JP2003037149A - 複数の工作物のプラズマ処理システムのための材料ハンドリングシステムとその方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマ処理システムでは未処理の工作物が
連続的に一度に１つずつ処理されるが、従来では同時に
ハンドリングできる工作物の個数は最大で２つであっ
た。 【解決手段】 未処理の工作物が同時にプラズマ処理チ
ャンバ中に並列に転送され、その後処理済の工作物が同
時にプラズマ処理チャンバから並列にアウトフィールド
・テーブル上に転送され、アウトフィールド・テーブル
が処理済の工作物をアウトフィールド・テーブルから一
度に１つずつ連続的に排出するシステムにより解決す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマ処理シス
テム、さらに詳細には、複数の工作物のプラズマ処理シ
ステムに関する方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体およびフラット・パネル・ディス
プレイなどの電子コンポーネントまたは工作物の製造お
よびパッケージングは、しばしば、デポジション、エッ
チング、熱プロセス、または、洗浄などの特定のタイプ
のプロセス作業を行うために設計された一連の個別のプ
ロセス・ステーション内で行われる。プロセス・システ
ムは、中で複数のプロセス・ステーションがインライン
・ツールを形成するように連続して配置されているか、
または、クラスタ・ツールを形成するようにクラスタに
置かれている。プラズマ処理チャンバは、後に続くプロ
セス・ステーションでの他の作業の準備として、工作物
をプラズマに曝すために、プロセス・ステーションに組
み込まれている。プラズマ処理プロセスは、工作物の表
面をエッチング、洗浄、もしくは、他のプロセスに、ま
たは、処理するために使用される。工作物は、コンベ
ヤ、ロボット、または、手作業を介してプラズマ処理チ
ャンバへ、および、これから、しばしば、転送され、他
の工作物ハンドリング・デバイスは、工作物を、プラズ
マ処理チャンバの中へ、および、これの外へ搬入出する
ために使用されている。

【０００３】このようなプラズマ処理システムが、過去
に合理的に機能してきた一方、このようなシステムの構
造は、システムの効率および処理能力が制限されるとい
う動作上の限界がある。例えば、ほとんどのプロセス・
システムは、インライン状の部品コンベヤを利用するイ
ンライン式連続プロセス・システムである。したがっ
て、１つの処理チャンバは、通常、一度に１つずつのみ
の個別にハンドリングされる工作物を処理する。いくつ
かの適用例においては、プラズマ・チャンバにおいて、
２つの個別にハンドリングされる工作物のプロセスを同
時に行えるが、知られているプラズマ処理チャンバにお
いて、同時にプロセスが行われた個別にハンドリング可
能な工作物は最大数で２つであると考えられていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来のプラズマ処理シ
ステムの構造における現在利用可能である工作物ハンド
リング・システムに関する他の制限もある。知られてい
る工作物ハンドリング・システムは、大きく、比較的か
さばり、個別にせよ、一括にせよ、少量においては、工
作物のハンドリングが極端に困難である。

【０００５】知られているプラズマ処理システムの他の
短所は、プラズマ処理装置が、製造用床面積の固定され
た面積を占める占有面積を固定されていることである。
したがって、処理能力を増大するために、別のプラズマ
処理装置を追加する度に、追加されたプラズマ装置の数
に直接比例して、追加の製造用床面積が必要となる。追
加の床面積のコストはかなりのものであり、追加の建築
物または建物の建設が必要となることもある。プラズマ
処理チャンバにおいて、一度に単一の工作物のプロセス
を行うことにより、電気およびガスの供給の利用効率が
低下する他の短所がある。

【０００６】したがって、プラズマ処理システムのプロ
セス効率を、実質的に改善する必要がある。又、各プラ
ズマ処理装置の占有面積に対する処理能力を改善する必
要がある。よりコンパクトであり、工作物を、一括又は
個別の場合において、より迅速かつ効率的にハンドリン
グする能力を有する材料・ハンドリング・装置が必要と
なる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマ処理シ
ステムは、複数の工作物を同時にハンドリングし、プラ
ズマ処理する能力を有する。したがって、本発明のプラ
ズマ処理システムは、実質的に処理能力が高くなり、こ
れによって、処理される工作物のユニット当りのコスト
を低減する実質的な長所を提供する。

