JP2014017908A

JP2014017908A - 振動波モータ

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Publication number: JP2014017908A
Application number: JP2012151990A
Authority: JP
Inventors: Takatoshi Ashizawa; 隆利芦沢
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2012-07-06
Filing date: 2012-07-06
Publication date: 2014-01-30
Anticipated expiration: 2032-07-06
Also published as: JP6056224B2

Abstract

【課題】簡単な構成且つ低電圧で駆動可能な振動波モータを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ１は、互いに時間的位相差がある駆動信号により振動が発生される電気機械変換素子積層体１１と、該積層体に接合される接合面１２ｆ、及び接合面の反対側に設けられた振動によって進行性の振動波を生じる駆動面１２ａ、を有する弾性体１２と、駆動面に加圧接触され、振動波によって駆動される相対運動部材２０と、を備え、積層体は、一方の面に共通電極パターン、他方の面に駆動信号印加電極パターン１６が形成された単層電気機械変換素子１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃが、弾性体の厚さ方向へ複数積層されたものであり、積層体全体としての弾性体側の面１１Ｂには、共通電極パターン１９が配置され、弾性体側と反対側の面１１Ａには、駆動信号印加電極パターン１６が配置されるように単層電気機械変換素子が積層されている。
【選択図】図４

Description

本発明は振動波モータに関するものである。

撮影装置等に用いられる振動波モータの振動子は、金属製の弾性体と圧電体から構成され、圧電体は一層であることが一般的である。このような一層の圧電素子を用いた超音波モータを実用的な出力で駆動するには、数十ボルトの高周波電圧が必要であるため、撮影装置の電池の電圧では不十分で、昇圧回路を備えるものがある。しかし、昇圧回路はコストアップや装置大型化の問題が生じるため、圧電体を積層化することで、高電圧を確保している振動波モータもある（特許文献１参照）。

特開平７−２１３０８１号公報

しかし、上記文献の積層化された圧電体では、各層の電極パターンが異なるため複雑化する。また、弾性体に接合する側の層と反接合側の層と分極されておらず、これらの分極されていない層が振動波の励振を阻害するといった課題もある。

本発明では、簡単な構成且つ低電圧で駆動可能な振動波モータを提供することを目的とする。

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。

請求項１に記載の発明は、互いに時間的位相差がある駆動信号により振動が発生される電気機械変換素子積層体（１１，２１３）と、前記電気機械変換素子積層体（１１，２１３）に接合される接合面（１２ｆ）、及び該接合面（１２ｆ）の反対側に設けられた前記振動によって進行性の振動波を生じる駆動面（１２ａ）、を有する弾性体（１２）と、前記駆動面（１２ａ）に加圧接触され、前記振動波によって駆動される相対運動部材（２０）と、を備え、前記電気機械変換素子積層体（１１，２１３）は、一方の面に共通電極パターン、他方の面に駆動信号印加電極パターン（１６）が形成された単層電気機械変換素子（１１１，１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃ）が、前記弾性体（１２）の厚さ方向へ複数積層されたものであり、前記電気機械変換素子積層体（１１，２１３）全体としての前記弾性体（１２）側の面（１１Ｂ）には、前記共通電極パターン（１９）が配置され、前記弾性体（１２）側と反対側の面（１１Ａ）には、前記駆動信号印加電極パターン（１６）が配置されるように前記単層電気機械変換素子（１１１，１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃ）が積層されていること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の振動波モータ（１，２１０）において、前記単層電気機械変換素子（１１１，１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃ）の積層数は、奇数であること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の振動波モータ（１，２１０）において、前記単層電気機械変換素子（１１１，１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃ）における、互いに対向する面には、同じ電極パターンが形成され、前記電気機械変換素子積層体（１１，２１３）の側面を延びる導通部（１８ａ）で導通されていること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータ（１，２１０）において、前記単層電気機械変換素子（１１１，１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃ）は２群で、かつ隣り合う前記単層電気機械変換素子（１１１，１１１ａ，１１ｂ，１１１ｃ）の分極方向が互いに反対方向を向くようになっていること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

