 (11) 에 진동파가 발생함으로써, 진동체 (11) 와 이동체 (15) 는 상대 이동 을 하지만, 본 실시형태에서는, 진동체 (11) 측을 고정시키고, 이동체 (15) 가 진동체 (11) 에 대해 이동하는 구성으로 하고 있다.

진동체 (11) 는, 전기 에너지를 기계 에너지로 변환하는 전기-기계 변환 소자인 압전 소자 (12) 와, 압전 소자 (12) 를 접합한 탄성체 (13) 를 구비하고, 진동체 (11) 에는, 압전 소자 (12) 의 여진에 의해 진행성 진동파 (이하, 「진행파」라고 한다) 가 발생한다. 또한, 본 실시형태에서는, 전기-기계 변환 소자로서 압전 소자를 사용하는데, 전왜 소자 등을 사용해도 된다.

탄성체 (13) 는, 압전 소자 (12) 와 접촉하여 형성되고, 압전 소자 (12) 의 구동에 의해 진동하는 부재로서, 공진 첨예도가 큰 금속 재료로 구성된 원환 형상의 부재이다. 압전 소자 (12) 가 접합되는 반대면에는, 홈이 형성되어 있는 빗살부 (13b) 가 있고, 빗살부 (13b) 의 선단면 (홈이 없는 지점) 이 구동면이 되고, 이동체 (15) 에 가압 접촉된다. 홈을 형성하는 이유는, 진행파의 중립면을 가능한 한, 압전 소자 (12) 측에 접근시키고, 이로써, 구동면의 진행파 진폭을 증폭시키기 위함이다. 홈이 형성되어 있지 않은 베이스부 (13a) 에는, 홈측과는 반대면에 압전 소자 (12) 가 접합되어 있다. 이 탄성체 (13) 는, 그 구동면에 NiP 의 표면 처리가 이루어져 있다.

이 탄성체 (13) 는, 베이스부 (13a) 의 내주측에 플랜지부 (13c) 가 형성되고, 그 부분을 사용하여 고정 부재 (16)(16a, 16b) 에 고정되어 있다. 플랜지부 (13c) 는, 베이스부 (13a) 의 두께 방향의 중앙 부근에 위치하고 있다.

압전 소자 (12) 는, 원주 방향을 따라 2 개의 상 (A 상, B 상) 에 대응하는 부분으로 나누어져 있고, 각 상에 대응하는 부분에 있어서는, 둘레 방향의 소정의 길이별로 분극 방향이 교대인 요소가 나열되어 있다. 압전 소자 (12) 는, 각 상의 전극에 FPC (플렉시블 프린트 기판)(14) 가 접속되어 있고, FPC (14) 를 통하여, 압전 소자 (12) 를 여진시키기 위한 구동 신호가 입력된다.

이동체 (15) 는, 진동체 (11) 의 압전 소자 (12) 가 형성되는 부분과는 상이한 부분에 접촉하여 형성되고, 탄성체 (13) 의 진동에 의해 진동체 (11) 에 대해 상대 이동을 하는 부재이다. 이동체 (15) 는, 알루미늄 등의 경금속으로 구성되고, 진동체 (11) 와 접촉하는 슬라이딩면의 표면에는, 내마모성 향상을 위한 알루마이트 (alumilite) 의 표면 처리가 실시되어 있다.

출력축 (18) 은, 고무 부재 (17) 를 개재하여 이동체 (15) 에 결합되어 있고, 이동체 (15) 와 일체적으로 회전한다. 출력축 (18) 과 이동체 (15) 사이의 고무 부재 (17) 는, 고무에 의한 점착성에 의해 이동체 (15) 와 출력축 (18) 을 결합하는 기능과, 이동체 (15) 로부터의 진동을 출력축 (18) 으로 전달하지 않기 위한 진동 흡수의 기능을 가지고 있고, 부틸 고무 등이 사용된다.

가압 부재 (19) 는, 코일 스프링 등이고, 출력축 (18) 에 고정된 기어 부재 (20) 와, 베어링 수용 부재 (21) 의 사이에 형성되어 있다. 기어 부재 (20) 는, 출력축 (18) 의 D 컷에 끼우도록 삽입되고, E 클립 등의 스토퍼 (22) 로 고정되고, 회전 방향 및 축방향으로 출력축 (18) 과 일체가 되도록 되어 있다. 또, 베어링 수용 부재 (21) 는, 베어링 (23) 의 내경측에 삽입되고, 베어링 (23) 은, 고정 부재 (16a) 의 내경측에 삽입된 구조로 되어 있다. 이와 같은 구조 에 의해, 이동체 (15) 가 진동체 (11) 의 구동면에 가압 접촉하도록 되어 있다.

