JP2003050323A - 光合分波器 - Google Patents

光合分波器

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップ長が短く、低価格、低損失の光合分波
器を提供する。 【解決手段】 マッハツェンダ光干渉計型の導波路構成
を有する光合分波回路8(8A〜8G)を複数段接続し
た光合分波器において、各段の光合分波回路8(8A〜
8G)におけるスルー伝搬波長の平均波長よりもクロス
伝搬波長の平均波長を長波長とし、各段の光合分波回路
8(8A〜8G)は各段の光合分波回路8(8A〜8
G)は、クロス伝搬波長の平均波長に対する第1と第2
の方向性結合部1,2の結合効率を50%とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信等で用いら
れる光合分波器に関するものである。
【0002】
【背景技術】近年のインターネットトラヒックの急増を
背景に、通信ネットワーク容量の拡大が急務となってお
り、それに伴い、波長分割多重(Wavelength Division
Multiplexing (WDM))伝送技術の検討が盛んに行なわ
れている。波長分割多重伝送技術は、1本の光ファイバ
に異なる波長の光信号を複数多重して伝送するため、伝
送容量を波長多重分だけ拡大できる。
【0003】波長分割多重伝送システムを実現するため
には、光合分波器等の光デバイスが必要となる。光合分
波器は、例えば複数波長の光を合波したり、多重光を各
々の波長の光に分波(分離)するための装置であり、例
えば波長分割多重伝送システムにおいて、合波用に設け
られた光合分波器によって複数の波長の光を合波し、合
波された波長多重光を光ファイバに伝送することが行な
われる。また、この光ファイバを伝送した波長多重光
は、例えば分波用に設けられた光合分波器によって分波
され、波長毎に取り出される。
【0004】光合分波器の一例として、基板上に光導波
回路を形成した光導波路型の光合分波器が挙げられる。
この光導波路型の光合分波器は、半導体分野で培われた
高精度なパターン化技術を適用できるために、設計性が
良好である。
【0005】光導波路型の光合分波器として、例えばマ
ッハツェンダ光干渉計(MZI:Mach-Zehnder Interferom
eter)型の光合分波器が実用化されており、図9には、
マッハツェンダ光干渉計型の光合分波器を形成する回路
(光合分波回路)の構成例が示されている。
【0006】図9に示す光合分波回路8は、第1の光導
波路3と、該第1の光導波路3と並設された第2の光導
波路4とを有し、前記第1の光導波路3と前記第2の光
導波路4を近接させて成る第1の方向性結合部1と、該
第1の方向性結合部1と光導波路長手方向に間隔を介し
た位置において前記第1の光導波路3と前記第2の光導
波路4を近接させて成る第2の方向性結合部2とを有し
ている。第1の方向性結合部1と第2の方向性結合部2
に挟まれた第1の光導波路3と第2の光導波路4の長さ
は、互いに異なる長さと成している。
【0007】図9に示す光合分波回路8は、第1の方向
性結合部1と第2の方向性結合部2に挟まれた第1の光
導波路3と第2の光導波路4の長さの差ΔLと、第1お
よび第2の光導波路3,4の屈折率nとの積(n・Δ
L)を適宜設定することにより、異なる波長の光の合波
や分波を行なう光合分波回路である。
【0008】なお、マッハツェンダ光干渉計型の光合分
波回路8において、一般に、前記第1の光導波路3の入
射側13から入力されて該第1の光導波路3の出射側2
3から出力される光の経路または、前記第2の光導波路
4の入射側14から入力されて該第2の光導波路4の出
射側24から出力される光の経路はスルー伝搬波長と呼
ばれている。そして、本明細書において、このスルー伝
搬波長を伝搬するように設計される光の波長をスルー伝
搬波長と呼ぶ。図9においては、波長λ1がスルー伝搬
波長である。
【0009】また、マッハツェンダ光干渉計型の光合分
波回路8において、第1の光導波路3の入射側13から
入力されて第2の光導波路4の出射側24から出力され
る光の経路または、前記第2の光導波路4の入射側14
から入力されて前記第1の光導波路1の出射側23から
出力される光の経路はクロス伝搬波長と呼ばれている。
そして、本明細書において、このクロス伝搬波長を伝搬
するように設計される光の波長をクロス伝搬波長と呼
ぶ。図9においては、波長λ2がクロス伝搬波長であ
る。
【0010】また、例えば図10に示すように、マッハ
ツェンダ光干渉計型の光合分波回路8(8A〜8G)を
