KR20080094572A - 구동 장치 - Google Patents

구동 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20080094572A
KR20080094572A KR1020080034128A KR20080034128A KR20080094572A KR 20080094572 A KR20080094572 A KR 20080094572A KR 1020080034128 A KR1020080034128 A KR 1020080034128A KR 20080034128 A KR20080034128 A KR 20080034128A KR 20080094572 A KR20080094572 A KR 20080094572A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
moving
friction
drive
lens
vibrating
Prior art date
Application number
KR1020080034128A
Other languages
English (en)
Inventor
소메이 다카하시
츠카사 야마다
Original Assignee
미쓰미덴기가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JPJP-P-2007-00110283 priority Critical
Priority to JP2007110283 priority
Application filed by 미쓰미덴기가부시기가이샤 filed Critical 미쓰미덴기가부시기가이샤
Publication of KR20080094572A publication Critical patent/KR20080094572A/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezo-electric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/025Inertial sliding motors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/08Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification adapted to co-operate with a remote control mechanism
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/04Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification
    • G02B7/10Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens
    • G02B7/102Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses with mechanism for focusing or varying magnification by relative axial movement of several lenses, e.g. of varifocal objective lens controlled by a microcomputer

Abstract

저높이화를 도모하여 이동부의 이동 속도를 빠르게 하는 것.
신축 방향에서 서로 대향하는 제1 및 제2 단부를 갖는 전기 기계 변환 소자(441)와, 이 전기 기계 변환 소자의 제1 단부에 결합된 정지 부재(442)와, 전기 기계 변환 소자의 제2 단부에 결합된 진동 마찰부(443)와, 이 진동 마찰부와 마찰 결합되는 봉형상의 이동부(423)를 구비하며, 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 이동부가 이동 가능한 구동 장치(20)에 있어서, 마찰 결합부의 높이(진동 마찰부(443)의 이동부(423)와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이)가 1.15mm 이하이다.
전기 기계 변환 소자, 정지 부재, 진동 마찰부, 이동부, 구동 장치

Description

구동 장치{DRIVING DEVICE}

본 발명은 구동 장치에 관한 것으로서, 특히 압전 소자 등의 전기 기계 변환 소자를 이용한 구동 장치에 관한 것이다.

종래부터 카메라의 오토포커스용 액추에이터나 줌용 액추에이터로서 압전 소자, 전기 왜곡 소자, 자기 왜곡 소자 등의 전기 기계 변환 소자를 사용한 (구동 장치) 리니어 액추에이터가 사용되고 있다.

예컨대, 특허 문헌 1은 렌즈 홀더(피구동 부재, 이동부)를 이동시키는 데 압전 소자의 신축 방향의 일단에 가이드봉(구동 부재, 진동 마찰부)을 접착하고, 가이드봉에 렌즈 홀더(이동부)를 이동 가능하게 지지시키고, 가이드봉과 렌즈 홀더 사이에 마찰력을 발생시키는 판스프링을 구비한 구동 장치를 개시하고 있다. 특허 문헌 1에서는 압전 소자에 신장의 속도와 수축의 속도를 서로 다르게 하도록 인가하고 있다.

또한, 특허 문헌 2는 압전 소자와, 이 압전 소자에 결합하여 압전 소자의 신축 방향으로 연장되는 구동축(내마모성의 진동봉, 진동 마찰부)과, 이 구동축에 마찰 결합한 피구동 부재(줌 렌즈 경통, 이동부)를 구비한 구동 장치를 개시하고 있 다. 이 특허 문헌 2에서는 압전 소자에 인가하는 구동 신호를 연구하여, 피구동 부재(줌 렌즈 경통, 이동부)를 구동하고 있다. 특허 문헌 3에서는 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)을 섬유 강화 수지 복합체로 구성한 것을 개시하고 있다.

특허 문헌 4는 제1 압전 소자에 부착한 구동 부재(진동 마찰부)와 피구동 부재(이동부)와의 마찰 걸어맞춤을 확보 혹은 해제하는 제2 압전 소자를 설치함으로써 피구동 부재를 안정적으로 정확하게 이동시킬 수 있는 액추에이터를 개시하고 있다. 특허 문헌 4에 개시된 액추에이터는 구동용의 한 쌍의 제1 압전 소자, 걸어맞춤용의 제2 압전 소자, 한 쌍의 구동 부재 및 누름 스프링으로 구성된다. 한 쌍의 제1 압전 소자 및 한 쌍의 구동 부재는 피구동판을 사이에 두고 양측에 배치된다. 한 쌍의 구동 부재의 간격이 제2 압전 소자에 의해 확대/축소된다. 이 제2 압전 소자에 의해 한 쌍의 구동 부재와 피구동판과의 마찰 걸어맞춤이 확보 혹은 해제된다.

특허 문헌 5는 구성 부재의 탄성 변형의 영향을 받지 않는 전기 기계 변환 소자를 사용한 직선 구동 기구를 개시하고 있다. 특허 문헌 5에 있어서, 고정 경통에 고착된 내통에는 반경 방향으로 연장된 연장부(정지 부재)의 베어링에 광축에 평행하게 배치된 구동축(이동부)이 이동 가능하게 지지되어 있다. 연장부(정지 부재)와 작용 부재(진동 마찰부) 사이에는 압전 소자(전기 기계 변환 소자)가 배치되어 고착 결합된다. 작용 부재의 상반부는 구동축에 접촉하고, 작용 부재의 하반부는 스프링에 의해 바이어스된 패드가 장착되며, 작용 부재 및 패드는 구동축에 대하여 적당한 마찰력으로 마찰 결합한다. 압전 소자에 속도가 다른 신축 변위를 발 생시키면, 작용 부재를 통하여 구동축이 변위하고, 구동축은 피구동 부재인 렌즈 유지틀과 함께 꺼내어지거나 집어넣어진다.

