JPH0318759A - 輪速検出装置 - Google Patents
輪速検出装置Info
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- JPH0318759A JPH0318759A JP15352189A JP15352189A JPH0318759A JP H0318759 A JPH0318759 A JP H0318759A JP 15352189 A JP15352189 A JP 15352189A JP 15352189 A JP15352189 A JP 15352189A JP H0318759 A JPH0318759 A JP H0318759A
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- wheel speed
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- signals
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 24
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- Regulating Braking Force (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は輪速検出装置に係り、特に歯車状のトーンホイ
ールにピンクアップセンサを対向させてトーンホイール
の回転に伴う磁束変化から輪速を演算するようにした輪
速検出装置に改良に関する。
ールにピンクアップセンサを対向させてトーンホイール
の回転に伴う磁束変化から輪速を演算するようにした輪
速検出装置に改良に関する。
従来、車輪回転速度を検出する方法として、車輪ととも
に回転するトーンホイールに対向してピックアップセン
サを固定配置し、ピックアップセンサによる磁束変化を
検出することにより車輪の回転速度を算出する方法が採
用されている。この種の輪速検出装置に用いるピックア
ソプセンサは、永久磁石に接合されて前記トーンホイー
ル外周側に延びる磁性材料製ボールピースを備え、その
外周に検出用コイルを取り付けたもので、そのピンクア
ップ部に磁性体からなるトーンホイールの外周に規則的
に形威された凹凸歯を通過させることに伴ってボールピ
ースに発生する磁束変化を検出する．検出信号はコンパ
レー夕に入力され、比較基準電圧によって出力状態を識
別させたパルス出力を得て、そのパルスをカウントし、
輪速を求めるようにしている。
に回転するトーンホイールに対向してピックアップセン
サを固定配置し、ピックアップセンサによる磁束変化を
検出することにより車輪の回転速度を算出する方法が採
用されている。この種の輪速検出装置に用いるピックア
ソプセンサは、永久磁石に接合されて前記トーンホイー
ル外周側に延びる磁性材料製ボールピースを備え、その
外周に検出用コイルを取り付けたもので、そのピンクア
ップ部に磁性体からなるトーンホイールの外周に規則的
に形威された凹凸歯を通過させることに伴ってボールピ
ースに発生する磁束変化を検出する．検出信号はコンパ
レー夕に入力され、比較基準電圧によって出力状態を識
別させたパルス出力を得て、そのパルスをカウントし、
輪速を求めるようにしている。
ところが、近年の車両に用いられるトーンホイールの直
径は小さくなる傾向があり、これに伴ってトーンホイー
ル外周の歯数が少なくなるため、必然的に車輪速度を検
出するためのパルス数も少なくなる問題があった。この
ため、二つのピックアップセンサをトーンホイールに直
列に配置し、あるいは二枚のトーンホイールの各々に個
別に配置しつつ、検出パルスを加算出力するようにして
検出パルス数を倍増する輪速検出装置（特開昭５６−３
７５６３号公報）が提案されているものの、最近ではｌ
パルスで車輪速度を検出するようにして、少ない情報か
ら有効に検出する方法が注目されている。これはパルス
エッジ間の時間を計測することで速度が求められる。
径は小さくなる傾向があり、これに伴ってトーンホイー
ル外周の歯数が少なくなるため、必然的に車輪速度を検
出するためのパルス数も少なくなる問題があった。この
