JP2003075665A - 平面光導波回路およびその光透過中心波長補正方法 - Google Patents

平面光導波回路およびその光透過中心波長補正方法

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JP2003075665A
JP2003075665A JP2001271902A JP2001271902A JP2003075665A JP 2003075665 A JP2003075665 A JP 2003075665A JP 2001271902 A JP2001271902 A JP 2001271902A JP 2001271902 A JP2001271902 A JP 2001271902A JP 2003075665 A JP2003075665 A JP 2003075665A
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waveguide
temperature
optical
light transmission
wavelength
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JP2001271902A
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Kazuhisa Kashiwabara
一久 柏原
Kazutaka Nara
一孝 奈良
Kanji Tanaka
完二 田中
Isao Oyama
功 大山
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd:The
古河電気工業株式会社
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides
    • G02B6/10Light guides of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12007Light guides of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
    • G02B6/12009Light guides of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
    • G02B6/12033Light guides of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by means for configuring the device, e.g. moveable element for wavelength tuning

Abstract

(57)【要約】 【課題】 平面光導波回路の光透過中心波長を効率良く
設定波長に補正にする。 【解決手段】 平面光導波回路は、光入力導波路2と、
第1のスラブ導波路3と、複数のチャンネル導波路4a
を並設してなるアレイ導波路4と、第2のスラブ導波路
5と、複数の光出力導波路6とを順に接続した回路構成
のアレイ導波路回折格子とする。このアレイ導波路回折
格子を、室温以上500℃以下の第1設定温度から50
0℃以上900℃以下の第2設定温度まで昇温した後、
前記第2設定温度で設定時間保持し、然る後に、室温以
上500℃以下の第3設定温度まで降温させる熱処理を
施すことにより光透過中心波長をほぼ設定波長に調整す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば波長多重光
通信において用いられる平面光導波回路およびその光透
過中心波長補正方法に関するものである。
【0002】
【背景技術】近年、光通信においては、その伝送容量を
飛躍的に増加させる方法として、光波長多重通信の研究
開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波長
多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の光
を多重して伝送させるものであり、このような光波長多
重通信のシステムにおいては、伝送される多重光から、
光受信側で波長ごとの光を取り出すために、予め定めら
れた波長の光のみを透過する光透過デバイス等を、シス
テム内に設けることが不可欠である。
【0003】上記光透過デバイスとして、以下に述べる
ような平面光導波回路(PLC ; Planar Lightwave Circu
it)が適用されている。つまり、図7に示すようなアレ
イ導波路回折格子(AWG;Arrayed Waveguide Grating)
や、図8の(a)に示すようなマッハツェンダー光干渉
計(MZI ; Mach-Zehnder Interferometer)、同図の
(b)に示すようなリング共振器(RR ; Ring Resonato