ツリー状に接続して形成した光合分波器が提案されてい
る。この光合分波器は、光合分波回路8(8A〜8G)
を1つ以上並設してなる第1段から第M段(Mは2以上
の整数であり、ここでは3)の複数段(ここでは3段)
の光合分波回路8を有している。
【0011】図10に示す光合分波器において、例えば
第1段の複数の光合分波回路8(8A,8B,8C,8
D)が第1と第2の光導波路3,4からそれぞれ入力す
る光を合波して第1または第2の光導波路3,4から出
力する。これら第1段の1対の光合分波回路8(8A,
8B)の光出力を第2段の光合分波回路8(8E)でさ
らに合波し、1対の光合分波器(8C,8D)の光出力
を第2段の光合分波回路8(8F)でさらに合波する。
【0012】さらに、第2段の1対の光合分波回路8
(8E、8F)の光出力を第3段の光合分波回路8(8
G)が合波する。このように、同図に示す光合分波器
は、前段の対の光合分波回路8の光出力を後段の光合分
波回路8でさらに合波する。
【0013】図10に示す光合分波器において、第1段
の光合分波回路8Aは波長λaとλbの光を合波し、第
1段の光合分波回路8Bは波長λcとλdの光を合波
し、第1段の光合分波回路8Cは波長λeとλfの光を
合波し、第1段の光合分波回路8Dは波長λgとλhの
光を合波する。
【0014】また、第2段の光合分波回路8Eは波長λ
a、λb、λc、λdの光を合波し、第2段の光合分波
回路8Fは波長λe、λf、λg、λhの光を合波す
る。さらに、第3段の光合分波回路8Gは、波長λa、
λb、λc、λd、λe、λf、λg、λhの光を合波
して第2の光導波路4から出力する。
【0015】なお、図10に示したような光合分波器は
光回路の相反性を有しているために、図10とは逆に光
合分波回路8(8G)の第2の光導波路4側から波長λ
a、λb、λc、λd、λe、λf、λg、λhの多重
光を入力すると、それぞれの波長の光に分波されて出力
される。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、例え
ば波長分割多重伝送用に適用される光合分波器のより低
損失化が望まれるようになったが、上記提案を含め、従
来のマッハツェンダ光干渉計型の光合分波回路8を複数
段接続した光合分波器において、それぞれの光入力部か
ら入力する光の波長を決定する際の明確な構成要件はな
かったために、上記低損失化に十分対応することができ
なかった。
【0017】また、上記光合分波器にはその価格をより
低価格にすることが望まれており、この低価格化の実現
のためにはチップ長をより短くすることが望まれてい
る。
【0018】例えばチップ長が63mmのチップを4イ
ンチウエハに配置する場合、作製プロセスでのマージン
をとると、例えば図11に示すように、1つのウエハ2
0に1列にチップ9を17個しか配列できないのに対
し、例えばチップ長を62mmにした場合には、図3に
示すように、1つのウエハ20にチップ9を18個配列
できる。なお、図3、図11において、,,…
は、チップの配列番号を示している。
【0019】このように、1つのウエハ20に配列する
チップ9の配列数を多くできればその分だけ作製コスト
を低減できるので、光合分波器はチップ長が短い方が望
ましい。
【0020】本発明は上記従来の課題を解決するために
成されたものであり、その目的は、チップ長が短く、低
価格、低損失の光合分波器を提供することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第1の発明は、第1の
光導波路と、該第1の光導波路と並設された第2の光導
波路とを有し、前記第1の光導波路と前記第2の光導波
路を近接させて成る第1の方向性結合部と、該第1の方
向性結合部と光導波路長手方向に間隔を介した位置にお
いて前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を近接さ
せて成る第2の方向性結合部とを有し、該第2の方向性
結合部と前記第1の方向性結合部に挟まれた第1の光導
波路と第2の光導波路は互いに異なる長さと成したマッ
ハツェンダ光干渉計型の光合分波回路を複数段接続して
形成され、前記各段の光合分波回路において第1の光導
波路の入射側から入力されて第2の光導波路の出射側か
ら出力される光波長又は前記第2の光導波路の入射側か
ら入力されて前記第1の光導波路の出射側から出力され
る光波長をクロス伝搬波長とし、前記第1の光導波路の
入射側から入力されて該第1の光導波路の出射側から出
力される光波長又は前記第2の光導波路の入射側から入
力されて該第2の光導波路の出射側から出力される光波
