JP2013255337A - 振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラ - Google Patents

Abstract

【課題】向上した性能を有するとともに、より広い種類の圧電材料を使用可能な振動波モータを提供する。
【解決手段】本発明の振動波モータ１は、駆動信号が入力される電気機械変換素子１１と、前記電気機械変換素子１１に接合され、前記駆動信号により駆動面１２ａに振動波を生じる弾性体１２と、前記電気機械変換素子１１に駆動信号を供給し、前記電気機械変換素子１１の一部に接合される信号供給部１４と、前記弾性体１２の駆動面１２ａに加圧接触される摺動面を有し、前記振動波によって駆動される相対運動部材２０と、を備える振動波モータ１において、前記信号供給部１４と前記電気機械変換素子１１とは、常温硬化の導電性接着材料により接合されていること、を特徴とする。
【選択図】図５

Description

本発明は、振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。

従来、振動波モータの振動子は、金属製の弾性体と圧電体から構成され、弾性体と圧電体とは、接着剤により接合させている（特許文献１参照）。駆動信号を圧電体へ供給するための駆動信号供給用に、リード線またはフレキシブルプリント基板が用いられている。

特開昭６２−２０１０７２号公報

弾性体と圧電体とが接着された振動子に、リード線またはフレキシブルプリント基板を接合する場合、半田や熱圧着が用いられ、摂氏２００度以上の温度が加えられる。
圧電体にこの様な高温が加えられると、弾性体と圧電体との熱膨張率の違いにより、接着層に大きなせん断力が生じ、接着層が部分的に破壊される可能性がある。部分的に破壊されると振動波モータの性能が発揮できなかったり、個体によるばらつきが生じたりする。
また、キュリー点（相転移が発生して、分極が解けてしまう温度）が低い圧電材料は、高温を加えることができないため、振動波モータへの搭載が制限されている。

本発明の課題は、向上した性能を有するとともに、より広い種類の圧電材料を使用可能な振動波モータ及びそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラを提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。

請求項１に記載の発明は、駆動信号が入力される電気機械変換素子（１１，２５０）と、前記駆動信号により駆動面（１２ａ，２４３ａ）に振動波を生じる振動子（１２，２３５）と、前記電気機械変換素子（１１，２５０）に駆動信号を供給し、前記電気機械変換素子（１１，２５０）の一部に接合される信号供給部（１４，２１４）と、前記振動子（１２，２３５）の駆動面（１２ａ，２４３ａ）に加圧接触される摺動面を有し、前記振動波によって駆動される相対運動部材（２０，２３６）と、を備える振動波モータ（１，２１０）において、前記信号供給部（１４，２１４）と前記電気機械変換素子（１１，２５０）とは、常温硬化の導電性接着材料により接合されていること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動波モータ（１，２１０）において、前記信号供給部（１４，２１４）と前記振動子（１２，２３５）とを常温硬化の接着材料により結合されていること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２記載の振動波モータ（１，２１０）において、前記信号供給部は、フレキシブルプリント基板（１４，２１４）であって、前記電気機械変換素子（１１，２５０）の駆動振動発生面と平行な第一部と、前記第一部と垂直な第二部とを有し、前記第一部が前記常温硬化の導電性接着材料により前記電気機械変換素子（１１，２５０）に接合され、前記第二部が前記常温硬化の接着材料により該振動子（１２，２３５）に接合されていること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の振動波モータ（１，２１０）において、前記第二部は、前記電気機械変換素子（１１，２５０）の前記駆動振動発生面に垂直且つ前記電気機械変換素子（１１，２５０）の駆動方向に平行な面であること、を特徴とする振動波モータ（１，２１０）である。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動波モータ（１，２１０）を備えるレンズ鏡筒（１１０，２３０）である。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動波モータ（１，２１０）を備えるカメラ（１１０，１１０Ａ、２３０，２３０Ａ）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