ため、二つのピックアップセンサをトーンホイールに直
列に配置し、あるいは二枚のトーンホイールの各々に個
別に配置しつつ、検出パルスを加算出力するようにして
検出パルス数を倍増する輪速検出装置（特開昭５６−３
７５６３号公報）が提案されているものの、最近ではｌ
パルスで車輪速度を検出するようにして、少ない情報か
ら有効に検出する方法が注目されている。これはパルス
エッジ間の時間を計測することで速度が求められる。
しかしながら、従来のパルス幅検出方法では、ピックア
ップセンサ信号のデューティ比が０． ５でない場合
には車輪回転に伴う正確なパルス幅とならない問題があ
った。これは、トーンホイール及びボールピースの磁気
異方性が影響しているためである。つまり、磁束の増加
する速度と減少する速度が異なるためである．すなわち
、磁束が完全に減少しない内に次のトーンホイールのエ
ッジが来るため、磁束減少中に逆に磁束を増加させてし
まい、デューティ比が０．５とならない。これは、トー
ンホイールの外周が小さくなり、歯の間隔が狭くなった
ためである．したがって、トーンホイールの回転速度が
高くなる程、デューティ比が悪くなることになる。この
変動によって検出パルス幅も変動してしまうため、検出
速度に誤差が生じてしまう．したがって、１パルスから
読み取る輪速検出装置の精度が上がらず、少ないトーン
ホイール情報から正確な車輪速度を求めることができず
、誤差を排除することができなかった。
ップセンサ信号のデューティ比が０． ５でない場合
には車輪回転に伴う正確なパルス幅とならない問題があ
った。これは、トーンホイール及びボールピースの磁気
異方性が影響しているためである。つまり、磁束の増加
する速度と減少する速度が異なるためである．すなわち
、磁束が完全に減少しない内に次のトーンホイールのエ
ッジが来るため、磁束減少中に逆に磁束を増加させてし
まい、デューティ比が０．５とならない。これは、トー
ンホイールの外周が小さくなり、歯の間隔が狭くなった
ためである．したがって、トーンホイールの回転速度が
高くなる程、デューティ比が悪くなることになる。この
変動によって検出パルス幅も変動してしまうため、検出
速度に誤差が生じてしまう．したがって、１パルスから
読み取る輪速検出装置の精度が上がらず、少ないトーン
ホイール情報から正確な車輪速度を求めることができず
、誤差を排除することができなかった。
本発明は、上記従来の問題点に着目し、闇値となる基準
電圧の変動があっても、これに影響されずに輪速に基づ
く正確なパルス出力を得て、パルスエッジ毎のパルス幅
計測を行うことができ、もって少ないトーンホイール情
報から精度の高い輪速を算出することができる輪速検出
装置を提供することを目的とする。
電圧の変動があっても、これに影響されずに輪速に基づ
く正確なパルス出力を得て、パルスエッジ毎のパルス幅
計測を行うことができ、もって少ないトーンホイール情
報から精度の高い輪速を算出することができる輪速検出
装置を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明に係る輪速検出装置
は、一定のピンチ間隔で配列された凹凸歯を有するトー
ンホイールに対して１８０度の位相差をもって配置され
た一対のピックアップセンサを備え、各ピソクアップセ
ンサからの出力信号を各々入力される入力端子を持つコ
ンパレータに入力させ、両入力信号の電圧値の大小関係
に応じた輪速パルス信号を検出可能としたものである。
は、一定のピンチ間隔で配列された凹凸歯を有するトー
ンホイールに対して１８０度の位相差をもって配置され
た一対のピックアップセンサを備え、各ピソクアップセ
ンサからの出力信号を各々入力される入力端子を持つコ
ンパレータに入力させ、両入力信号の電圧値の大小関係
に応じた輪速パルス信号を検出可能としたものである。
［作用］
上記構或によれば、トーンホイールに対向する一対のピ
ックアップセンサからは１８０度位相の異なる正弦波信
号が出力される。これはコンバレー夕の二つの入力端子
から入力され、一方の入力信号を基準電圧レヘルとして
他方の入力信号の大小関係を比較し、基準電圧レベルと
なっている正弦波信号より他方の正弦波信号レヘルが大
きいときにパルス出力が得られるものとなる．この場合
、両入力信号は同一トーンホイールから−の１８０度位