또한, 특허 문헌 6은 가동자를 탄소 섬유를 포함하는 액정 폴리머로 형성함으로써 금속 재료로 형성하는 경우에 비하여 저비용화와 경량화를 도모할 수 있음과 아울러, 이동 속도나 구동력을 저하시키지 않고 높은 굽힘 탄성 계수의 가동자를 이용한 고성능의 구동 장치를 개시하고 있다. 이 특허 문헌 6에 개시된 구동 장치는 전압가 인가됨으로써 신축하는 압전 소자(전기 기계 변환 소자)와, 압전 소자의 신축 방향 일단에 고정된 구동축(진동 마찰부)과, 구동축에 슬라이딩 가능하게 마찰 걸어맞춤되는 가동자(이동부)와, 압전 소자의 신축 방향 타단에 접착 고정된 웨이트(정지 부재, 추)를 구비한다. 압전 소자의 신장과 수축의 속도 또는 가속도를 다르게 하여 구동축을 진동시킴으로써 가동자(이동부)를 구동축(진동 마찰부)을 따라 이동시킨다. 구동축은 직선형으로 연장되는 둥근 막대의 축체로 구성되어 있다. 가동자는 가동자 본체와 캡으로 구성되며, 양자가 구동축을 사이에 두도록 하여 구동축에 걸어맞춤되어 있다. 가동자를 구동축을 따라 이동 가능하게 하기 위하여 구동축과 가동자 사이가 소정의 마찰력이 되도록 대략 ㄷ자형의 판스프링에 의해 가동자 본체와 갭을 구동축에 밀어붙이고 있다. 가동자 본체에는 V자형 단면의 홈이 형성되어 있다. 이 홈에 구동축이 끼워져들어가 홈의 2개의 경사면이 구동축과 접촉하도록 되어 있다. 마찬가지로, 캡에는 V자형 단면의 홈이 형성되어 있다. 캡이 가동자 본체와 조합된 경우에, 캡의 홈에 구동축이 끼워져들어가 그 홈의 2개의 경사면이 구동축과 접촉하도록 되어 있다.

더욱이, 특허 문헌 7은 이동 부재를 고속으로 안정적으로 구동할 수 있는 구동 장치를 개시하고 있다. 특허 문헌 7에 개시된 구동 장치는 정지 부재와, 이 정지 부재에 그 신축 방향의 일단이 고정된 전기 기계 변환 소자와, 이 전기 기계 변환 소자의 신축 방향의 타단에 결합되며, 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 이동할 수 있도록 지지된 구동 부재(진동 마찰부)와, 이 구동 부재에 마찰 결합되며, 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 이동할 수 있도록 지지된 이동 부재(이동부)와, 구동 부재와 이동 부재 사이에 마찰력을 발생시키는 마찰력 부가 수단을 구비하고 있다. 이 마찰력 부가 수단은 이동 부재(이동부)에 고정되어 밀어붙임력을 발생하는 탄성 부재와, 탄성 부재에 의해 발생하는 밀어붙임력을 구동 부재에 전달하는 개재 부재로 구성된다. 또한, 이동 부재와 구동 부재의 접촉부 및 개재 부재의 접촉부를 단면 V자형으로 하였다.

특허 문헌 1: 일본 특허 제2633066호 공보

특허 문헌 2: 일본 특허 제3218851호 공보

특허 문헌 3: 일본 특허 제3180557호 공보

특허 문헌 4: 일본 특허 공개 2006-54979호 공보

특허 문헌 5: 일본 특허 공개 평 9-191665호 공보

특허 문헌 6: 일본 특허 공개 2006-304529호 공보

특허 문헌 7: 특허 제3141714호 공보

전술한 특허 문헌 1∼4에는 각각 이하에 설명하는 바와 같은 문제점이 있다.

특허 문헌 1에 개시된 구동 장치에서는 압전 소자에 접착된 가이드봉(구동 부재, 진동 마찰부)에 렌즈 홀더(피구동 부재, 이동부)가 이동 가능하게 지지되어 있으므로, 가이드봉(구동 부재, 진동 마찰부)이 렌즈 홀더(피구동 부재, 이동부)보다 길고, 가이드봉(구동 부재, 진동 마찰부)이 왕복 운동함으로써 경사를 발생하기 쉽다. 또한, 렌즈 홀더(피구동 부재, 이동부)의 이동 거리를 길게 할수록 가이드봉(구동 부재, 진동 마찰부)도 길어져 불필요한 진동 모드를 발생하기 쉽다. 더욱이, 압전 소자와 가이드봉(구동 부재, 진동 마찰부)과의 결합부의 연장 상에 마찰 걸어맞춤부가 있으므로 높이를 낮추기에는 불리하다.

특허 문헌 2에 개시된 구동 장치에 있어서도, 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)이 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 연장되어 있으므로, 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)이 줌 렌즈 경통(피구동 부재, 이동부)보다 길어 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)이 왕복 운동함으로써 경사를 발생시키기 쉽다. 또한, 줌 렌즈 경통(피구동 부재, 이동부)의 이동 거리를 길게 할수록 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)도 길어져 불필요한 진동 모드를 발생하기 쉽다. 더욱이, 전기 기계 변환 소자와 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)과의 결합부의 연장 상에 마찰 걸어맞춤부가 있으므로 높이를 낮추기에는 불리하다. 또한, 줌 렌즈 경통(피구동 부재, 이동부)을 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)으로 캔틸레버 지지하는 구조를 하고 있으므로 렌즈와 같은 큰 중량물을 이동시키기에는 역학적으로 무리가 있다.

특허 문헌 3은 구동축(구동 부재, 진동 마찰부)을 섬유 강화 수지 복합체로 구성한 것을 개시하고 있는 것에 불과하며, 기본적 구성은 특허 문헌 2에 개시된 구동 장치와 동일하므로 특허 문헌 2와 동일한 문제점이 있다.

특허 문헌 4는 구동 부재(진동 마찰부)가 피구동 부재(이동부)보다 짧지만 복수의 압전 소자를 구비하므로 구성이 복잡해짐과 아울러 크기를 축소하기에는 불리하다.

한편, 특허 문헌 5는 구동축(이동부)이 로드 형상을 하고 있으며, 작용 부재(진동 마찰부)가 복잡한 형상을 하고 있는 직선 구동 기구를 개시하고 있다. 그러나, 특허 문헌 5는 작용 부재의 슬라이딩 방향의 길이에 대해서는 전혀 개시하지 않으며 시사하는 기재도 없다.