【０００８】本発明のプラズマ処理システムは、占有面
積が小さく、これによって、利用する占有面積に対する
処理能力が実質的に増大するさらなる長所を提供する。
したがって、本発明のプラズマ処理システムを適用すれ
ば、能力の増大が必要な場合、製造用床面積が制限され
ている場合、さもなくば、製品が特別に高価である場合
に、特に有用である。

【０００９】複数の工作物をハンドリングし同時に処理
ができるということは、最も効率的かつ経済的であると
考えられる方法によるプラズマ処理システムの操作性の
点で、ユーザにとって有益となる。

【００１０】本発明は、工作物を、個別でも一括でも、
ハンドリングするための改善された材料・ハンドリング
装置も提供する。このような材料・ハンドリング装置
は、プラズマ処理チャンバから工作物をロードおよびア
ンロードするサイクル・タイムを実質的に短縮し、これ
によって、処理能力をさらに向上し、追加コストに関す
るさらなる利益を提供する。したがって、本発明のプラ
ズマ処理システムは、過去に利用可能であったものより
コンパクト、高信頼性、効率的、かつ、費用効果の大き
いプラズマ処理プロセスを提供する。

【００１１】本発明の原理および好ましい実施形態によ
れば、本発明は、工作物を処理するためのプラズマ処理
チャンバを有するプラズマ処理システムを提供する。イ
ンフィード・テーブルは、プラズマ処理チャンバの一端
に配設され、このインフィード・テーブルは、工作物を
一度に１つずつ連続的に受け取り、工作物を並列に格納
する。アウトフィード・テーブルは、プラズマ処理チャ
ンバの反対側の端に配設されている。このアウトフィー
ド・テーブルは、工作物を並列に格納し、工作物を、ア
ウトフィード・テーブルから一度に１つずつ連続的に排
出する。転送システムは、共通キャリッジ上に取り付け
られたロードおよびアンロード・プッシャ・アームを有
する。ロード・プッシャ・アームは、インフィード・テ
ーブルに位置し、インフィード・テーブル上に格納され
た全ての工作物を、プラズマ処理チャンバに同時に転送
する。アンロード・プッシャ・アームは、プラズマ処理
チャンバに位置し、プラズマ処理チャンバ内のアウトフ
ィード・テーブル上に、全ての工作物を同時に転送する
ために、ロード・プッシャ・アームと同時に動作する。

【００１２】本発明の１つの態様において、本発明のプ
ラズマ処理システムは、たとえば最大７つの工作物を並
列的にロード、アンロード、および、プラズマ処理する
ことができる。

【００１３】本発明の他の実施形態において、インフィ
ード・テーブル上に工作物を連続的に受け取るため、お
よび、プラズマ処理チャンバ内に、並列に同時に、工作
物を転送するための方法が提供されている。その後、工
作物は、プラズマ処理チャンバの外のアウトフィード・
テーブル上に並列に転送され、工作物は、アウトフィー
ド・テーブルから連続的に一度に１つずつ排出される。

【００１４】本発明のこれらの、および、他の目的およ
び長所は、本明細書に添付の図面とともに行われる以下
の詳細な説明を読めば、さらに容易に明らかになろう。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１を参照すると、プロセス・ス
テーションは、高速プラズマ処理チャンバ２２と材料・
ハンドリング・システム２４とを含むプラズマ処理シス
テム２０を備える。この材料・ハンドリング・システム
２４は、一般に、頂部プレート３１に対し移動可能なモ
ジュール構造のインフィード・テーブル２６、アウトフ
ィード・テーブル２８、および、転送システム３０を含
む。プラズマ処理システム２０は、通常、キャビネット
（図示せず）またはハウジングの一部である頂部プレー
ト３１上に取り付けられている。工作物３２は、ボール
・グリッド・アレイ、フリップ・チップ・パッケージン
グ、リード・フレーム、ワイヤ・ボンド・パッケージ、
または、他のボードなどの半導体デバイスをパッケージ
ングするための基板であってもよい。しかし、本発明
は、半導体パッケージング基板に厳密に限定される必要
はなく、半導体ウエハおよびフラット・パネル・ディス
プレイを含む他の基板のプロセスに容易に適合すること
ができる。加えて、本発明は、複数のデバイスまたはパ
ッケージを保持するボードまたはカセットなどの工作物
を収容することができる。