相差のある検出信号であるので、コンパレータの出力は
デューティ比が５０％のパルス出力となり、基準電圧の
変動に影響されないものとなる。
ックアップセンサからは１８０度位相の異なる正弦波信
号が出力される。これはコンバレー夕の二つの入力端子
から入力され、一方の入力信号を基準電圧レヘルとして
他方の入力信号の大小関係を比較し、基準電圧レベルと
なっている正弦波信号より他方の正弦波信号レヘルが大
きいときにパルス出力が得られるものとなる．この場合
、両入力信号は同一トーンホイールから−の１８０度位
相差のある検出信号であるので、コンパレータの出力は
デューティ比が５０％のパルス出力となり、基準電圧の
変動に影響されないものとなる。
このため、常時デューティ比５０％の輪速パルス信号を
得て、パルスエッジ間の時間をカウントして正しい車輪
速度を演算出力させることができるのである． （実施例） 以下に、本発明に係る輪速検出装置の具体的実施例を図
面を参照して詳細に説明する。
得て、パルスエッジ間の時間をカウントして正しい車輪
速度を演算出力させることができるのである． （実施例） 以下に、本発明に係る輪速検出装置の具体的実施例を図
面を参照して詳細に説明する。
第１図に実施例に係る輪速検出装置の要部構威図を示す
。図示のように、本発明に係る輪速検出装置は、車輪側
に取り付けられて車輪とともに回転されるトーンホイー
ル１０に対向して配置された一対のピックアップセンサ
１２Ａ、１２Ｂを備えている。トーンホイール１０は磁
性体から形成される円盤体からなり、その外周に規則的
に凹凸歯１４を配列形成して、車輪側の回転部材に取り
付けられる．また、一対のピックアップセンサ１２Ａ，
１２Ｂは共通の永久磁石１６に二つのポールビース１８
を接合して構威されており、各ポールピースｌ８に磁束
変化検出用のコイル２０を巻回装着した構造となってい
る。各ピックアップセンサ１２Ａ、１２Ｂは磁気的に分
離されており、図示しない非磁性体ハウジングによりボ
ールビース１８およびコイル２０が各々カバーされてい
る。
。図示のように、本発明に係る輪速検出装置は、車輪側
に取り付けられて車輪とともに回転されるトーンホイー
ル１０に対向して配置された一対のピックアップセンサ
１２Ａ、１２Ｂを備えている。トーンホイール１０は磁
性体から形成される円盤体からなり、その外周に規則的
に凹凸歯１４を配列形成して、車輪側の回転部材に取り
付けられる．また、一対のピックアップセンサ１２Ａ，
１２Ｂは共通の永久磁石１６に二つのポールビース１８
を接合して構威されており、各ポールピースｌ８に磁束
変化検出用のコイル２０を巻回装着した構造となってい
る。各ピックアップセンサ１２Ａ、１２Ｂは磁気的に分
離されており、図示しない非磁性体ハウジングによりボ
ールビース１８およびコイル２０が各々カバーされてい
る。
このような一対のピックアップセンサ１２Ａ５１２Ｂの
ポールピース１８の先端ビックアップ部２２Ａ，２２Ｂ
はトーンホイール１０の外周に幻向して配置されるが、
これらはトーンホイールｌＯに対し検出信号に１８０度
の位相差が得られるように設定されている。すなわち、
トーンホイール１０の凹凸歯１４がピックアップセンサ
１２Ａ、１２Ｂを通過することによって各コイル２０に
は磁束変化に応じた誘導起電力が生し、これは正弦波と
してコイル２０から出力される。この出力信号が１８０
度の位相差を持つように、一方のビノクアップ部２２Ａ
がトーンホイールＩＯの凹凸歯ｌ４における凸歯に対向
しているときに、他方のピックアップ部２２Ｂが凹歯に
対向する関係となるように固定配置しているのである， 上記ピックアップセンサ１２Ａ，１２Ｂによる検出信号
はパルス発生回路に出力されるようになっている。この
パルス発生回路はフィルタ回路２４、オフセット回路２
６、およびパルス幅変調回路を応用したコンパレーク２
８から構成されている。まず、フィルタ回路２４は位相
差が与えられた二つの信号Ａ，Ｂを入カするもので、直
流威分を除去するコンデンサ３０Ａ，３０Ｂと帯域フィ
ルタとしてのＲＣフィルタ３２Ａ，３２Ｂから構成され
ている。オフセット回路２６は、前記フィルタ回路２４
から出力された各信号にバイアス電圧を加えるもので、
オペアンブ３４Ａ、３４Ｂを備え、その一入力端子に比