특허 문헌 6의 구성에서는 구동축(진동 마찰부)과 가동자(이동부)의 마찰 결합부의 길이(즉, 가동자의 슬라이딩 방향의 길이)를 짧게 하기가 어려워 구동 장치의 높이를 낮추기가 어려워진다는 문제가 있다.

특허 문헌 7에 개시된 구동 장치는 특허 문헌 6의 경우와 마찬가지로, 구동 부재(진동 마찰부)가 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 연장되는 구동축으로 이루어지고, 이동 부재(이동부)가 구동축과 마찰 접촉하는 슬라이더로 구성되어 있다. 따라서, 특허 문헌 6에 개시된 구동 장치의 경우와 마찬가지로 특허 문헌 7에 개시된 구동 장치에서는 구동 부재(진동 마찰부)와 이동 부재(이동부)의 마찰 결합부의 길이(즉, 슬라이더의 슬라이딩 방향의 길이)를 짧게 하기가 어려워 구동 장치 의 높이를 낮추기가 어려워진다는 문제가 있다. 또한, 특허 문헌 7에 개시된 구동 장치에서는 구동축(진동 마찰부)에 개재 부재(패드)를 탄성 부재(판스프링)로 꽉 누르고 있다.

결국, 특허 문헌 1∼7 모두 이동 부재(이동부)의 이동 속도를 빠르고 안정적으로 하기 위하여 마찰 결합부의 길이를 어느 정도로 하면 되는지에 대해서는 전혀 고찰이 이루어지지 않았고 고려되어 있지도 않다.

본 발명의 과제는 저높이화를 도모할 수 있는 구동 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 과제는 이동부의 이동 속도를 빠르게 할 수 있는 구동 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 설명이 진행됨에 따라 명백해질 것이다.

본 발명에 따르면, 신축 방향에서 서로 대향하는 제1 및 제2 단부(441a, 441b)를 갖는 전기 기계 변환 소자(441)와, 상기 전기 기계 변환 소자의 상기 제1 단부에 결합된 정지 부재(442; 442A))와, 상기 전기 기계 변환 소자의 상기 제2 단부에 결합된 진동 마찰부(443)와, 상기 진동 마찰부와 마찰 결합되는 봉형상의 이동부(423)를 구비하며, 상기 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 상기 이동부가 이동 가능한 구동 장치(20)에 있어서, 상기 진동 마찰부의 상기 이동부와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이(H)가 1.15mm 이하인 것을 특징으로 하는 구동 장치가 얻어진다.

상기 본 발명에 따른 구동 장치에 있어서, 상기 진동 마찰부(443)와 상기 이동부(423)와의 사이에 마찰력을 발생시키는 마찰력 부가 수단을 더 구비할 수 있다. 이 경우, 상기 마찰력 부가 수단은 상기 진동 마찰부에 고정되어 상기 이동부를 누르기 위한 밀어붙임력을 발생하는 탄성 바이어스 부재(444)와, 상기 이동부를 사이에 두고 상기 진동 마찰부와 대향하여 배치되며, 상기 탄성 바이어스 부재와 상기 이동부 사이에 개재된 패드(445; 445A)로 구성되는 것이 바람직하다. 상기 탄성 바이어스 부재는 예컨대 일단부가 상기 진동 마찰부에 걸어맞춤되고 타단부가 상기 이동부측으로 연장되어 있는 스프링(444)으로 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 진동 마찰부(443)는 당해 진동 마찰부와 상기 이동부 사이의 마찰 결합부에 단면 V자형의 홈(443a)을 갖는 것이 바람직하다. 상기 진동 마찰부의 상기 단면 V자형의 홈(443a)의 각도(θ1)는 30도 내지 180도 미만의 범위에 있는 것이 바람직하다. 상기 스프링(444)에 따른 상기 밀어붙임력은 5∼100gf의 범위에 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 패드(445)는 당해 패드와 상기 이동부 사이의 접촉부에 단면 V자형의 홈(445a)을 갖는 V자형 구조를 하고 있는 것이 바람직하다. 상기 패드의 상기 단면 V자형의 홈(445a)의 각도(θ2)는 30도 내지 180도 미만의 범위에 있는 것이 바람직하다. 그 대신 상기 패드(445A)는 당해 패드와 상기 이동부 사이의 접촉부에서 평면(445b)을 갖는 평면 구조를 하고 있을 수 있다.

또한, 상기 괄호 안의 참조 부호는 이해를 쉽게 하기 위하여 붙인 것으로서 일례에 불과하며, 이들에 한정되지 않음은 물론이다.

본 발명에서는 진동 마찰부의 이동부와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이를 1.15mm 이하로 하였으므로 구동 장치의 저높이화를 달성할 수 있고, 이동부의 이동 속도를 빠르게 할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구동 장치(20)를 도시한 외관 사시도이다. 여기서는, 도 1에 도시한 바와 같이, 직교 좌표계(X, Y, Z)를 사용하고 있다. 도 1에 도시한 상태에서는 직교 좌표계(X, Y, Z)에 있어서, X축은 전후 방향(안길이 방향)이고, Y축은 좌우 방향(폭방향)이고, Z축은 상하 방향(높이 방향)이다. 그리고, 도 1에 도시한 예에 있어서는 상하 방향(Z)이 렌즈의 광축(O) 방향이다.

도시한 구동 장치(20)는 도시하지 않은 케이스 내에 배치된다. 케이스는 컵형상의 상측 커버(도시하지 않음)와 하측 베이스(도시하지 않음)를 포함한다. 케이스의 하측 베이스 상에 정지 부재(추)(442)(후술함)가 탑재된다. 상측 커버의 상면은 렌즈의 광축(O)을 중심축으로 한 원통부(도시하지 않음)를 갖는다. 한편, 도시하지는 않았으나, 하측 베이스의 중앙부에는 기판에 배치된 촬상 소자가 탑재된다. 이 촬상 소자는 가동 렌즈(후술함)에 의해 결상된 피사체상을 촬상하여 전기 신호로 변환한다. 촬상 소자는 예컨대, CCD(charge coupled device)형 이미지 센서, CMOS(complementary metal oxide semiconductor)형 이미지 센서 등에 의해 구성된다.