【００１６】プラズマ処理システム２０は、通常、未処
理の、または、前処理された工作物３２ａが、図１の仮
想図に示す工作物ハンドラたる上流側材料・ハンドラ３
３によって、連続的な方法で、一度に１つずつ、プラズ
マ処理システム２０に供給されるインライン式処理・シ
ステムの一部である。インフィード・テーブル２６は、
いくつかの工作物３２をハンドリングするように構成さ
れたテーブル転送システム２７を有する。例えば、この
インフィード・テーブル２６は、前処理された工作物３
２を（本実施例の場合１箇所〜７箇所までのいずれかの
箇所で）受け取り、格納するように構成することができ
る。受け取りは１回と一度に１つずつであるが、前処理
された工作物３２ｂは、その前方エッジが、内部端部３
４で全てが丁度そろうように、インフィード・テーブル
２６上で並列に配列され格納される。したがって、イン
フィード・テーブル２６は、前処理された工作物３２ｂ
が、プラズマ処理チャンバ２２内で並列に処理される前
に、前処理された工作物３２ｂのための並列のバッファ
または待ち行列として機能する。

【００１７】チャンバ２２内での工作物３２ｃのプロセ
スが完了した時、蓋３５は、その図示される引き上げら
れた位置まで回転するように上昇可能である。転送シス
テム３０は、アンロード・プッシャ・アーム３８上の１
対のアンロード・プッシャ３６、および、ロード・プッ
シャ・アーム４２上の１対のロード・プッシャ４０を利
用する。転送システム３０は、アンロードプッシャアー
ム３８およびロード・プッシャ・アーム４２とを同時に
動かす。したがって、アンロード・プッシャ３６は、処
理された、または、後処理された工作物３２ｃを、プラ
ズマ処理チャンバ２２の外のアウトフィード・テーブル
２８上に押し出す。アウトフィード・テーブル２８上に
おいて、後処理された工作物３２ｄは、並列に波打ちさ
れバッファまたは、待ち行列を作る。同時に、ロード・
プッシャ４０は、前処理された工作物３２ｂをインフィ
ード・テーブル２６からプラズマ処理チャンバ２２内に
押し込む。その後、転送システム３０は、アンロードプ
ッシャ３６とロードプッシャ４０を、図示するそれらの
本来の位置に戻す。続いて、インフィード・テーブル２
６は、再び、運搬されてきた前処理された工作物３２ａ
を連続的に受け取り、それらの工作物を、インフィード
・テーブル２６上に並列の方法でバッファするように、
上流側材料・ハンドラ３３とともに動作する。同時に、
アウトフィード・テーブル２８は、（仮想図に示す）下
流側材料ハンドラ３７に位置合わせされ、アウトフィー
ド・テーブル２８は、バッファされた後処理された工作
物３２ｄを、下流側材料ハンドラ３７に、一度に１つず
つ連続的に転送する。したがって、アウトフィード・テ
ーブル２８は、工作物３２ｄを、並列に受け取り、工作
物３２ｄを連続的な方法で一度に１つずつアンロードす
る。続いて、下流側材料ハンドラ３７は、後処理された
工作物３２ｅの連続的なインライン転送を継続する。

【００１８】後に認識されるように、インフィード・テ
ーブル２６およびアウトフィード・テーブル２８の重要
な特徴は、それぞれの前処理された、および、後処理さ
れた工作物を、連続的にも並列的にも、取り扱う一方
で、複数の他の工作物をプラズマ処理チャンバ２２に並
列にプロセスを行わせるべく運び入れることである。こ
の特徴は、工作物に、通常、連続的な方法でプロセスを
行う知られているシステムに比較して、効率および処理
能力の実質的な向上を提供する。