r)等が、平面光導波回路の光透過デバイスとして用い
られている。
【0004】図7、図8に示すように、これらの平面光
導波回路は、シリコン等の基板1上に、各図に示す導波
路構成を有する石英系ガラスの導波路形成領域10を形
成することにより得られる。
【0005】マッハツェンダ光干渉計の導波路構成は、
例えば図8の(a)に示すように、互いに間隔を介して
2本の光導波路11,12を並設して形成され、これら
の光導波路11,12が近接した複数(ここでは2つ)
の方向性結合部13,14を導波路長手方向に間隔を介
して形成している。隣り合う方向性結合部13,14に
挟まれた導波路領域が位相部と成し、位相部の機能によ
って複数の光信号の分波または合波の機能を果たす。
【0006】リング共振器の導波路構成は、例えば図8
の(b)に示すように、互いに間隔を介して2本の光導
波路11,12を並設し、その間にリング状の光導波路
15を形成して成り、方向性結合部13,14を有す
る。方向性結合部13は光導波路11と光導波路15を
近接させて成り、方向性結合部14は光導波路12と光
導波路15を近接させて成る。リング共振器は、方向性
結合部13,14に挟まれたリング状の光導波路15を
位相部と成し、該位相部の機能によって、例えば図8の
(b)に示すような、複数の光信号の分波または合波の
機能を果たす。
【0007】アレイ導波路回折格子の導波路構成は、図
7に示すように、1本以上の光入力導波路2と、該光入
力導波路2の出射側に接続された第1のスラブ導波路3
と、該第1のスラブ導波路3の出射側に接続されたアレ
イ導波路4と、該アレイ導波路4の出射側に接続された
第2のスラブ導波路5と、該第2のスラブ導波路5の出
射側に複数並設接続された光出力導波路6とを有してい
る。
【0008】前記アレイ導波路4は、第1のスラブ導波
路3から導出された光を伝搬するものであり、複数のチ
ャンネル導波路4aを並設して形成されており、隣り合
うチャンネル導波路4aの長さは互いに設定量(ΔL)
異なっている。
【0009】なお、光出力導波路6は、例えばアレイ導
波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに異
なる波長の信号光の数に対応させて設けられるものであ
り、アレイ導波路4を構成するチャンネル導波路4a
は、通常、例えば100本といったように多数設けられ
るが、同図においては、図の簡略化のために、これらの
チャンネル導波路4a、光出力導波路6および光入力導
波路2の各々の本数を簡略的に示してある。
【0010】光入力導波路2には、例えば送信側の光フ
ァイバ(図示せず)が接続されて、波長多重光が導入さ
れるようになっており、光入力導波路2を通って第1の
スラブ導波路3に導入された光は、その回折効果によっ
て広がってアレイ導波路4に入射し、アレイ導波路4を
伝搬する。
【0011】このアレイ導波路4を伝搬した光は、第2
のスラブ導波路5に達し、さらに、光出力導波路6に集
光されて出力されるが、アレイ導波路4の全てのチャン
ネル導波路4aの長さが互いに異なることから、アレイ
導波路4を伝搬した後に個々の光の位相にずれが生じ、
このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、この傾き角度
により集光する位置が決まる。
【0012】そのため、波長の異なった光の集光位置は
互いに異なることになり、その位置に光出力導波路6を
形成することによって、波長の異なった光を各波長ごと
に異なる光出力導波路6から出力できる。
【0013】すなわち、アレイ導波路回折格子は、光入
力導波路2から入力される互いに異なる複数の波長をも
った多重光から1つ以上の波長の光を分波して各光出力
導波路6から出力する光分波機能を有しており、分波さ
れる光の中心波長は、アレイ導波路4の隣り合うチャン
ネル導波路4aの長さの差(ΔL)及びチャンネル導波
路4aの実効屈折率(等価屈折率)nに比例する。
【0014】アレイ導波路回折格子は、上記のような特
性を有するために、アレイ導波路回折格子を波長多重伝
送に適用する光分波用の光透過デバイスとして用いるこ
とができる。例えば図7に示すように、1本の光入力導
波路2から波長λ1,λ2,λ3,・・・λn(nは2
以上の整数)の波長多重光を入力させると、これらの各
波長の光は、第1のスラブ導波路3で広げられ、アレイ
導波路4に到達し、第2のスラブ導波路5を通って、前
記の如く、波長によって異なる位置に集光され、互いに
異なる光出力導波路6に入射し、それぞれの光出力導波
路6を通って、光出力導波路6の出射端から出力され
る。
【0015】そして、各光出力導波路6の出射端に光出
力用の光ファイバ(図示せず)を接続することにより、
この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出され
る。なお、各光出力導波路6や前述の光入力導波路2に
光ファイバを接続するときには、例えば光ファイバの接
