JPS5923218A - 容量型変位測定装置 - Google Patents

容量型変位測定装置

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JPS5923218A
JPS5923218A JP58124552A JP12455283A JPS5923218A JP S5923218 A JPS5923218 A JP S5923218A JP 58124552 A JP58124552 A JP 58124552A JP 12455283 A JP12455283 A JP 12455283A JP S5923218 A JPS5923218 A JP S5923218A
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は長さ又は角度の測定装置、即ちスケールとスラ
イド部の相対変位を測定する容量型測定装置を目的とし
、さらに正確に言うと、しかもこれに限定するものでは
ないか、例えはスライド式キャリパ−、コラム（柱状）
インジケータ、あるいはアングルインジケータのような
手動の測定装置に１児する。
このような装置は既に公知であり、この装置ではスケー
ルとスライド部に１連の電極が設けられていて、互いに
変位する方向に整列し、しかもこれらの電極は組み合わ
されて複数のキャパシタを形成するように配置、給電さ
れるが、これらキャパシタは周期数が変位と比例する周
期信号を発生するように設けられており、さらにこのよ
うな装置ではスライド部の電柱は電子処理回路に接続さ
れているが、この回路は周期数をカウントし、各周期内
でこれら周期数を補間することにより該変位の測定終了
のディジタル信号を細密にするように設けられている。
このタイプの容量型測定装置はフランス特許公告公報第
２，４１１，３９１号に開示されている。この装置では
スケールに１連の電極が設けられ、これら電極は等間隔
に並べられ互いに電気的に絶縁されており、各電極は２
つの直流電気の連結部材から成り、一方は検出用電極、
もう１方は変換用電極である。
これに対して、スライド部には少なくとも３つツクルー
プの送信用電極が設けられていて、各クループはサイク
ル形状を示ず電圧を受けるように、少なくとも３つの信
号を発する信号発生器の出力端に接続されているととも
に少なくとも１つの受信用電極があって亀子信号の処理
回路に接続している。
このような電極の構成においては、スケールの検出用電
極はスライド部の送信用電極の径路に向いて位置し、ス
ケールの変換用電極はスライド部の受信用重臣の径路に
向いて位置している。このようにしてスケール上でスラ
イド部が変位することにより２つの隣り合った送信用電
極に対応する少なくとも２つの信号から発せられる１つ
の信号を受１言用電極に生せしめ、また各信号の振幅の
比を電子回路によって確認することによりスケールに対
するスライド部の位置を決定することが可能である。
この公知の装置には、スケールとスライド部間にケーブ
ルまたは摺動接点のいずれかによる装置の使用又はメン
テナンスに支障をきたすような接続を回避するという必
須の利点がある。
しかし、この容量型測定装置は単純性と経済性を念頭に
おいて設計されてはいるものの、回路は依然として比較
的複雑で、かつほとんどの部分にアナログ的な性質を有
し、また測定結果をディジタル表示するために必然的に
アナログ−ディジタル変換器を備えているためエネルギ
ー消費が依然として比較的高い。
本発明の目的は電子処理回路を大幅に単純化し、かつエ
ネルギーの消費を前記装置よりもより低く押えることを
可能とすることにある。そのためにはとくに電気容量の
小さい、従って容積が小さい電池またはバッテリーを用
いて送信回路や処理回路を備えたハウジングの大きさを
できるだけ小さくする１方、電池を取り替えたりｔ％＋
ツテリーを充電したりするととなく長期間使用できるよ
うにする。
このため、本発明による容量型測定装置の特徴は、スケ
ールの電極をその長さ方向に等間隔に並べたこと、スラ
イドの電極の少なくとも１部は２つのグループに分配さ
れ、各グループは少なくとも１対の電極から成り、これ
ら２つの電極は互いに絶縁され、スケールの電極の領域
より上に配置されかつディジタルの信号発生器により給
電され、さらに１８０°位相がずれており、また２つの