【００１９】プラズマ処理チャンバ２２は、工作物３２
の表面特性を修正または処理するために使用されるプラ
ズマを発生するために、大気圧より若干低い圧力におい
て処理されたガスの原子を励起する。プラズマ処理チャ
ンバ２２は、ユーザが決定したプラズマ処理手順または
方法に従って、工作物３２を処理するように動作する。
プラズマ処理チャンバ２２は、プログラム可能な制御器
によって制御され、したがって、異なった方法に従って
多様なタイプの工作物の処理を行うことができる。本発
明において使用するためのプラズマ処理チャンバは２０
００年７月１０日に出願されたＪａｍｅｓ Ｔｙｌｅｒ
によるＰ．Ｃ．Ｔ．出願米国第００／１０８９７号「Ｈ
ｉｇｈ−Ｓｐｅｅｄ Ｓｙｍｍｅｔｒｉｃａｌ Ｐｌａ
ｓｍａＥｔｃｈｉｎｇ Ｄｅｖｉｃｅ」に開示され、参
照として本明細書の一部をなすものとする。プラズマ処
理チャンバ２２の蓋３５は、知られている方法における
空気圧作動蝶番アセンブリによって、枢動的に開閉す
る。抽気バルブは、チャンバ２２の内部を大気圧に排気
するために使用され、圧力計は知られている方法で、チ
ャンバ２２内の圧力をモニタするために使用される。プ
ラズマ処理チャンバ２２は、プロセス・ガスの大気圧よ
り若干低い圧力からチャンバ２２内にプラズマを発生さ
せ持続するために使用される高周波波発生器、および真
空ポンプなどの知られている内部および外部構造（図示
せず）に結合されている。

【００２０】図２を参照すると、インフィード・テーブ
ル２６は、ベース・プレート４５上に取り付けられたテ
ーブル４４で直線的に動く。テーブル４４は脚部を形成
する側板３９および所望の距離で側板３９を分離する端
部４１を有する。インフィード・テーブル２６は、ベー
ス・プレート４５を頂部プレート３１に対して固締して
組立てられ据え付けられている（図１）。テーブル転送
システム２７は、テーブル４４上に支持された複数のレ
ール４８を含むレール・アセンブリ４６を有する。各対
のレールは、工作物のためのトラック、および、テーブ
ル４４上への工作物３２のローディングを案内し、支持
するための機能を提供する。テーブル転送システム２７
は、サポート・ブロック４３およびローラ５０をさらに
有する。外側レール４８ａは、サポート・ブロック４３
およびローラ５０を１つの側板上にのみ有し、内側レー
ル４８ｂは、サポート・ブロック４３およびローラ５０
を両側に有する。サポート・ブロック４３およびドライ
ブ・ローラ５０は、レールの長さに沿って交互に配置さ
れている。サポート・ブロック４３は、上側表面４７の
それぞれは、ドライブ・ローラ５０による工作物の転送
を妨害しないように、ドライブ・ローラ５０に対して、
一般に水平な上側表面４７を有する。すなわち、表面４
７は、通常、ドライブ・ローラ５０の頂部を越えて延び
る水平な接線の僅かに下方に位置している。表面４７
は、必要に応じて、工作物の低部表面上に中間横方向エ
ッジ・サポートを提供するように設計されている。例え
ば、ドライブ・ローラ５０によって転送される固い工作
物は、表面４７に接触しなくてもよいが、ドライブ・ロ
ーラ５０によって転送されるさほど固くない工作物は、
表面４７に接触してもよい。ドライブ・ローラ５０は、
工作物３２の横側エッジにおける工作物３２の下側部表
面にも接触する。ローラ５０は、テーブル４４上のレー
ル４８の間で工作物３２を案内し、移動させるために同
時に駆動される。

【００２１】レール４８は、サポート・バー４９上に滑
動可能に取り付けられ、固定ネジ５１によってサポート
・バー４９上の所望の位置に固定されている。サポート
・バー４９は、固定ネジ５３によってテーブル４４の反
対側の側板３９に固定されている。したがって、適切な
固定ネジ５３を緩めることによって、サポート・バーの
端部は、テーブルの１つの側板から取り外すことがで
き、これによって、レール４８が、サポート・バー４９
上を滑動する、または、滑動して取り外すことが可能と
なる。本実施例では、テーブル４４は、最大８つのレー
ル４８を収容するように想定している。これによって、
インフィード・テーブル２６上に、一度に最大７つの工
作物をローディングすることができる。