長をスルー伝搬波長としたときに、前記各段の光合分波
回路におけるスルー伝搬波長の平均波長よりもクロス伝
搬波長の平均波長を長波長とした構成をもって課題を解
決する手段としている。
【0022】また、第2の発明は、上記第1の発明の構
成に加え、前記各段の光合分波器の方向性結合部は各段
の光合分波回路に対応するクロス伝搬波長の平均波長に
対する結合効率を約50%とした構成をもって課題を解
決する手段としている。
【0023】さらに、第3の発明は、上記第2の発明の
構成に加え、前記方向性結合部の結合部長をLとし、
前記方向性結合部の完全結合長をLとし、前記方向性
結合部のリード部結合長をLとしたとき、(π/2)
・(L+L)/Lを約π/4とした構成をもって
課題を解決する手段としている。
【0024】なお、本明細書で述べるスルー伝搬波長の
平均波長およびクロス伝搬波長の平均波長とはいずれも
平均周波数の波長換算値を示すものであり、各波長を周
波数換算し、その周波数の算術平均で光速Cを割ること
により求める。
【0025】例えばスルー伝搬波長をλ1、λ3とした
場合、その平均波長は(数1)に示す値となり、クロス
伝搬波長をλ2、λ4としたとき、その平均波長は(数
2)に示す値となる。
【0026】
【数1】
【0027】
【数2】
【0028】また、スルー伝搬波長が1波長の場合は、
その平均波長もその値(例えば図9ではλ1)となり、
クロス伝搬波長が1波長の場合は、その平均波長もその
値(例えば図9ではλ2)となる。
【0029】ところで、例えば図9に示したようなマッ
ハツェンダ光干渉計型の光合分波回路8において、スル
ー伝搬波長を通る光の透過率をTthとし、クロス伝搬波
長を通る光の透過率をTcrとすると、これらの透過率T
th、Tcrは、前記長さの差ΔL、前記屈折率nを用い
て、それぞれ以下の式(1)、(2)により表される。
【0030】 Tth=1−sin(2sin−1√η)cos(π・n・ΔL/λ)・・ ・・・(1)
【0031】 Tcr=sin(2sin−1√η)cos(π・n・ΔL/λ)・・・・ ・(2)
【0032】ηは第1と第2の方向性結合部1,2の結
合効率を0から1の数により表したものである。結合効
率100%のとき、η=1としており、結合効率50%
はη=0.5である。なお、本発明の光合分波器におい
て、第1と第2の方向性結合部の結合効率は互いにほぼ
等しい。
【0033】ここで、スルー伝搬波長をλ1とし、クロ
ス伝搬波長をλ2とすると、これらの波長の光を低損
失、低クロストークで合波するには、以下の式(3)〜
(5)を満たす必要がある。
【0034】η=0.5・・・・・(3)
【0035】 n・ΔL=λ1・(N±0.5)・・・・・(4)
【0036】n・ΔL=λ2・N・・・・・(5)
【0037】なお、ΔLは異なる整数Nに対して複数決
定することができる。
【0038】本発明者は、光合分波器の低損失化を実現
するために、図9に示した光合分波回路8において、波
長λ1とλ2の光に対する第1と第2の方向性結合部
1,2の結合効率を変化させ、光合分波回路8における
波長λ1の光の通過損失と波長λ2の光の通過損失を計
算した。
【0039】その結果、図4の(a)に示す結果が得ら
れた。図4の(a)において、横軸は結合効率をηの値
により示しており、特性線aはスルー伝搬波長である波
長λ1の光の通過損失、特性線bはクロス伝搬波長であ
る波長λ2の光の通過損失を示す。
【0040】図4の(a)の特性線aに示すように、ス
ルー伝搬波長である波長λ1の光の通過損失は、方向性
結合部1,2の結合効率が45%から55%まで変化し
ても(ηが0.45から0.55まで変化しても)ほと
んど変化しない。それに対し、図4の(a)の特性線b
に示すように、クロス伝搬波長である波長λ2の光の通
過損失は方向性結合部1,2の結合効率の値が50%か
ら遠ざかるにつれて(ηが0.5から遠ざかるにつれ
て)大きく増加することが分かった。
【0041】そこで、本発明者は、マッハツェンダ光干
渉計型の光合分波回路8において、クロス伝搬波長に対
する方向性結合部1,2の結合効率をできるだけ50%
にすることにより、光合分波回路8を伝搬するそれぞれ
の波長の光の通過損失を小さくできると考えた。
【0042】また、例えば図10に示したようなマッハ
ツェンダ光干渉計型の光合分波回路8を複数段接続した
光合分波器において、2段目以降の光合分波回路8にお
いては、スルー伝搬波長とクロス伝搬波長がそれぞれ複
数となる。
【0043】そこで、本発明者は、このように光合分波
回路8を伝搬するスルー伝搬波長やクロス伝搬波長が複