続端面を1次元アレイ状に配列固定した光ファイバアレ
イを用意し、この光ファイバアレイを光出力導波路6や
光入力導波路2の接続端面側に固定して光ファイバと光
出力導波路6及び光入力導波路2を接続する。
【0016】上記アレイ導波路回折格子において、各光
出力導波路6から出力される光の光透過特性(アレイ導
波路回折格子の透過光強度の波長特性)は、各光透過中
心波長(例えばλ1,λ2,λ3,・・・λn)を中心
とし、それぞれの対応する光透過中心波長から波長がず
れるにしたがって光透過率が小さくなる光透過特性を示
す。
【0017】アレイ導波路回折格子の光透過中心波長λ
は、アレイ導波路4の等価屈折率nと、隣り合うチ
ャンネル導波路4aの長さの差ΔLと、回折次数mとに
より決定され、次式(1)により示されるものである。
したがって、1つの光出力導波路6について、前記光透
過特性を示す波長は1つとは限らず、設定される回折次
数によって複数の中心波長が存在しうる。この光透過中
心波長λを中心に、ある波長間隔Δλ(nm)の複数
の光信号を分波することができるため、以下の議論では
λのみを考慮すればよい。
【0018】λ=nΔL/m・・・・・(1)
【0019】また、アレイ導波路回折格子は、光回路の
相反性(可逆性)の原理を利用しているため、光分波器
としての機能と共に、光合波器としての機能も有してい
る。すなわち、図7とは逆に、各光出力導波路6から互
いに波長が異なる複数の光を入射させると、これらの光
は、上記と逆の伝搬経路を通り、第2のスラブ導波路5
とアレイ導波路4と第1のスラブ導波路3とによって合
波され、1本の光入力導波路2から出射される。
【0020】このようなアレイ導波路回折格子において
は、前記の如く、回折格子の波長分解能が回折格子を構
成するアレイ導波路4の各チャンネル導波路4aの長さ
の差(ΔL)に比例するために、ΔLを大きく設計する
ことにより、従来の光波長合分波器では実現できなかっ
た波長間隔の狭い波長多重光の光合分波が可能となり、
高密度の光波長多重通信の実現に必要とされている、複
数の信号光の光合分波機能、すなわち、波長間隔が1n
m以下の複数の光信号を分波または合波する機能を果た
すことができる。
【0021】上記アレイ導波路回折格子やマッハツェン
ダ光干渉計やリング共振器等の平面光導波回路を作製す
るときには、例えば、まず、火炎加水分解堆積法を用い
て、シリコン基板上に下部クラッド膜、コア膜を順に形
成する。その後、フォトリソグラフィーと反応性イオン
エッチング法を用い、コア膜にそれぞれの導波路構成を
有するパターンを転写する。その後、再度、火炎加水分
解堆積法を用いて上部クラッド膜を形成する。
【0022】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の如
く、波長多重通信用として適用されるアレイ導波路回折
格子等の平面光導波回路は、波長多重通信システム側か
ら非常に正確な波長精度を要求される。しかしながら、
アレイ導波路型回折格子等の平面光導波回路は、作製プ
ロセス等のばらつきによって、設定温度における光透過
中心波長がばらつくことから、要求される波長精度を満
足させて、歩留まりを向上させることが難しいといった
問題があった。
【0023】そこで、アレイ導波路型回折格子等の平面
光導波回路の光透過中心波長を補正する方法の1つとし
て、特願平11−341146号には、以下のような石
英系平面光導波回路デバイスの光透過中心波長補正方法
が提案された。
【0024】この方法は、熱処理により石英系平面光導
波回路デバイスの光透過中心波長を補正するものであ
り、例えば平面光導波回路を700℃の熱処理炉に入れ
て、96時間程度熱処理するものである。上記提案に
は、上記熱処理によって平面光導波回路の光透過中心波
長を0.11nm程度長波長側に補正できることが示さ
れている。
【0025】しかしながら、平面光導波回路の光透過中
心波長補正量は、例えば0.15nm程度必要とされて
おり、上記提案の方法においては光透過中心波長を十分
に補正できない場合がある。
【0026】また、上記提案の方法を適用する場合、光
透過中心波長の補正量に対して指数関数的に時間がかか
るため、0.1nm程度の光透過中心波長補正に4日程
度の時間がかかり、光透過中心波長の補正量が0.1n
mを越えるような場合、実用的ではない。
【0027】本発明は上記課題を解決するために成され
たものであり、その第1の目的は、平面光導波回路の光
透過中心波長を短時間でほぼ設定波長に補正することが
できる安全な平面光導波回路の光透過中心波長の補正方
法を提供することにある。また、本発明の第2の目的
は、上記光透過中心波長の補正方法を適用することによ
り、光透過中心波長がほぼ設定波長と一致する歩留まり
が良好な平面光導波回路を提供することにある。
【0028】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第1の発明の平面光導
