DE3834200A1 - Kapazitiver wegaufnehmer - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Wegaufnehmer gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Bekannte kapazitive inkrementale Wegaufnehmer arbeiten nach dem Lineal-Nonius-Prinzip. Dabei sind die einzelnen Kondensatorflächen des sich über den Meßbereich er­ streckenden Lineals nebeneinander in gleichmäßigen Ab­ ständen als einzelne Streifen auf einer Unterlage aufge­ bracht. In einem Abstand von einigen Zehntel Millimetern über dem Lineal sind auf einer weiteren Unterlage die Kondensatorflächen des Nonius und ein Koppelkondensator verschiebbar angeordnet. Auch die Kondensatorflächen des Nonius sind streifenförmig und in gleichmäßigen Ab­ ständen parallel zu den Kondensatorflächen des Lineals angeordnet.

Eine sinus- oder rechteckförmige Spannung wird an den Koppelkondensator angelegt. Somit ensteht an den Kondensatorflächen des Nonius über die kapazitive Kopp­ lung zwischen dem Koppelkondensator und dem Lineal sowie dem Nonius eine Spannung mit einer von der Teilung des Lineals bestimmten Periode. Entsprechend den geometrischen Verhältnissen der Flächen und Abstände beim Verschieben des Nonius gegenüber dem Lineal sind die Spannungen gegeneinander phasenverschoben. Die Phasenverschiebung zwischen den beiden Spannungen dient zur Richtungs­ erkennung, die Anzahl der Spannungsspitzen zur Messung der zurückgelegten Weglänge. Die Messung und Zählung erfolgt in einer Auswerteschaltung.

Derartige Wegaufnehmer sind aus der Patentanmeldung P 38 26 561 der Anmelderin bekannt. In dieser Patentan­ meldung werden verschiedene Lösungen vorgeschlagen, wie ein derartiger Wegaufnehmer rotationssymmetrisch ausge­ bildet werden kann, so daß Lineal und Nonius gegeneinander verdreht werden können und genaue Meßergebnisse liefern.

Bei dem bekannten Wegaufnehmer ist eine Referenzmarkie­ rung erforderlich, um den Anfangspunkt der Messung fest­ zulegen. Sobald die laufende Ermittlung der Meßwerte unterbrochen wird, muß das System auf die Referenzmarkie­ rung zurückgeführt werden, um die neue Messung zu be­ ginnen.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, einen kapazitiven Wegaufnehmer so auszubilden, daß die Absolutwerterkennung der genauen Position durchgeführt werden kann, ohne daß Referenzmarken oder entsprechende Hilfsmittel vorgesehen sind.

Erfindungsgemäß sind mehrere Meßsysteme parallel zueinan­ der vorgesehen, von denen jedes eine unterschiedliche Teilung hat. Es entstehen wiederum in jedem System Meß­ spannungen, die gegenüber den Meßspannungen der anderen System phasenverschoben sind. Diese Phasenverschiebungen werden ausgewertet und hieraus der Absolutwert der Posi­ tion bestimmt. Es läßt sich somit in einem bestimmten Meßbereich durch entsprechende Teilung der Lineale eine Absolutwertbestimmung durchführen, ohne daß von Referenz­ markierungen Gebrauch gemacht wird. Innerhalb des Meß­ bereichs ist vielmehr jede Position eindeutig bestimmbar.

Die Bestimmung der Absolutwertposition erfolgt vorzugs­ weise durch einen Amplitudenvergleich der Meßspannungen bzw. der Phasenverschiebungssignale. Grundsätzlich ist es ausreichend zwei Meßsysteme nebeneinander und parallel vorzusehen. Die Meßsicherheit wird jedoch durch Hinzu­ nahme eines weiteren Systems erhöht, da dann drei einander zugeorndete bzw. übereinstimmende Werte, insbesondere Amplituden vorliegen, welche den Meßpunkt definieren. Es wird somit die Störanfälligkeit insbesondere gegen Rau­ schen herabgesetzt.