【００２２】図３から６を参照すると、テーブル転送シ
ステム２７は、ドライブ・ローラ５０を駆動するベルト
・ドライブ・アセンブリ５２をさらに含む。このベルト
・ドライブ・アセンブリ５２は、ネジ・ジャッキ（図示
せず）で、ベース・プレート４５に機械的に接続されて
いるシリンダ５４を有する。したがって、シリンダ５４
は、ベース・プレート４５に関して、一般に垂直方向に
調整可能である。このシリンダ５４は、通常、例えば、
電磁四方バルブでもよい電磁バルブ５９を介して、圧縮
空気供給源５７によって供給される圧縮空気によって駆
動される流体駆動シリンダである（図１２）。シリンダ
５４は、上側サポート・プレート５８に接続された移動
可能なシリンダ・ロッド部５６、および、知られている
方法でシリンダ・ロッド５６を案内するガイド・ロッド
（図示せず）を有する。４つのスプリング・チューブ体
６０は、上側サポート・プレート５８の角の近くに堅固
に取り付けられている。スプリング・チューブ体６０内
に弾力的に懸垂されたシャフト６２は、浮動プレート６
４の角に接続されている。ベルト・ドライブ・アセンブ
リのみを示す図４を参照すると、ベアリング・ハウジン
グ６６は、サポート・レール６８上に調整可能に取り付
けられている。サポート・レール６８は、それらの端部
において、浮動プレート６４に装着されたマウンティン
グ・ブロック７０上にクランプ７２によって固定されて
いる。ベアリング・ハウジング６６ｂは、押しネジ６７
によってサポート・レール６８上の所定の位置に固定さ
れている。押しネジ６７を緩めることによって、ベアリ
ング・ハウジング６６ｂは、幅に関する仕様の範囲内に
あるいかなる幅の工作物も収容するために、サポート・
レール６８にわたって滑動可能である。

【００２３】各ベアリング・ハウジング６６は、各ベア
リング・ハウジング６６の頂部を越える直線の経路に沿
ってベルト７６を支持するベルト・ローラ７８を有す
る。図５に示すように、ベルト７６は、アイドラ・プー
リ８０およびドライブ・プーリ８２を介しても通ってい
る。ドライブ・プーリ８２は、ベルト駆動モータ（図
４）８６の出力シャフトに接続されたドライブ・シャフ
ト８４上に滑動可能に取り付けられている。ドライブ・
シャフト８４は、ドライブ・シャフト８４を、ドライブ
・プーリ８２と駆動係合に維持する間、ベアリング・ハ
ウジング６６ｂおよび結合されているドライブ・プーリ
８４が、ドライブ・シャフト８４に沿って滑動可能に位
置することができるように、非円形の断面輪郭を有す
る。

【００２４】図５に示すように、通常シリンダ・ロッド
５６は引っ込んでいて、ベルト・ドライブ・アセンブリ
５２はベルト７６がドライブ・ローラ５０と接触しない
低い方の位置にある。ドライブ・ローラ５０を駆動する
時、シリンダ５４はドライブ・ベルト７６がドライブ・
ローラ５０と接触するようにシリンダ・ロッド５６を伸
長し、浮動プレート６４を引き上げるために動作する。
したがって、移動しているベルト７６は、ドライブ・ロ
ーラ５０を回転させ、今度は、これが、工作物３２の横
方向エッジの近くで工作物３２の下側に接触し、これに
よって、工作物を、レール４８の間でテーブル４４を越
えて直線的に移動させる。浮動または懸垂された移動し
ているベルト７６は、ドライブ・ローラ５０に対して、
実質的に等しい力を印加するために効果的である。工作
物がテーブル４４上にローディングされた後、ベルト・
ドライブ・モータ８６は、電源が切られ、シリンダ５４
の状態は、ベルト７６を、図５に示すように、ドライブ
・ローラ５０との接触をなくすように低くするために、
トグルで締め付けられている。