도 3 은 제 1 실시형태의 압전 소자 (12) 의 상세한 설명을 나타내는 도면으로서, 도 3(A) 는 압전 소자 (12) 의 평면도이며, 도 3(B) 는, 도 3(A) 의 B-B 선 을 따른 단면도이다.

압전 소자 (12) 는, 위상이 상이한 구동 신호가 입력되는 A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 를 구비하고, A 상 압전 소자 (12A) 와 B 상 압전 소자 (12B) 는, 원환 형상의 압전 소자 (12) 의 중심을 통과하는 선 (L) 을 기준으로 하여 거의 선대칭인 위치 관계에 있다. 압전 소자 (12) 에 형성되어 있는 복수의 전극 (122) 은, A 상 압전 소자 (12A), B 상 압전 소자 (12B) 의 각각의 부분에 형성된다. 그리고, 복수의 전극 (122) 은, 선 (L) 에 대해 거의 선대칭으로 배치되어 있다.

압전 소자 (12) 는, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 일정 방향으로 분극된 분극 부분 (121a)(분극 부분은 사선으로 나타나 있다) 을 갖는 압전체 (121) 와 분극 부분 (121a) 이 연속된 1 개의 영역 (P) 의 표면에, 각각 분리되고 또한 전기적으로 독립적으로 형성된 복수의 전극 (122-4 ∼ 122-6) 을 구비한다.

또, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 압전체 (12) 의 전극 (122-4 ∼ 122-6) 이 형성된 면과 반대측의 면에는, 전극 (123) 이 형성되어 있다. 전극 (123) 은, 직경 방향으로도 둘레 방향으로도 분리되지 않고, 압전체 (14) 의 면 전체에 걸쳐서 연속하여 형성되어 있다.

영역 (P) 는, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 거의 부채꼴 형상 (선형 형상 의 중심측 부분이 결여된 형상) 으로 이루어져 있고, 이 영역은 일정 방향 (예를 들어, 전극 (122-4 ∼ 122-6) 에서부터 전극 (123) 의 방향) 으로 분극되어 있다. 그리고, 그 이웃하는 대략 부채꼴 형상 부분은, 영역 (P) 와는 반대 방향으로 분극되어 있고, 이와 같은 상태가 둘레 방향 X 에서 교대로 연속되어 있다.

또, 압전체 (121) 는, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 원환 형상이며, 복수의 전극 (122-4 ∼ 122-6) 은, 압전체 (121) 의 분극 부분 (121a) 이 연속된 1 개의 영역 (P) 에 직경 방향 Y 로 구획 (분할) 되어 배치되어 있다.

또한, 압전 소자 (12) 전극 (122) 은, 직경 방향 Y 에서의 구획 (전극 (122-1, 122-2, 122-3) ; 전극 (122-4, 122-5, 122-6) ; 전극 (122-7, 122-8, 122-9) ; 전극 (122-10, 122-11, 122-12)) 에 추가하여, 둘레 방향 X 에서도 구획 (전극 (122-1, 122-4, 122-7, 122-10) ; 전극 (122-2, 122-5, 122-8, 122-11) ; 전극 (122-3, 122-6, 122-9, 122-12)) 되어 있다. 또한, A 상측의 전극도 동일한 구성이다.

또한, 둘레 방향 X 로 구획된 전극 (122) 에는, A 상측 FPC (14A-1 ∼ 14A-3), B 상측 FPC (14B-1 ∼ 14B-3) 가 각각 접속되어 있고 (예를 들어, 전극 (122-1, 122-4, 122-7, 122-10) 에는, B 상측 FPC (14B-1) 가 접속되어 있다), 둘레 방향 X 로 구획된 전극별로 각각 독립적으로 구동 신호를 입력할 수 있도록 배선되어 있다.

한편, 전극 (122-13) 은, 접지용의 전극이며, 전극 (122-13) 에는, 접지용 FPC (14C) 가 접속되어 있다. 또, 압전 소자 (12) 전극 (123) 이 형성되어 있 는 면은, 접착제에 의해 탄성체 (13) 에 접합되어 있다. 탄성체 (13) 는 접지되어 있고, 접지용 전극 (122-13) 은, 도시 생략된 도전성 재료를 통해 탄성체 (13) 에 접속되어 있다. 이와 같이 하여, 접지용 전극 (122-12) 및 접지용 FPC (14C) 는 접지되어 있다.

