JP2008125229A - 慣性駆動アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】慣性駆動アクチュエータは、固定部材10と、固定部材10上に配置された振動基板30と、振動基板30上に配置された移動体40と、固定部材10上に対して振動基板30を往復移動させる圧電素子20とを備えている。移動体40は第一駆動電極41を有し、振動基板30は第二駆動電極31と検出電極33を有し、それらは絶縁膜35を介して部分的に対向する。第一駆動電極41と検出電極33の対向部分の面積は移動体40の移動に伴って連続的に変化する。慣性駆動アクチュエータはさらに、第一駆動電極41と第二駆動電極31との間に電圧を印加して振動基板30と移動体40との間の摩擦力を制御する摩擦力制御手段70と、第一駆動電極41と検出電極33の対向部分の静電容量に基づいて移動体40の位置を検出する位置検出手段80とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明の第一実施形態による慣性駆動アクチュエータの構成を図1に示す。
本発明の第二実施形態による慣性駆動アクチュエータの構成を図4に示す。図中、図1と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。また本実施形態の慣性駆動アクチュエータにおける駆動と位置検出のタイミングチャートを図5に示す。
本実施形態の第一変形例による慣性駆動アクチュエータの構成を図6に示す。図中、図4と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。この変形例では、信号発生回路82を用いず、摩擦力制御手段70が信号発生回路82の役割を兼用する。つまり、移動体40の位置を検出する工程において、摩擦力制御手段70が位置検出のための信号を生成して第一駆動電極41へ印加する。この変形例によれば、信号発生回路82がなくなり、構成が簡単になる。この変形例では、摩擦力制御手段70が位置検出手段の一部を兼ねていると言える。
図5において、第二駆動電極31に印加する電圧は一定の電圧であり、その極性は変わらない。このため第二駆動電極31の上に形成された絶縁膜35が帯電してしまう可能性がある。絶縁膜35の帯電が振動基板30と移動体40との間に作用する静電吸着力を弱め、移動体40の慣性に逆らって移動体40を振動基板30と一緒に移動させるに十分な摩擦力が振動基板30と移動体40との間に生じなくなるおそれがある。
本発明の第三実施形態による慣性駆動アクチュエータの構成を図8に示す。図中、図4と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。また本実施形態の慣性駆動アクチュエータにおける駆動と位置検出のタイミングチャートを図9に示す。
本実施形態の第一変形例による慣性駆動アクチュエータの構成を図10に示す。図中、図8と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。この変形例では、図10に示すように、振動基板30は2枚の第二駆動電極31を有する。2枚の第二駆動電極31は同じ形状で、同一平面上に位置し、振動基板30のほぼ全体にわたり、移動体40の移動方向に平行な直線に沿って延びている。移動体40の移動方向に垂直な方向に関して、検出電極33,34は振動基板30の中央に位置し、2枚の第二駆動電極31は、検出電極33,34を間に挟むように、振動基板30の端部に位置している。
本実施形態の第二変形例による慣性駆動アクチュエータの構成を図11に示す。図中、図8と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。この変形例では、図11に示すように、振動基板30は1枚の第二駆動電極31と2枚の検出電極33と2枚の検出電極34とを有する。2枚の検出電極33はそれぞれ移動体40の移動方向に平行な直線に沿って2枚の検出電極34と隣り合って並んでいる。移動体40の移動方向に垂直な方向に関して、第二駆動電極31は振動基板30の中央に位置し、2枚の検出電極33と2枚の検出電極34は、それぞれ、第二駆動電極31を間に挟むように、振動基板30の端部に位置している。
本実施形態の第三変形例による慣性駆動アクチュエータの構成を図12に示す。図中、図10と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。この変形例では、図12に示すように、振動基板30は2枚の第二駆動電極31と検出電極33Aと検出電極34Aとを有する。移動体40の移動方向に垂直な方向に関して、検出電極33A,34Aは振動基板30の中央に位置し、2枚の第二駆動電極31は、検出電極33A,34Aを間にはさむように、振動基板30の端部に位置している。検出電極33A,34Aは全体として振動基板30の移動方向に平行な直線に沿って延びている。検出電極33A,34Aは間隔を置いて互いに隣接して位置し、その間隔は振動基板30の移動方向に対して斜めに延びている。検出電極33Aは、振動基板30の左側から右側に向かうにつれて、移動体40の移動方向に垂直な直線に沿った寸法が連続的に増加し、反対に検出電極34Aは、振動基板30の左側から右側に向かうにつれて、移動体40の移動方向に垂直な直線に沿った寸法が連続的に減少する。従って、第一駆動電極41と検出電極33Aの対向部分および第一駆動電極41と検出電極34Aの対向部分は、移動体40の移動に伴って、その移動方向に垂直な直線に沿った寸法が変化する。
本実施形態の第四変形例による慣性駆動アクチュエータの構成を図13に示す。図中、図8と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。この変形例では、図13に示すように、振動基板30は第二駆動電極31Aと検出電極33Bと検出電極34Bとを有する。第二駆動電極31Aと検出電極33Bと検出電極34Bは移動体40の移動方向に平行な直線に沿って隣り合って並んでいる。移動体40の移動方向に関して、第二駆動電極31Aは振動基板30の中央に位置し、検出電極33Bと検出電極34Bは第二駆動電極31Aを間に挟むように振動基板30の端部に位置している。第一駆動電極41は移動体40の移動範囲において常に検出電極33Bと検出電極34Bの両方と部分的に対向する。