【００２５】図２を参照すると、第１の工作物３２ｂ
が、レール４８の第１の組の間にローディング（載置）
された後、テーブル４４は、レール４８の次の対を、運
搬されてきた工作物３２ａと位置合わせするために位置
割り出し送りすることができ、そのため、運搬されてき
た工作物３２ａは第２の工作物３２ｂとして第１の工作
物と隣接して、並列にテーブル４４上にローディングす
ることができる。テーブル転送システム２７は、テーブ
ル４４をテーブル４４の反対側の側板上の１対のリニヤ
・ベアリング９０ａ、９０ｂ（図３）に取り付けること
によってテーブル位置割り出し動作を提供するレール転
送システムを含む。リニヤ・ベアリング９０ａ、９０ｂ
の各々は、それぞれのリニヤ・レール９２ａ、９２ｂ上
に滑動可能に取り付けられている。リニヤ・レール９２
ａ、９２ｂは、それぞれのマウンティング・バー９４
ａ、９４ｂに堅固に接続され、このバーは、今後は、ベ
ース・プレート４５に堅固に固定されている。レール転
送システムは、知られている方法でドライブ・スクリュ
ー（図示せず）に堅固に接続されているモータ９８（図
２）を有するサーボドライブ・アセンブリ９６を含む。
キャリッジ１００は、ドライブ・スクリューに回転可能
に取り付けられ、これに沿って、ドライブ・スクリュー
を回転するモータ９８に応答して、縦方向に移動する。
一般にＬ字形のブラケット１０２は、キャリッジ１００
に堅固に接続された１つの脚部、および、テーブル４４
の１つの端部４１に接続された他の脚部を有する。した
がって、サーボドライブ９６は、工作物３２の移動の方
向に対して一般に直角な方向に、テーブル４４およびレ
ール４８を移動するために動作可能である。

【００２６】図２を参照すると、各レール４８の外側ま
たは入力端部１０４は、図７にさらに詳細に示すピンチ
・ホイール・アセンブリ１０６を有する。各レール４８
は、ピンチ・ホイール・アセンブリ１０６が取り付けら
れている中央部１０８を有する。さらに、各レール４８
は、終端部で外側に広がった一般的に垂直な表面１０９
および終端部で下方に広がった一般的に水平な表面１１
１を備えた進入部を有する。レール４８の進入端部にお
ける広がった表面１０９、１１１は、所望の経路上にロ
ーディングされている工作物を捕獲し、案内する。ピン
チ・ホイール・アセンブリ１０６は、共通の軸１１３上
に取り付けられたピンチ・ホイール１１２を弾力的に取
り付けられて有し、そのため、ピンチ・ホイール１１２
は、レール４８の各側板上に、ドライブ・ローラ５０の
すぐ上方に、配設されている（図６Ａ）。工作物が１対
のレール４８の間で受け取られるため、上流側材料ハン
ドラは、工作物を、ピンチ・ホイール１１２の間に押し
込み、ローラ５０を、ピンチ・ホイール１１２の下方に
誘導する。ピンチ・ホイール１１２は、工作物がピンチ
・ホイール１１２とそれぞれのドライブ・ローラ５０と
の間を移動する間、工作物の上側表面に対して、ピンチ
力を印加する。

【００２７】ピンチ・ホイール・アセンブリ１０６は、
レール４８の上側部１０８内に堅固に配設された垂直に
延びるポスト１１８を備えたマウンティング・ブロック
１１６を有する。ピンチ・ホイール軸１１３は、キャリ
ッジ１２０に取り付けられ、今度は、これが、垂直なポ
スト１１８上に滑動可能に取り付けられている。調整ネ
ジ１２２は、ブロック１１６内に回転可能に取り付けら
れ、キャリッジ１２０にねじ込まれて結合されている。
したがって、調整ネジ１２２を回転することによって、
キャリッジ１２０およびピンチ・ホイール１１２は、垂
直方向に調整することができる。そのため、ピンチ・ホ
イール１１２は、異なった厚さの工作物３２を収容する
ために、調整することができる。さらに、調整ネジ１２
２は、ピンチ・ホイール１１２の高さを、バイアス・ス
プリング１２４が、工作物３２に所望のピンチ力を印加
するように、調整することを可能にする。