또, 압전 소자 (12) 전극 (123) 은, 탄성체 (13) 에 접합되어 있지만, 전극 (123) 과 탄성체 (13) 의 사이에는, 접착제가 개재되어 있다. 접착제는, 일반적으로 도전성을 갖지 않지만, 접착제의 층은 얇고, 압전 소자 (12) 측의 표면의 거침도에 의해 전극 (123) 과 탄성체 (13) 가 접촉되어 도통되는 부분이 존재한다. 따라서, 압전 소자 (12) 전극 (123) 과 탄성체 (13) 는 도통하고 있고, 전극 (123) 도 접지되어 있다.

접지용 전극 (122-13) 은, 영역 (P) 에 형성된 전극과 같이 분할되어 형성되어 있지는 않다. 접지용 전극 (122-13) 은, 압전 소자 (12) 상의 둘레 방향에서의, A 상에 대응하는 부분과 B 상에 대응하는 부분 의 사이에 형성되어 있다. 그리고, 접지용 전극 (122-13) 의 둘레 방향의 길이는, A 상 또는 B 상의 전극에 구동 신호가 입력되었을 경우에 압전 소자 (12) 에서 발생하는 진동파 파장의 1/4 파장에 대응하는 길이이다. 또한, 전극 (122-4 ∼ 122-6), 전극 (122-7 ∼ 122-9) 의 둘레 방향의 길이는, B 상의 전극에 구동 신호가 입력되었을 경우에 압전 소자 (12) 에 발생하는 진동파 파장의 1/2 파장에 대응하는 길이이다.

도 4 는, 제 1 실시형태의 초음파 모터의 구동 장치를 나타내는 도면이다.

초음파 모터의 구동 장치 (30) 는, 주위 온도 검출부 (31) 와 MCU (Micro Control Unit)(32) 와, 펄스 발생 회로 (33) 와, A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 와, B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 와, 배선부 (35-1) 와, 배선부 (35-2) 와, 스위칭 제어 회로 (36) 와, 급전 전환부 (37) 를 구비한다.

주위 온도 검출부 (31) 는, 주위의 온도를 검출하고, 온도 정보 등의 검출 결과를 MCU (32) 에 송신하는 장치이다. 주위 온도 검출부 (31) 는, 압전 소자 (12) 또는 그 부근의 온도를 검출할 수 있도록 설치하는 것이 바람직하다. 그렇게 함으로써, 보다 직접적으로 압전 소자 (12) 의 온도에 가까운 온도를 계측할 수 있다.

MCU (32) 는, 이 초음파 모터의 구동 장치 (30) 를 통괄 제어하는 부분이며, 펄스 발생 회로 (33) 및 스위칭 제어 회로 (36) 를 제어한다.

또, MCU (32) 는, 주위 온도 검출부 (31) 의 검출 결과에 따라 구동 신호의 공급 상태를 제어한다.

압전 소자 (12) 의 정전 용량치는, 일반적으로 저온에서는 작고 고온에서는 커지는 경향을 나타내기 때문에, 저온 하의 경우에서는 정전 용량치가 작아지는 것이 원인이 되어 구동 특성의 저하를 초래하는 경우가 있다.

이것에 대해서는, 미리 정전 용량치가 큰 압전 소자를 사용함으로써 대책을 세울 수 있다. 그러나, 이 경우, 고온측에서 정전 용량치가 지나치게 커지므로, 구동 장치측과의 매칭이 악화된다. 그 결과, 압전 소자에 입력하는 구동 신호의 진폭, 파형이 상온일 때에 비해 변화되어 버려, 초음파 모터의 구동 특성에 악영향을 주는 경우가 있다.

그래서, 예를 들어, 고온시에는, 저온시와 비교하여 구동 신호를 공급하는 전극의 수를 줄임으로써, 고온시, 저온시에서의 구동 특성의 균일화를 도모할 수 있다.

펄스 발생 회로 (33) 는, 초음파 모터 (10) 의 A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 를 구동시키기 위한 펄스 신호를 발생시키는 회로이다.

A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 는, 펄스 발생 회로 (33) 로부터의 펄스 신호에 기초하여, A 상 압전 소자 (12A) 용의 구동 신호를 발생시키는 회로이다.