本発明によれば、簡単な構成且つ低電圧で駆動可能な振動波モータを提供することができる。

本発明の第一実施形態の振動波モータを説明する図である。第一実施形態の振動波モータの駆動装置を説明するブロック図である。第一実施形態の振動波モータを搭載したレンズ鏡筒を示す図である。圧電体を含む弾性体を説明する図である。第一実施形態の圧電体を説明する図であり、（ａ）は圧電体の側面図、（ｂ）は圧電体の表面を示した図、（ｃ）圧電体の断面図、（ｄ）は圧電体の裏面を示した図である。圧電体を含む弾性体を説明する図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）はＦＰＣ側から見た図である。単層圧電体それぞれの電極パターンを説明する図であり、（ａ）は単層圧電体それぞれの表裏面の電極パターンを示した図であり、（ｂ）は積層圧電体における単層圧電体それぞれの分極方向を示した図である。印加電圧による圧電体の伸縮を示した図であり、（ａ）は印加電圧がプラスの場合、（ｂ）は印加電圧がマイナスの場合を示した図である。本発明の第二実施形態のレンズ鏡筒を説明する図である。

（第一実施形態）
以下、本発明にかかる振動波モータ１の実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の第一実施形態の振動波モータ１を説明する図である。
本実施形態では振動子１０側を固定とし、移動子（相対運動部材）２０を駆動する様になっている。
移動子２０は、アルミニウム等の軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための表面処理が成されている。

振動子１０は、後で説明する様に電気エネルギ−を機械エネルギ−に変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気機械変換素子（以下、圧電体と称する）１１と、圧電体１１が接合された弾性体１２と、から構成され、振動子１０には進行性振動波が発生する。

弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、形状は、円環形状である。
弾性体１２の一面（接合面１２ｆ）には圧電体１１が接合され、その一面と反対側は溝１２ｂが切られている。そして、突起部分（溝１２ｂがない箇所）１２ｃの先端は駆動面１２ａとなって移動子２０に加圧接触される。
弾性体１２の溝１２ｂが切られていない部分はベース部１２ｄであり、ベース部１２ｄから内径側にフランジ１２ｅが伸延されている。フランジ１２ｅの最内径部は、固定部材１３に固定されている。
弾性体１２の突起部分１２ｃには、全体を覆う様にして塗装膜や潤滑メッキ等の摺動部材が施されている。

圧電体１１は、後に詳述するが、弾性体１２との接着面と反対側（ＦＰＣ側、表面側）には、電極が配置され、それは円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれた２群構造となっている。
各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔があくように電極が配置されている。

出力軸２１は、ゴム部材２２と出力軸２１のＤカットにはまるように挿入されたストッパー部材２３を介して移動子２０に結合されている。そして、出力軸２１とストッパー部材２３はＥクリップ２４等により固定され、移動子２０と一体に回転する様にされている。
ストッパー部材２３と移動子２０との間のゴム部材２２は、ゴムによる粘着性で移動子２０とストッパー部材２３と結合する機能があり、かつ移動子２０からの振動を出力軸２１へ伝えないための振動吸収との機能があるブチルゴム等が好適である。
加圧部材２５は、出力軸２１の出力ギア５１とベアリング２７との間に設けられている。この様な構造により、移動子２０は弾性体１２の駆動面１２ａに加圧接触する。

図２は、第一実施形態の振動波モータ１の駆動装置３０を説明するブロック図である。
まず、振動波モータ１の駆動／制御部３１について説明する。
発振部３２は、制御部３１の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。
移相部３３は、発振部３２で発生した駆動信号を位相の異なる２つの駆動信号に分ける。

増幅部３４は、移相部３３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
増幅部３４からの駆動信号は、振動波モータ１に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１０に進行波が発生し、移動子２０が駆動される。
回転検出部３５は、光学式エンコーダや磁気エンコーダ等により構成され、移動子２０の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部３１に伝達する。

制御部３１は、レンズ鏡筒１１０内またはカメラ本体のＣＰＵ３６からの駆動指令を基に振動波モータ１の駆動を制御する。制御部３１は、回転検出部３５からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部３２の周波数を制御する。

次に、第一実施形態の振動波モータ１の動作を説明する。
制御部３１から駆動指令が発令されると、発振部３２は駆動信号を発生させる。
その駆動信号は移相部３３により９０度位相の異なる２つの駆動信号に分割され、増幅部３４により所望の電圧に増幅される。
増幅された駆動信号は、振動波モータ１の圧電体１１に印加され、圧電体１１は励振（振動）される。その圧電体１１の励振によって、弾性体１２には４次の曲げ振動が発生する。圧電体１１はＡ相とＢ相とに分けられており、駆動信号はそれぞれＡ相とＢ相に印加される。

Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは位置的な位相が１／４波長ずれるようになっている。また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは９０度位相がずれているため、２つの曲げ振動は合成され、４波の進行波となる。