数ある場合の光合分波回路8の損失特性を検討するため
に、図12に示すように、マッハツェンダ光干渉計型の
光合分波回路8(8A〜8C)を2段に接続した光合分
波器について、以下の検討を行なった。
【0044】すなわち、同図において、波長λ1=15
51.7nm、λ2=1554.9nm、λ3=155
8.2nm、λ4=1561.4nmとし、これらの波
長の光を同図に示す光合分波器によって合波して2段目
の光合分波回路8(8C)の第1の光導波路3から出力
する際、光合分波回路8(8C)を構成する方向性結合
部1,2の結合効率が50%になる波長を上記4つの波
長にしたときに、それぞれ、光通過損失の最大値がどの
ような値になるかを求めた。
【0045】その結果、図4の(b)に示すように、波
長1558.2nm付近の波長に対する光合分波回路8
(8C)の方向性結合部1,2の結合効率を50%にす
ることにより、図12に示す光合分波器の光通過損失を
最小にすることができることが分かった。波長155
8.2nmは、光合分波回路8(8C)のクロス伝搬波
長であるλ2(1554.9nm)とλ4(1561.
4nm)の平均波長である。
【0046】この検討結果から、本発明者は、光合分波
回路8を伝搬するクロス伝搬波長が複数ある場合には、
その複数波長の平均波長に対する光合分波回路8の方向
性結合部1,2の結合効率をできるだけ50%にするこ
とにより、光合分波回路8を伝搬するそれぞれの波長の
光の通過損失を小さくできると考えた。
【0047】さらに、本発明者がマッハツェンダ光干渉
計型の光合分波回路8の第1と第2の方向性結合部1,
2の結合効率を設定値にするために必要な方向性結合部
の結合部長を、波長毎に検討したところ、図5に示す結
果が得られた。
【0048】なお、この検討は、光合分波回路8の比屈
折率差Δ0.4%とし、図9に示すような第1と第2の
方向性結合部1,2のピッチP、P(近接する第1
の光導波路3と第2の光導波路4の中心間距離)を1
2.5μmとして行なった。
【0049】図5に示すように、波長を同図の横軸に示
す範囲で変化させた場合、それぞれの波長に対する第1
と第2の方向性結合部1,2の結合効率を50%(η=
0.5)とするために必要な結合部長は、設定波長が長
波長側になるほど短くてすむことが分かった。すなわ
ち、結合部長を短くするために重要な構成は、クロス伝
搬経路を通るクロス伝搬波長をスルー伝搬波長よりも長
波長側の波長とすることであることが分かった。
【0050】ここで、上記のように、光合分波回路8の
損失を小さくするためにはクロス伝搬波長に対する第1
と第2の方向性結合部1,2の結合効率を約50%とす
ることが望ましいので、各段の光合分波回路において、
スルー伝搬波長とクロス伝搬波長のうちクロス伝搬波長
(複数の場合はその平均波長)を長波長側の波長とすれ
ば、各段の光合分波回路の損失を小さくし、かつ、第1
と第2の方向性結合部1,2の長さを短くして各段の光
合分波回路の長さを短くできることが分かる。
【0051】なお、本発明において、各段の光合分波回
路のクロス伝搬波長に対する第1と第2の方向性結合部
1,2の結合効率を約50%とするとは限らないが、上
記のように、各段の光合分波回路のクロス伝搬波長に対
する第1と第2の方向性結合部1,2の結合効率が50
%に近い方が低損失を達成できる。
【0052】また、図5には示されていないが、それぞ
れの波長に対する第1と第2の方向性結合部1,2の結
合効率を設定値とするために必要な結合部長は、上記結
合効率の設定値が50%以外であっても、設定波長が長
波長側になるほど短くてすむ。
【0053】したがって、各段の光合分波回路の第1と
第2の方向性結合部1,2の長さを決定する際に、クロ
ス伝搬波長に対する第1と第2の方向性結合部1,2の
結合効率を基準とし(できればクロス伝搬波長の平均波
長に対して結合効率を50%に近い値にできるよう
に)、第1と第2の方向性結合部1,2の長さを決定す
る方が、低損失と小型化の両立を達成できるために好ま
しい。
【0054】そして、クロス伝搬波長の平均波長に対し
て方向性結合部1,2の結合効率を決定すれば各段の光
合分波回路8によって低損失で合分波することができ、
かつ、各段の光合分波回路8の長さも短くできる。
【0055】言い換えれば、本発明の光合分波器を構成
する各段の光合分波回路において、スルー伝搬波長の平
均波長よりもクロス伝搬波長の平均波長を長波長とする
ことにより、各段の光合分波回路の損失を小さくしなが
ら各段の光合分波回路の長さを短くでき、光合分波器の
小型化を図ることができる。
【0056】なお、図5から明らかなように、例えば周