B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 는, 펄스 발생 회로 (33) 로부터의 펄스 신호에 기초하여, B 상 압전 소자 (12B) 용의 구동 신호를 발생시키는 회로이다.

A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 및 B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 는, 복수의 배선부 (35-1) 의 각 배선부에 독립적으로 구동 신호를 공급할 수 있다.

배선부 (35-1) 는, A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 와, A 상 압전 소자 (12A) 의 내주측ㆍ중앙측ㆍ외주측 전극 (122) 에 대응하여 형성된 A 상측 FPC (14A-1 ∼ 14A-3) 를 접속하기 위해, 또한 B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 와, B 상 압전 소자 (12B) 의 내주측ㆍ중앙측ㆍ외주측 전극 (122) 에 대응하여 형성된 B 상측 FPC (14B-1 ∼ 14B-3) 를 접속하기 위해서 형성된 배선이다. 그리고, A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 및 B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 로부터 출력되는 구동 신호를 각각, A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 에 입력한다.

배선부 (35-2) 는, 접지용 FPC (14C) 를, 접지용 전극 (122-13) 을 통하여 접지하기 위한 배선을 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 접지용 FPC (14C) 의 접지는, 전술한 바와 같이, 접지용 전극 (122-13) 을, 도전성 재료를 통해 탄성체 (13) 에 접속함으로써 실현하고 있다. 또, 압전 소자 (12) 의 이면측에 형성된 전극 (123) 도, 전술한 바와 같이 탄성체 (13) 에 도통됨으로써 접지되어 있다.

스위칭 제어 회로 (36) 는, MCU (32) 로부터의 지시에 기초하여, FET (Field Effect Transistor)(37a) 의 ON/OFF 를 제어하는 회로이다.

급전 전환부 (37) 는, 전기적인 스위칭 소자인 FET (37a) 에 의해, A 상측 FPC (14A-1 ∼ 14A-3), B 상측 FPC (14B-1 ∼ 14B-3) 에 대한 구동 신호의 공급 유무를 독립적으로 전환할 수 있는 부분이다.

다음으로, 초음파 모터의 구동 장치 (30) 의 동작을 설명한다.

MCU (32) 는, 펄스 발생 회로 (33) 에 구동 지시를 송신하고, A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 및 B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 는, 펄스 발생 회로 (33) 로부터의 펄스 신호를 기초로 구동 신호를 생성한다. 생성된 구동 신호는, A 상측 FPC (14A-1 ∼ 14A-3), B 상측 FPC (14B-1 ∼ 14B-3) 를 통하여 A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 의 전극에 동시 입력된다.

이때, 주위 온도 검출부 (31) 로부터 온도 정보를 수신한 MCU (32) 는, 스위칭 제어 회로 (36) 에 지시를 내리고, 급전 전환부 (37) 는, 스위칭 제어 회로 (36) 로부터의 지시에 기초하여 구동 신호의 공급의 전환을 실시한다.

여기서, 예를 들어, MCU (32) 가, 최초에는 전체 영역의 압전 소자 (12) 를 구동시키고 있는 경우를 상정한다. 주위의 온도가 상승한 경우에는, MCU (32) 는, 주위 온도 검출부 (31) 의 검출 결과에 따라 온도가 높아진 것으로 판단하고, 온도가 낮을 때와 비교하여 구동 신호를 공급하고 있는 배선부 (35-1) 의 수를 감소시키도록, 스위칭 제어 회로 (36) 에 지시를 송신한다.

또한, MCU (32) 는, A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 의 대칭적인 위치 관계에 있는 전극에 구동 신호를 공급하도록, 스위칭 제어 회로 (36) 에 지시를 송신한다. 예를 들어, A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 의 각각의 내주측 전극에 대한 구동 신호의 공급을 정지시키도록 하거나, A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 의 각각의 외주측 전극에 대한 구동 신호의 공급을 정지시키도록 하거나 한다.

내주측 전극에 대한 구동 신호의 공급을 정지시킬지, 외주측 전극에 대한 구동 신호의 공급을 정지시키는지는, 임의이지만, 정전 용량의 값을 미세하게 변화시키고자 하는 경우에는, 면적이 작은 내주측 전극을 제어하면 되고, 정전 용량의 값을 크게 변화시키고자 하는 경우에는, 면적이 큰 외주측 전극을 제어하면 된다.

이와 같이, 제 1 실시형태에 의하면, 이하와 같은 효과가 있다.