도시한 구동 장치(20)는 오토포커스 렌즈 구동 유닛(40)으로 구성되어 있다.

케이스 내에는 좌우 방향(Y)의 좌측에 안내축(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 이 안내축은 렌즈의 광축(O)과 평행하게 연장되어 있다. 안내축의 상단은 케이스의 상측 커버의 상면에 고정되고, 하단은 케이스의 하측 베이스에 고정되어 있다. 이 렌즈의 광축(O)을 사이에 두고 안내축과 반대측인 좌우 방향(Y)의 우측에는 나중에 상세하게 설명하는 봉형상의 이동부(이동축)(423)가 설치되어 있다. 즉, 안내축과 이동축(423)은 렌즈의 광축(O) 둘레에 회전 대칭인 위치에 배치되어 있다.

오토포커스 렌즈 구동 유닛(40)은 렌즈 가동부(42)와 렌즈 구동부(44)로 구성된다. 렌즈 가동부(42)는 오토포커스 렌즈(AFL)를 유지하는 렌즈 유지틀(421)을 포함한다. 렌즈 유지틀(421)은 대략 원통형의 가동 경통(422)의 상부에 고정되어 있다. 가동 경통(422)은 좌우 방향(Y)의 좌측에서 반경 방향 외측으로 연장되는 한 쌍의 연장부(4221)(단, 도 1에서는 상측만 도시함)를 갖는다. 이 한 쌍의 연장부(4221)는 상기 안내축이 관통하는 관통 구멍(4221a)을 갖는다. 또한, 가동 경통(422)은 좌우 방향(Y)의 우측에서 반경 방향 외측으로 연장되는 한 쌍의 연장부(4222)를 갖는다. 이 한 쌍의 연장부(4222)는 봉형상의 이동축(423)이 관통하여 끼워맞춤되는 끼워맞춤 구멍(4222a)을 갖는다. 이러한 구성에 의해 렌즈 가동부(42)는 케이스에 대하여 렌즈의 광축(O) 방향으로만 이동 가능하다.

렌즈 구동부(44)는 렌즈 가동부(42)를 렌즈의 광축(O) 방향으로 슬라이딩 가 능하게 지지하면서 후술하는 바와 같이 렌즈 가동부(42)를 구동한다.

도 1에 더하여 도 2 내지 도 4도 참조하여 오토포커스 렌즈 구동 유닛(40)의 렌즈 구동부(44)에 대하여 설명한다. 도 2는 오토포커스 렌즈 구동 유닛(40)의 렌즈 구동부(44)를 봉형상의 이동축(423)과 함께 도시한 사시도이다. 도 3은 오토포커스 렌즈 구동 유닛(40)의 렌즈 구동부(44)를 봉형상의 이동축(423)과 함께 도시한 평면도이다. 도 4는 렌즈 구동부(44)의 주요부를 도시한 사시도이다.

렌즈 구동부(44)는 전기 기계 변환 소자로서 작용하는 적층 압전 소자(441)와, 원기둥형의 정지 부재(추)(442)와 진동 마찰부(443)를 갖는다. 적층 압전 소자(441)는 렌즈의 광축(O) 방향으로 신축한다. 적층 압전 소자(441)는 렌즈의 광축(O) 방향으로 복수의 압전층을 적층한 구조를 갖는다. 도 5에 도시한 바와 같이, 적층 압전 소자(441)는 신축 방향에서 서로 대향하는 제1 단부(하단부)(441a)와 제2 단부(상단부)(441b)를 갖는다. 정지 부재(추)(442)는 적층 압전 소자(441)의 제1 단부(하단부)(441a)에 접착제 등으로 결합된다. 진동 마찰부(443)는 적층 압전 소자(441)의 제2 단부(상단부)(441b)에 접착제 등으로 결합되어 있다.

또한, 도 5에 도시한 바와 같이 적층 압전 소자(441)와 정지 부재(442)의 조합은 압전 유닛이라 불린다.

봉형상의 이동축(423)은 이 진동 마찰부(443)와 마찰 결합된다. 도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 진동 마찰부(443)에는 당해 진동 마찰부(443)와 봉형상의 이동축(423) 사이의 마찰 결합부에 단면 V자형의 홈(443a)이 형성되어 있다.

렌즈 구동부(44)는 봉형상의 이동축(423)을 진동 마찰부(443)에 대하여 밀어 붙이기(바이어스하기) 위한 스프링(444)을 구비한다. 즉, 스프링(444)은 진동 마찰부(443)에 고정되어 이동부(423)를 누르기 위한 밀어붙임력을 발생하는 바이어스 수단으로서 작용한다. 스프링(444)과 봉형상의 이동축(423) 사이에 V자형 구조의 패드(445)가 개재되어 있다. 패드(445)는 이동부(423)를 사이에 두고 진동 마찰부(443)와 대향하여 배치되어 있다. 진동 마찰부(443)와 마찬가지로 패드(445)도 당해 패드(445)와 봉형상의 이동축(423) 사이의 접촉부에 단면 V자형의 홈(445a)이 형성되어 있다. 진동 마찰부(443)는 스프링(444)을 유지하기 위한 홈(443b)이 형성되어 있다. 스프링(444)은 그 일단부가 이 홈(443b)에서 진동 마찰부(443)에 걸어맞춤되고 그 타단부가 이동부(423) 측으로 연장되어 있다. 이에 따라, 진동 마찰부(443)와 패드(445)를 스프링(444)으로 봉형상의 이동축(423)에 밀어붙이고 있다. 이 결과, 봉형상의 이동축(423)은 진동 마찰부(443)에 안정적으로 마찰 결합된다.