波数212.5THz〜198.5THz(波長141
0.8nm〜1510.4nm)の約100nmのRa
man増幅波長帯において、1THz間隔で16波の光
を4段の光合分波回路8によって合波する場合、各段の
光合分波回路8の方向性結合部1,2の結合部長の最大
値と最小値との差は約65μmとなる。そうすると、4
段の光合分波回路8を接続して形成される光合分波器
は、設計の仕方によって、約4倍の520μmの差が生
じることになる。
【0057】さらに、本発明者は、各段の光合分波回路
を形成する方向性結合部の結合効率は、例えば図6に示
すように、結合部長に対して周期的に変わることに着目
した。なお、図6において、結合効率をηの値で示して
いる。
【0058】方向性結合部において、その完全結合部長
と、リード部結合長(結合部以外での結合を結合長
に換算した値)Lと、方向性結合部の結合部長L
と、結合効率を表すηとの間には、式(6)に示す関
係が成り立つ。
【0059】 η=sin{(π/2)・(L+L)/L}・・・・・(6)
【0060】上記結合部長Lは図8のRに示す領域の
長さであり、図8のSに示す領域の光の結合付与を結合
長に換算した値が上記リード部結合長Lである。図6
に示すように、結合効率ηは、結合部長Lの関数で表
され、その周期は2・Lに等しい。なお、完全結合部
長Lは、結合効率が100%(すなわちη=1)を実
現する長さに対応する。
【0061】また、上記式(6)の関係を、図6に示し
たような結合効率の特性データにおける位相φとηとの
関係で表すと、式(7)に示すようになる。
【0062】 φ=sin−1(√η)=(π/2)・(L+L)/L・・・・(7)
【0063】図6に示したように、ηは結合部長L
対して正弦波的に変動するが、位相φは線形的に変化す
るので、異なった位相φ同士でも安定性を直接比較でき
ることになる。そこで、本発明者は、複数の光合分波回
路8を作製し、これら複数の光合分波回路8の結合効率
データを全て位相データに変換し、方向性結合部1,2
の安定性についての解析を行なった。
【0064】その結果、図7に示すように、位相φが大
きくなると位相φの作製ばらつきが大きくなり、特性が
劣化することが分かった。位相φがばらつくとηがばら
つき(方向性結合部の結合効率がばらつき)、結合効率
が設計値からずれると挿入損失が大きくなる。
【0065】そこで、本発明者は、位相φを小さくする
ことが好ましいと考えた。また、本発明者は、図6に示
す結果から明らかなように、方向性結合部1,2の結合
効率を50%にできる(ηを0.5にできる)位相の最
小値がπ/4であることから、位相φを約π/4にでき
るように、前記式(7)における(π/2)・(L
)/Lの値を約π/4とすることにより、小型化
と挿入損失の低減をより一層確実に実現できると考え
た。
【0066】上記構成の第1〜第3の発明は、以上の検
討に基づき、その構成を決定したものである。したがっ
て、第1の発明の構成により、各段の光合分波回路の長
さを短くでき、光合分波器の小型化を図ることができ、
第2の発明の構成により、低損失で合波や分波を行える
光合分波器を実現することができ、さらに、第3の発明
の構成により、光合分波器の小型化および低損失化、作
製ばらつきの低減をより一層確実に行える光合分波器を
実現することができる。
【0067】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略または簡略化する。図1には、本発明に係
る光合分波器の一実施形態例の要部構成図が示されてい
る。
【0068】本実施形態例の光合分波器は、7個の光合
分波回路8(8A〜8G)を3段にツリー状に接続して
形成されており、本実施形態例の光合分波器は、表1に
示す波長λ1〜λ8の光を、図1に示すそれぞれの光入
力部5a〜5hから入力する構成と成している。
【0069】
【表1】
【0070】本実施形態例の光合分波器の第1の特徴
は、表1に示すように、各段の光合分波回路8(8A〜
8G)におけるスルー伝搬波長の平均波長よりもクロス
伝搬波長の平均波長を長波長としたことである。
【0071】また、本実施形態例の光合分波器の第2の
特徴は、表1に示すように、各段の光合分波回路8(8
A〜8G)の方向性結合部1,2を、各段の光合分波回
路8(8A〜8G)に対応するクロス伝搬波長の平均波
長に対する結合効率が約50%(η=0.5)となるよ
うにしたことである。なお、表1において、DCは方向
性結合部1,2を示している。
【0072】具体的には、第1段目の光合分波回路8
(8A)においては、クロス伝搬波長λ8(1502.