波回路の光透過中心波長補正方法は、平面光導波回路
を、室温以上500℃以下の第1設定温度から500℃
以上900℃以下の第2設定温度まで昇温した後、前記
第2設定温度で設定時間保持し、然る後に、室温以上5
00℃以下の第3設定温度まで降温させる熱処理を施す
ことにより光透過中心波長を調整する構成をもって課題
を解決する手段としている。
【0029】また、第2の発明の平面光導波回路は、第
1の発明の平面光導波回路の光透過中心波長補正方法を
適用することにより光透過中心波長が調整されている構
成をもって課題を解決する手段としている。
【0030】さらに、第3の発明の平面光導波回路は、
上記第2の発明の構成に加え、前記平面光導波回路は、
1本以上の光入力導波路と、該光入力導波路の出射側に
接続された第1のスラブ導波路と、該第1のスラブ導波
路の出射側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数
並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、該
アレイ導波路の出射側に接続された第2のスラブ導波路
と、該第2のスラブ導波路の出射側に複数並設接続され
た光出力導波路とを備えたアレイ導波路回折格子である
構成をもって課題を解決する手段としている。
【0031】本発明者は、アレイ導波路型回折格子等の
平面光導波回路の光透過中心波長補正をできるだけ短時
間で正確に行なうために、様々な検討を行なった。その
結果、平面光導波回路を、図3に示すように、室温以上
500℃以下の第1設定温度(図3のA)から500℃
以上900℃以下の第2設定温度(図3のB)まで昇温
した後、前記第2設定温度で設定時間保持する熱処理を
施すことにより、効率的に、光透過中心波長補正を行え
ることが分かった。
【0032】また、図3に示すように、上記熱処理後
に、室温以上500℃以下の第3設定温度(図3のC)
まで降温させて平面光導波回路を取り出すことにより、
より安全に作業を行えると考えた。
【0033】なお、上記検討は、平面光導波回路である
アレイ導波路型回折格子を用いて行なったものであり、
第1設定温度および第3設定温度を共に200℃とし
た。そして、500℃以上900℃以下の第2設定温度
で24時間保持することにより、アレイ導波路型回折格
子の光透過中心波長を0.1nm以上長波長側に調整で
きた。特に、第2設定温度を600℃以上850℃以下
にすれば、アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長を
0.15nm以上長波長側に調整できた。
【0034】また、上記検討において、第2設定温度に
よる保持時間を変えて光透過中心波長調整量を求めたと
ころ、第2設定温度による保持時間を調整することによ
り、光透過中心波長調整量を調整できることも分かっ
た。
【0035】なお、上記検討において、第1設定温度か
ら第2設定温度までは、5℃/minで昇温し、第2設
定温度から第3設定温度までは、5℃/minで降温し
た。
【0036】本発明の平面光導波回路の光透過中心波長
補正方法は、上記検討結果に基づいて構成したものであ
るから、アレイ導波路型回折格子等の平面光導波回路の
光透過中心波長を、24時間といった短い時間で例えば
0.1nm以上長波長側に調整でき、光透過中心波長を
効率的に補正することができる。
【0037】また、本発明の平面光導波回路は、上記平
面光導波回路の光透過中心波長補正方法を適用すること
により、光透過中心波長がほぼ設定波長に補正された平
面光導波回路を実現できる。
【0038】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明におい
て、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、その重
複説明は省略する。図1には、本発明に係る平面光導波
回路の一実施形態例の概略図が示されている。同図に示
すように、本実施形態例の平面光導波回路は、アレイ導
波路型回折格子である。
【0039】本実施形態例のアレイ導波路型回折格子
は、図7に示したアレイ導波路型回折格子と同様に構成
されており、本実施形態例のアレイ導波路型回折格子の
特徴は、以下に述べる特徴的な熱処理を施すことによ
り、光透過中心波長がほぼ設定波長に補正されているこ
とである。
【0040】すなわち、本実施形態例の平面光導波回路
は、図2に示すように、室温以上500℃以下の第1設
定温度(ここでは200℃)から500℃以上900℃
以下の第2設定温度(ここでは700℃)まで昇温した
後、第2設定温度で設定時間保持し、然る後に、室温以
上500℃以下の第3設定温度(ここでは200℃)ま
で降温させる熱処理を施した。
【0041】なお、第2設定温度で保持する設定時間
は、以下に述べる具体例1においては、特性線aに示す
ように24時間とし、具体例2においては、特性線bに
示すように10時間とした。また、第1設定温度から第
2設定温度までの昇温速度および、第2設定温度から第
3設定温度までの降温速度は5℃/minとした。
【0042】本発明者は、本実施形態例において上記熱
処理方法を決定するにあたり、以下のような検討を行な
った。まず、アレイ導波路型回折格子のチップを複数作
製し、室温(例えば25℃)でアレイ導波路型回折格子
の光透過中心波長を測定した。
【0043】その後、このアレイ導波路型回折格子のチ
ップを図3に示す熱処理温度パターンにより熱処理し
た。なお、図3に示す熱処理温度パターンにおいて、第
1設定温度Aと第3設定温度Cは200℃とし、第1設
定温度Aから第2設定温度Bまでの昇温速度および、第
2設定温度Bから第3設定温度Cまでの降温速度は5℃
/minとした。
【0044】そして、第2設定温度Bを400℃〜10
00℃まで、50℃間隔で13水準振り、上記熱処理後
に室温におけるアレイ導波路型回折格子の光透過中心波
長を測定した。
【0045】図4は、上記光透過中心波長の測定後、第
2設定温度と熱処理前後の光透過中心波長差との関係を
求めた結果を示す。なお、(熱処理前後の光透過中心波
長差)=(熱処理後の光透過中心波長)−(熱処理前の
光透過中心波長)とした。
【0046】同図から、第2設定温度を500℃以上9
00℃以下にして、その温度で24時間保持すれば、ア
レイ導波路型回折格子の光透過中心波長を0.1nm長
波長側に変化させられることがわかった。そこで、本実
施形態例では、アレイ導波路型回折格子を保持する温度
である第2設定温度を、500℃以上900℃以下の温
度とした。
【0047】また、上記保持温度(第2設定温度)を7
00℃とし、その保持時間を4時間から30時間まで変
化させてアレイ導波路型回折格子チップの熱処理を行な
った結果、図5に示す関係が得られた。同図に示すよう
に、第2設定温度における保持時間を長くするに伴い、
光透過中心波長の長波長側への変化量も大きくできる。
【0048】本発明者は、これらの関係データに基づ
き、第2設定温度と、この第2設定温度でアレイ導波路
型回折格子のチップを保持する保持時間を適宜設定すれ
ば、アレイ導波路型回折格子の光透過中心波長を所要量
長波長側へ変化させられることが分かったので、本実施
形態例において、上記のように、図2の特性線a、bに
示す温度パターンの熱処理を行なった。
【0049】つまり、本実施形態例では、具体例1とし
て、第1、第3設定温度を共に200℃とし、第2設定
温度を700℃とし、この温度での保持時間(設定時
間)を24時間とする熱処理(図1の特性線aのパター
ンによる熱処理)を、アレイ導波路型回折格子のチップ
に施した。
【0050】その結果、熱処理前には1554.6nm
だったアレイ導波路型回折格子の光透過中心波長を、熱
処理後には1554.93nmにすることができ、設定
波長(1554.940nm)±0.03nmの範囲内
の値(ここでは+0.01nm)にすることができた。
【0051】また、具体例2として、第2の設定温度に
おける保持時間のみを10時間とし、その他の条件は具
体例1と同様の熱処理温度パターンでアレイ導波路型回
折格子のチップを熱処理した(図2の特性線bに示すパ
ターンの熱処理を行なった)ところ、熱処理前には15
54.75nmだったアレイ導波路型回折格子の光透過
中心波長を、熱処理後には1554.96nmとするこ
とができ、設定波長(1554.940nm)±0.0
3nmの範囲内の値にすることができた。
【0052】本実施形態例によれば、上記のように、図
2に示すような熱処理パターンにて熱処理を行なうこと
により、短時間の熱処理で、アレイ導波路型回折格子の
光透過中心波長をほぼ設定波長にすることができる。し
たがって、アレイ導波路型回折格子の歩留まりを向上さ
せることができ、アレイ導波路型回折格子の低価格化を
図ることができる。
【0053】また、本実施形態例によれば、熱処理の開
始と終了の温度はいずれも200℃であり、700℃の
熱処理炉にアレイ導波路型回折格子のチップを投入した
り、700℃の熱処理炉からアレイ導波路型回折格子の
チップを取り出したりするときのような危険はなく、安
全に熱処理を行なうことができる。
【0054】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
るものではなく適宜設定されるものである。例えば、上
記実施形態例では、平面光導波回路の光透過中心波長補
正方法において、第1設定温度、第3設定温度を共に2
00℃とし、第2設定温度を700℃としたが、第1、
第3設定温度は室温以上500℃以下の適宜の温度に設
定されるものであり、互いに等しい温度でも互いに異な
る温度でもよい。
【0055】また、第2設定温度は500℃以上900
℃以下の適宜の温度に設定されるものであり、その保持
時間(設定時間)も適宜設定されるものである。例え
ば、図6に、第2設定温度を800℃とした場合の、熱
処理パターン例を示す。
【0056】さらに、アレイ導波路型回折格子等の平面