(1) 일정 방향으로 분극된 분극 부분 (121a) 이 연속된 1 개의 영역 (P) 의 표면에, 각각 분리되어 형성된 복수의 전극 (122) 이 형성되어 있으므로, 복수의 전극 (122) 에 대한 구동 신호의 공급의 유무를 제어함으로써, 온도, 구동 속도, 용도 등에 따라, 원하는 구동 특성을 얻을 수 있다.

(2) 복수의 전극 (122) 은, 압전체 (121) 의 1 개의 영역 (P) 에 직경 방향 Y 로 구획하여 배치되어 있으므로, 압전체 (121) 의 영역을 모두 이용한 구획으로 할 수 있고, 또, 둘레 방향 X 에 있어서 구동 신호가 공급되지 않은 부분이 없어지므로, 보다 효율적인 구동을 할 수 있다.

(3) 복수의 전극 (122) 은, 각각 독립적으로 구동 신호를 입력할 수 있도록 배선되어 있으므로, 독립된 구동을 실시할 수 있다.

(4) 상기 서술한 압전 소자 (12) 를 구비한 초음파 모터 (10) 로 되어 있으므로, 원하는 구동 특성을 얻기 쉬운 초음파 모터 (10) 를 제공할 수 있다.

(5) 복수의 배선부 (35-1) 의 각 배선부에 독립적으로 구동 신호를 공급할 수 있는 A 상 구동 신호 발생 회로 (34A) 및 B 상 구동 신호 발생 회로 (34B) 를 구비하고 있으므로, A 상과 B 상에서 독립된 제어를 실시할 수 있다.

(6) MCU (32) 는, 주위 온도 검출부 (31) 의 검출 결과에 따라 구동 신호를 공급하므로, 주위의 온도 변화에 따른 구동을 실시할 수 있다. 또, 구동 신호를 입력하는 압전 소자 (12) 의 영역을 변경할 수 있기 때문에, 압전 소자 (12) 의 정전 용량치의 변동을 효율적으로 억제할 수 있어, 안정적인 구동을 실시할 수 있다. 정전 용량치를 변경하기 위해, 외부 부착 콘덴서 등 외부의 소자를 사용할 필요도 없다.

(7) MCU (32) 는, 주위 온도 검출부 (31) 의 검출 결과에 따라 온도가 높을 때에, 온도가 낮을 때와 비교하여 구동 신호를 공급하고 있는 배선부 (35-1) 의 수를 감소시키도록 제어하므로, 정전 용량치의 변동의 경향에 따른 구동을 실시할 수 있다.

(8) MCU (32) 는, A 상 압전 소자 (12A) 및 B 상 압전 소자 (12B) 의 대칭적인 위치 관계에 있는 전극에 구동 신호를 공급하므로, A 상과 B 상을 동일하게 구동 할 수 있어, 효율적인 구동을 실시할 수 있다.

(9) 상기 서술한 초음파 모터 (10) 와, 상기 서술한 초음파 모터의 구동 장치 (30) 를 구비한 렌즈 경통 (3) 이나 카메라 (1) 로 되어 있으므로, 원하는 구동 특성을 얻기 쉽고, 기능성이 우수한 렌즈 경통 (3) 이나 카메라 (1) 를 제공할 수 있다.

(제 2 실시형태)

도 5 는, 제 2 실시형태의 압전 소자를 나타내는 도면이다. 또한, 전술한 제 1 실시형태와 동일한 기능을 하는 부분은, 중복되는 설명이나 도면을 적절히 생략한다.

제 2 실시형태의 압전 소자 (12-2) 는, 제 1 실시형태의 압전 소자 (12) 와 비교하여, 전극의 구획 방법이 상이한 것으로서, 전극 (122) 이 둘레 방향 X 에서만 구획되어 있는 것이다.

본 실시형태에서는, 둘레 방향 X 에서 구획된 전극 (122) 의 각각에, A 상측 FPC (14A-l ∼ 14A-4), B 상측 FPC (14B-1 ∼ 14B-4) 가 접속되어 있다. 이들 A 상측 FPC (14A-1 ∼ 14A-4), B 상측 FPC (14B-1 ∼ 14B-4) 는 전극별로 독립적으로 배선되어 있기 때문에, 각 전극에 대해 독립적으로 구동 신호를 공급할 수 있다. 그리고, 각 FPC 에 상기 서술한 초음파 모터의 구동 장치 (30) 의 배선부 (35-1) 를 접속하고, 제 1 실시형태와 동일한 방법으로 구동한다. 또한, 배선 부 (35-1) 의 배선은, 본 실시형태에서는 8 개 필요하고, 제 1 실시형태의 경우보다 2 개 늘어나게 된다.