グループの電極はスケールの電極と連結させることによ
って２対の接池測定キャパシタを形成するように９００
位相がずれており、その信号のコースは前記変位の振幅
や方向を示すこと、さらに電子処理回路は測定キャパシ
タとブリッジして２つの容量型ブリッジを形成するよう
にした二進式ＭＯＳ型のスイッチ式基準キャパシタの２
クループと、これら２つのブリッジと個々に接続された
２つのコンパレータと、これら２つのコンパレータに接
続された２つの入力部および２つの容量型ブリッジに接
続された２つの反転用出力部を備えた０ＭＯ３型のプロ
セッサとから成り、またこのプロセッサの回路はディジ
タルの信号発生器による側脚で基準キャパシタのスイッ
チングによって容量形ブリッジを周期的にバランスさせ
、バランスする毎にこレラ基準キャパシタのスイッチの
位置が変位に相当するディジタル値を示し、パルス発生
器を介してバランス操作の間でさらに周期をできるだけ
カウントできるようにした、各周期内で数値補間を行な
うモジュールを備えていることにある。
こうして、２対の測定キャパシタから来るアナログ信号
を処理するこの方法は全くディジタル的である。これは
本発明が意図する単純化とエネルギーの節約という目的
に完全に合致するものであり、電子回路のアナログ部分
は容量型ブリッジに限定されており、さらにこのブリッ
ジはスケール」−をスライドが変位して測定が行われる
場合しか付勢しない。
添＋１図面には本発明の目的の１つの実施態様と３つの
変形態様が例として示されている。
第１図にその全体が示された容量型測定装置は、直線状
のスケール１（例えばスライド式キャリ／ｓ＋’−のバ
ー）と、移動自在に取り付けられ、スケール１に沿って
従来のようにスライドするスライド２（例えばスライド
式キャリパ−のスライド部）と、電子給電・処理回路３
（これはスライド２と１体のハウジンク内に組込む〕と
から成る。
スケール１は長手方向に等間隔に設けた１連の電極Ｅ１
を備え、かつこれら全ては接地されてい茗。
これらの電螺は矩形状で、２つの電唖間の間隔ｉ〕と電
極の幅ａとは等しい。このようにして、このスケール１
は、電極Ｅ１により形成された基準溝′改素子を等間隔
（一定の周期〕に並べて直線状の測定基ω部を構成して
おり、その周期ｅは等式ｅ−ａ＋１）に従ってこの電極
の幅ａとその次の重置との間隔すとの和に等しい。
スライド２は２つの電極グループＡとＢを備え、各クル
ープは一定数対の電極Ａ、　−Ａ２．　Ｂ、　−Ｂ、、
を（こ＼ては３対）備えている。これら２つの電極グル
ープＡとＢはスケール１の長手方向に一定の間隔て位置
し、各対の電極Ａ、とＡ２　＋　８＋とＢ２のそれぞれ
は互いに電気的に絶縁され、またスケールの横方向に一
定の間隔に置かれ、電子回路３に組込まれたディジタル
の信号発生器に接続されている。
スライド２の電ＷｉＡＩｌ　Ａ２．、　ｎ、、　Ｂ２ハ
フ１．ケ−Ｊ’ｖ（Ｄ電極Ｅ、と同じように幅１を有し
、がっ各グループＡ、Ｂ内で互いに同じ間隔すを有する
が、横方向に対しては電ｆｆ１Ｅ＋が占める帯域をカバ
ーするように、一方の側にＡ、と８１が、もう１方の側
にＡ、と８２が配置されている。
各電極グループＡとＢでは、一対ごとの２つの電極は位
相が１８００ずれていて、２つの電極グループは位相が
９０°つれている。このことはスケール１の電極Ｅ１に
対して各グループＡとＢの１対の電極を点線により正射
影した第１図に示されている。
このような配置のため、スケール１とスライド２の電極
は接地に対してそれぞれ２対の測定キャパシタＣＡ、　
−ＣＡ２とＣＢ、　−Ｃ：Ｂ２とを形成しており、その
信号は第２図のグラフで示したようにスケールとスライ
ド間の相対変位の関数としてしかも電極の位相ずれに従
って変化する。
このグラフには変位りが横座標にプロットされ、キャパ
シタｃΔ１．ｃＡ２１ｃＢ１．ｃＢ２ニヨリソレソレ発
生した信号の振幅Ｃの変化が縦座標にプロットされてい
る。
変位中にキャパシタＣＡ、　、　ＣＡ２．　ＣＢ、　、
　ＣＢ２がそれぞれ発した信号の平均値をＣＡおよびＣ
Ｂとし、−周期内の信号の振幅の変化をＣとすると、こ
れらの信号は次のように変化する。
ＣＡ、　＝：　ＣＡ″−ＣＣＢ＝ＣＢ±Ｃおよび ＣＡ、、＝　ＣＡ王ＣＣＢ２＝ＣＢ〒Ｃ振幅Ｃは一周期
内のスケールとスライドとの相対変位に関連するため、
２つの測定成分を組み合わせることによりこれら２つの
部材の相対的な位置を決定することができる。即ち、 ■）周期数をカウントアツプ及び／またはカウントダウ
ンすることによって大体の位置を決定する。２対のキャ
パシタＣＡ、　−ＣＡ２とＣｒ２．−　ＣＢ２はこれら
の間で９０°位相がずれている結果変位方向を決定する
ことができる。
２）−周期中の補間によってＩＦ確な位置を決定ｆる。
信号の周期−ｅ−に等しい変位の間に、発生した４つの
信号全体はゼロ点を通る４つの径路をなす。これにより
ゼロ点を通る前記径路をカウントすることによって測定
増分を１周期の長さ−ｅ−の１／４に減らすことができ
るということに注目されたい。
この大体の位置と正確な位置およびその組合せは２対の
測定キャパシタによって供給されたアナログ信号に基づ
いて電子処理回路３により得られる。
このため、電子処理回路３は２対の測定キャパシタＣＡ
、　−ＣＡ２とＣＢ、　−ＣＢ２とに接続されていて、
切換式の基準キャパシタＲＡ、とＲＡ２およびＲＢ、と
ＲＢ２の２つのグループから成っており、これらの基準
キャパシタはそれぞれ前記測定キャパシタとブリッジし
て２つの類似してるが別個の容量型ブリッジ４Ａと４Ｂ
を形成し、その１つである４Ａが第３図に示されている
。これらの基準キャ／−、＋１シタは第３図に示された
各グループではＣＲと表示されていてスイッチ１１と同
じようにＭＯＳ型であり、しかも２進式のものである（
　１．２，４．８等）っこれら２つの容量型ブリッジ４
Ａと４Ｂそれぞれが有する２つの出力部はコンパレータ
５Ａと５Ｂに接続されており、この出力部はＣ〜１０Ｓ
型のプロセッサ６に接続されている。このプロセッサ６
は前記容量型ブリッジに接続された２つのフィードバッ
ク出力部７と８と、デジタル表示部材１０に接続された
第３出力部９とを備えている。
プロセッサ６は純粋なディジタルのアルゴリズムにより
２つの容量型ブリッジ４Ａと４Ｂの基準キャパシタのス
イッチングを行う特徴のある機能を備えている。これは
次のようにして行われる（第４図参照〕。
コンパレータ５Ａと５Ｂはそれぞれの容量型ブリッジ４
　Ａと４Ｂの不均衡方向をプロセッサ６に指示する。プ
ロセッサ６は基儒キャパノタＣＲを開閉することにより
これら２つのブリッジそれぞれをバランスさせる。この
時のスイッチ１１の位置によって、ディジタル信号の振
幅は上記しかつ第２図に示した測定キャパシタＣＡ、　
、　ＣＡ２．　ＣＢ、　。
Ｃ１λ２か供給するアナログ信号の振幅Ｃに相当する。
基準キャパシタは二進式なので、今月いているバランス
をとる方法は連続概算によって変換することであって、
これはアナログ−ディジクル変換器で用いている方法と
類似のものである。前記信号の振幅Ｃは各周期中でのス
ケールとスライドの′相対的な位置と関連するため、バ
ランスをとるこの方法は仮想変位の方法に相当する。な
ぜならコンパレータ５Ａ、！：５Ｂの場合は実際の動き
と概略処理とを区別することができないからである。
ディジタルのアルゴリズムによる基準キャパ７りのこの
特徴のあるスイッチ機能（こより測定装置のスケールと
スライドが相対的な変位を行なう間に、測定キャパシタ
ＧＡ、　、　ＣＡ２．　ＣＢ、　、　ＣＢ２から来る周
期的な信号を各周期内でディジタルに補間するときによ
って精密測定を行なうことができる。
この機能と、粗測定を行いかつこれら２つの測定部材を
組み合わせて周期をカウントアツプ／カウントタウンす
るもう工つの機能とは第４図のブロック図に示されてい
る。
このブロック図ではすでに示した連結部や部材には同し
参照番号がイマ］されている。
プロセッサ６には連続概算する平衡モジュール１２と１
３があって、これらは結合部材であるフィードバック出
力部７と８により２つの容量型ブリッジ４Ａと４Ｂにそ
れぞれ接続されており、それぞれに連結されたコンパレ
ータ５Ａと５Ｂからの出力信号と、独立したパルス発生
器１４から来る周期的な断続パルスとを受ける。
これら２つの平衡モジュール１２と１３は第２出力部１
５と１６とにより精密測定を行なう演算器１７に接続さ
れており、この演算器もさらにパルス発生器１４から来
る周期的な断続信号を受ける。
演算器１７による精密測定を決定するためのプロセッサ
６の何路の前部分においては、周期的な断続パルスは行
われつつある連続概算をパルス毎に中断する機能をもっ
ているが、これは容量型ブリッジ４Ａと４Ｂをバランス
させ、またカウントによる粗測定を無駄にしないように
すると共に弁別によってスケールとスライドの相対的な
変位方向を決定することを目的としているからである。
粗測定を行なうために、プロセッサ６は２つのコンパレ
ータ５Ａと５Ｂの各出力部とパルス発生器１４とに接続
されている一方、２対の測定キャパシタから来る信号の
位相が９０°ずれていることにより動作する変位方向の
弁別器１日と、前記測定キャパシタから来る信号がゼロ
点を通ること（こよって動作しかつ前記弁別器１８に接
続する可逆カウンタ１９とを備えている。
このようにして決定される変位の精密測定と粗測定とは
次に加算器２０により加算されるが、この加算器は精密
位置の演算器１７の出力側と可逆カウンタ１９の出力側
に接続され、加算器の出力側はデコーダ２１を介してデ
ィジタルの表示部材１０に接続されている。
この回路の可逆カウンタ１９と加算器２０とは回路外の
リセット制御器２２ｉこ接続されている。
本発明の容量型測定装置の分解能と精度は計数に用いら
れる増分の大きさと、その均衡のとれた配分と、測定信
号の各周期内に行われる補間の精密さによるものである
ことは明らがであり、このことは計数と補間とをベース
にして作動する公知の容量型測定装置においても同じで
ある。
ディジタルのアルゴリズムに従ってプロセラ与６によっ
て容帛塑ブリッジ４Ａと４　Ｉｓの基準キャパシタＣＲ
のスイッチ操作をすることによりディジタルの補間を行
なうということは、ＣＭ　ＯＳ技術を用いた結果キャパ
シタンスの比が極めて正確にはじき出されるという点で
非常に有利である。
より１西い精度か必要とされる時は、第５図に示した回
路によってこのような補間を行なうのが有利であり、実
際このことは第３図に示された容量型ブリッジの第１変
形実施態様でもある。
この第１変形実施態髄にはスイッチ式基準キャパシタを
備えた積分回路をシュミレー１・するという利点がある
。このブリッジ回路はディジタルの制御利用を有するス
イッチ式基準キャパシタを備えた２つの逆積分器から成
っている。
この回路には２つのグループＲＡ、とＲＡ２の基準キャ
パシタＣＲのスイッチ１１が接続されていて、すべての
スイッチングは前記キャパシタの回路に組込まれた演算
増幅器２３と２４それぞれの出方部から成る低インピー
ダンス源により制御される電位と、前記増幅器の入方部
により形成された仮の接地との間で行われるようになっ
ている。
これら２つの積分器の抵抗は測定キャパシタＣＡ。
トスインチ２５．測定キャパソタＣＡ２トスイッチ２６
といった各組合せによりシュミレートされる。
これら２つのスイッチ２５と２６は前記ディジタルの信
号発生器（こより動作され、そのスイッチの切替えは上
記ディジタル信号発生器により給電される低インピーダ
ンス源２９と、増幅器２３と２４の仮の接地とにまたが
っている。
このブリッジ回路の２つの出力部は同じようにしかも前
述したのと同じ目的でコンパレータ５Ａに接続されてい
る。
勿論、この第１変形態様では第２の同一ブリッジ回路は
測定キャパシタＲＴ３．とＲＢ２の第２の一対どコンパ
レータ５Ｂとに接続され、これら２つのブリッジ回路の
基準キャパシタの各グループの内側では基準キャパシタ
は６ｉ１述のようにプロセッサ６により操作される。
第１変形態様では渦電流による弊害を取り除くことによ
って所要のより高い精度の効果をあげる。
実際」二は接地電位すなわち仮の接地電位と低インピー
ダンス源の出力部の電位との間でスイッチングが行われ
るために、アナログスイッチの容量漏れはなくなる。さ
らに、測定キャパシタＣＡ、とＣＡ２は電位が同じであ
るために、電極と電極との容量性連結もａ％　Ｋ流によ
る弊害も発生しない。これによって電極や電子回路のシ
ールドが一層簡竿にできる。
装置の感度をさらに高めることができる。
第６図に第２の変形態様を示したのはこのことを示ずた
めである。
この第２変形態様では、スケールの電％Ｅ＋はスイッチ
２７．２８により接地するか、ディジタルの信号発生器
により給電される低インピーダンス源２９に接続される
。この場合測定キャパシタＣＡ、とＣＡ２　も上記しか
つ第５図に示した第１変形態様と同じ性質の容量型ブリ
ッジに取り付けられている。第１変形態様がスイッチ式
基準キャパシタを備えた２つの逆積分器で構成されてい
ることを思い出してもらいたい。
この場合もスイッチ２７と２８はスイッチ２５と２６の
ようなディジタルの信号発生器により制御され、かつこ
れと同期する。
従ってスイッチ２５と２６はそれぞれ接地と演算増幅器
２３．２４の仮接地との間をスイッチングし、スイッチ
２７と２８は低インピーダンス源２９と接地との間をス
イッチングする。このようにしてスイッチによるすべて
の渦電流のキャパシタの接地をなくし、その結果生じた
感度利得によって０．１ｐＦ（ピコファラド）以下の値
のキャパシタンスの測定が可能となる。
測定キャパシタンスを基準キャパシタンスと常に比較す
ることとして、容量ブリッジ４Ａと４Ｂを本発明の範囲
を逸脱することなくこれ以外にも変形することができる
ことが分るであろう。
電極に関しても、本発明の範囲を逸脱することなく２対
の測定キャパシタに信号発生ができるようにしてスケー
ルおよびスライド間の変位の振幅と方向の両方を表示ｒ
るような重臣構成に変えることができる。
第３変形態様である電極のもう１つの構成を第７図に示
す。
この第３の実施態様では、理解に役ケつものに限定して
略図的に示しであるが、スライド２は２つの電極グルー
プＡとＢ（第１図に詳１圃に図示〕に加えて、送信用電
極または接地用電極のいづれてあってもよく、中間位置
に配設された絶縁電極３１によって前記２つのグループ
と電気的に絶縁状りである電極３０とを備え、これらイ
で１加された２つの電極は前記２つのグループＡと１３
を囲んでいる。
■方、スケールの電Ｉ！ｉ、　Ｅ＋　（図示省略）は個
々に独ヴし、かつ浮動した状態、即ち互いにだけでなく
スケールきも電気的に絶縁状、態にある。このようにし
てスケールの電ｆｆ１Ｅ＋は信号の伝達用電極としての
み作動する。この構成は第１図に示された実施態様の場
合と同じようにスライドとスケールとの電気的な接触を
必要としないと云う利点がある。
この第３変形態様では２つの電極グループＡとＢと個々
に絶縁されている複数の送信用または接地用電極３０に
より同じ効果が得られる。
もう１つの実施例としては、スライドの２対の電極であ
るＡ、−Ａ２と膓−８２が２つのくしの歯のように互い
に貫入し合うと云った電極構成（図示省略〕にすること
もできる。この構成によれば電極を対称的な形状やその
位相のずれに合わすことが容易である。
最後に、連続概算による変換の代りに例えは反復変換と
いったようなもう１つのアルゴリズムを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図は実施態様の全体図、第２図は発生した信号の径
路を示したグラフ、第３図は電子回路の１つの部材を示
した図、第４図は発生信号の処理方法を示したブロック
図、第５図、第６図、第７図は３つの変形聾様を示した
図である。 １・・・スケール、２・・スライド、４Ａ、４Ｂ・・・
容量型ブリッジ、５Ａ、５Ｂ・・・コンパレータ、６・
・プロセッサ、７．８・・・フィードバック出力部、１
１・・・スイッチ、２３．２４・・・演算増幅器、２９
・・・低インピーダンス源 特許出願人　テサ　ニス　アー 同　代理人　鎌　１）交　二

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　　スケールとスライドには、これらの相対的な
    変位か向に整列しこれら両部材を組み合せることにより
    周期数がその変位と比例する周期信号を発生するように
    した複数のキャパシタを形成するように配置されかつ給
    電される１連の重臣が設けられ、またスライドの電極が
    周期数をカウントしかつ各周期内で補間することにより
    この変位のディジタルの測定終了信号を発生するように
    した電子処理回路に接続されている長さまたは角度の…
    り定装置であるスケールおよびスライドの相対変位を測
    定する容量型変位測定装置において、スケール１の電ｆ
    ｔＥ＋をその長さ方向に等間隔に並べたこと、スライド
    ２の電極の少なくとも１部は２つのグループＡ、Ｂに分
    配され、各グループは少なくとも１対の電極Ａｌ−Ａ２
    ．　Ｂ、　−３２から成り、これらの２つの電極は互い
    に絶縁され、スケールの電％Ｅ＋の領域より上に配置さ
    れかつディジタルの信号発生器により給電され、さらに
    １．８０°位相がずれており、また２つの電極グループ
    はスケールの電極Ｅ、と連結させることによって２対の
    接地測定用キャパシタ（ＣＡ、　−ＣＡ２．　ＣＢ、　
    −ＣＢ２）を形成するように９０°位相がずれており、
    前記２対のキャパシタの信号の変化は前記変位の振幅と
    方向を示すこと、さらに電子処理回路３は測定キャパシ
    タとブリッジ接続をして２つの容量型ブリッジ４Ａ、４
    Ｂを形成した二進式のＭＯ５型スイッチ式基準キャパシ
    タの２グループＲＡ、　−ＲＡ２゜ＲＢ、　−ＲＢ２　
    と、前記２つのブリッジのそれぞれに接続された２つの
    コンパレータ５Ａ、５Ｂ（！：、これら２つのコンパレ
    ータおよび２つの容量型ブリッジに接続された２つのフ
    ィードバック出力部７，８に接続された２つの入力部を
    備えたＣＭＯ５型プロ他プロセツサ６成り、またこのプ
    ロセッサの回路はディジタルの信号発生器による制御で
    基準キャパシタＣＲのスイッチングにより容量型ブリッ
    ジを周期的にバランスさせ、バランスする毎にこれら基
    準キャパシタのスイッチ１１　（７）　（ｍｌが変位に
    相当するディジタル値を与え、パルス発生器を介してこ
    れらバランス操作の間でさらに周期をできるだけカウン
    トできるようにした、各周期内でディジタルの補間を行
    なうモジュール１２．１３を備えていることを特徴とす
    る容量型変位測定装置。
  2. （２）　　スケールの電極する１（第１図、第３図、第
    ５図〕はすべて接地していることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項に記載の容量型変位測定装置。
  3. （３）　　スケールの電％　Ｅ＋　（第６図）はすべて
    ディジタル信号発生器により動作する２つのスイッチ２
    ７．２８により接地と、ディジタル信号発生器により給
    電される低インピーダンス２９とに接続されることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項に記載の容量型変位測定
    装置。
  4. （４）２つの容量型ブリッジ４Ａ、４Ｂはそれぞれ、測
    定キャパシタＣＡ、　、　ＣＡ２　とディジタル信号発
    生器により動作されるスイッチ２５　、２６を組み合わ
    せることにより抵抗が７ユミレートされるスイッチキャ
    パシタに逆積分器として接続された２つの演算増幅器２
    ３．２４を備え、基準キャパシタＣＲはこれら積分器の
    フィードバックループに接続されてそれ自体作動するこ
    とにより前記基準キャパシタのスイッチ１１がディジタ
    ル制御する利得を示すようにした（第５図、第６図〕こ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の容量型変
    位測定装置。
  5. （５）２つの積分器の２つのスイッチ２５　、２６（第
    ５図）はディジタルの信号発生器により給電される低イ
    ンピーダンス源２９と演算増幅器２３．２４の仮の接地
    との切替えが行なえるように取り付けられたことを特徴
    とする特許請求の範囲第１項、第２項、第４項のいずれ
    かに記載の容量型変位測定装置。
  6. （６）２つの積分器の２つのスイッチ２５　、２６（第
    ６図〕は接地と演算増幅器２３．２４の仮の接地との切
    替えが行なえるように取りイ」けられ、これら２つのス
    イッチはスケールの電極を接地と低インピーダンス源２
    ９とに接続させるスイッチ２７．２８と目明作動を行な
    うことを特徴とする特許請求の範囲第１項、第３項、第
    ４項のいずれかに記載の容量型変位測定装置。
  7. （７）　　スケールの電Ｔｆｆｉ　Ｅ＋　（第７図９は
    それぞれ独立しかつ浮動しており、スライド２にはその
    ２つの電極グループＡ、Ｂの他にこれらの２つの電極グ
    ループと絶縁状態にある少なくとも１つの給電また接地
    電極３０が備えられていることを特徴とする特許請求の
    範囲第１項に記載の容量型変位測定装置。
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