상세하게 설명하면, 이동부(423)와 스프링(444) 사이에 패드(445)가 개재되어 있다. 이는 스프링(444)의 마찰 마모에 따른 밀어붙임력의 열화를 없애 스프링(444)의 마찰 마모에 따른 마찰력의 변화를 없애기 위함이다. 또한, 패드(445)의 마찰 마모를 방지하기 위하여 패드(445)의 표면은 매끄러운 것이 바람직하다. 그를 위해서는 패드(445)는 딱딱한 금속이 수지 또는 섬유 강화 복합 수지의 재료로 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 진동 마찰부(443)에 있어서, 진동 마찰부(443)와 이동부(423) 사이의 마찰 결합부에 단면 V자형의 홈(443a)을 형성하였다. 진동 마찰부(443)의 단면 V 자형의 홈(443a)에 따른 이동부(423)와의 2직선 접촉에 의해 마찰 결합부의 접촉 상태가 안정되어 재현성이 양호한 마찰 구동이 얻어짐과 아울러, 이동부(423)의 일축 이동체로서의 직진 이동성을 높인다는 효과를 가져온다. 또한, 이 단면 V자형의 홈(443a)의 각도(θ1)는 30도 내지 180도 미만의 범위인 것이 바람직하다.

더욱이, 패드(445)가 V자형 구조를 하고 있다. 패드(445)의 단면 V자형의 홈(445a)에 따른 이동부(423)와의 2직선 접촉에 의해 마찰 결합부의 접촉 상태가 안정되어 이동부(423)의 일축 이동체로서의 직진 이동성을 높인다는 효과를 가져온다. 또한, 이 단면 V자형의 홈(445a)의 각도(θ2)는 30도 내지 180도 미만의 범위인 것이 바람직하다.

또한, 진동 마찰부(443)와 패드(445)를 스프링(444)으로 이동부(423)에 밀어붙이고 있다. 이에 따라, 진동 마찰부(443)의 단면 V자형의 홈(443a)과 패드(445)의 단면 V자형의 홈(445a)을 이동부(423)에 밀어붙임으로써 3부품(이동부(423), 진동 마찰부(443), 패드(445))의 안정된 선접촉을 가능하게 하고 있다. 또한, 스프링(444)에 따른 밀어붙임력은 5∼100gf의 범위에 있는 것이 바람직하다.

렌즈 구동부(44)와 렌즈 이동부(42)는, 도 1에 도시한 바와 같이, 렌즈의 광축(O)에 대하여 나란히 배치되어 있다. 따라서, 포커스 렌즈 구동 유닛(40)의 높이를 낮출 수 있다. 그 결과, 구동 장치(20)의 높이도 낮출 수 있다.

다음, 도 6을 참조하여 적층 압전 소자(441)에 공급되는 전류와 적층 압전 소자(441)에 발생하는 변위에 대하여 설명한다. 또한, 도 6은 상기 특허 문헌 2의 도 5에 도시된 것과 동일한 것이다. 도 6(A) 및 (B)는 각각 구동 회로(도시하지 않음)에 의해 적층 압전 소자(441)에 공급되는 전류의 변화와 적층 압전 소자(441)의 변위를 도시한 것이다.

도 6(A)에 도시한 바와 같이, 적층 압전 소자(441)에 대전류(플러스 방향)와 소정의 일정 전류(마이너스 방향)를 교대로 흘린다. 이러한 상황에서는 도 6(B)에 도시한 바와 같이, 적층 압전 소자(441)는 대전류(플러스 방향)에 대응한 급격한 변위(신장)와 일정 전류(마이너스 방향)에 대응한 완만한 변위(수축 )가 교대로 발생한다.

즉, 적층 압전 소자(441)에 사각파 전류를 인가하여(도 6(A)) 적층 압전 소자(441)에 대하여 톱니파형의 변위(신축)를 발생(도 6(B))시킨다.

도 6에 더하여 도 1도 참조하여 오토포커스 렌즈 구동 유닛(40)의 동작에 대하여 설명한다. 먼저, 렌즈 가동부(42)를 상하 방향(Z)을 따라 하방향으로 이동시키는 경우의 동작에 대하여 설명한다.

먼저, 도 6(A)에 도시한 바와 같이, 적층 압전 소자(441)에 플러스 방향의 대전류를 흘리면, 도 6(B)에 도시한 바와 같이, 적층 압전 소자(441)는 급속하게 두께 방향의 신장 변위를 발생시킨다. 그 결과, 진동 마찰부(443)는 렌즈의 광축(O) 방향(상하 방향(Z))을 따라 상방향으로 급속하게 이동한다. 이 때, 렌즈 가동부(42)는 그 관성력에 의해 진동 마찰부(443)와 봉형상의 이동축(423) 사이의 마찰력을 이겨 실질적으로 그 위치에 머무르므로 이동하지 않는다.

다음, 도 6(A)에 도시한 바와 같이, 적층 압전 소자(441)에 마이너스 방향의 일정 전류를 흘리면, 적층 압전 소자(441)는 완만하게 두께 방향의 수축 변위를 발생시킨다. 그 결과, 진동 마찰부(443)는 렌즈의 광축(O) 방향(상하 방향(Z))을 따라 하방향으로 완만하게 이동한다. 이 때, 진동 마찰부(443)와 봉형상의 이동축(423)은 그들 사이의 접촉면에 발생하는 마찰력에 의해 결합되어 있으므로 렌즈 가동부(42)는 진동 마찰부(443)와 함께 실질적으로 렌즈의 광축(O) 방향(상하 방향(Z))을 따라 하방향으로 이동한다.

이와 같이, 적층 압전 소자(441)에 플러스 방향의 대전류와 마이너스 방향의 소정의 일정 전류를 교대로 흘려 적층 압전 소자(441)에 신장 변위와 수축 변위를 교대로 발생시킴으로써 렌즈 유지틀(421)(렌즈 가동부(42))을 렌즈 광축(O) 방향(상하 방향(Z))을 따라 하방향으로 연속적으로 이동시킬 수 있다.

렌즈 가동부(42)를 렌즈 광축(O) 방향(상하 방향(Z))을 따라 상방향으로 이동시키려면 상기와 반대로 적층 압전 소자(441)에 마이너스 방향의 대전류와 플러스 방향의 소정의 일정 전류를 교대로 흘림으로써 달성할 수 있다.