제 2 실시형태에 의하면, 이와 같은 압전 소자 (12-2) 를 구비하는 초음파 모터라도, 제 1 실시형태와 동일하게 온도, 구동 속도, 용도 등에 따른 구동을 실시할 수 있다.

(변형형태)

상기 서술한 실시형태는, 이하의 변형도 가능하다.

(1) 상기 서술한 실시형태에서는, 회전형의 초음파 모터 (10) 에 적용하는 예를 나타냈는데, 이것에 한정되지 않고, 상대 운동 부재가 직선 방향으로 구동되는 리니어 구동형의 진동파 모터 등에도 적용할 수 있다. 이 경우에는, 복수의 전극은, 상대 이동 부재의 상대 이동 방향과 거의 직교하는 방향으로 구획하여 배치하는 것이 바람직하다. 상대 이동 방향에 있어서 구동 신호가 공급되지 않는 부분이 없어지기 때문이다.

(2) 상기 서술한 실시형태에서는, 진행파에 의해 이동체 (15) 를 구동하는 초음파 모터 (10) 를 예로 들어 나타냈는데, 굴곡 진동이나 면내 진동을 이용한 로드형 액추에이터, 펜슬형 액추에이터, 원반형 액추에이터 등의 다른 구동 모드를 사용하는 진동파 모터, 진동 액추에이터에도 적용할 수 있다.

(3) 상기 서술한 실시형태에서는, 초음파 영역을 사용하는 초음파 모터 (10) 를 예로 들어 나타냈는데, 초음파 영역을 사용하지 않는 진동 액추에이터에도 적용 할 수 있다.

(4) 상기 서술한 실시형태에서는, 초음파 모터 (10) 는, 렌즈 경통 (3) 의 포커스 동작을 실시하는 구동원으로서 사용되는 예를 나타냈는데, 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 렌즈 경통 (3) 의 줌 동작을 실시하는 구동원으로서 사용해도 된다. 또, 초음파 모터 (10) 를, 복사기 등의 구동원이나, 자동차의 핸들 틸트 장치나 헤드 레스트 (head rest) 의 구동부 등에 사용해도 된다.

(5) 상기 서술한 실시형태에서는, 스위칭의 제어는, 전기적인 스위치로서의 FET (37a) 를 사용하는 예에서 설명했는데, 기계적 스위치를 사용하여 제어해도 된다.

(6) 상기 서술한 실시형태에서는, 1 개의 압전 소자 (12) 의 예에서 설명했는데, 직경이 상이한 3 개의 압전 소자 (12) 를 네스팅 상태로 하여 3 개 배치해도 된다. 또, 전극의 구획 수는 상기 서술한 실시형태의 수에 한정되는 것은 아니다.

(7) 도 3(A) 에 있어서, B 상측 FPC (14B-1) 는, 전극 (122-1, 122-4, 122-7, 122-10) 에 접속되어 있는 예에서 설명했는데, B 상측 FPC (14B-1) 를 4 개로 하고, 전극 (122-1, 122-4, 122-7, 122-10) 에 각각 접속하고, 각 부분에 독립적으로 구동 신호를 공급할 수 있도록 해도 된다. 또, B 상측 FPC (14B-1) 를 2 개로 하고, 전극 (122-1, 122-4) 및 전극 (122-7, 122-11) 에 독립적으로 구동 신호를 공급할 수 있도록 해도 된다. 또한, 다른 FPC 도 동일하다.

(8) 도 4 에 있어서, 스위칭 제어 회로 (36) 및 급전 전환부 (37) 는, 배선부 (35-1) 에 접속하여 스위칭의 제어를 실시하는 예에서 설명했는데, 배선부 (35- 2) 에 접속하여 스위칭의 제어를 실시해도 된다.

(9) 상기 서술한 실시형태에서는, 압전 소자 (12) 의 탄성체 (13) 와 접합하는 측에 구획하여 있지 않은 전극 (123) 을 형성했는데, 이 전극을 형성하지 않고 구성할 수도 있다. 탄성체 (13) 와 압전 소자 (12) 를 도전성이 있는 접착제를 사용하여 접착함으로써, 탄성체 (13) 의 압전 소자 (12) 와 접하고 있는 면 전체를 접지된 전극으로서 사용 (즉, 도 3(B) 의 전극 (123) 과 동일한 기능을 시킨다) 할 수 있다. 또, 탄성체 (13) 와 압전 소자 (12) 를, 소결 처리 등에 의해 접착제를 사용하지 않고 접합함으로써, 탄성체 (13) 의 압전 소자 (12) 와 접하고 있는 면 전체를 접지된 전극으로서 사용할 수 있다.