本発明によれば、向上した性能を有するとともに、より広い種類の圧電材料を使用可能な振動波モータ及びそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラを提供することができる。

本発明の第一実施形態の振動波モータを説明する図である。 第一実施形態の圧電体を説明する図であり、（ａ）は表面側、（ｂ）は裏面側である。 第一実施形態の振動波モータの駆動装置を説明するブロック図である。 第一実施形態の振動波モータをレンズ鏡筒に搭載した実施形態を示す。 第一実施形態のＦＰＣの接合方法を説明する図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は表面から見た平面図であり、（ｃ）はＦＰＣ１４の貼着部分の側面図である。 第二実施形態の振動波モータを説明する図である。 図６のＡ−Ａ方向から見た図である。 第二実施形態の振動子を説明する図である。 （ａ）〜（ｅ）は振動子における振動の発生を説明する図である。

（第一実施形態）
以下、本発明にかかる振動波モータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の第一実施形態の振動波モータ１を説明する図である。
本実施形態では振動子１０側を固定とし、相対運動部材（移動子）２０を駆動する様になっている。
振動子１０は、後で説明する様に電気エネルギ−を機械エネルギ−に変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気機械変換素子（以下、圧電体と称する）１１と、圧電体１１を接合した弾性体１２とから構成され、振動子１０には進行性振動波が発生するようにされている。

弾性体１２は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、形状は、円環である。弾性体１２における圧電体１１が接合される反対面には溝１２ｂが切ってあり、突起部分（溝１２ｂがない箇所）の先端面が駆動面１２ａとなり移動子２０に加圧接触される。弾性体１２の溝１２ｂが切られていない側に圧電体１１を接合する。
弾性体１２の溝１２ｂが切られてない部分は、ベース部１２ｄであり、そのベース部１２ｄから内径側にフランジ１２ｅが延伸され、フランジ１２ｅの最内径部にて固定部材１３により固定されている。
弾性体１２には摺動部材として塗装膜や潤滑メッキが施されており、突起部全体を覆う様にされている。

圧電体１１は、ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛、または、近年では環境問題から鉛フリーの材料であるチタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等から構成されている。

図２は、第一実施形態の圧電体１１を説明する図であり、（ａ）は圧電体１１における弾性体１２が貼着される側と反対側（表面側）、（ｂ）は弾性体１２が貼着される側裏面側）である。
圧電体１１の表面には、後に詳細に説明するが、電極１１１（１１１ａ，１１１ｂ）が配置され、それは円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間は、１／４波長分間隔が空く様に電極１１１ｇが配置されている。電極１１１には、駆動信号を伝達するためにフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）１４が接合されている（図１）。また、これについても後に詳細に説明するが、ＦＰＣ１４は、弾性体１２の側面を沿わせて弾性体１２に接着剤１４ｂで補強させ、回路基板１２１（図４参照）に延びている。

移動子２０は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面の表面には耐摩耗性向上のための表面処理が成されている。
出力軸２１は、ゴム部材２２と出力軸２１のＤカットにはまるように挿入されたストッパー部材２３を介して移動子２０に結合され、出力軸２１とストッパー部材２３はＥクリップ２４等により固定されていて、移動子２０と一体に回転する様にされている。
ストッパー部材２３と移動子２０との間のゴム部材２２は、ゴムによる粘着性で移動子２０とストッパー部材２３と結合する機能があり、かつ移動子２０からの振動を出力軸２１へ伝えないための振動吸収との機能があるブチルゴム等が好適である。
加圧部材２５は、出力軸２１のギア部５１とベアリング２７の間に設けられている。
この様な構造とることで、移動子２０が振動子１０駆動面１２ａに加圧接触する様にされる。