Wie bereits in der Patentanmeldung P 38 26 561 erläutert, wird jedes System mit einer Wechselspannung angesteuert, die an den Koppelkondensator angelegt wird. An den Konden­ satorflächen des Nonius entstehen dann zwei gegeneinander phasenverschobene Spannungen, die voneinander subtrahiert werden, so daß durch Beseitigen des Offsets eine symme­ trische Spannung entsteht. Die Phasenverschiebung der einzelnen in den Systemen auftretenden Spannungen werden gemessen und dienen zur Absolutwertbestimmung. Die Lage Flächen des Nonius zu den Flächen des Lineals kann so durch eine Kapazitätsmessung bestimmt werden.

Anstelle dieser Kapazitätsmessung kann auch eine Phasen­ messung vorgenommen werden. Die Lage der Flächen des Nonius zu den Flächen des Lineals wird dann durch An­ steuern mit phasenverschobenen Signalen und Auswertung der eingekoppelten Phase bestimmt. Danach folgt dann die Auswertung der Phasen der verschiedenen Lineale.

Der noch meßbare Teilungsunterschied zwischen den einzel­ nen Systemen begrenzt die Länge eines Meßbereichs, in dem die Absolutwerterkennung möglich ist. Um diesen Meßbe­ reich zu erweitern, kann in einer vorteilhaften Weiter­ bildung der Erfindung längs der gesamten Meßstrecke ein konventioneller Wegaufnehmer angeordnet sein, dessen Meßergebnis in bekannter Weise sehr ungenau ist, jedoch ausreicht, zu bestimmen, in welchem Meßbereich gerade die Absolutwerterkennung erfolgt. Es sind dann zwei Meß­ systeme vorhanden, nämlich für die Grobrasterung bei­ spielsweise ein induktiver Wegaufnehmer und für die Fein­ messung der kapazitive Wegaufnehmer.

Wie erwähnt, entfällt die Referenzmarkierung zur Be­ stimmung des Nullpunktes der Messung; es kann auch im Nonius das für die Richtungserkennung erforderliche Signalpaar entfallen, um Kondensatorflächen und Leitun­ gen einzusparen. Behält man jedoch die Anzahl der Kondensatorflächen im Nonius bei, so dienen diese zur Signalverstärkung, sind also parallel geschaltet, um die Größe der kapazitiven Flächen und damit die Signal­ stärke zu erhöhen.

Auch ist erfindungsgemäß eine rotationssymmetrische An­ ordnung vorgesehen und eine vorteilhafte Anwendung für einen Hydrozylinder beansprucht.

Die Erfindung ist nachstehend anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines kapazitiven Wegaufnehmers mit drei Systemen,

Fig. 2a, 2b, 2c und 2d Darstellungen der Signalformen,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Weg­ aufnehmers in rotationssymmetrischer Anordnung,

Fig. 4 einen Teilausschnitt des in Fig. 3 darge­ stellten Wegaufnehmers und

Fig. 5 ein Einbaubeispiel für den Wegaufnehmer in einem hydraulischen Zylinder.

In Fig. 1 sind drei Systeme 1, 2 und 3 nebeneinander und parallel auf einer Unterlage angeordnet. Das Lineal 10 des ersten Systems 1 besteht aus nebeneinander in gleich­ mäßigen Abständen auf der Unterlage angeordneten Streifen. Die Teilung beträgt T 1. In einem Abstand von einigen Zehntel Millimeter über dem Lineal 10 sind auf einer weiteren nicht dargestellten Unterlage vier Kondensator­ flächen des Nonius 11 und ein Koppelkondensator 12 ver­ schiebbar angeordnet. Jeweils zwei Flächen des Nonius 11 sind parallel geschaltet. Die Teilung der Flächen des Nonius ist halb so groß wie die Teilung T 1 in dem ge­ wählten Ausführungsbeispiel. Der Koppelkondensator 12 erstreckt sich längs aller Streifen des Nonius 11.

Eine sinus- oder rechteckförmige Spannung wird an den Koppelkondensator 12 angelegt. Somit entsteht an den Flächen des Nonius 11 über die kapazitive Kopplung zwi­ schen dem Koppelkondensator 12 und dem Lineal 10 sowie dem Nonius eine Spannung X 1 und X 2, welche in Fig. 2a dargestellt ist. Es entstehen zwei um 180° phasenver­ schobene Spannungen, die subtrahiert werden, so daß die in Fig. 2b dargestellte Meßspannung U 1 entsteht, die symmetrisch liegt.