進行波の波頭には楕円運動が生じる。従って、駆動面１２ａに加圧接触された移動子２０は、この楕円運動によって摩擦的に駆動される。
移動子２０の駆動により駆動された駆動体には、光学式エンコ−ダが配置されていて、そこから、電気パルスが発生し、制御部３１に伝達される。制御部３１は、この信号を基に、現在の位置と現在の速度を得ることが可能となる。

図３は、第一実施形態の振動波モータ１を搭載したレンズ鏡筒１１０を示す図である。
振動波モータ１はギアユニットモジュール１１３に取り付けられ、ギアユニットモジュール１１３はレンズ鏡筒１１０鏡筒の固定筒１１４に取り付けられている。
振動波モータ１の出力ギア５１は、ギアユニットモジュール１１３の減速ギア１１５を介して、カム環１１６に回転運動が伝達され、カム環１１６は回転駆動する。
カム環１１６には、周方向に対して斜めにキー溝１１７が切られており、該キー溝１１７に固定ピン１１８が挿入されたＡＦ環１１９は、カム環１１６が回転駆動することにより、光軸ＯＡ方向に直進方向に駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。
回路１２１は、レンズ鏡筒１１０の外側固定筒１１４ａと内側固定筒１１４ｂとの間に設けられ、振動波モータ１の駆動、制御、回転数の検出、振動センサーの検出等を行う。

次に、圧電体１１について詳述する。
図４は、第一実施形態の圧電体１１を説明する図である。図４（ａ）は圧電体１１の側面図（振動波モータ１の加圧方向と直交する方向から見た図）の一部である。図４（ｂ）は圧電体１１の表面１１Ａを示した図であり、（ａ）は（ｂ）のａ−ａ方向から見た図である。図４（ｃ）は（ｂ）のｃ−ｃ断面図である。図４（ｄ）は圧電体１１の裏面１１Ｂを示した図である。
図５は、圧電体１１と弾性体１２とを含む振動子１０説明する図である。図５（ａ）は側面図であり、図５（ｂ）はＦＰＣ１４側から見た図である。

圧電体１１の素地は、ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛、または、近年では環境問題から鉛フリーの材料であるチタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等から構成されている。
圧電体１１の素地の表面１１Ａには、電極が配置され、銀ペーストが印刷されている。電極はＮｉＰや金等の金属メッキでも良い。

また圧電体１１は、図４（ａ），（ｃ）に示すように、単層圧電体１１１（第一層圧電体１１１ａ，第二層圧電体１１１ｂ及び第三層圧電体１１１ｃ）を複数層（本実施形態では３層）積層したものである。以下、圧電体１１を、単層圧電体１１１と区別するために、適宜、積層圧電体１１という。
第一層圧電体１１１ａ、第二層圧電体１１１ｂ及び第三層圧電体１１１ｃは、この順で、積層圧電体１１の弾性体１２との接着面と反対側（ＦＰＣ側、以下、表面１１Ａという）から並んでいる。

積層圧電体１１の表面１１Ａ側には、印加電極パターン１６が形成され、それは円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。
各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔があくように電極が配置されている。

この表面１１Ａには、図５（ａ），（ｂ）に示すように駆動信号を伝達するためにフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）１４が接合されている。
図５（ａ）に示すように、弾性体１２及び圧電体１１の側面からＦＰＣ１４まで延びるように接着剤１８が塗布されて、接着強度が補強されている。

積層圧電体１１の裏面１１Ｂは、図４（ｄ）に示すように、分割した電極パターン１６ではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極とする共通電極パターン１９が形成されている。本実施形態で裏面１１Ｂは、弾性体１２に常温硬化性の接着剤により接合されている。
各電極パターン１６，１９は、図４（ａ）に示すように一部が外周側に伸延されて導通部１８ａが形成され、外周側面を沿って各層の電極パターン１６，１９と導通されている。なお、本実施形態では、各層の電極パターン１６，１９の導通を外周側面側にて実施しているが、内周側面側でも良い。

図６は、単層圧電体１１１それぞれの電極パターンを説明する図である。図６（ａ）は単層圧電体１１１それぞれの表裏面の電極パターンを示した図であり、図６（ｂ）は積層圧電体１１における単層圧電体１１１それぞれの分極方向を示した図である。

図６（ａ）に示すように、第一層圧電体１１１ａの表面１１１ａＡ側には、印加電極パターン１６が配置され、それは、円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔６０が空く様に電極１６が配置されている。
第一層圧電体１１１ａの裏面１１１ａＢは、分割した印加電極パターン１６ではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極パターン１９が形成されている。