図３は、第一実施形態の振動波モータ１の駆動装置１００を説明するブロック図である。まず、振動波モータ１の駆動／制御部１０２について説明する。
発振部１０１は、制御部１０２の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。移相部１０３は、該発振部１０１で発生した駆動信号を位相の異なる２つの駆動信号に分ける。増幅部１０４は、移相部１０３によって分けられた２つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。

増幅部１０４からの駆動信号は、振動波モータ１に伝達され、この駆動信号の印加により振動子１０に進行波が発生し、移動子２０が駆動される。
回転検出部１０５は、光学式エンコーダや磁気エンコ−ダ等により構成され、移動子２０の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出し、検出値を電気信号として制御部１０２に伝達する。
制御部１０２は、レンズ鏡筒１１０内またはカメラ本体のＣＰＵからの駆動指令を基に振動波モータ１の駆動を制御する。制御部１０２は、回転検出部１０５からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部１０１の周波数を制御する。

次に、第一実施形態の振動波モータ１の動作を説明する。
制御部１０２からの駆動指令により、発振部１０１から駆動信号が発生される。その駆動信号は移相部１０３により９０度位相の異なる２つの駆動信号に分割される。分割された駆動信号は、増幅部１０４により所望の電圧に増幅される。
増幅された駆動信号は、振動波モータ１の圧電体１１に印加され、圧電体１１は励振され、その励振によって弾性体１２には４次の曲げ振動が発生する。
圧電体１１はＡ相とＢ相とに分けられており、駆動信号はそれぞれＡ相とＢ相に印加される。Ａ相から発生する４次曲げ振動とＢ相から発生する４次曲げ振動とは位置的な位相が１／４波長ずれるようになっており、また、Ａ相駆動信号とＢ相駆動信号とは９０度位相がずれているため、２つの曲げ振動は合成され、４波の進行波となる。

進行波の波頭には楕円運動が生じている。従って、駆動面１２ａに加圧接触された移動子２０は、この楕円運動によって摩擦的に駆動される。移動子２０の駆動により駆動された駆動体には、光学式エンコ−ダが配置されていて、そこから、電気パルスが発生し、制御部１０２に伝達される。制御部１０２は、この信号を基に、現在の位置と現在の速度を得ることが可能となる。

図４は、第一実施形態の振動波モータ１をレンズ鏡筒１１０に搭載した実施形態を示す。レンズ鏡筒１１０は、カメラ本体１１０Ａに着脱可能である。
振動波モータ１はギアユニットモジュール１１３に取り付けられ、ギアユニットモジュール１１３はレンズ鏡筒１１０の固定筒１１４に取り付けられる。振動波モータ１のギア部５１は、ギアユニットモジュール１１３の減速ギア１１５を介して、カム環１１６に連結されている。振動波モータ１の回転運動はカム環１１６に伝達され、カム環１１６は回転駆動する。

カム環１１６には、周方向に対して斜めにキー溝１１７が切られており、該キー溝１１７に固定ピン１１８が挿入されたＡＦ環１１９は、カム環１１６が回転駆動することにより、光軸ＯＡ方向に直進方向に駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。
回路基板１２１は、レンズ鏡筒１１０の外側固定筒１１４ａと内側固定筒１１４ｂの間に設けられ、振動波モータ１の駆動、制御、回転数の検出、振動センサーの検出等を行う。

図２に戻り、第一実施形態の圧電体１１を説明する。
圧電体１１の素地は、ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛、または、近年では環境問題から鉛フリーの材料であるチタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等から構成されている。

圧電体１１素地の表面（弾性体１２が貼着される側と反対側、ＦＰＣが貼着される側）には、電極１１１（１１１ａ，１１１ｂ，１１１ｇ）が配置され、銀ペーストが印刷されている。電極１１１はＮｉＰや金等の金属メッキでも良い。
電極１１１は円周方向に沿って２つの相（Ａ相、Ｂ相）に分かれている。各相においては、１／２波長毎に交互に分極され、Ａ相とＢ相との間には１／４波長分間隔が空く様に電極１１１が配置されている。