Entsprechend besteht das System 2 ebenfalls aus einem Lineal 20, einem Nonius 21 und einem Koppelkondensator 22. Die Teilung T 2 für das zweite Lineal ist unterschiedlich und beträgt im Ausführungsbeispiel T 2=4/3 T 1.

Das dritte System 3 besteht ebenfalls aus einem Lineal 30 mit der Teilung T 3=16/15 T 1, einem Nonius 31 und einem Koppelkondensator 32.

Die Teilungen der in Fig. 1 dargestellten Lineale ver­ halten sich wie folgt:

N₁ (T₂ - T₁) = T₁
N₂ N₂ (T₃ - T₂) = T₂
. . .
N _M-1 . . . N₂ N₁ (T _M - T₁) = T₁

wobei T _M die Teilung der einzelnen Lineale und N _M ganze Zahlen sind.

Durch Subtraktion der im System 2 erzeugten Spannungen X 3 und X 4 sowie der im System 3 erzeugten Spannungen X 5 und X 6, die im einzelnen nicht dargestellt sind, werden symmetrische Meßspannungen U 2 und U 3 erzeugt, deren Periode jeweils durch die Teilung der Lineale 20 und 30 bestimmt ist. Die Phasenverschiebungen dieser Spannungen U 2 und U 3 gegenüber U 1 sind mit Phi 1 und Phi 2 bezeichnet, werden gemessen und sind in den Fig. 2c und 2d darge­ stellt. Fig. 2c zeigt somit das Phasenverschiebungssignal Phi 1, das die Spannung U 2 gegenüber der Spannung U 1 des ersten Lineals hat und Fig. 2d zeigt das Phasenverschie­ bungssignal Phi 2 des dritten Lineals 30 gegenüber dem ersten System 1. Der Meßbereich entspricht der Periode des Signals Phi 2 des Systems 3, die Auflösung, also die Meßgenauigkeit ist von der Teilung des Systems 1 bestimmt, und das System 2 dient zur Erhöhung der Meßsicherheit. Wie sich aus den Fig. 2b, 2c und 2d ergibt, sind jedem Meßpunkt 3 Amplituden zugeordnet, so daß eine eindeutige Bestimmung des Meß­ punktes durch Amplitudenvergleich möglich ist. Grundsätz­ lich genügen zur Bestimmung die Signalformen U 1 und Phi 2. Da durch elektrisches Rauschen der Anordnung der Anstieg der Phasenverschiebungssignale Phi 2 nicht unbedingt linear sein wird, könnten zweideutige Meßwerte entstehen. Um dies zu vermeiden, ist zusätzlich das System 2 vorgesehen, so daß der Meßbereich zwischen dem System 3 und dem System 1 nochmals unterteilt ist, und damit Amplitudenwerte liefert, welche auch unter ungünstigen Verhältnissen eine eindeutige Bestimmung des Meßpunktes mit Hilfe der drei Amplituden der einzelnen Systeme ermöglichen. In dem dargestellten Beispiel ist somit der absolute Meßbereich das 16-fache der Teilung T 1.

Einer weiteren Vergrößerung des Meßbereichs sind durch die immer geringer werdenden Abstände zwischen den Teilun­ gen T 1 und T _M Grenzen gesetzt. Um den Meßbereich zu ver­ größern kann längs der gesamten Meßstrecke ein absoluter Wegaufnehmer auf digitaler oder analoger Basis angeordnet sein. Die Auflösung und Genauigkeit dieses zusätzlichen Aufnehmers braucht nur ein Vielfaches der Teilung T 1, in dem Ausführungsbeispiel das 16-fache betragen. Somit muß der Wegaufnehmer für die Gesamtstrecke nur den je­ weiligen Meßbereich bestimmen, in dem dann die Feinmessung durch den kapazitiven Wegaufnehmer erfolgt.