다음, 적층 압전 소자(441)에 대하여 설명한다. 적층 압전 소자(441)는 직육면체의 형상을 하고 있으며, 그 소자 크기는 0.9[mm]×0.9[mm]×1.5[mm]이다. 압전 재료로서 PZT와 같은 저Qm재를 사용하였다. 두께 20[μm]의 압전 재료와 두께 2[μm]의 내부 전극을 교대로 콤형으로 50층 적층함으로써 적층 압전 소자(441)를 제조한다. 그리고, 적층 압전 소자(441)의 유효 내부 전극 크기는 0.6[mm]×0.6[mm]이다. 바꾸어 말하면, 적층 압전 소자(441)의 유효 내부 전극의 외측에 위치하는 주변부에는 폭 0.15[mm]의 링형의 불감대 부분(클리어런스)이 존재한다.

도 7은 마찰 결합부의 높이(즉, 진동 마찰부(443)의 이동부(423)와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이)(H)의 치수를 변경하였을 때의 이동부(423)의 이동 속도의 변화를 도시한 그래프이다. 도 7에 있어서, 가로축은 마찰 결합부의 높이(H)[mm]를 나타내고, 세로축은 이동부(423)의 이동 속도[nm/μs]를 나타낸다. 도 7에 있어서, 가는 실선은 마찰 결합부의 높이(H)가 1.15mm인 위치를 나타낸다.

도 7로부터, 마찰 결합부의 높이(H)가 1.15mm 내지 2.0mm 사이에서는 이동부(423)의 이동 속도에 낙하가 관찰되는데, 그 이외의 치수에서는 안정적으로 빠른 이동 속도를 나타내고 있음을 알 수 있다. 마찰 결합부의 높이(H)가 1.15mm 이하 2.0mm 이상의 어느 치수로 사용하여도 성능상에 있어서 차이는 없다. 그러나, 본 구동 장치(20)를 카메라 유닛 등의 소형 제품에 탑재하는 경우에는 높이를 낮추는 것이 필수적이다. 따라서, 본 발명에서는 마찰 결합부의 높이(H)를 1.15mm 이하로 하였다.

이와 같이, 마찰 결합부의 높이(진동 마찰부(443)의 이동부(423)와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이)(H)를 1.15mm 이하로 함으로써 이동부(423)의 이동 속도를 빠르게 하여 구동 장치(20)의 저높이화를 도모할 수 있다.

이동부(423)의 이동 속도가 빠르다는 것은 이동 효율이 높은 것을 의미한다. 이동 효율이 높아진만큼 단시간에 소정 동작을 완료할 수 있다. 바꾸어 말하면, 구동 장치(20)의 동작을 고속화할 수 있다. 또한, 이동부(423)의 이동 속도가 요구되는 동작 사용 속도에 대하여 충분히 빠른 경우에는 이동부(423)의 이동 속도를 저하시킴으로서 저소비전력화를 도모할 수 있다. 또한, 전기 기계 변환 소자(적층 압전 소자)(441), 기타 기구부 등의 성능을 억제하는 것도 가능해지기 때문에 구동 장치(20)의 비용 절감을 도모할 수 있다.

도 8은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 구동 장치에 사용되는 렌즈 구동부(44A)를 봉형상의 이동축(423)과 함께 도시한 평면도이다. 도시한 렌즈 구동부(44A)에서는 패드(445A)는 당해 패드(445A)와 봉형상의 구동축(423) 사이의 접촉부에서 평면(445b)을 갖는 평면 구조를 하고 있다. 또한, 도시한 정지 부재(추)(442A)는 직육면체 형상을 하고 있다.

이러한 구조의 렌즈 구동부(44A)에 따르면, 진동 마찰부(443)의 단면 V자형의 홈(443a)에 따른 이동부(423)와의 2직선 접촉과 패드(445A)의 평면(445b)에 따른 이동부(423)와의 1직선 접촉에 의해 마찰 결합부의 접촉 상태가 안정되어 재현성이 양호한 마찰 구동이 얻어짐과 아울러, 이동부(423)의 일축 이동체로서의 직진 이동성을 높인다는 효과를 가져온다.

이상, 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시 형태에 의해 설명해 왔으나, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 당업자에 의해 가능함은 명백하다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 구동 장치를 도시한 외관 사시도이다.

도 2는 도 1에 도시한 구동 장치의 렌즈 구동부를 봉형상의 이동축과 함께 도시한 사시도이다.

도 3은 도 2에 도시한 구동 장치의 렌즈 구동부를 봉형상의 이동축과 함께 도시한 평면도이다.

도 4는 도 2에 도시한 렌즈 구동부의 주요부를 도시한 사시도이다.

도 5는 도 2에 도시한 렌즈 구동부에 사용되는 압전 유닛을 도시한 사시도이다.

도 6은 적층 압전 소자에 공급되는 전류와 적층 압전 소자에 발생하는 변위를 설명하기 위한 파형도이다.

도 7은 마찰 결합부의 높이(진동 마찰부의 이동부와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이)의 치수를 변경하였을 때의 이동부의 이동 속도의 변화를 도시한 그래프이다.

도 8은 본 발명의 제2 실시 형태에 따른 구동 장치에 사용되는 렌즈 구동부를 봉형상의 이동축과 함게 도시한 평면도이다.

<부호의 설명>

20……구동 장치, 40……오토포커스 렌즈 구동 유닛,

42……렌즈 가동부, 421……렌즈 유지틀,

422……가동 경통, 4221……연장부,

4221a……관통 구멍, 4222……연장부,

4222a……끼워맞춤 구멍, 423……봉형상의 이동부(이동축),

44, 44A……렌즈 구동부,

441……적층 압전 소자(전기 기계 변환 소자),

441a……제1 단부(하단부), 441b……제2 단부(상단부),

442, 442A……정지 부재(추), 443……진동 마찰부,

443a……단면 V자형의 홈, 444……스프링,

445……V자형 구조의 패드, 444A……평면 구조의 패드,

445A……단면 V자형의 홈, 445b……평면,

O……렌즈의 광축, AFL……오토포커스 렌즈,

H……마찰 결합부의 높이

Claims (8)