較基準電圧を印加し、かつ十入力端子に３６８にＲＣフ
ィルタ３２Ａ、３２Ｂからの信号を入力させている。こ
れによりオペアンプ３４Ａ、３４Ｂからの出力信号は、
抵抗３６Ａ，３６Ｂによって決定された電圧（バイアス
電圧）を前記検出信号に加えた値となり、次段のコンパ
レータ２８に出力される。なお、オフセント回路２６に
おけるコンデンサ３８は、オペアンプ３４Ａ、３４Ｂの
一入力端子側の電圧変動を防止し、オフセットレベルを
一定に保つためのものである。
ポールピース１８の先端ビックアップ部２２Ａ，２２Ｂ
はトーンホイール１０の外周に幻向して配置されるが、
これらはトーンホイールｌＯに対し検出信号に１８０度
の位相差が得られるように設定されている。すなわち、
トーンホイール１０の凹凸歯１４がピックアップセンサ
１２Ａ、１２Ｂを通過することによって各コイル２０に
は磁束変化に応じた誘導起電力が生し、これは正弦波と
してコイル２０から出力される。この出力信号が１８０
度の位相差を持つように、一方のビノクアップ部２２Ａ
がトーンホイールＩＯの凹凸歯ｌ４における凸歯に対向
しているときに、他方のピックアップ部２２Ｂが凹歯に
対向する関係となるように固定配置しているのである， 上記ピックアップセンサ１２Ａ，１２Ｂによる検出信号
はパルス発生回路に出力されるようになっている。この
パルス発生回路はフィルタ回路２４、オフセット回路２
６、およびパルス幅変調回路を応用したコンパレーク２
８から構成されている。まず、フィルタ回路２４は位相
差が与えられた二つの信号Ａ，Ｂを入カするもので、直
流威分を除去するコンデンサ３０Ａ，３０Ｂと帯域フィ
ルタとしてのＲＣフィルタ３２Ａ，３２Ｂから構成され
ている。オフセット回路２６は、前記フィルタ回路２４
から出力された各信号にバイアス電圧を加えるもので、
オペアンブ３４Ａ、３４Ｂを備え、その一入力端子に比
較基準電圧を印加し、かつ十入力端子に３６８にＲＣフ
ィルタ３２Ａ、３２Ｂからの信号を入力させている。こ
れによりオペアンプ３４Ａ、３４Ｂからの出力信号は、
抵抗３６Ａ，３６Ｂによって決定された電圧（バイアス
電圧）を前記検出信号に加えた値となり、次段のコンパ
レータ２８に出力される。なお、オフセント回路２６に
おけるコンデンサ３８は、オペアンプ３４Ａ、３４Ｂの
一入力端子側の電圧変動を防止し、オフセットレベルを
一定に保つためのものである。
次にコンパレータ２８は、フィルタ回路２４とオフセッ
ト回路２６を経た検出信号Ａ．Ｂを入力して比較をなし
、それらの大小関係に応したパルスを発生出力するよう
にしたもので、これはパルス幅変調回路を応用したもの
である。すなわち、コンパレータ２８の十入力端子には
信号Ａを入力し、他方の一端子には信号Ｂを入力させる
ようにしている。コンパレータ２８では、前記オペアン
ブ３４Ａ、３４Ｂからの信号Ａ，Ｂを比較し、その電圧
値の大小により出力の状態が異ならせるもので、実施例
では信号Ａの電圧が信号Ｂの電圧より高い場合に「１」
を出力し、逆の場合にｒＱ，を出力させるよう６こして
いる。したがって、正弦波信号Ｂを基準電圧として正弦
波信号Ａが十電圧となっている期間をパルス幅とするパ
ルス出力、すなわち正弦波信号Ａの大きさに比例したパ
ルス出力を得るようにしている。この実施例では信号Ａ
と信号Ｂとは同一のトーンホイール１０から得られる１
８０度位相差がある信号であるため、コンパレータ２８
からの出力はデューティ比５０％のパルス出力信号が得
られる。
ト回路２６を経た検出信号Ａ．Ｂを入力して比較をなし
、それらの大小関係に応したパルスを発生出力するよう
にしたもので、これはパルス幅変調回路を応用したもの
である。すなわち、コンパレータ２８の十入力端子には
信号Ａを入力し、他方の一端子には信号Ｂを入力させる
ようにしている。コンパレータ２８では、前記オペアン
ブ３４Ａ、３４Ｂからの信号Ａ，Ｂを比較し、その電圧
値の大小により出力の状態が異ならせるもので、実施例
では信号Ａの電圧が信号Ｂの電圧より高い場合に「１」
を出力し、逆の場合にｒＱ，を出力させるよう６こして
いる。したがって、正弦波信号Ｂを基準電圧として正弦
波信号Ａが十電圧となっている期間をパルス幅とするパ
ルス出力、すなわち正弦波信号Ａの大きさに比例したパ
ルス出力を得るようにしている。この実施例では信号Ａ