電極１１１の裏面（弾性体１２が貼着される側）は、電極パターンはなく、外周側と内周側とに圧電体１１素地が見えた形状となっている。本実施形態では、こちらの面を弾性体１２に常温硬化性の接着剤により接合している。

図５は、第一実施形態のＦＰＣ１４の接合方法を説明する図である。図５（ａ）は側面図、図５（ｂ）は表から見た平面図（弾性体１２が貼着される側と反対側、ＦＰＣ１４が貼着される側）であり、図５（ｃ）はＦＰＣ１４の貼着部分の側面図である。
ＦＰＣ１４は、圧電体１１に駆動信号を供給するものである。本実施形態では、ＦＰＣ１４を圧電体１１の電極パターン面（表面）に導電性常温接着剤により接合させる。この接合により、圧電体１１のＡ相、Ｂ相およびＧＮＤとＦＰＣ１４の各ランドとの導通を得る様にしている。

ここで、導電性常温接着剤は、接合強度が比較的弱い。ＦＰＣ１４に外力がかかると、ＦＰＣ１４と圧電体１１との接合面に剥がれが生じる可能性がある。
そこで、ＦＰＣ１４と圧電体１１との接合強度を上げるため、図５（ａ）に示すように、ＦＰＣ１４を弾性体１２の外周面に沿って折り曲げる。そして、その折曲げ部１４ａを接着剤１４ｂで弾性体１２の外周面に固定することで補強する。接着剤１４ｂは、常温弾性接着剤が好適である。

ＦＰＣ１４の折曲げ部１４ａを接着剤１４ｂにより接着する弾性体１２の外周面は、駆動振動発生面（駆動面１２ａ）に対して垂直で、駆動方向（方向Ｘ）に対して平行である面が良い。
その理由は、駆動振動発生面（駆動面１２ａ）には、その駆動面１２ａに対して垂直方向（いわゆる加圧方向）に振動が発生している。その方向に対して垂直な面に接着剤のような振動減衰部材を塗布すると、振動が減衰され、振動波モータ１の駆動性能（発生トルクや効率）が大きく劣化するからである。このため、加圧方向である振動方向に対して平行な面が好適である。

また、駆動方向（方向Ｘ）には、駆動力を発生させる振動が発生している。これも同様に、駆動方向（方向Ｘ）の振動に対して垂直な面に接着剤のような振動減衰部材を塗布すると、振動が減衰され、振動波モータ１の駆動性能（発生トルクや効率）が大きく劣化する。

従って、接着剤を塗布しても駆動性能が劣化しにくい面は、第一実施形態の場合、加圧方向、すなわち振動方向に対して平行で、駆動方向（方向Ｘ）の振動方向に対して平行な弾性体１２の外周面となる。

比較形態として、圧電体１１に導電性接着剤を塗布し、その上にＦＰＣ１４を載せ熱圧着させる場合について説明する。この比較形態の場合、摂氏２００度程度の熱が加えられるため、圧電体１１と弾性体１２との接合部に熱衝撃が加わり、接着剥がれが発生する可能性がある。
また、チタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等のキュリー点が摂氏２００度以下の圧電体の場合には、熱により分極が劣化したりする可能性がある。

しかし、本実施形態によれば、圧電体１１とＦＰＣ１４との接合を、常温の導電性接着剤１４ｂを用いることで、圧電体１１と弾性体１２との熱衝撃による接着剥がれを防止でき、キュリー点が低い圧電体１１を振動波モータ１に搭載することが可能となる。
また、ＦＰＣ１４に折曲げ部１４ａを設け、弾性体１２外周面に接着剤１４ｂにより補強したことで、ＦＰＣ１４に外力が加わっても、ＦＰＣ１４の剥がれを防止することが出来る。
さらに、接着剤１４ｂによる補強部を、加圧方向の振動方向と平行で、駆動方向の振動方向と平行である弾性体１２外周面としたため、補強による駆動性能劣化を防止することが出来る。

（第二実施形態）
次に、本発明の第二実施形態を説明する。第二実施形態は、リニア型の振動波モータ２１０である。
図６は、第二実施形態の振動波モータ２１０を説明する図であり、振動波モータ２１０をレンズ鏡筒２３０に組み込んだ状態の図である。本実施形態のレンズ鏡筒２３０は、カメラ本体２３０Ａに着脱可能である。また、図７は図６のＡ−Ａ方向から見た図である。

振動子２３５は、支持部２３３に設置された設けられた加圧バネ２３４により、移動子２３６に加圧され、加圧バネ２３４が振動子２３５中央部の溝２３５ｂに嵌ることで、長手方向に支持されている。
振動子２３５への加圧の方向は、レンズ鏡筒２３０の周方向の接線方向に一致させていて、加圧バネ２３４の配置によってレンズ鏡筒２３０の径方向への大型化を防止している。支持部２３３は、固定筒２３１に取り付けられている。

移動子２３６は、アルミニウムといった軽金属からなり、摺動面２３６ａの表面には耐摩耗性向上のための摺動メッキが設けられている。また、移動子２３６は、リニアガイド２４０に押圧されており、リニアガイド２４０は固定筒２３１に固定され、移動子２３６は固定筒２３１に対して直線方向に移動可能となっている。

移動子２３６には、突起部２３７が設けられている。その突起部２３７には、ＡＦ環２３８に接続されたフォーク２３９が嵌合しており、移動子２３６の直進駆動に伴ってＡＦ環２３８は直進駆動される。
ＡＦ環２３８は、固定筒２３１に設けられた第１直線レール２４１および第２直線レール２４２に沿って可動な構造となっている。
直線レールに２４１，２４２は、ＡＦ環２３８に設けられたガイド部２４３，２４４が嵌合し、移動子２３６の直進駆動に伴って、光軸ＯＡ方向に直進方向に駆動され、所望の位置に停止できる様にされている。

図８は、第二実施形態の振動子２３５を説明する図である。
振動子２３５は、ＰＺＴと呼ばれるチタン酸ジルコン酸鉛、または、近年では環境問題から鉛フリーの材料であるチタン酸バリウム、チタン酸ビスマスナトリウム、チタン酸ビスマスカリウム等の圧電体２５０と、端部に設置された摺動部材２５１，２５２から構成されている。

振動子２３５には縦１次モード振動の定在波と、曲げ２次モード振動の定在波が発生するようにされている。
圧電体２５０は数枚の積層から構成され、内部の各圧電体２５０には４分割された内部電極２５５（２５５ａ，２５５ｂ，２５５ｃ，２５５ｄ）が設けられており、これら電極２５５（２５５ａ，２５５ｂ，２５５ｃ，２５５ｄ）には側面から導通がとれ、ＦＰＣ２１４よりＡ相とＢ相との駆動信号を印加させることができる。

振動子２３５の中央部には、上述したように、溝２３５ｂが設けられており、加圧バネ２３４がこの溝２３５ｂに嵌ることで、加圧位置のずれ防止ととともに、長手方向への支持も出来る様にされている。
摺動部材２５１，２５２は、耐摩耗性の良いエンジニアプラスチック材料から構成され、縦１次モード振動の定在波の振幅が最大になり、かつ曲げ２次モード振動の定在波の振幅が最大になる位置である図の場所に設けられている。

本発明の振動子２３５の振動の発生について、時系列的に説明する。図９（ａ）〜（ｅ）は振動子における振動の発生を説明する図である。

（ａ）ｔ＝１：Ａ相の電圧が−でＢ相の電圧が＋の場合
圧電体２５０の電極２５５ａが設けられた部分Ｐ１は長手方向に縮み、電極２５５ｂが設けられた部分Ｐ２は長手方向に伸び、電極２５５ｃが設けられた部分Ｐ３は長手方向に伸び、電極２５５ｄが設けられた部分Ｐ４は長手方向に縮むため、図９（ａ）中央右側の様な曲げ変位が発生する。
また、部分Ｐ１は長手方向に縮み、部分Ｐ２は長手方向に伸び、部分Ｐ３は長手方向に伸び、部分Ｐ４は長手方向に縮み、長さ方向の変位は相殺されるため、図９（ａ）中央左側の様に縦方法変位は発生しない。

（ｂ）ｔ＝２：Ａ相の電圧が＋、Ｂ相の電圧が＋の場合
部分Ｐ１は長手方向に伸び、部分Ｐ２は長手方向に伸び、部分Ｐ３は長手方向に伸び、部分Ｐ４は長手方向に伸びる。このため、図８（ｂ）中央右側の様に曲げ変位は発生しない。
部分Ｐ１は長手方向に伸び、部分Ｐ２は長手方向に伸び、部分Ｐ３は長手方向に伸び、部分Ｐ４は長手方向に伸びるため、図９（ｂ）中央左側の様な長さ方向の変位が発生する。

（ｃ）ｔ＝３：Ａ相の電圧が＋、Ｂ相の電圧が−の場合
部分Ｐ１は長手方向に伸び、部分Ｐ２は長手方向に縮み、部分Ｐ３は長手方向に縮み、部分Ｐ４は長手方向に伸びるため、図９（ｃ）中央右側の様な曲げ変位が発生する。
部分Ｐ１は長手方向に伸び、部分Ｐ２は長手方向に縮み、部分Ｐ３は長手方向に縮み、部分Ｐ４は長手方向に伸びるため、長さ方向の変位は相殺されるため、図９（ｃ）中央左側の様に縦方法変位は発生しない。

（ｄ）ｔ＝４：Ａ相の電圧が−、Ｂ相の電圧が＋の場合
部分Ｐ１は長手方向に縮み、部分Ｐ２は長手方向に縮み、部分Ｐ３は長手方向に縮み、部分Ｐ４は長手方向に縮むため、図９（ｄ）中央右側の様に曲げ変位は発生しない。
部分Ｐ１が長手方向に縮み、部分Ｐ２が長手方向に縮み、部分Ｐ３が長手方向に縮み、部分Ｐ４が長手方向に縮むため、図９（ｄ）中央左側の様な長さ方向の変位が発生する。

（ｅ）ｔ；５：ｔ＝１の場合、上記（ａ）に戻る

この様に振動を発生させた場合、摺動部材２５１，２５２が貼られたＣ点、Ｄ点は図９の最も右側に示す図の様に楕円運動が発生する。この摺動部材２５１，２５２に移動子２３６を加圧接触させると、移動子２３６は楕円運動により摩擦力を受け、駆動される。

ＦＰＣ２１４は、圧電体２５０に駆動信号を供給するものである。本実施形態では、ＦＰＣ２１４を圧電体２５０の電極２５５パターン面に導電性常温接着剤により接合させる。この接合により、圧電体２５０のＡ相、Ｂ相およびＧＮＤとＦＰＣ２１４の各ランドとの導通を得る様にしている。

また、第一実施形態と同様に、図８に示すように、ＦＰＣ２１４を圧電体２５０の表面に沿って折り曲げ、その折曲げ部２１４ａを接着剤２１４ｂで圧電体２５０の表面に固定することで補強する。接着剤２１４ｂは、常温弾性接着剤が好適である。

接着剤２１４ｂにより補強する部分は、第一実施形態と同様に、駆動振動発生面２５３ａに対して垂直方向で、駆動方向Ｘに対して平行方向である面が良い。
その理由は、第一実施形態と同様に、駆動振動発生面２５３ａには、振動面に対して垂直方向（いわゆる加圧方向）に振動が発生している。その方向に対して垂直な面に接着剤のような振動減衰部材を塗布すると、振動が減衰され、振動波モータ２１０の駆動性能（発生トルクや効率）が大きく劣化するからである。
したがって、加圧方向の振動方向に対して平行な面が好適である。

第二実施形態においても、第一実施形態と同様に、圧電体２５０とＦＰＣ２１４との接合を、常温の導電性接着剤を用いたことで、各圧電体２５０の積層を接合する接着接合部に対して熱衝撃による接着剥がれを防止でき、キュリー点が低い圧電体２５０を振動波モータ２１０に搭載することが可能となる。
また、ＦＰＣ２１４に折曲げ部を設け、弾性体外周面に接着剤により補強したことで、ＦＰＣ２１４に外力が加わっても、ＦＰＣ２１４の剥がれを防止することが出来る。
さらに接着剤２１４ｂによる補強部を、加圧方向の振動方向と平行で、駆動方向の振動方向と平行である振動子２３５の表面としたため、補強による駆動性能劣化を防止することが出来る。

（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）本実施形態では、進行性振動波を用いた振動波モータ１で、波数４の場合を開示したが、他の波数、５、６、７、８、９、または１０以上でも、同様な構成で、同様な効果が得られる。
（２）第１実施形態では、本発明をレンズの外周における所定箇所に取り付ける小型の振動波モータに適用する例について説明したが、これに限らず、レンズの外周の全周に取り付ける円環型の振動波モータにも適用可能である。
（３）また、本実施形態では、カメラ本体に着脱可能なレンズ鏡筒において使用される振動波モータについて説明したが、これに限定されず、カメラ本体とレンズ鏡筒とが一体になったカメラ内部に用いられる振動波モータであってもよい。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。

１：振動波モータ、１０：振動子、１１：圧電体、１２：弾性体、１２ａ：駆動面、１４ａ：折曲げ部、１４ｂ：導電性接着剤、２０：移動子、１１０：レンズ鏡筒、１１０Ａ：カメラ本体、１１１：電極、２１０：振動波モータ、２１４ａ：折曲げ部、２１４ｂ：接着剤、２３０：レンズ鏡筒、２３０Ａ：カメラ本体、２３５：振動子、２３６：移動子、２３６ａ：摺動面、２５０：圧電体、２５１：摺動部材、２５２：摺動部材、２５５：電極

Claims (6)

1. 駆動信号が入力される電気機械変換素子と、
   前記駆動信号により駆動面に振動波を生じる振動子と、
   前記電気機械変換素子に駆動信号を供給し、前記電気機械変換素子の一部に接合される信号供給部と、
   前記振動子の駆動面に加圧接触される摺動面を有し、前記振動波によって駆動される相対運動部材と、
   を備える振動波モータにおいて、
   前記信号供給部と前記電気機械変換素子とは、常温硬化の導電性接着材料により接合されていること、
   を特徴とする振動波モータ。
2. 請求項１記載の振動波モータにおいて、
   前記信号供給部と前記振動子とを常温硬化の接着材料により結合されていること、
   を特徴とする振動波モータ。
3. 請求項１または２記載の振動波モータにおいて、
   前記信号供給部は、フレキシブルプリント基板であって、
   前記電気機械変換素子の駆動振動発生面と平行な第一部と、
   前記第一部と垂直な第二部とを有し、
   前記第一部が前記常温硬化の導電性接着材料により前記電気機械変換素子に接合され、前記第二部が前記常温硬化の接着材料により前記振動子に接合されていること、
   を特徴とする振動波モータ。
4. 請求項３に記載の振動波モータにおいて、
   前記第二部は、前記電気機械変換素子の前記駆動振動発生面に垂直且つ前記電気機械変換素子の駆動方向に平行な面であること、
   を特徴とする振動波モータ。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるレンズ鏡筒。
6. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるカメラ。

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