JP5171395B2 - ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 - Google Patents
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Description
所定の位置に到達したときに、制御部52によって駆動手段4を制御することにより、目的位置に停止させられる。
2 固定体
21 第1固定電極
21A (第1固定電極の)個別電極
22 第2固定電極
22A (第2固定電極の)個別電極
23 参照用固定電極
24,25 (固定体の)溝
3,3′ ステージ
31 第1移動電極
31A (第1移動電極の)個別電極
32 第2移動電極
32A (第2移動電極の)個別電極
33 参照用移動電極
34,35 (ステージの)溝
36 第3移動電極
4 駆動手段
5,5′ 検出装置
50A 第1コンデンサ部
50B 第2コンデンサ部
50C〜E 既知コンデンサ部
51 参照用コンデンサ
52 制御部
53 ブリッジ回路
55 電源部
56 比較アンプ
61 電源制御部
Claims (15)
- 固定体に対して相対移動可能なステージの位置変動を検出する装置であって、
前記固定体に設けられた固定体電極と、前記ステージに設けられたステージ電極とで構成された複数のコンデンサ部を有し、
複数の前記コンデンサ部の電気容量それぞれが、前記ステージの移動にともなって周期的に変動し、
少なくとも2つの前記コンデンサ部の電気容量の各位相が、相互にずれて構成されており、
前記ステージの移動中、複数の前記コンデンサ部のうち少なくとも1つの前記コンデンサ部の電気容量が略一定であるとともに、前記ステージの移動に応じて、少なくとも1つの他の前記コンデンサ部の電気容量が変動する構成とされていることを特徴とするステージの位置変動検出装置。 - 複数の前記コンデンサ部のうち、
前記ステージの移動量に対する、前記電気容量の変化量の割合が最も大きい前記コンデンサ部を選択する手段と、
選択した前記コンデンサ部の電気容量に基づいて、前記ステージの位置変動を検出する手段と、を有することを特徴とする、請求項1記載のステージの位置変動検出装置。 - 前記固定体電極および前記ステージ電極は、前記ステージの移動方向に沿って複数の個別電極部が配列されて構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のステージの位置変動検出装置。
- 複数の前記コンデンサ部それぞれで、
前記固定体電極の前記個別電極部に対する、前記ステージ電極の前記個別電極部の相対位置が、前記移動方向に沿ってずれていることを特徴とする請求項3記載のステージの位置変動検出装置。 - 前記固定体電極および前記ステージ電極の双方において、複数の前記個別電極部の配列ピッチが、略一定とされていることを特徴とする請求項3または4に記載のステージの位置変動検出装置。
- 前記固定体に、第1の固定体電極と第2の固定体電極とが設けられており、
前記ステージに、第1のステージ電極と第2のステージ電極とが設けられており、
前記第1の固定体電極と前記第1のステージ電極とで構成された第1のコンデンサ部と、前記第2の固定体電極と前記第2のステージ電極とで構成された第2のコンデンサ部とを備えることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のステージの位置変動検出装置。 - 前記固定体に対して前記ステージを移動させたときの前記第1および第2コンデンサ部からの出力波形の位相のずれは、60°以上120°以下である、請求項6に記載のステージの位置変動検出装置。
- 前記固定体に対して前記ステージを移動させたときの前記第1および第2コンデンサ部からの出力波形の位相のずれが、略90°である、請求項6に記載のステージの位置変動検出装置。
- 前記ステージの移動中、前記電気容量が略一定となる前記1つのコンデンサ部の電気容量に応じ、前記複数のコンデンサ部に共通に供給される電圧を調整することを特徴とする、請求項1記載のステージの位置変動検出装置。
- 前記固定体電極および前記ステージ電極は、前記ステージの移動方向に沿って複数の個別電極部が配列されて構成されており、
前記固定体電極の前記個別電極部と、前記ステージ電極の前記個別電極部とは、前記移動方向に沿った幅の大きさが異なっている、請求項1または9に記載のステージの位置変動検出装置。 - 前記固定体電極の前記個別電極部の前記移動方向に沿った幅W1に対し、前記固定体電極の前記個別電極部の前記移動方向に沿った幅W2とが、W2=1.25×W1とされている、請求項10記載のステージの位置変動検出装置。
- 前記固定体電極は、前記固定体に溝を形成した後に、該溝の内部および該溝が形成された面を覆うように導体層を形成し、前記固定体の表面が露出するまで前記導体層を研磨することにより形成されている、請求項1〜11のいずれかに記載のステージの位置変動検出装置。
- 前記ステージ電極は、前記ステージに溝を形成した後に、該溝の内部および該溝が形成された面を覆うように導体層を形成し、前記ステージの表面が露出するまで前記導体層を研磨することにより形成されている、請求項1〜12のいずれかに記載のステージの位置変動検出装置。
- 固定体と、
前記固定体に対して相対移動可能なステージと、
前記固定体に対して前記ステージを相対移動させるための駆動手段と、
前記ステージを前記固定体における所定の位置で位置決め停止させた後の前記ステージの位置変動を検出する位置変動検出装置と、
を備えており、
前記位置変動検出装置は、請求項1〜13のいずれかに記載のものであることを特徴とする、搬送装置。 - 前記位置変動検出装置において前記ステージの位置変動が確認されたときに、前記位置変動検出装置での検出結果に基づいて、前記駆動手段を制御して前記ステージを所定の位置に位置させるための制御手段をさらに備えている、請求項14に記載の搬送装置。
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