도 6 은, 압전체의 변형형태를 나타내는 도면이다.

도 3(B) 에서 설명한 바와 같이, 압전체 (121) 는, 대략 전체면에 따라 일정 방향으로 분극된 분극 부분 (121a) 을 갖는 예에서 설명했는데, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 복수의 전극의 경계 부분에 대응하는 위치에 분극되어 있지 않은 부분이 형성되어 있어도 된다. 도 6 에 있어서는, 분극 부분 (121a) 은, 분극되어 있지 않은 부분을 협지하여 분극되어 있는 부분이 3 개로 분리되어 있다. 본 명세서에서의 분극 부분이란, 2 개 이상의 분극 부분이, 분극되어 있지 않은 부분을 협지하여 나열되어 있는 형태도 포함하는 개념이다.

도 3(B) 의 형태는, 직경 방향으로 나열된 각 전극 (122) 간의 간극이 좁기 때문에, 전극과 전극과의 경계 부분에서도 분극을 완전히 실시한 경우나, 일단 대략 전체면에 전극 (122) 을 형성하여 일부의 전극을 뺀 경우의 형태이다. 이 것에 대하여, 도 6 의 형태는, 각 전극 (122) 간의 간극이 도 3(B) 에 비해 약간 넓고, 전극과 전극과의 경계 부분에 있어서 분극을 완전히 실시할 수 없는 경우의 형태이다.

또한, 상기 서술한 실시형태 및 변형형태는, 적절히 조합하여 사용할 수도 있지만, 상세한 설명은 생략한다. 또, 본 발명은 이상 설명한 실시형태에 의해 한정되는 것은 없다.

도 1 은 제 1 실시형태의 카메라를 나타내는 도면.

도 2 는 제 1 실시형태의 초음파 모터를 나타내는 단면도.

도 3 은 제 1 실시형태의 압전 소자 (12) 의 상세를 나타내는 도면.

도 4 는 제 1 실시형태의 초음파 모터의 구동 장치를 나타내는 도면.

도 5 는 제 2 실시형태의 압전 소자를 나타내는 도면.

도 6 은 압전체의 변형형태를 나타내는 도면.

※도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 카메라 3 : 렌즈 경통

10 : 초음파 모터 11 : 진동체

12, 12-2 : 압전 소자 12A : A 상 압전 소자

12B : B 상 압전 소자 121 : 압전체

121a : 분극 부분 122 (122-1 ∼ 122-13) : 전극

123 : 전극 13 : 탄성체

14 : FPC 14A-1 ∼ 14A-3 : A 상측 FPC

14B-1 ∼ 14B-3 : B 상측 FPC 15 : 이동체

30 : 초음파 모터의 구동 장치 31 : 주위 온도 검출부

32 : MCU 33 : 펄스 발생 회로

34A : A 상 구동 신호 발생 회로

34B : B 상 구동 신호 발생 회로

35-1 : 배선부 35-2 : 배선부

36 : 스위칭 제어 회로 37 : 급전 전환부

Claims

전기 기계 변환 소자의 전기적으로 독립된 복수의 전극에 대응하여 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자를 구동하는 구동 신호를 입력하는 복수의 배선부와,

상기 복수의 배선부에 대해 서로 독립적으로 상기 구동 신호를 공급 가능한 공급 제어부와,

온도를 검출하는 온도 검출부를 구비하고,

상기 공급 제어부는, 상기 온도 검출부의 검출 결과에 따라 상기 구동 신호를 공급하고,

상기 전기 기계 변환 소자는,

일정 방향으로 분극된 분극 부분을 갖는 원환 형상의 압전체와,

상기 분극 부분이 연속된 1 개의 영역의 표면에, 각각 분리되어 형성된 복수의 전극을 구비하고,

상기 복수의 전극은, 상기 압전체의 상기 영역에 직경 방향으로 구획되어 배치되고,

상기 복수의 전극은, 상기 원환 형상의 중심을 통과하는 선에 대해 대칭으로 배치되고,

상기 공급 제어부는, 소정의 선에 대해 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 상기 구동 신호를 공급하는 제어를 실시하고,