7nm)をスルー伝搬波長λ4(1473.2nm)よ
りも長波長とし、かつ、光合分波回路8(8A)は、ク
ロス伝搬波長λ8に対する第1と第2の方向性結合部
1,2の結合効率を50%(η=0.5)としている。
【0073】また、第1段目の光合分波回路8(8B)
においては、クロス伝搬波長λ6(1487.8nm)
をスルー伝搬波長λ2(1458.8nm)よりも長波
長とし、かつ、光合分波回路8(8B)は、クロス伝搬
波長λ6に対する第1と第2の方向性結合部1,2の結
合効率を50%としている。
【0074】第1段目の光合分波回路8(8C)におい
ては、クロス伝搬波長λ5(1480.5nm)をスル
ー伝搬波長λ1(1451.8nm)よりも長波長と
し、かつ、光合分波回路8(8C)は、クロス伝搬波長
λ5に対する第1と第2の方向性結合部1,2の結合効
率を50%としている。
【0075】第1段目の光合分波回路8(8D)におい
ては、クロス伝搬波長λ7(1495.2nm)をスル
ー伝搬波長λ3(1466.0nm)よりも長波長と
し、かつ、光合分波回路8(8D)は、クロス伝搬波長
λ7に対する第1と第2の方向性結合部1,2の結合効
率を50%としている。
【0076】第2段目の光合分波回路8(8E)におい
ては、クロス伝搬波長の平均波長(2・λ4・λ8)/
(λ4+λ8)をスルー伝搬波長の平均波長(2・λ2
・λ6)/(λ2+λ6)よりも長波長とし、かつ、光
合分波回路8(8E)は、クロス伝搬波長の平均波長
(2・λ4・λ8)/(λ4+λ8)に対する第1と第
2の方向性結合部1,2の結合効率を50%としてい
る。
【0077】第2段目の光合分波回路8(8F)におい
ては、クロス伝搬波長の平均波長(2・λ3・λ7)/
(λ3+λ7)をスルー伝搬波長の平均波長(2・λ1
・λ5)/(λ1+λ5)/2よりも長波長とし、か
つ、光合分波回路8(8F)は、クロス伝搬波長の平均
波長(2・λ3・λ7)/(λ3+λ7)に対する第1
と第2の方向性結合部1,2の結合効率を50%として
いる。
【0078】さらに、第3段目の光合分波回路8(8
G)においては、クロス伝搬波長の平均波長(4・λ2
・λ4・λ6・λ8)/(λ4・λ6・λ8+λ2・λ
6・λ8+λ2・λ4・λ8+λ2・λ4・λ6)をス
ルー伝搬波長の平均波長(4・λ1・λ3・λ5・λ
7)/(λ3・λ5・λ7+λ1・λ5・λ7+λ1・
λ3・λ7+λ1・λ3・λ5)よりも長波長とし、か
つ、光合分波回路8(8G)は、クロス伝搬波長の平均
波長(4・λ2・λ4・λ6・λ8)/(λ4・λ6・
λ8+λ2・λ6・λ8+λ2・λ4・λ8+λ2・λ
4・λ6)に対する第1と第2の方向性結合部1,2の
結合効率を50%としている。
【0079】また、各光合分波回路8(8A〜8G)に
おける第1と第2の方向性結合部1,2のそれぞれの結
合部長は、表1に示す値であり、これらの値は、各段の
光合分波回路8(8A〜8G)に対応するクロス伝搬波
長の平均波長に対する第1と第2の方向性結合部1,2
の結合効率を約50%にできる最短の長さである。
【0080】すなわち、本実施形態例において、それぞ
れの光合分波回路8(8A〜8G)のそれぞれの方向性
結合部1,2の結合部長をL、方向性結合部1,2の
完全結合長をL、方向性結合部1,2のリード部結合
長をLとしたとき、(π/2)・(L+L)/L
を約π/4としている。この設計により本実施形態例
の光合分波器の長さは従来例の63mmから62mmと
短くすることができた。
【0081】また、本実施形態例の光合分波器は以下の
ようにして形成されている。すなわち、まず、シリコン
基板上に石英系ガラスを火炎堆積法で下部クラッド層、
コア層を形成し、下部クラッド層とコア層をガラス化す
る。次に、図1に示したパターンを有するフォトマスク
を用い、フォトリソグラフィ、ドライエッチング技術で
図1に示したパターンのコア回路を形成する。その後、
火炎堆積法を用いてコア回路を覆う上部クラッドを堆積
し、ガラス化炉にてガラス化することにより光合分波器
を作製する。
【0082】なお、下部クラッドと上部クラッドの屈折
率は互いに等しくし、コアには下部クラッドおよび上部
クラッドよりも屈折率を高めるためのGeOまたはT
iO をドーパントとして添加し、比屈折率差Δは0.
4%とした。
【0083】本実施形態例は以上のように構成されてお
り、本実施形態例の光合分波器は、本発明者の検討に基
づき、光合分波器を形成する各段の光合分波回路8(8
A〜8G)において、スルー伝搬波長の平均波長よりも
クロス伝搬波長の平均波長を長波長としたものであるか
ら、各段の光合分波回路8(8A〜8G)の長さを短く
でき、光合分波器の長さを短くして小型化を図ることが
できる。
【0084】本実施形態例の光合分波器の長さは上記の
如く62mmであり、図3に示すように、1つの4イン
チウエハ20に光合分波器のチップ9を18個形成する
ことができた。なお、本実施形態例と同じ波長の光を合
波するために、図10に示したような従来の光合分波器
を作製すると、その長さは63mmとなることから、図
11に示したように1つのウエハ20からチップ9を1
7個しか形成できない。
【0085】すなわち、本実施形態例の光合分波器は、
上記のように長さが短い分だけ1つのウエハ20を用い
て多くの光合分波器を形成することができるので、その
分だけコストを低減することができる。
【0086】また、本実施形態例の光合分波器は、各段
の光合分波回路8(8A〜8G)において、方向性結合
部1,2のクロス伝搬波長の平均波長に対する結合効率
を約50%としたものであるから、図4の(a)、
(b)に示したような本発明者の検討から明らかなよう
に、低損失で合波や分波を行える光合分波器を実現する
ことができる。
【0087】さらに、本実施形態例の光合分波器は、各
段の光合分波回路8(8A〜8G)における方向性結合
部1,2の結合部長L、方向性結合部1,2の完全結
合長L、方向性結合部1,2のリード部結合長L
より決定される(π/2)・(L+L)/Lの値
を約π/4としたものであるから、光合分波器の小型化
および低損失化をより一層確実に行える光合分波器を実
現することができる。
【0088】図2には、本実施形態例の光合分波器の合
波特性が示されており、同図から明らかなように、最悪
ポートの通過損失(ピークロス)は0.77dBであっ
た。なお、本実施形態例と同じ波長の光を合波するため
に、図10に示した回路を有する従来の光合分波器を作
製すると、その最悪ポートの通過損失(ピークロス)は
0.9dBであり、通過損失を低減できることが確認で
きた。
【0089】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば本
発明の光合分波器において、光合分波回路8の接続段数
は特に限定されるものでなく適宜設定されるものであ
り、2段の光合分波回路8をツリー状に接続してもよい
し、4段以上の光合分波回路8をツリー状に接続して本
発明の光合分波器を形成することもできる。
【0090】また、本発明の光合分波器によって合分波
する光の波長は特に限定されるものでなく適宜設定され
るものであり、各段の光合分波回路8におけるスルー伝
搬波長の平均波長よりもクロス伝搬波長の平均波長を長
波長とすればよい。
【0091】さらに、上記例では光合分波器によって波
長多重光を合波する例を述べたが、本発明の光合分波器
は複数の波長の光を分波する波長合波器にも適用できる
ものである。
【0092】
【発明の効果】本発明の光合分波器は、本発明者の検討
に基づき、光合分波器を形成する各段の光合分波回路に
おいて、スルー伝搬波長の平均波長よりもクロス伝搬波
長の平均波長を長波長としたものであるから、各段の光
合分波回路の長さを短くでき、光合分波器の小型化を図
ることができ、それにより低価格化を図ることができ
る。
【0093】また、本発明の光合分波器において、各段
の光合分波器において、方向性結合部のクロス伝搬波長
の平均波長に対する結合効率を約50%とした構成によ
れば、低損失で合波や分波を行える光合分波器を実現す
ることができる。
【0094】さらに、本発明の光合分波器において、各
段の光合分波器における方向性結合部の結合部長L
方向性結合部の完全結合長L、方向性結合部のリード
部結合長Lにより決定される(π/2)・(L+L
)/Lの値を約π/4とした構成によれば、光合分
波器の小型化および低損失化をより一層確実に行える光
合分波器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光合分波器の一実施形態例を模式
的に示す要部構成図である。
【図2】上記実施形態例の光合分波器の光合波特性を示
すグラフである。
【図3】上記実施形態例の光合分波器のチップを4イン
チウエハ上に形成するときの配置構成を示す説明図であ
る。
【図4】スルー伝搬波長とクロス伝搬波長の結合効率を
変化させたときの光合分波回路の損失を示すグラフ
(a)と、方向性結合部の結合効率を50%とする波長
を変化させたときの光合分波器の損失を示すグラフ
(b)である。
【図5】波長に対する結合効率を50%とするために必
要な方向性結合部の結合長を示すグラフである。
【図6】方向性結合部の結合部長と結合効率の関係を示
すグラフである。
【図7】方向性結合部の位相平均値とばらつきの関係を
示すグラフである。
【図8】方向性結合部の結合部長、リード部結合長の説
明図である。
【図9】マッハツェンダ光干渉計型の光合分波回路を示
す説明図である。
【図10】マッハツェンダ光干渉計型の光合分波回路を
複数段接続した回路構成例を示す説明図である。
【図11】従来のマッハツェンダ光干渉計型の光合分波
回路を複数段接続した回路構成を4インチウエハ上に形
成するときの配置構成を示す説明図である。
【図12】マッハツェンダ光干渉計型の光合分波回路を
複数段接続した回路構成例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 第1の方向性結合部 2 第2の方向性結合部 3 第1の光導波路 4 第2の光導波路 8,8A〜8G 光合分波回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小松 拓也 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 柏原 一久 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 Fターム(参考) 2H047 KA03 KA12 KB04 LA18 TA02

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の光導波路と、該第1の光導波路と
    並設された第2の光導波路とを有し、前記第1の光導波
    路と前記第2の光導波路を近接させて成る第1の方向性
    結合部と、該第1の方向性結合部と光導波路長手方向に
    間隔を介した位置において前記第1の光導波路と前記第
    2の光導波路を近接させて成る第2の方向性結合部とを
    有し、該第2の方向性結合部と前記第1の方向性結合部
    に挟まれた第1の光導波路と第2の光導波路は互いに異
    なる長さと成したマッハツェンダ光干渉計型の光合分波
    回路を複数段接続して形成され、前記各段の光合分波回
    路において第1の光導波路の入射側から入力されて第2
    の光導波路の出射側から出力される光波長又は前記第2
    の光導波路の入射側から入力されて前記第1の光導波路
    の出射側から出力される光波長をクロス伝搬波長とし、
    前記第1の光導波路の入射側から入力されて該第1の光
    導波路の出射側から出力される光波長又は前記第2の光
    導波路の入射側から入力されて該第2の光導波路の出射
    側から出力される光波長をスルー伝搬波長としたとき
    に、前記各段の光合分波回路におけるスルー伝搬波長の
    平均波長よりもクロス伝搬波長の平均波長を長波長とし
    たことを特徴とする光合分波器。
  2. 【請求項2】 各段の光合分波器の方向性結合部は各段
    の光合分波回路に対応するクロス伝搬波長の平均波長に
    対する結合効率を約50%としたことを特徴とする請求
    項1記載の光合分波器。
  3. 【請求項3】 方向性結合部の結合部長をLとし、前
    記方向性結合部の完全結合長をLとし、前記方向性結
    合部のリード部結合長をLとしたとき、(π/2)・
    (L+L)/Lを約π/4としたことを特徴とす
    る請求項2記載の光合分波器。
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