第二層圧電体１１１ｂの表面１１１ｂＡは、分割した印加電極パターン１６ではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極が形成されている。そして、第二層目の表面１１１ｂＡと第一層目の裏面１１１ａＢとは貼り合わされている。
第二層圧電体１１１ｂの裏面１１１ｂＢ側には、印加電極パターン１６が配置され、それは円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に電極１６が配置されている。

第三層圧電体１１１ｃの表面１１１ｃＡは、電極１６が配置され、それは円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に図の様に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に電極１６が配置されている。そして、第二層圧電体１１１ｂの裏面１１１ｂＢと第三層圧電体１１１ｃの表面１１１ｃＡとは貼り合わされている。
第三層圧電体１１１ｃの裏面１１１ｃＢは、分割した電極パターンではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極パターン１９が形成されている。

図６（ｂ）に示すように、各層（第一層圧電体１１１ａ，第二層圧電体１１１ｂ，第三層圧電体１１１ｃ）の分極は、Ａ相とＢ相との間の１／４波長分間隔の部分１７を除くと、奇数層数目の接合面側から反接合面側への分極方向と、偶数層数目の接合面側から反接合面側へ分極方向が反対となっている。

すなわち、図６（ｂ）に示す領域Ｐにおける第一層圧電体１１１ａにおいて、裏面１１１ａＢ側から表面１１１ａＡ側へ向かう分極方向だった場合（この方向を＋方向とする）、第二層圧電体１１１ｂでは、表面１１１ｂＡから裏面１１１ｂＢへ向かう分極方向（−方向）となり、さらに第三層圧電体１１１ｃでは、裏面１１１ｃＢから表面１１１ｃＡへ向かう分極方向（＋方向）となる。すなわち、分極方向が圧電体の厚さ方向に沿って＋−＋となる。
また、領域Ｐと隣接する領域Ｑでは、領域Ｐと分極方向が逆で、圧電体の厚さ方向に沿って−＋−となる。

また、上記の様な電極および分極の構成において、圧電体１１における単層圧電体１１１の積層数は奇数となる。すなわち、第１層の分極方向と最終層の分極方向とが同じになるので、単層圧電体１１１の数は奇数となる。

奇数層数目の接合面側の電極パターンと偶数層数目の反接合面側の電極パターンとは、同じ電極パターンとなり、偶数層数目の接合面側の電極パターンと奇数層数目の反接合面側の電極パターンとは、同じ電極パターンとなる。

すなわち、奇数層（本実施形態では第一層圧電体１１１ａと第三層圧電体１１１ｃ）の裏面１１１ａＢ，１１１ｃＢと偶数層（本実施形態では第二層圧電体１１１ｂ）の表面１１１ｂＡの電極パターンは同じとなる。本実施形態においてはこれらの面には、円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれ、各相においては、１／２波長毎に交互に図の様に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に印加電極パターン１６が配置されている。

また、奇数層（本実施形態では第一層圧電体１１１ａと第三層圧電体１１１ｃ）の表面１１１ａＡ，１１１ｃＡと偶数層（本実施形態では第二層圧電体１１１ｂ）の裏面１１１ｂＢの電極パターンは同じとなる。本実施形態においては、分割した印加電極パターン１６ではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極パターン１９が形成されている。

なお、本実施形態では、説明を簡単にするため、３層を例としたが、５層、７層、９層・・・と、奇数の積層数なら同様の構成とすることができる。
また、進行波の波数を４波として説明したが、５波、６波、７波・・・と、どの様な波数でも良い。

上述の図５に示すように、本実施形態の積層圧電体１１は、第三層圧電体１１１ｃの裏面１１１ｃＢが積層圧電体１１全体としての裏面（共通電極パターン１９側）１１Ｂとなって弾性体１２に接合されている。
また第一層圧電体１１１ａの表面１１１ａＡが積層圧電体１１全体としての表面１１ＡとなってＦＰＣ１４が接合され、駆動信号が供給できる様にされている。

図６に示す様に各層の電極パターンおよび分極方向を構成し、図４（ａ）に示すように外周側面に導通部１８ａを延ばして各電極パターンを導通させる。
図７は印加電圧による圧電体１１の伸縮を示した図である。駆動信号が＋に印加された場合、Ａ相およびＢ相の各電極は、図７（ａ）の様に伸延および縮小が交互になされる。すなわち、領域Ｐにおいては伸延し、領域Ｑは縮小する。

また、逆に駆動信号が−に印加された場合、上記と逆に、図７（ｂ）のように各電極は伸延および縮小が交互になされる。すなわち、領域Ｐにおいては縮小し、領域Ｑは伸延する。

このように、本実施形態の構成では、印加電圧と伸縮方向においては従来の単相の圧電体１１と同じ挙動を示す。

圧電体における伸縮（変形）の大きさは、圧電体内部に生じる電界の強度によって異なる。すなわち、印加電圧が同じならば、圧電体が薄いほうが電界が強くなる。
したがって、圧電体は薄いほうがよいが、単層の圧電体を薄くすると強度的に不十分である。しかし、本実施形態によると、単層圧電体の厚さを薄くしても積層することで強度が確保できる。

そして、単層圧電体それぞれを薄くすることが可能となるため、印加電圧をそれほど高くしなくとも、大きな変形量を得ることができる。すなわち、昇圧回路等を用いずに実用的な変形量を確保することができる。

さらに、積層の際、同一の電極パターンを有する単層圧電体１１１を、向きを変えて交互に配置している。すなわち、異なる電極パターンの単層圧電体を用いることなく、同一の電極パターンを有する単層圧電体１１１によって積層圧電体を形成している。このため、コストダウンが可能となり、製造工程が単純化され、作業上のミスが低減され、歩留まりや圧電特性の品質を向上することが可能となる。

本実施形態によると、単層圧電体１１１を積層し、導通部１８ａによって各層を導通させているので、単層圧電体１１１全てを、一つの印加電圧で同時に分極することが可能である。

このように本実施形態によると、振動波モータ１として組立てた場合に、従来よりも駆動電圧を下げることができ、駆動効率や発生トルク等の振動波モータ１の性能を向上することが可能となった。

本実施形態は、駆動電圧が大きくなる、小径タイプの進行波型振動波モータ１に対して、その駆動性能向上への効果が大きい。特に、外径が２５ｍｍ以下の場合に、本実施形態の効果が顕著である。

また、小径タイプの進行波型振動波モータ１は、波長を得るために、４波、５波と波数を少なくする必要があるが、波数を少なくすると、Ａ相およびＢ相の電極パターン数が少なくなる課題がある。
本実施形態の４波の場合、Ａ相（またはＢ相）の電極パターン数は４、５波の場合では、Ａ相（またはＢ相）の電極パターン数は５となるが、各相の電極パターン数が少ないと、屈曲振動の励起がされにくい。

従って、本実施形態のように、各圧電体１１層とも分極され、圧電特性が得られる様になっている必要がある。本発明では、進行波の波数が４波、５波の場合に特に効果が得られる。

（第二実施形態）
図８は、本発明の第二実施形態のレンズ鏡筒２００を説明する図である。本発明は第１実施形態の小径タイプの振動波モータ１の圧電体１１のみならず、大径円環タイプの振動波モータ２１０の圧電体１１においても同様な構成にすることが可能で、第一実施形態と同じ効果が得られる。

まず、振動波モータ２１０の構成を説明する。
振動子２１１は、圧電体１１と、圧電体１１を接合した弾性体２１４とから構成されている。振動子２１１には進行波が発生するようにされているが、本実施形態では一例として９波の進行波として説明する。
弾性体２１４は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、円環形状となっている。圧電体１１が接合される反対面には溝が切ってあり、溝が設けられていない部分の面が駆動面２１６ａとなり移動子２２０に加圧接触される。弾性体２１４の駆動面２１６ａの表面には、駆動性能確保および耐久性向上のために潤滑塗装膜が施されている。

圧電体１１は、円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれており、各相においては、１／２波長毎に分極が交互となった要素が並べられていて、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空くようにしてある。

圧電体１１の下には、不織布２５２、加圧部材２５０が配置されている。
不織布２５２は、フェルトを例としたものであり、圧電体１１の下に配置され、振動子２１１の振動を加圧部材２５０に伝えないようにしてある。

加圧部材２５０は、加圧板（図示せず）の下に配置されていて、加圧力を発生させるものである。本実施形態では、加圧部材２５０を皿バネとする、皿バネでなくともコイルバネやウェーブバネでも良い。加圧部材２５０は、押さえ環２５１は固定部材２２３に固定されることで、保持される。

移動子２２０は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための摺動材料が設けられている。
移動子２２０の上には、移動子２２０の縦方向の振動を吸収するために、ゴムの様な振動吸収部材２４３が配置され、その上には出力伝達部材２４２が配置されている。

出力伝達部材２４２は、固定部材２２３に設けられたベアリング２５３により、加圧方向と径方向とを規制し、これにより移動子２２０の加圧方向と径方向とが規制されるようにされている。
出力伝達部材２４２は、突起部２４１があり、そこからカム環３１５に接続されたフォークがかん合しており、出力伝達部材２４２の回転とともに、カム環３１５が回転される。

カム環３１５には、キー溝３１７がカム環３１５に斜めに切られており、ＡＦ環３１９に設けられた固定ピン３１８が、キー溝３１７にかん合していて、カム環３１５が回転駆動することにより、光軸方向に直進方向にＡＦ環３１９が駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。
固定部材２２３は、押さえ環２５１がネジにより取り付けられ、これを取り付けることで、出力伝達部材２４２から移動子２２０、振動子２１１、加圧部材２５０までを一つのモータユニットとして構成できるようになる。

第二実施形態の圧電体２１３も、第１実施形態の圧電体１１と同様の積層圧電体である。
すなわち、単層圧電体を複数層（本実施形態では３層）積層したものである。第一層圧電体、第二層圧電体及び第三層圧電体が、この順で、積層圧電体の弾性体との接着面と反対側から並んでいる。

そして、第一層圧電体の表面側には、電極が配置され、それは、円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に電極が配置されている。
第一層圧電体の裏面は、分割した電極パターンではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極パターンが形成されている。

第二層圧電体の表面は、分割した電極パターンではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極パターンが形成されている。そして、第二層目の表面と第一層目の裏面Ｂとは貼り合わされている。
第二層圧電体の裏面側には、電極が配置され、それは円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に電極１６が配置されている。

第三層圧電体の表面は、電極が配置され、それは円周方向に沿って２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に電極が配置されている。そして、第二層圧電体の裏面と第三層圧電体の表面とは貼り合わされている。
第三層圧電体の裏面は、分割した電極パターンではなく、２つの駆動信号の相（Ａ相、Ｂ相）の共通電極パターンが形成されている。
以上、第二実施形態においても、上記第１実施形態と同様の効果を有する。

１：振動波モータ、１０：振動子、１１：圧電体，積層圧電体、１１Ａ：表面、１１Ｂ：裏面、１２：弾性体、１６：電極、１８：接着剤、１８ａ：伸延部、２０：移動子、１１０：レンズ鏡筒、１１１：単層圧電体、１１１ａ：第１層圧電体、１１１ａＡ：表面、１１１ａＢ：裏面、１１１ｂ：第２層圧電体、１１１ｂＡ：表面、１１１ｂＢ：裏、１１１ｂＢ：裏面、１１１ｃ：第３層圧電体、１１１ｃＡ：表面、１１１ｃＢ：裏面、２００：レンズ鏡筒、２１０：振動波モータ、２１１：振動子、２１３：圧電体、２１４：弾性体、２２０：移動子

Claims

互いに時間的位相差がある駆動信号により振動が発生される電気機械変換素子積層体と、
前記電気機械変換素子積層体に接合される接合面、及び該接合面の反対側に設けられた前記振動によって進行性の振動波を生じる駆動面、を有する弾性体と、
前記駆動面に加圧接触され、前記振動波によって駆動される相対運動部材と、を備え、
前記電気機械変換素子積層体は、
一方の面に共通電極パターン、他方の面に駆動信号印加電極パターンが形成された単層電気機械変換素子が、前記弾性体の厚さ方向へ複数積層されたものであり、
前記電気機械変換素子積層体全体としての前記弾性体側の面には、前記共通電極パターンが配置され、前記弾性体側と反対側の面には、前記駆動信号印加電極パターンが配置されるように前記単層電気機械変換素子が積層されていること、
を特徴とする振動波モータ。
請求項１記載の振動波モータにおいて、
前記単層電気機械変換素子の積層数は、奇数であること、
を特徴とする振動波モータ。
請求項１または２記載の振動波モータにおいて、
前記単層電気機械変換素子における、互いに対向する面には、同じ電極パターンが形成され、
前記電気機械変換素子積層体の側面を延びる導通部で導通されていること、
を特徴とする振動波モータ。
請求項１から３のいずれか１項に記載の振動波モータにおいて、
前記単層電気機械変換素子は２群で、かつ隣り合う前記単層電気機械変換素子の分極方向が互いに反対方向を向くようになっていること、
を特徴とする振動波モータ。