と信号Ｂとは同一のトーンホイール１０から得られる１
８０度位相差がある信号であるため、コンパレータ２８
からの出力はデューティ比５０％のパルス出力信号が得
られる。
このようなパルス発生回路から出力されるデューティ比
５０％のパルス出力は、次段の演算回路４２に出力され
、ここで発生ｌパルスの幅が演算される。このパルス幅
は車輪の速度に依存したものであるため、輪速値を求め
ることができる。これはパルスのエンジ毎に図示しない
発振回路からパルスをカウントすることで容易に算出す
ることができる。
５０％のパルス出力は、次段の演算回路４２に出力され
、ここで発生ｌパルスの幅が演算される。このパルス幅
は車輪の速度に依存したものであるため、輪速値を求め
ることができる。これはパルスのエンジ毎に図示しない
発振回路からパルスをカウントすることで容易に算出す
ることができる。
上記のような輪速検出装置の作用を第２図のタイムチャ
ートを用いて説明する。トーンホイール１０の回転に伴
うピックアップセンサ１２Ａ，１２Ｂの出力信号は雑音
等の不要成分を含んでパルス発生回路に入力されるが、
これらの信号Ａ， Ｂはフィルタ回路２４を経て第２図
（１）、（２）のような正弦波として得られる。この両
信号Ａ，Ｂはトーンホイール１０に対するピックアップ
部２２Ａ、２２Ｂの配置により１８０度の位相差もち、
かつ等しい電圧値をもつ正弦波信号として現れる。この
信号Ａ，Ｂはオフセット回路２６にて、バイアス電圧が
加えられ、同図（３）の如くオフセ・７１出ヵされる。
ートを用いて説明する。トーンホイール１０の回転に伴
うピックアップセンサ１２Ａ，１２Ｂの出力信号は雑音
等の不要成分を含んでパルス発生回路に入力されるが、
これらの信号Ａ， Ｂはフィルタ回路２４を経て第２図
（１）、（２）のような正弦波として得られる。この両
信号Ａ，Ｂはトーンホイール１０に対するピックアップ
部２２Ａ、２２Ｂの配置により１８０度の位相差もち、
かつ等しい電圧値をもつ正弦波信号として現れる。この
信号Ａ，Ｂはオフセット回路２６にて、バイアス電圧が
加えられ、同図（３）の如くオフセ・７１出ヵされる。
このオフセット回路２６から出力された信号Ａ，Ｂはそ
れぞれコンパレーク２８の十一の入力端子から入力され
るが、これは信号Ａ，Ｂの比較をなし、信号Ａが一端子
に入力されている信号Ｂの電圧値より大きくなった場合
にパルスを発生出力する。すなわち、両信号Ａ，Ｂの交
点をパルスの立ち上がりまたは立ち下がり点とするパル
ス出力が得られる。これは同図（４）に示されるように
、両信号Ａ，Ｂが位相のみが異なる正弦波であるため、
デューティ比５０％のパルス出力となる．したがって、
演算回路４２ではパルスのエッジ毎に速度を検出してア
ンチロックブレーキシステムやトラクシゴンコントロー
ルシステムに出力スることができ、少ないトーンホイー
ル１０からの速度情報を有効かつ正確に出力することが
できる。
れぞれコンパレーク２８の十一の入力端子から入力され
るが、これは信号Ａ，Ｂの比較をなし、信号Ａが一端子
に入力されている信号Ｂの電圧値より大きくなった場合
にパルスを発生出力する。すなわち、両信号Ａ，Ｂの交
点をパルスの立ち上がりまたは立ち下がり点とするパル
ス出力が得られる。これは同図（４）に示されるように
、両信号Ａ，Ｂが位相のみが異なる正弦波であるため、
デューティ比５０％のパルス出力となる．したがって、
演算回路４２ではパルスのエッジ毎に速度を検出してア
ンチロックブレーキシステムやトラクシゴンコントロー
ルシステムに出力スることができ、少ないトーンホイー
ル１０からの速度情報を有効かつ正確に出力することが
できる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、闇値となる基準
電圧の変動があっても、これに影響されずに輪速に基づ
く正確なパルス出力を得て、パルスエッジ毎のパルス幅
計測を行うことができ、もって少ないトーンホイール情
報から精度の高い輪速を算出することができる輪速検出
装置とすることができる。
電圧の変動があっても、これに影響されずに輪速に基づ
く正確なパルス出力を得て、パルスエッジ毎のパルス幅
計測を行うことができ、もって少ないトーンホイール情
報から精度の高い輪速を算出することができる輪速検出
装置とすることができる。