  1. 신축 방향에서 서로 대향하는 제1 및 제2 단부를 갖는 전기 기계 변환 소자와, 상기 전기 기계 변환 소자의 상기 제1 단부에 결합된 정지 부재와, 상기 전기 기계 변환 소자의 상기 제2 단부에 결합된 진동 마찰부와, 상기 진동 마찰부와 마찰 결합되는 봉형상의 이동부를 구비하며, 상기 전기 기계 변환 소자의 신축 방향으로 상기 이동부가 이동 가능한 구동 장치에 있어서,
    상기 진동 마찰부의 상기 이동부와 접촉하는 슬라이딩 방향의 길이가 1.15mm 이하인 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 진동 마찰부와 상기 이동부 사이에 마찰력을 발생시키는 마찰력 부가 수단을 더 구비하며,
    상기 마찰력 부가 수단은 상기 진동 마찰부에 고정되어 상기 이동부를 누르기 위한 밀어붙임력을 발생하는 바이어스 부재와, 상기 이동부를 사이에 두고 상기 진동 마찰부와 대향하여 배치되며, 상기 바이어스 부재와 상기 이동부 사이에 개재된 패드로 구성되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 바이어스 부재는 일단부가 상기 진동 마찰부에 걸어맞춤되고, 타단부가 상기 이동부측으로 연장되어 있는 스프링으로 구성되며,
    상기 진동 마찰부는 해당 진동 마찰부와 상기 이동부 사이의 마찰 결합부에 단면 V자형의 홈을 갖는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 진동 마찰부의 상기 단면 V자형의 홈의 각도는 30도 내지 180도 미만의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 스프링에 의한 상기 밀어붙임력은 5∼100gf의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 패드는 당해 패드와 상기 이동부 사이의 접촉부에 단면 V자형의 홈을 갖는 V자형 구조를 하고 있는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 패드의 상기 단면 V자형의 홈의 각도는 30도 내지 180도 미만의 범위에 있는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  8. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 패드는 당해 패드와 상기 이동부 사이의 접촉부에서 평면을 갖는 평면 구조를 하고 있는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
KR1020080034128A 2007-04-19 2008-04-14 구동 장치 KR20080094572A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2007-00110283 2007-04-19
JP2007110283 2007-04-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080094572A true KR20080094572A (ko) 2008-10-23

Family

ID=39651223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080034128A KR20080094572A (ko) 2007-04-19 2008-04-14 구동 장치

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7732982B2 (ko)
EP (1) EP1983589A3 (ko)
JP (1) JP2008289349A (ko)
KR (1) KR20080094572A (ko)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080093882A (ko) * 2007-04-17 2008-10-22 미쓰미덴기가부시기가이샤 구동 장치
JP5275879B2 (ja) * 2009-04-01 2013-08-28 オリンパス株式会社 内視鏡装置
WO2014049961A1 (ja) * 2012-09-28 2014-04-03 コニカミノルタ株式会社 撮像レンズ駆動用アクチュエータユニットおよび撮像装置
JP5523614B2 (ja) * 2013-05-16 2014-06-18 オリンパス株式会社 内視鏡装置
JP6733375B2 (ja) * 2016-07-05 2020-07-29 Tdk株式会社 レンズ駆動装置