光導波回路の熱処理において、第1設定温度から第2設
定温度に上昇させる昇温速度や第2設定温度から第3設
定温度に下降させる降温速度は特に限定されるものでは
なく、適宜設定されるものである。
【0057】さらに、上記実施形態例の平面光導波回路
はアレイ導波路型回折格子としたが、本発明を適用する
平面光導波回路はアレイ導波路型回折格子に限定される
ものではなく、様々な平面光導波回路が適宜設定される
ものである。つまり、本発明を適用する平面光導波回路
は、例えば図8に示したようなマッハツェンダー光干渉
計、リング共振器としてもよいし、図8に示す構成以外
の様々なマッハツェンダー光干渉計、リング共振器とし
てもよい。
【0058】
【発明の効果】本発明の平面光導波回路の光透過中心波
長補正方法によれば、本発明者の検討結果に基づいて熱
処理を施すことにより、アレイ導波路型回折格子等の平
面光導波回路の光透過中心波長を短い時間で例えば0.
1nm以上長波長側に調整でき、効率的に光透過中心波
長補正を行なうことができる。また、本発明の平面光導
波回路の光透過中心波長補正方法によれば、平面光導波
回路を熱処理炉に投入したり、熱処理炉から取り出す温
度を500℃以下とすることにより、作業性も良好に
し、光透過中心波長補正方法を実行する作業を安全に行
なうことができる。
【0059】また、本発明の平面光導波回路は、上記平
面光導波回路の光透過中心波長補正方法を適用すること
により、光透過中心波長がほぼ設定波長に補正されたア
レイ導波路型回折格子等の平面光導波回路を実現でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る平面光導波回路の一実施形態例を
示す構成図である。
【図2】上記実施形態例の平面光導波回路の光透過中心
波長補正に適用される熱処理温度パターン例を示すグラ
フである。
【図3】本発明の平面光導波回路の光透過中心波長補正
に適用される熱処理温度パターン例を示すグラフであ
る。
【図4】平面光導波回路の保持温度である第2設定温度
と光透過中心波長調整量との関係を示すグラフである。
【図5】平面光導波回路の第2設定温度における保持時
間と光透過中心波長調整量との関係を示すグラフであ
る。
【図6】本発明の平面光導波回路の光透過中心波長補正
に適用される他の実施形態例の熱処理温度パターン例を
示すグラフである。
【図7】アレイ導波路型回折格子の構成と光分波動作を
模式的に示す説明図である。
【図8】マッハツェンダー光干渉計とリング共振器の例
を示す説明図である。
【符号の説明】
1 基板 2 光入力導波路 3 第1のスラブ導波路 4 アレイ導波路 4a チャンネル導波路 5 第2のスラブ導波路 6 光出力導波路 13,14 方向性結合部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 完二 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 (72)発明者 大山 功 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 Fターム(参考) 2H047 KA03 KA12 LA19

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平面光導波回路を、室温以上500℃以
    下の第1設定温度から500℃以上900℃以下の第2
    設定温度まで昇温した後、前記第2設定温度で設定時間
    保持し、然る後に、室温以上500℃以下の第3設定温
    度まで降温させる熱処理を施すことにより光透過中心波
    長を調整することを特徴とする平面光導波路の光透過中
    心波長補正方法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の平面光導波回路の光透過
    中心波長補正方法を適用することにより光透過中心波長
    が調整されていることを特徴とする平面光導波回路。
  3. 【請求項3】 平面光導波回路は、1本以上の光入力導
    波路と、該光入力導波路の出射側に接続された第1のス
    ラブ導波路と、該第1のスラブ導波路の出射側に接続さ
    れ、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル
    導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出射
    側に接続された第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ
    導波路の出射側に複数並設接続された光出力導波路とを
    備えたアレイ導波路回折格子であることを特徴とする請
    求項2記載の平面光導波回路。
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