第１図は実施例に係る輪速検出装置の構成図、第２図は
同装置の作動状態を示すタイムチャートである。 １０・・・・・・トーンホイール、１２Ａ，１２Ｂ・・
・・・・ピンクアップセンサ、２４・・・・・・フィル
タ回路、２６・・・・・・オフセノト回路、２８・・・
・・・コンパレータ。
同装置の作動状態を示すタイムチャートである。 １０・・・・・・トーンホイール、１２Ａ，１２Ｂ・・
・・・・ピンクアップセンサ、２４・・・・・・フィル
タ回路、２６・・・・・・オフセノト回路、２８・・・
・・・コンパレータ。
Claims (1)
- （１）、一定のピッチ間隔で配列された凹凸歯を有する
トーンホィールに対して１８０度の位相差をもって配置
された一対のピックアップセンサを備え、各ピックアッ
プセンサからの出力信号を各々入力される入力端子を持
つコンパレータに入力させ、両入力信号の電圧値の大小
関係に応じた輪速パルス信号を検出可能としたことを特
徴とする輪速検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15352189A JPH0318759A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 輪速検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15352189A JPH0318759A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 輪速検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0318759A true JPH0318759A (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=15564354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15352189A Pending JPH0318759A (ja) | 1989-06-15 | 1989-06-15 | 輪速検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0318759A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07221495A (ja) * | 1994-02-08 | 1995-08-18 | Seikosha Co Ltd | 水晶発振回路の自動組立装置 |
| US6230110B1 (en) | 1998-02-02 | 2001-05-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Wheel velocity detecting apparatus |
| JP2007093287A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Tietech Co Ltd | リニアモータ |
| JP2009053183A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
| JP2009288058A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Kyocera Corp | ステージの位置変動検出装置およびこれを備えた搬送装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5923218A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-02-06 | テサ・エス・ア− | 容量型変位測定装置 |
| JPS635415B2 (ja) * | 1979-03-30 | 1988-02-03 | Toray Industries |
-
1989
- 1989-06-15 JP JP15352189A patent/JPH0318759A/ja active Pending
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