상기 압전체의 정전 용량의 값을 미세하게 변화시키는 경우에는, 상기 직경 방향으로 구획되어 있는 상기 복수의 전극 내의 내주측 전극을 제어하고, 상기 압전체의 정전 용량의 값을 크게 변화시키는 경우에는, 상기 직경 방향으로 구획되어 있는 상기 복수의 전극 내의, 상기 내주측 전극보다 면적이 큰 외주측 전극을 제어하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
전기 기계 변환 소자의 전기적으로 독립된 복수의 전극에 대해 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자를 구동하는 구동 신호를 입력하는 복수의 배선부와,

상기 복수의 배선부에 상기 구동 신호를 공급하는 구동 신호 발생부와,

상기 복수의 배선부의 각각에 대해, 상기 구동 신호를 공급할지의 여부를 선택 가능한 공급 제어부와,

온도를 검출하는 온도 검출부를 구비하고,

상기 공급 제어부는, 상기 온도 검출부의 검출 결과에 따라 상기 구동 신호를 공급하고,

상기 전기 기계 변환 소자는,

일정 방향으로 분극된 분극 부분을 갖는 원환 형상의 압전체와,

상기 분극 부분이 연속된 1 개의 영역의 표면에, 각각 분리되어 형성된 복수의 전극을 구비하고,

상기 복수의 전극은, 상기 압전체의 상기 영역에 직경 방향으로 구획되어 배치되고,

상기 복수의 전극은, 상기 원환 형상의 중심을 통과하는 선에 대해 대칭으로 배치되고,

상기 공급 제어부는, 소정의 선에 대해 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 상기 구동 신호를 공급하는 제어를 실시하고,

상기 압전체의 정전 용량의 값을 미세하게 변화시키는 경우에는, 상기 직경 방향으로 구획되어 있는 상기 복수의 전극 내의 내주측 전극을 제어하고, 상기 압전체의 정전 용량의 값을 크게 변화시키는 경우에는, 상기 직경 방향으로 구획되어 있는 상기 복수의 전극 내의, 상기 내주측 전극보다 면적이 큰 외주측 전극을 제어하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 온도 검출부는, 상기 전기 기계 변환 소자 또는 그 부근의 온도를 검출하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 공급 제어부는, 상기 온도 검출부의 검출 결과에 따라 온도가 높을 때에, 온도가 낮을 때와 비교하여 상기 구동 신호를 공급하는 상기 배선부의 수를 감소시키는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 공급 제어부는, 상기 소정의 선에 대해 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 서로 위상이 상이한 상기 구동 신호를 공급하는 제어를 실시하는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 복수의 전극은, 소정의 선에 대해 대칭으로 배치되어 있고,

상기 공급 제어부는, 상기 구동 신호를 공급하는 상기 배선부의 수를 감소시킬 때에는, 상기 소정의 선에 대해 대칭인 위치 관계에 있는 상기 전극의 각각에 대응하는 배선부로의 상기 구동 신호의 공급을 정지시키는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 압전체는, 원환 형상이며,

상기 복수의 전극은, 상기 압전체의 상기 원환 형상의 직경 방향을 따른 영역에 의해 상기 원환 형상의 둘레 방향으로 구획되어 상기 압전체 상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 7 항에 있어서,

상기 복수의 전극의 각각은, 상기 원환 형상의 직경 방향으로 복수의 영역으로 구획되어 있고,

상기 복수의 영역의 각각에 대응하는 상기 분극 부분은, 분극 방향이 동일한 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 복수의 전극은, 각각 독립적으로 구동 신호를 입력할 수 있도록 배선되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 전기 기계 변환 소자와,

상기 전기 기계 변환 소자와 접촉하여 형성되고, 상기 전기 기계 변환 소자의 구동에 의해 진동하는 탄성체와,

상기 탄성체의 상기 전기 기계 변환 소자가 형성되는 부분과는 상이한 부분에 접촉하여 형성되고, 상기 진동에 의해 상기 탄성체에 대해 상대 이동을 하는 상대 이동 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 10 항에 있어서,

상기 복수의 전극은, 상기 상대 이동 부재의 상대 이동 방향과 직교하는 방향으로 구획되어 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진동 액추에이터의 구동 장치.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치를 구비한 렌즈 경통.
제 1 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 기재된 진동 액추에이터의 구동 장치를 구비한 카메라.
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