Family Cites Families (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3941903A (en) * 1972-11-17 1976-03-02 Union Carbide Corporation Wear-resistant bearing material and a process for making it
US4786836A (en) * 1984-03-01 1988-11-22 Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. Piezoelectric motor
US4830500A (en) 1985-04-15 1989-05-16 Canon Kabushiki Kaisha Alignment device
JP3002890B2 (ja) 1990-04-03 2000-01-24 株式会社トーキン リニア超音波モータ
JP2633066B2 (ja) 1990-07-03 1997-07-23 キヤノン株式会社 駆動装置
US5225941A (en) * 1990-07-03 1993-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Driving device
JP3243019B2 (ja) 1992-12-09 2002-01-07 富士写真フイルム株式会社 レンズ初期位置検出装置
JPH0749442A (ja) 1993-08-05 1995-02-21 Minolta Co Ltd 摩擦異方性素材を使用した駆動装置
JP3212225B2 (ja) 1993-09-01 2001-09-25 エヌケーケー精密株式会社 小型振動発生装置用振動子
US5821441A (en) * 1993-10-08 1998-10-13 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Tough and corrosion-resistant tungsten based sintered alloy and method of preparing the same
US5442166A (en) 1993-11-15 1995-08-15 Hughes Aircraft Company Linear absolute position sensor
JP3180557B2 (ja) 1994-03-29 2001-06-25 ミノルタ株式会社 電気−機械変換素子を使用した駆動装置
JP3218851B2 (ja) 1994-03-29 2001-10-15 ミノルタ株式会社 電気−機械変換素子を使用した駆動装置の駆動方法
US5589723A (en) * 1994-03-29 1996-12-31 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer
JP3171000B2 (ja) 1994-04-27 2001-05-28 ミノルタ株式会社 駆動装置及びその駆動方法
JP3141714B2 (ja) 1994-11-21 2001-03-05 ミノルタ株式会社 電気機械変換素子を使用した駆動装置
JPH09191665A (ja) 1996-01-04 1997-07-22 Minolta Co Ltd 電気−機械変換素子を使用した直線駆動機構
JP3454026B2 (ja) 1996-07-05 2003-10-06 ミノルタ株式会社 電気機械変換素子を使用した駆動装置
US6084363A (en) 1997-01-17 2000-07-04 Minolta Co., Ltd. Drive pulse generating apparatus for drive device using electromechanical transducer
US6114799A (en) * 1997-02-10 2000-09-05 Minolta Co., Ltd. Driving mechanism
US6140750A (en) 1997-04-14 2000-10-31 Minolta Co., Ltd. Actuator using electromechanical transducer and apparatus employing the actuator
US6628046B2 (en) * 1997-05-27 2003-09-30 Canon Kabushiki Kaisha Vibration type actuator
JPH10337057A (ja) 1997-06-02 1998-12-18 Minolta Co Ltd 駆動装置
US6134057A (en) * 1997-09-17 2000-10-17 Minolta Co., Ltd. Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism
JP2000014176A (ja) * 1998-06-17 2000-01-14 Minolta Co Ltd 駆動装置
US6492637B1 (en) * 1999-05-10 2002-12-10 Citizen Watch Co., Ltd. Dimension measuring device
US20050127789A1 (en) * 2001-03-08 2005-06-16 Magnussen Bjoern B. Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
JP2002058266A (ja) * 2000-08-08 2002-02-22 Minolta Co Ltd 超音波駆動装置
JP2002112562A (ja) * 2000-09-29 2002-04-12 Minolta Co Ltd 駆動装置
JP4154851B2 (ja) 2000-10-31 2008-09-24 コニカミノルタホールディングス株式会社 駆動装置
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
JP2003185406A (ja) 2001-12-18 2003-07-03 Minolta Co Ltd 位置検出装置
US7059233B2 (en) * 2002-10-31 2006-06-13 Amick Darryl D Tungsten-containing articles and methods for forming the same
US6873148B2 (en) 2002-06-28 2005-03-29 Canon Kabushiki Kaisha Position detecting apparatus, and optical apparatus comprising this and position detecting method
US7157830B2 (en) * 2003-04-02 2007-01-02 Piezomotor Uppsala Ab Near-resonance wide-range operating electromechanical motor
US6977461B2 (en) * 2003-12-15 2005-12-20 Asml Netherlands B.V. System and method for moving an object employing piezo actuators
JP2005218244A (ja) 2004-01-30 2005-08-11 Konica Minolta Opto Inc 重りおよび重りの製造方法と,電気−機械変換アクチュエータ
JP3906850B2 (ja) * 2004-04-28 2007-04-18 コニカミノルタホールディングス株式会社 駆動装置
US7646137B2 (en) * 2004-06-11 2010-01-12 Fujinon Corporation Actuator and its control method and lens device
JP2005354833A (ja) 2004-06-11 2005-12-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2006005998A (ja) 2004-06-16 2006-01-05 Konica Minolta Photo Imaging Inc リニアアクチュエータ
JP2006054979A (ja) 2004-08-16 2006-02-23 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2006113155A (ja) 2004-10-13 2006-04-27 Konica Minolta Opto Inc レンズユニット
JP2006113874A (ja) 2004-10-15 2006-04-27 Konica Minolta Opto Inc 位置決め装置
JP4729904B2 (ja) * 2004-11-12 2011-07-20 コニカミノルタオプト株式会社 駆動装置
JP4264410B2 (ja) * 2004-11-30 2009-05-20 株式会社リコー 定着装置および画像形成装置
JP2006161076A (ja) 2004-12-03 2006-06-22 Mitsubishi Material Cmi Kk タングステン基焼結合金製ウェート及びその製造方法並びに振動発生装置用振動子
JP2006262685A (ja) 2005-02-18 2006-09-28 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置および駆動方法
JP4931183B2 (ja) * 2005-03-31 2012-05-16 富士フイルム株式会社 駆動装置
JP2006304529A (ja) 2005-04-22 2006-11-02 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
JP4733457B2 (ja) * 2005-07-28 2011-07-27 パナソニック株式会社 駆動装置
JP2007049875A (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007049879A (ja) * 2005-08-12 2007-02-22 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007053826A (ja) 2005-08-15 2007-03-01 Fujinon Corp アクチュエータ
JP2007089246A (ja) * 2005-09-20 2007-04-05 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置及びレンズ鏡胴並びに撮像装置
JP2007104761A (ja) * 2005-09-30 2007-04-19 Fujinon Corp アクチュエータ
JP4931182B2 (ja) * 2005-09-30 2012-05-16 富士フイルム株式会社 駆動装置
JP2007110283A (ja) 2005-10-12 2007-04-26 Sky Kk カメラ制御システム
JP2007129795A (ja) * 2005-11-01 2007-05-24 Konica Minolta Opto Inc 駆動装置
US20070176514A1 (en) 2006-01-27 2007-08-02 Taiwan Advanced Materials Technologies Corp. Electromechanical actuator structure
JP2007274777A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujinon Corp 圧電素子及び駆動装置
US7355325B2 (en) * 2006-06-15 2008-04-08 Piezomotor Uppsala Ab Wide frequency range electromechanical actuator
JP4985945B2 (ja) * 2007-02-20 2012-07-25 ミツミ電機株式会社 積層圧電素子の接着方法
EP2019439A3 (en) * 2007-07-26 2011-07-20 Mitsumi Electric Co., Ltd. Position detecting device capable of improving detection accuracy

Also Published As

Publication number Publication date
EP1983589A3 (en) 2009-12-02
US7732982B2 (en) 2010-06-08
JP2008289349A (ja) 2008-11-27
EP1983589A2 (en) 2008-10-22
US20080258579A1 (en) 2008-10-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI118866B (fi) Linssin käyttölaite
US8441749B2 (en) Shape memory alloy actuation apparatus
US6134057A (en) Drive and guide mechanism and apparatus using the mechanism
US7706089B2 (en) Lens driving device
US7187104B2 (en) Vibration-type driving device, control apparatus for controlling the driving of the vibration-type driving device, and electronic equipment having the vibration-type driving device and the control apparatus
US6188161B1 (en) Driving apparatus using transducer
US7812507B2 (en) Piezoelectric motor and camera device
JP5071680B2 (ja) レンズ駆動装置
JP2011239677A (ja) 圧電アクチュエータとこれを有するレンズ移送装置
JP3836820B2 (ja) 移送装置
KR101656112B1 (ko) 반-공진 구동 시스템들 및 이의 방법
JP4059322B2 (ja) 圧電アクチュエータ、これを用いた撮像素子移動装置および撮像装置
US20010004420A1 (en) Driving system with elastically supporting units
JP2013513821A (ja) レンズアクチュエータモジュール
US8928766B2 (en) Anti-shake device for a lens module
US7620313B2 (en) Driving mechanism
JP4884050B2 (ja) 駆動装置
JP2008178250A (ja) 超音波振動子の押圧機構および超音波モータ
US20050275314A1 (en) Actuator
EP1795934A1 (en) Camera module and portable terminal employing the same
KR20100105547A (ko) 형상 기억 합금 구동 장치
KR100777636B1 (ko) 구동장치, 촬상장치 및 휴대전화
US8059158B2 (en) Photographing apparatus
US7268465B2 (en) Driving device and optical device using the same
KR100851311B1 (ko) 촬상 장치

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination