CN1155794C

CN1155794C - 静电电容式变位检测装置

Info

Publication number: CN1155794C
Application number: CNB001350811A
Authority: CN
Inventors: ɽ��һ��; 中山贤一; 长谷川年洋; 富永淳
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1999-12-02
Filing date: 2000-11-30
Publication date: 2004-06-30
Anticipated expiration: 2020-11-30
Also published as: EP1106969A3; CN1298089A; US20030067309A1; US6593757B2; US20010038292A1; EP1106969A2

Abstract

一种能抑制发送电极与检测电极间的串音的静电电容式传感器，在传感器的电极部设有发送电极(10)和检测电极(12)，与设于相对的标尺上的接收电极电容耦合。用检测电极(12)检测变位引起的发送电极(10)与接收电极间的电容变化向发送电极(10)供给相位不同的多个信号。各信号线用上下两层Z字形布线，使各信号线与检测电极(12)间的距离平均化，使相对检测电极(12)的串音量变均匀。

Description

静电电容式变位检测装置

技术领域

本发明涉及静电电容式变位检测装置，尤其涉及发送电极与检测电极间串音的抑制。

此外，本发明涉及静电电容式变位检测装置，尤其涉及对将信号供给发送电极的信号线组与传输来自检测电极间的信号的信号线组之间的串音的抑制。

背景技术

静电电容式变位检测装置(以下称静电电容式传感器)在设置成可相对移动的两标尺上分别形成发送电极和接收电极，并用检测电极对随着标尺的移动发生的发送电极与接收电极间电容耦合大小的变化进行检测。

具体是，发送电极的多个电极排列构成发送电极组，用信号线组从处理电路(电路基板)向电极组供给各错开规定相位角度的至少3种最好为8种以上的交流信号。一旦对置的标尺发生变位，接收电极中即生成与变位对应的合成信号，由检测电极对此进行检测，用信号线组传输至处理电路。检测电极至少由一种最好由2种以上的电极构成。电极数为两个以上时，用相互处于差动关系的两个电极检测信号，取这些差动来除去检测信号所含噪声，可以提高检测精度。

但是，随着传感器小型化的要求，如果将发送电极与检测电极靠近形成在同一标尺上，则存在检测电极与将多个信号(8种信号)供给发送电极组用的信号线直接电容耦合而产生串音的问题。尤其是，当检测电极与8种信号线的距离有差异时，对检测电极有影响的各信号线的串音的程度相异，故即使使用差动关系，也留下串音成分，很难进行高精度的变位检测。

当然，也有人提出了如图13所示，使在同一标尺上形成的发送电极210与检测电极212尽量分离并在两个电极间设置电磁屏蔽的方案，但这样会增大电极部的面积，不利于传感器的小型化。

此外，也有人提高将供给发送电极组信号的信号线组与从检测电极组传递信号的信号线组汇总形成在FPC(柔性印刷电路)上的方案，但如果将两信号线组靠近形成，则存在会产生发送信号线组的信号混入检测信号线组的串音这样的问题。尤其是，当发送信号线组相对检测信号线组的距离有差异时，串音的程度有差异，故存在这样的问题：即使使用差动关系也仍会留有串音成分，很难进行高精度的变位检测。

当然，也有人提出了如图14所示，使在同一FPC上形成的发送信号线组310与检测信号线组312尽量分离，并在两个信号线组间设置电磁屏蔽的方案，但这样会增大FPC的面积，故不利于传感器的进一步小型化。

发明内容

本发明是鉴于上述现有技术存在的问题而作出的，其第1目的在于，提供一种不会白白招致面积增大、能抑制因发送电极(包括信号线)与检测电极之间的串音引起的检测精度下降的装置。

此外，本发明的第2目的在于，提供一种不会白白招致面积增大、能抑制因向发送电极组供给信号的发送信号线组与传递来自检测电极组的信号的检测信号线组之间的串音引起的检测精度下降的装置。

为了达到上述第1目的，本发明是一种具有与形成在相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极和检测电极的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有配置在相对所述检测电极相等的距离处、向所述发送电极供给信号的多条发送信号线。

在此，使多条信号线与检测电极间的距离相等，包括使各信号线与检测电极间的距离相等，还包括存在多个检测电极时，使信号线与各检测电极间的距离相等。多条信号线的各信号线施加于检测电极的串音量取决于离信号线的距离。因此，通过使各信号线与检测电极间的距离相等，即，使各信号线与检测电极间的距离均匀化，可以抑制各信号线引起的串音量的差异。此外，在存在多个检测电极的情况下，通过使信号线与各检测电极间的距离相等，即，使信号线与各检测电极间的距离均匀化，可以使给予各检测电极的串音量相同，能抑制检测电极间的差异。又，所谓“相等的距离”，意味着距离相等到这样的程度，从多条发送信号线的各信号线混入的串音成分比率在检测电极可以认为实际上相等。

此外，所述多条信号线最好有多层结构。为了使各信号线与检测电极间的距离相等，最好使各信号线相互交叉、作为一个整体使距离相等，但如果各信号线形成在相同层，则相互接触，就不能将多个信号供给发送电极。通过将信号线做成多层结构，就可以相互不接触地交叉，可以很容易地使各信号线与检测电极的距离相等。

此外，本发明是一种具有与形成于相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极和检测电极的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有向所述发送电极供给信号的多条发送信号线，其中所述发送信号线中相互有差动关系的发送信号线彼此相邻地配置在相对所述检测电极相等距离处。通过使处于差动关系的信号线相邻，更详细地，通过将有差动关系的信号线配置在相对检测电极基本等距离处，将这些信号线给予检测电极的串音量设定为相同，可以相互抵消。又，所谓“差动关系”，意味着相位相互相反(相位错开180度)的关系。

为了达到上述第2目的，本发明是一种具有与形成于相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极组和检测电极组的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有：形成于第1布线层、将信号供给所述发送电极组的发送信号线组；形成于不同于所述第1布线层的第2布线层、传递来自所述检测电极组的信号的检测信号线组，且相互有差动关系的检测信号线配置在相对所述发送信号线组基本相等的距离处的检测信号线组。

发送信号线组和检测信号线组不是如传统的那样例如配置在FPC的同一平面上，而是形成在多层结构的不同层上，就可以在抑制面积增大的情况下，使发送信号线组与检测信号线组分离。此外，将检测信号线组之中处于差动关系的信号线组即传递相位相差180度的信号的信号线组配置成相对发送信号线组相等的距离处，处于差动关系的信号线组的分别混入的串音成分就相等，通过进行差分运算就可以除去串音成分。又，所谓“发送信号线组”及“检测信号线组”的“组”，意味着多根信号线，而所谓“相等的距离”，意味着距离相等到这样的程度，即，可以视为从发送信号线组的各信号线混入的串音成分的比率在两个检测信号线实际上相等的程度。

在本发明中，最好在形成有所述发送信号线组的层与形成有所述检测信号线组的层之间形成有电磁屏蔽层。通过设置电磁屏蔽层，可以使串音成分本身衰减。

本发明最好再将所述检测信号线组形成在多个层中。通过分成多个层形成检测信号线组，可以更可靠地进行控制，抑制来自发送信号线组的串音成分的混入。

此外，本发明是一种具有与形成于相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极和检测电极的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有：形成于第1布线层、将信号供给所述发送电极组的发送信号线组；形成于不同于所述第1布线层的第2布线层、传递来自所述检测电极的信号的检测信号线，且是配置在与所述发送信号线组之中相互有差动关系的发送信号线相等的距离处的检测信号线。即使在检测电极不是多个而是1种的情况下，通过将发送信号线组与检测信号线形成在不同的层，可以使两者分离。当检测信号线为1个时，不能进行差动运算，但通过使发送信号线组之中处于差动关系的信号线组与检测信号线的距离相等，可以使来自各信号线的串音抵消，降低噪声。在形成有发送信号线组的层与形成有所述检测信号线的层之间形成电磁屏蔽层也更理想。

附图说明

图1所示为实施例的电极部的构成图。

图2所示为图1中的信号线的模式图。

图3A、3B为图2的详细的布线说明图。

图4为另一实施例的电极部的构成图。

图5A、5B为图4中的a部分的模式图。

图6为又一实施例的模式图。

图7为图6中的开关部分的切换说明图。

图8为实施例的布线部的平面图。

图9为沿图8中的A-A线的剖视图。

图10为沿图8中的另一A-A线的剖视图。

图11为沿图8中的又一A-A线的剖视图。

图12为其它实施例的剖视图。

图13为传统的电极部的构成图。

图14为传统的信号线部的平面图。

具体实施方式

以下根据附图说明本发明的实施例。

首先，对本发明的、能抑制发送电极与检测电极之间串音引起的检测精度的下降的静电电容式传感器进行说明。

图1中示出了本实施例的静电电容式传感器的电极部的构成。设有发送电极10及检测电极12，它们与未图示的相对标尺所设的接收电极电容耦合。用8个信号线向发送电极10供给例如相位各相差45度的8种交流信号。检测电极12设有两个，中间夹着发送电极10，各检测电极12输出有差动关系的两个检测信号即相位相互相反的检测信号。有差动关系的两个信号通过运算其差分，可以有效除去混入的噪声成分。

向发送电极10供给例如8种交流信号用的8个信号线是从传感器电极部绕着供给发送电极10用的，但随着传感器部的小型化，绕的面积也缩小，故很难充分保证信号线与检测电极12间的距离。此情况下，如果仅是将8个信号线(方便起见，设这些信号线为i(i＝1、2、……8))整齐排列进行布线，则各信号线与检测电极12之间的距离会产生差异(例如信号线1总是距检测电极12最近，而信号线8距离最远等)，串音成分就会产生差异。对置标尺的接收电极中感应产生的信号是供给发送电极10的8种信号的合成信号，因为用检测电极12检测与变位对应的该合成信号来检测变位量，所以如果串音量有差异则检测精度下降。

因此，在本实施例中，如图所示，通过改进向发送电极10供给例如8种交流信号的8个信号的布线图，使用上下布线层进行交替布线，以使各信号线i(i＝1、2……8)与检测电极12(在图示情况下为上下检测电极12的下侧)之间的距离为一定。

图2示出了图1中的8个信号线布线情况，图3示出了图2中的上下布线层的各层布线图。图3(A)为下层布线图，图3(B)为上层布线图。下层中设有由从图中左起端子1、2……8共计8个端子构成的中间端子20，向该中间端子20首先供给8个交流信号。在中间端子20附近，在从检测电极12看比中间端子20远的位置，设有由从图中左起依次为1、2、3……8的8个端子构成的中间端子21。信号线1通过将中间端子20的端子1与中间端子21的端子1连接而布线，以下同样，信号线i通过中间端子20的端子i与中间端子21的端子i连接而布线。

另一方面，如图3(B)所示，在与中间端子21在平面上位于相同位置的上层，配置有与中间端子21电连接的中间端子22，并在中间端子22的附近，以包围检测电极12的状态，配置有端子1、2、3……8相对中间端子22的各端子沿垂直方向排列的中间端子23，在中间端子22与中间端子23之间，以弯折状态将两个端子之间连接，这样进行信号线的布线。即，用弯折布线将中间端子22的端子1与中间端子23的端子1连接，这样进行信号线1的布线，用弯折布线将中间端子22的端子2与中间端子23的端子2连接，这样进行信号线2的布线。下层的中间端子20与中间端子21之间的信号线，信号线8离检测电极12最近，信号线1位于最远的位置，但在上层的中间端子22与中间端子23之间的信号线与此相反，信号线1离检测电极12最近，信号线8位于最远的位置。因此，从端子20至端子23的各信号线相对检测电极12的距离变为基本相等。

此外如图3(A)所示，在与中间端子23位于平面上同一位置的下层设有与中间端子23电连接的中间端子24，在相对中间端子24从检测电极12来看为大致等距离处，并列配置有中间端子25，并且以与中间端子24、25相同的排列，并列配置有中间端子26。中间端子24及中间端子25与中间端子23一样，各端子相对中间端子20-22的端子沿垂直方向排列(图中从下至上排列端子1、2……8)，而中间端子25、26与中间端子24一样，各端子从下至上1、2……8地排列。中间端子24、25相对检测电极12的中心线大致对称配置，将中间端子24的端子1与中间端子25的端子1相对检测电极12倾斜连接来配置信号线1，将中间端子24的端子8与中间端子25的端子8倾斜连接来配置信号线8。此外，中间端子25的端子1与中间端子26的端子1倾斜连接来配置信号线1，将中间端子25的端子8与中间端子26的端子8倾斜连接来配置信号线8。如果着眼于信号线1和信号线8，则连接中间端子24的端子8和中间端子25的端子8的信号线8与连接中间端子25的端子1和中间端子26的端子1的信号线1相互相邻，离检测电极12的距离基本相等，而连接中间端子24的端子1和中间端子25的端子1的信号线1与连接中间端子25的端子8和中间端子26的端子8的信号线8相对检测电极12也位于基本相等的距离。因此，信号线1给予检测电极12的串音量与信号线8给予检测电极12的串音量基本相等。其它的信号线也一样。从中间端子26向发送电极10供给信号线1-8的8种信号。

这样，在本实施例中，因为使用上下布线层进行发送电极多条信号线的布线，使各信号线在相互不接触的情况下与检测电极12的距离基本相等，所以，从各信号线混入检测电极12的串音量也被均匀化。因此，能防止检测电极12测出的合成信号(随着与发送电极10的变位相应地在接收电极产生的合成信号)发生相位偏移，能抑制检测精度下降。

图4示出了其它实施例中的传感器的电极部构成。与图1一样，以夹着发送电极10的形态设有两个检测电极12a、12b。配置有向发送电极10供给例如8种交流信号用的8个信号线，但在本实施例中，信号线的配置使检测电极12a和信号线的距离与检测电极12b与信号线的距离平均化。具体是，从传感器部的电极引出8条信号线绕过检测电极12b后到达发送电极10，对检测电极12a也与对检测电极12b的一样，绕过检测电极12a进行布线，使信号线相对检测电极12a、12b的距离基本相等。因此，对检测电极12a也能给予与8条信号线给予检测电极12b的串音量基本相同的串音量。

图5示出了图4中的a部的模式图。在图5(A)中，从传感器部的电极16伸向另一侧电极18的布线图形成于两层结构的上层，在中途向下层布线分歧后与发送电极10连接。例如信号线4为了与发送电极10连接而必须与信号线1、2、3相交，如果信号线1、2、3是上层布线，信号线4就能在与它们不接触的情况下与发送电极10连接。

此外在图5(B)中，从传感器部的电极16向着另一电极18的布线图之中，在与向着发送电极10的布线图相交的部分，形成为两层结构的上层(图中实线)。例如信号线1从电极16起形成下层布线，从中途变为上层布线，与向着发送电极10的下层信号线2、3、4不相交地伸向电极18，然后再次成为下层布线，向着电极18和发送电极10并与其连接。此外，信号线2从电极16起形成为下层布线，但在中途变为上层布线，与向着发送电极10的下层信号线3、4不相交地延伸向电极18，然后再次变为下层布线，延伸向电极18和发送电极10并与之连接。另外在两图中，在上层与下层之间当然形成有绝缘层。

这样，在本实施例中，考虑到多条信号线会使位于发送电极10与传感器部电极之间的检测电极12b产生串音，通过使另一检测电极12a也产生与检测电极12b基本等量的串音，能使串音量变均匀。来自检测电极12a的检测信号与来自检测电极12b的检测信号以差动关系构成，通过使两信号所含串音量均匀化，能更可靠地进行变位检测。

图6示出了另一实施例中的传感器电极部的构成。在本实施例中，向发送电极10供给8种交流信号用的8条信号线之中，有差动关系的信号线相互相邻配置。8条信号线i(i＝1、2……8)的相位分别相差45度，因此信号线1与信号线5具有相位相反的差动关系，信号线2与6、信号线3与7及信号线4与8同样也具有差动关系。通过将具有差动关系的信号线相邻配置，具体是如图所示，将信号线1与5、信号线2与6、信号线3与7、信号线4与8相邻配置，具有差动关系的两条信号线与检测电极12的距离就基本相等，由具有差动关系的信号线给予检测电极12的串音量也就相等。因此，它们相互抵消，能有效抑制串音。

又，在检测电极12与信号线的距离较近、两者发生电容耦合而串音多的部分，将8条信号线之中有差动关系的信号线相邻配置特别有效。但因为必须按规定顺序对发送电极10进行布线，故最好在某一部位设置解除相邻关系(在图中信号线1、5、2、6、3、7、4、8的顺序)，返回规定顺序(信号线1、2、3、4、5、6、7、8的顺序)用的装置。在图中，在离开检测电极12、不发生电容耦合的部位，设置开关部19，在该开关部使布线顺序返回规定的顺序。图7示出了在开关部19布线顺序变更的情况。这样，通过变更为规定顺序，能方便地将相位各错开45度的8个交流信号供给发送电极10。

以上对本发明的实施例进行了说明，但本发明并不受以上所述的限制，在本发明的技术思想范围内可以作种种变更。例如，也可以不是如图1所示那样，仅对一个检测电极12用上下两层端子进行Z字形布线，对另一检测电极12也可以进行。关于图4也一样。

此外，在本实施例中，对8种交流信号供给发送电极的情况进行了说明，但并不受此所限，用至少3种交流信号也可以进行变位检测。

此外，在图1中使用了上下两层的端子，但如果需要，也可以使用3层或更多的多层结构进行布线。在图1中，中间端子的数目为5个，但根据需要也可以使用更多或更少的端子数。

还有，将图1的构成与图6的构成组合也很理想。即，在图1的构成中，将信号线不是按信号线1、2、3、4、5、6、7、8的顺序布线，而是使有差动关系的信号线相互相邻，做成1、5、2、6、3、7、4、8的顺序，在上下两层布线，使各信号线与检测电极12的距离变均匀。

以下对本发明的能抑制因发送信号线组与检测信号线组之间的串音引起的检测精度下降的静电电容式传感器进行说明。

图8示出了本实施例中的静电电容式传感器的布线部、即在传感器的电极部与处理电路之间收发信号部分的平面图。在FPC上形成有向发送电极组供给来自处理电路的交流信号的发送信号线组110，以及向处理电路传输来自检测电极组的信号的检测信号线组112，在本实施例中，并不是如传统的那样，在FPC的同一平面内相邻形成这些信号线组，而是在多层结构的不同层内，分别形成发送信号线组110(实际上是多数，例如存在8种发送信号线，但在图中为了简化，将它们汇总示出)和检测信号线组112(例如两组的差动电极存在合成4条检测信号线，图中将它们汇总示出)。在图中，发送信号线组110形成在下层，检测信号线组112形成在上层。