本実施形態の第五変形例による慣性駆動アクチュエータの構成を図14に示す。図中、図8と同一の参照符号を付した部材は同様の部材を意味する。この変形例では、図14に示すように、移動体40Aは導電性と磁性を有する材料で構成され、移動体40Aそのものがこれまでに説明した第一駆動電極41として機能する。
Claims (13)
- 固定部材と、
前記固定部材上に配置された振動基板と、
前記固定部材に対して前記振動基板を直線的に往復移動させる移動手段と、
前記振動基板上に配置された、前記振動基板の往復移動に対して慣性により前記振動基板に対して移動する移動体と、
前記振動基板と対向する前記移動体の面に設けられた第一駆動電極と、
前記移動体と対向する前記振動基板の面に設けられた第二駆動電極と、
前記移動体と対向する前記振動基板の面に設けられた、前記第一駆動電極との対向部分の面積が前記移動体の移動に伴って連続的に変化する検出電極と、
前記第一駆動電極と前記第二駆動電極および前記検出電極との間に介在する絶縁膜と、
前記第一駆動電極と前記第二駆動電極との間に電圧を印加して両者間に静電気力を作用させることにより前記振動基板と前記移動体との間に生じる摩擦力を制御する摩擦力制御手段と、
前記第一駆動電極と前記検出電極の対向部分の静電容量に基づいて前記振動基板に対する前記移動体の位置を検出する位置検出手段とを備えていることを特徴とする慣性駆動アクチュエータ。 - 前記摩擦力制御手段による摩擦力制御と前記位置検出手段による位置検出とを同時に行うことを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記摩擦力制御手段は、前記位置検出手段が前記移動体の位置を検出する間、前記第一駆動電極と前記第二駆動電極との間への電圧の印加を停止することを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記摩擦力制御手段は、前記位置検出手段が前記移動体の位置を検出する間、前記第一の駆動電極へ位置検出のための電圧を印加するとともに、前記第二駆動電極への電圧の印加を停止することを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記移動体が導電体からなり、前記移動体そのものが前記第一駆動電極として機能することを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記摩擦力制御手段は、前記第一駆動電極と前記第二駆動電極の一方に印加する電圧の極性を変化させることを特徴とする請求項3に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記検出電極は、2つの検出電極要素を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記移動体の一方向の移動に対して、前記2つの検出電極要素の一方と前記第一駆動電極との第一対向部分の面積は連続的に増加し、その反対に前記2つの検出電極要素の他方と前記第一駆動電極との第二対向部分の面積は連続的に減少することを特徴とする請求項7に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記位置検出手段は、前記第一対向部分の静電容量と前記第二対向部分の静電容量とを比較することにより、前記移動体の位置を検出することを特徴とする請求項8に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記2つの検出電極要素と前記第一駆動電極の対向部分は、前記移動体の移動に伴って、その移動方向に平行な直線に沿った寸法が変化することを特徴とする請求項8に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記2つの検出電極要素と前記第一駆動電極の対向部分は、前記移動体の移動に伴って、その移動方向に垂直な直線に沿った寸法が変化することを特徴とする請求項8に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記第二駆動電極は、前記振動基板の移動方向に垂直な方向に関して前記2つの検出電極要素を挟むように配置されている複数の駆動電極要素を含んでいることを特徴とする請求項8に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記検出電極は、前記2つの検出電極要素と同様の別の2つの検出電極要素をさらに含んでおり、これらの検出電極要素は、前記振動基板の移動方向に垂直な方向に関して、前記第二駆動電極を挟むように配置されていることを特徴とする請求項8に記載の慣性駆動アクチュエータ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013123292A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの制御方法、および固定子 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8780053B2 (en) * | 2007-03-21 | 2014-07-15 | Northwestern University | Vibrating substrate for haptic interface |
US8525778B2 (en) | 2007-03-21 | 2013-09-03 | Northwestern University | Haptic device with controlled traction forces |