In Fig. 3 ist eine bevorzugte rotationssymmetrische Aus­ führung dargestellt. Dabei sind die einzelnen Streifen der Lineale 10, 20, 30 reihenweise auf einem zylindrischen Körper 5 angeordnet. Die Streifen der Lineale liegen auf Kreisbögen des Zylinderumfanges, erstrecken sich somit nur über einen größeren oder kleineren Teilabschnitt des Zylinderumfangs. Dies hat den Vorteil, daß das Aufbringen der Streifen erleichtert ist. So lassen sich die Streifen entweder auf lithographischem Wege aufbringen oder auf einer Folie, die dann auf den zylindrischen Körper 5 auf­ geklebt wird. Der Träger für die Folie sollte vorzugs­ weise aus einem Material mit niedrigem Temperaturaus­ dehnungskoeffizienten bestehen. Ein schematisch mit 6 be­ zeichneter verschiebbarer und drehbarer Ring, der konzen­ trisch zum Zylinder 5 liegt, trägt ein Muster von ein­ zelnen Kondensatorflächen für die Nonien 11, 21, 31 und Koppelkondensatoren 12, 22 und 32 der einzelnen Systeme. Diese Nonien und Koppelkondensatoren sind auf dem Ring 6 in Meßrichtung hintereinander angeordnet und erstrecken sich rund um den Umfangrings 6, so daß sich eine rota­ tionssymmetrische Anordnung ergibt. Die elektrische Ver­ bindung der einzelnen Flächen auf dem Ring 6 zu den Anschlußleitungen X 1 bis X 6 sind in Fig. 3 nicht darge­ stellt.

Ein Muster für die Anordnung des Nonius 11 und des Koppel­ kondensators 12 im ersten Umfangsabschnitt des Ringes 6 ist in Fig. 4 dargestellt. Dabei sind die Kondensator­ flächen des Nonius 11 und des Koppelkondensators 12 in gleich große und abwechselnd aufeinanderfolgende Flächen aufgeteilt, die etwa halb so groß sind wie jede einzelne Fläche des Lineals 10. Damit ist gewährleistet, daß bei einer Drehung des Rings 6 gegenüber dem Zylinder 5 die Kapazität zwischen den einzelnen Flächen des Lineals 10 und des Nonius 11 konstant bleibt. Der Anschluß der einzelnen Flächen an die Ansteuerspannung sowie an die Anschlußleitungen X 1 und X 2 erfolgt in der in Fig. 4 dar­ gestellten Weise, ohne daß eine weitere Erläuterung nötig ist. Im Gegensatz zu Fig. 1 sind jedoch jeweils vier Flächen des Nonius 11 an die Leitungen X 1 bzw. X 2 ange­ schlossen. Dadurch wird die Signalstärke entsprechend erhöht. Die Teilung der Kondensatorflächen auf dem Ring 6 ist wiederum halb so groß wie die Teilung des Lineals 10. In Fig. 4 liegen die zu der Anschlußleitung X 1 gehören­ den Flächen 11 gerade über den Flächen des Lineals 10 und die an die Leitung X 2 angeschlossenen Flächen 11 liegen in den Zwischenräumen zwischen den Flächen des Lineals 10. Entsprechendes gilt für die Flächen des Koppel­ kondensators 12.

Die Flächen des Nonius 11 sowie des Koppelkondensators 12 überstreichen bei dieser Anordnung aber nicht nur das Lineal 10, sondern auch die Lineale 20 und 30. Es zeigt sich jedoch, daß die vom Nonius 11 und Koppelkondensator 12 überstrichenen Flächen des Lineals 20 der Summe nach gleich groß sind und ihre Anteile bei der Differenzbildung der Spannungen X 1 minus X 2 eliminiert werden. In Fig. 4 sind diese Teilflächen kreuzschraffiert. Entsprechendes gilt auch für die nicht dargestellten Teilflächen des Lineals 30, so daß tat­ sächlich die in der Anschlußleitung X 1 bzw. X 2 auftreten­ de Spannung nur von der Kapazität des Lineals 10 herrührt und nicht durch das gleichzeitige Mitmessen an den Linealen 20 und 30 verfälscht wird.