图9示出了沿图8的A-A线的剖视图。在底膜101上形成8种发送信号线组110，在其上形成覆盖膜102。在覆盖膜102之上形成抑制发送信号线组110与检测信号线组112的串音用的电磁屏蔽层103。又，该电磁屏蔽层103最好是完全屏蔽来自发送信号线组110的信号的层，但做成能在一定程度上起屏蔽作用的层也可以。在电磁屏蔽层103之上再次形成覆盖膜102，在该覆盖膜102之上形成4种检测信号线组112。4种检测信号线组112由检测有差动关系的信号(某信号A和相对该A相位错开180度的信号A’)的两组信号线组构成。现在设4条检测信号线组112的各信号线为112a、112b、112c、112d，112a与112b及112c与112d有差动关系。此情况下，在覆盖膜102上形成检测信号线组112之时，有差动关系的信号线组形成为相对8种发送信号线组110配置在基本相等的距离。即，信号线112a与信号线112b形成为位于离发送信号线组基本相等的距离而信号线112c与信号线112d形成为位于离发送信号线组基本相等的距离(在图中从左起依次形成信号线112a、信号线112b、信号线112c、信号线112d)。然后在检测信号线组112之上形成覆盖膜102。

如果如上所述，有差动关系的检测信号线组配置成离发送信号线组110基本等距离，则即使信号从发送信号线组110通过屏蔽层103混入，有差动关系的检测信号线组中也从发送信号线组110以基本相同比率产生串音，所以通过运算它们的差分，可以除去串音成分。

图10示出沿图8中的另一A-A线的剖视图。在底膜101上，与图9一样形成8种发送信号线组110，在其上形成覆盖膜102。在覆盖膜102之上形成第1检测信号线组112，再次形成覆盖膜102之后，形成第2检测信号线组112。第1信号线组112是相互有差动关系的信号线组(信号线112a与112b)，第2信号线组112也是相互有差动关系的信号线组(信号线112c与112d)。在第2信号线组112之上再形成覆盖膜102。

在本实施例中，将发送信号线组110与检测信号线组112形成在不同的层内，并将检测信号线组经112之中相互有差动关系的信号线组形成在不同的层内。信号线112a与112b相对8种发送信号线组110基本等距离，信号线112c与112d相对发送信号线组110也基本等距离，故通过运算差动，除去来自发送信号线组110的串音，能可靠取出与形成在对置标尺上的接收信号线之间的静电电容对应的信号。

图11示出了沿图8中的又一A-A线的剖视图。在底膜101上与图9一样形成8种发送信号线组110，其上形成覆盖膜102。在覆盖膜102上形成4种检测信号线组112之一的信号线(例如信号线112a)，形成覆盖膜102之后，形成有差动关系的信号线(例如信号线112b)。信号线112a与112b形成在多层结构的靠近层，且信号线112a和信号线112b配置在与形成有发送信号线组110的面垂直方向的直线上。在信号线112b上再次形成覆盖膜102，在该覆盖膜102上形成另一有差动关系的信号线组之一的信号线(例如信号线112c)，形成覆盖膜102之后，形成与信号线112c有差动关系的剩下的信号线(信号线112d)。信号线112c和信号线112d也形成在多层结构的靠近的层内，且信号线112c和112d配置在与形成有发送信号线组110的面垂直方向的直线上。

在这样的构成中，因为相互有差动关系的信号线112a与112b形成在靠近的层内，故来自发送信号线组110的串音量大小基本相同。而且，信号线112a和112b配置成离8种发送信号线组110的各信号线的距离的比率基本相等，所以，从8种发送信号线组110分别混入的串音量的比率相同，通过取两信号的差分，就能除去串音。信号线112c和112d也一样。

以上对本发明的实施例进行了说明，但本发明并不受此限制，在本发明的技术思想范围内可以作各种变更。例如，在图10或图11中的构成中，与图9的构成一样设置电磁屏蔽层103也很适宜。

此外，在本实施例中，对检测电极有多个的情况进行了说明，但在检测电极仅设有1个的情况下也可以应用本发明。此时，理想的是将1条检测信号线形成在与发送信号线组不同的层内。

图12示出了检测电极是1个、检测信号线也是1条时的剖视图。在底膜101上形成8种发送信号线组110，其上形成覆盖膜102。在覆盖膜102之上形成抑制发送信号线组110与检测信号线1 12a的串音用的电磁屏蔽层103。该电磁屏蔽层103除了与图9中的电磁屏蔽层一样，形成为完全屏蔽串音的之外，只要形成为能在一定程度上屏蔽串音的程度就行。在电磁屏蔽层是103之上再次形成覆盖膜102，在该覆盖膜102之上形成1条检测信号线112a。使检测信号线112a与发送信号线组110之中相互有差动关系的信号线组的距离基本相等为宜。因为这样，来自各发送信号线的串音可以相互抵消。具体是，形成发送信号线组110时，发送信号线组110的排列为0度、45度、90度、135度、315度、270度、225度、180度，将检测信号线112a配置在135度与315度的发送信号线的大致中央即可。由此，从检测信号线112a来看，发送信号线的0度与180度、发送信号线的45度与225度、发送信号线的90度与270度及发送信号线的135度与315度均基本相等距离，因为相位相互相反基本等量的串音混入检测信号线112a，故相互抵消，能有效降低噪声。

如以上所述，若根据本发明，可以防止因包括信号线的发送电极与检测电极间的串音引起的检测精度下降，可进行高精度的变位检测。

此外，根据本发明，可以除去检测信号线组的信号中所含的发送信号线组的串音，可以高精度检测标尺间的变位。

Claims

1.一种具有与形成在相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极和检测电极的静电电容式变位检测装置，其特征在于，

具有相对所述检测电极等距离配置的、向所述发送电极供给信号的多条发送信号线。

2.根据权利要求1所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，所述多条发送信号线配置在多层布线层内。

3.根据权利要求1或2所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，所述各发送信号线配置在相对所述检测电极相等的距离处。

4.根据权利要求1或2所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有多个检测电极，所述多条发送信号线相对各检测电极配置在相等的距离处。

5.根据权利要求2所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，在所述各布线层之间有绝缘层。

6.根据权利要求1所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，相互有差动关系的发送信号线相对所述检测电极相邻配置。

7.一种具有与形成于相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极和检测电极的静电电容式变位检测装置，其特征在于，

具有向所述发送电极供给信号的多条发送信号线，其中所述发送信号线中相互有差动关系的发送信号线彼此相邻地配置在相对所述检测电极相等距离处。

8.根据权利要求7所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有变更相对所述检测电极相邻配置的发送信号线的布线配置用的开关部，所述发送信号线与所述发送电极的规定位置连接。

9.一种具有与形成于相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极组和检测电极组的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有：

形成于第1布线层、将信号供给所述发送电极组的发送信号线组；

形成于不同于所述第1布线层的第2布线层、传输来自所述检测电极组的信号的检测信号线组，且是相互有差动关系的检测信号线配置在相对所述发送信号线组相等距离处的检测信号线组。

10.根据权利要求9所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有在形成有所述发送信号线组的所述第1布线层与形成有所述检测信号线组的所述第2布线层之间形成的电磁屏蔽层。

11.根据权利要求9所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，所述检测信号线组形成在多层布线层内。

12.根据权利要求11所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，有一差动关系的检测信号线被配置在一布线层，有另一差动关系的检测信号线被配置在另一布线层。

13.根据权利要求11所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，所述检测信号线组的检测信号线分别形成在不同的布线层内。

14.一种具有与形成于相对的标尺上的接收电极电容耦合的发送电极组和检测电极的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有：

形成于不同于所述第1布线层的第2布线层、传输来自所述检测电极的信号的检测信号线，且是配置在与所述发送信号线组之中相互有差动关系的发送信号线相等距离处的检测信号线。

15.根据权利要求14所述的静电电容式变位检测装置，其特征在于，具有在形成有所述发送信号线组的所述第1布线层和形成有所述检测信号线的第2布线层之间形成的电磁屏蔽层。