JP2009022067A (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-29 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータ |
US10108288B2 (en) | 2011-05-10 | 2018-10-23 | Northwestern University | Touch interface device and method for applying controllable shear forces to a human appendage |
US9122325B2 (en) | 2011-05-10 | 2015-09-01 | Northwestern University | Touch interface device and method for applying controllable shear forces to a human appendage |
WO2012177719A2 (en) | 2011-06-21 | 2012-12-27 | Northwestern University | Touch interface device and method for applying lateral forces on a human appendage |
JP5851210B2 (ja) * | 2011-11-11 | 2016-02-03 | オリンパス株式会社 | 慣性駆動アクチュエータ |
CN103780135B (zh) * | 2013-10-15 | 2015-12-02 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种直流摩擦电发电机 |
EP3741038B1 (en) | 2018-01-19 | 2023-03-15 | Thorlabs, Inc. | Compact piezoelectric inertial drive stage |
US11606045B2 (en) | 2018-01-19 | 2023-03-14 | Thorlabs, Inc. | Compact piezoelectric inertial drive stage |
CN110011562B (zh) * | 2019-04-29 | 2020-03-24 | 安徽大学 | 一种摆动式摩擦纳米发电机 |
CA3103330A1 (en) | 2020-11-17 | 2022-05-17 | Thorlabs, Inc. | Compact piezoelectric inertial drive stage |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6412876A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-17 | Seiko Instr & Electronics | Position detector for electrostatic actuator |
JP2004304942A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Olympus Corp | アクチュエータ及びアクチュエータ駆動方法並びにアクチュエータシステム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6219274B1 (en) * | 1999-06-08 | 2001-04-17 | Tdk Corporation | Ferromagnetic tunnel magnetoresistance effect element and method of producing the same |
JP2003185406A (ja) | 2001-12-18 | 2003-07-03 | Minolta Co Ltd | 位置検出装置 |
JP4095529B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2008-06-04 | 株式会社東芝 | 静電アクチュエータ、静電アクチュエータ駆動方法、電気機械変換素子及び電気機械変換素子駆動方法 |
JP4912728B2 (ja) * | 2006-04-12 | 2012-04-11 | オリンパス株式会社 | 慣性駆動アクチュエータ |
-
2006
- 2006-11-10 JP JP2006305724A patent/JP2008125229A/ja active Pending
-
2007
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6412876A (en) * | 1987-07-02 | 1989-01-17 | Seiko Instr & Electronics | Position detector for electrostatic actuator |
JP2004304942A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Olympus Corp | アクチュエータ及びアクチュエータ駆動方法並びにアクチュエータシステム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013123292A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Dainippon Printing Co Ltd | 静電アクチュエータ、静電アクチュエータの制御方法、および固定子 |
Also Published As
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