Wie aus dem Ausführungsbeispiel ersichtlich ist, wird der Nonius 11 des ersten Systems viermal nebeneinander ange­ ordnet, so daß die Summe der kreuzschraffierten Flächen über dem Lineal 20 jeweils gleich groß ist und eliminiert werden kann. Damit auch die Flächen über dem Lineal 30 eliminiert werden, müssen 16 Streifen des ersten Systems nebeneinander angeordnet werden. Da 16 ein ganzzahliges Vielfaches von 4 ist, bleibt die Eliminierung der Flä­ chen über dem Lineal 20 erhalten.

Der Nonius 21 für das Lineal 20 wird so ausgebildet, daß sich die Flächen über Lineal 10 und 30 eliminieren.

Der Nonius 31 für das Lineal 30 wird so ausgebildet, daß sich die Flächen über den Linealen 10 und 20 ausgleichen.

Die Anordnung ist dabei von den Teilungsverhältnissen bestimmt.

In Fig. 5 ist ein Einbaubeispiel des Wegaufnehmers in einen hydraulischen Zylinder dargestellt. In einem Zylin­ der 40 ist ein Kolben 41 mit einer Kolbenstange 42 ver­ schiebbar. Die Zu- und Abläufe in die Zylinderräume sind nicht dargestellt. Die Kolbenstange 42 weist eine Aus­ nehmung 44 auf, in die sich eine an der Kolbenstange 42 befestigte Stange 45 erstreckt. Die Stange aus einem geeigneten Material bildet den Träger für die Lineale 10 und 30 gegebenenfalls auch 20. Die Lineale werden ent­ weder direkt auf den Träger oder auf eine Folie aufge­ bracht, die dann auf den Träger geklebt wird. In den Zwischenraum zwischen der Ausnehmung 44 und der Stange 45 taucht ein am Zylinderboden befestigtes Keramik- oder CFK-Rohr 46, an dessen Ende die zu den Linealen gehören­ den Nonien 11, 31 und Koppenkondensatoren 12, 32 ange­ ordnet sind. Ein induktiver Wegaufnehmer 50 erstreckt sich längs der gesamten Meßstrecke. Solche induktiven Wegaufnehmer sind bekannt. Ein Kern 51 aus ferromagne­ tischem Material verändert die Induktivität in den Spulen 52, 53 gegenseitig. Eine analoge von Null bis zu einem Endwert ansteigende lineare Spannung wird erzeugt.

Claims (15)

1. Kapazitiver Wegaufnehmer mit einem aus beabstan­ deten Kondensatorflächen bestehenden Lineal, Nonius und Koppelkondensator, wobei der Nonius und der Koppel­ kondensator einerseits und das Lineal andererseits einander überstreichend und zueinander verschiebbar angeordnet sind, mit einer Auswerteschaltung für die zwischen den Kondensatorflächen an dem Nonius oder dem Koppelkondensator auftretenden kapazitätsbedingten Meß­ spannungen, deren Periode durch die Teilung des Systems bestimmt ist, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Lineale (10, 20, 30) unterschied­ licher Teilung mit je einem zugeordneten Nonius (11, 21, 31) und Koppelkondensator (12, 22, 32) parallel zueinander vorgesehen sind, wobei die Phasenverschiebung der an jedem weiteren Lineal auftretenden Meßspannung gegenüber der Meßspannung des ersten Lineals gemessen wird und daß aus einem Phasenvergleich zwischen den Meßspannungen der Lineale (10, 20, 30) die absolute Position bestimmt wird.

2. Wegaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß aus einem Amplitudenvergleich zwischen der Meßspannung des ersten Lineals (10) und dem Phasenverschiebungssignal jedes weiteren Lineals (20, 30) die absolute Position bestimmt wird.

3. Wegaufnehmer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßstrecke in mehrere Meßbereiche unterteilt ist, in denen jeweils die Absolutwertbestimmung der Position durch den Phasenver­ gleich der Meßspannungen erfolgt und daß für die Meß­ strecke ein absoluter Wegaufnehmer vorgesehen ist, über den die Zuordnung der einzelnen aufeinanderfolgenden Meßbereiche zum gesamten Meßbereich erfolgt.

4. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Koppel­ kondensatoren (12, 22, 32) an eine Wechselspannung ange­ schlossen sind und die an den Kondensatorflächen der Nonien (11, 21, 31) auftretenden Spannungen (X 1 bis X 6) durch Differenzbildung ausgewertet werden, wobei sich jeweils eine phasenverschobene Spannung (U 1, U 2, U 3) ergibt, deren Phasenverschiebung zur Positionsbestimmung ausgewertet wird.

5. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Konden­ satorflächen der Nonien (11, 21, 31) paarweise an je eine phasenverschobene Sinus- bzw. Kosinusspannungangeschlossen sind und an den Koppelkondensatoren (12, 22, 32) die Meß­ spannungen erzeugt werden, deren Phasenverschiebung zur Positionsbestimmung ausgewertet wird.

6. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß drei parallele Systeme (1, 2, 3) mit einer Teilung der Lineale (10, 20, 30) von T 1=4/3 T 1 und T 3=16/15 T 1 angeordnet sind, wobei der absolute Meßbereich=16 T 1 ist.

7. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Konden­ satorflächen der Lineale (10, 20, 30) auf einem zylindri­ schen Körper (5) und die Kondensatorflächen der Nonien und der Koppelkondensatoren auf einem den zylindrischen Körper konzentrisch umgebenden dreh- und verschiebbaren Ring (6) angeordnet sind, wobei die Nonien und Koppel­ kondensatoren in Längsrichtung der Lineale aufeinander­ folgen.

8. Wegaufnehmer nach Anspruch 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Kondensatorflächen der Lineale (10, 20, 30) als auf jeweils einem Kreis­ bogen liegende Streifen ausgebildet sind und die Konden­ satorflächen der Nonien und der Koppelkondensatoren zueinander ein bestimmtes Flächenverhältnis aufweisen, zusammen kleiner als die Kondensatorflächen der jeweiligen Lineale sind und in einem bestimmten Muster auf dem Ring (6) so angeordnet sind, daß die Flächen bei einer Drehung zwischen den Linealen und den Nonien jeweils konstant bleiben.

9. Wegaufnehmer nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Flächen der Nonien und der Koppelkondensatoren jeweils etwa halb so groß sind wie die Kondensatorflächen des zugehörigen Lineals.

10. Wegaufnehmer nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensatorflächen der Nonien und der Koppelkondensatoren in jedem Ring­ abschnitt abwechselnd aufeinanderfolgend angeordnet sind.

11. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilung jedes Nonius halb so groß ist wie die Teilung des zuge­ hörigen Lineals.

12. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 11 zum Einbau in einen hydraulischen Zylinder, dadurch ge­ kennzeichnet, daß in einer kolbenseitigen Bohrung (44) ein stangenförmiger Träger (45) befestigt ist, der die Lineale trägt und daß ein am Zylinder (40) befestigtes Rohr (46), das die Nonien und Koppelkonden­ satoren trägt, in den Ringraum zwischen der Stange (45) und dem Kolben (41) eintaucht und daß zwischen dem Träger und dem Rohr ein absoluter Wegaufnehmer (50) zur Unter­ teilung des gesamten Meßbereiches in einzelne Meßbereiche vorgesehen ist.

13. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilun­ gen der Lineale sich wie folgt verhalten: N₁ (T₂ - T₁) = T₁
N₂ N₂ (T₃ - T₂) = T₂
. . .
N _M-1 . . . N₂ N₁ (T _M - T₁) = T₁wobei T _M die Teilung der einzelnen Linieale und N _M ganze Zahlen sind.

14. Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 7 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl und Anordnung der zu den Linealen (10, 20, 30) gehörenden Nonien (11, 21, 31) so getroffen sind, daß sich die Spannungen der vom Nonius jeweils eines Lineals über­ strichenen Teilflächen der zu den jeweils anderen Linealen gehörenden Nonien ausgleichen.

15. Wegaufnehmer nach Anspruch 14, dadurch ge­ kennzeichnet, daß für das erste Lineal (10) insgesamt 16 Nonien (11) vorgesehen sind, die in Gruppen von jeweils 4 Nonien elektrisch verbunden sind, wobei jeweils alle auf einer Umfangslinie liegenden Nonien ver­ bunden und jeweils vier hintereinanderliegende auf je einer Umfangslinie liegende Nonien in Gruppen zusammen­ geschaltet sind (Fig. 4).