【００２８】図２および８を参照すると、テーブル４４
の内側または排出端部３４は、２つの隣接するレール４
８の間の各トラックに結合されたブリッジ１２６を有す
る。ブリッジ１２６は、最終ローラ１２７に隣接して、
レール４８の各側板上に配設されている。ブリッジ１２
６は、ドライブ・シャフト１２８に堅固に接続されてい
る。ドライブ・シャフト１２８の端部は、一般にＬ字形
の枢軸リンクまたはカム１３０の１つの端部に堅固に接
続されている。枢軸リンク１３０の他の端部は、ブリッ
ジ・シリンダ１３４のシリンダ・ロッド１３３の末端に
結合されたＵ字形駒１３２に回転可能に接続されてい
る。ブリッジ・シリンダ１３４は、通常、例えば、電磁
四方バルブでもよい電磁バルブ１３５を介して、圧縮空
気供給源５７によって供給される圧縮空気によって駆動
される流体駆動シリンダである（図１２）。図８に示す
ように、シリンダ１３４内に引っ込んだシリンダ・ロッ
ド１３２に対して、ブリッジ１２６は、一般に垂直また
は上方の位置に配列され、工作物がレール４８の間の表
面４７を越えて、ドライブ・ローラ５０によって移動さ
れる間、工作物を止める為の部材として機能する。シリ
ンダ１３４を作動すると、シリンダ・ロッド１３２を延
ばし、ブリッジ１２６を、図１に示すように、一般に水
平または下方の位置へ約９０度枢動する。下方の位置に
おいて、ブリッジ１２６は、工作物が、アンロード・プ
ッシャ４２によって、インフィード・テーブル２６とプ
ラズマ処理チェンバ２２との間の隙間を越えて押される
時、工作物を支持するための表面として機能する。シリ
ンダ１３４は、マウンティング・ブラケット１３６によ
ってテーブル側板３９に取り付けられる。溝穴１３７を
介して延びるファスナ１３８を緩めることによって、ブ
ラケット１３６およびシリンダ１３４の位置は変更する
ことができ、そのため、ブリッジ１２６の下方の位置を
精密に調整できる。

【００２９】図１において、アウトフィード・テーブル
２８が、実質的に、インフィード・テーブル２６の鏡像
関係にあることに留意されたい。アウトフィード・テー
ブル２８は、ファスナまたは他の手段によって、頂部プ
レート３１に取り付けられているベース・プレート１４
１を有するモジュラ・アセンブリである。アウトフィー
ド・テーブル２８は、図８のブリッジ１２６に関して述
べた方法と同一の方法で、ブリッジ・シリンダ１４２を
使用して、上昇および下降されるブリッジ１４０を有す
る。ブリッジ・シリンダ１４２は、通常、例えば、電磁
四方バルブでもよい電磁バルブ１４３を介して、圧縮空
気供給源５７によって供給される圧縮空気によって駆動
される流体駆動シリンダである（図１２）。さらに、ア
ウトフィード・テーブル２８は、サーボドライブ１４８
によってレール１４６に沿って移動可能である直線移動
テーブル１４４を含む。テーブル１４４およびサーボド
ライブ１４８は、既に説明したテーブル４４およびサー
ボドライブ９６と実質的に同じ方法で動作する。テーブ
ル１４４は、交差部材１５２上に滑動可能に取り付けら
れ、ドライブ・ローラ１５４を回転可能に支持する複数
のレール１５０をさらに有する。このドライブ・ローラ
は、ベルト・ドライブ・アセンブリ１４７上に取り付け
られたベルト（図示せず）を駆動するように係合されて
いる。ベルト・ドライブ・アセンブリ１４７は、ベルト
・シリンダ１５１によって上昇または下降され（図１
２）、構造および動作において、インフィード・テーブ
ル２６上のベルト・ドライブ・アセンブリ５２と同じで
ある。ベルト・シリンダ１５１は、通常、例えば、電磁
四方バルブでもよい電磁バルブ１５３を介して、圧縮空
気供給源５７によって供給される圧縮空気によって駆動
される流体駆動シリンダである。レール１５０およびド
ライブ・ローラ１５４は、インフィード・テーブル２６
上のレール４８およびドライブ・ローラ５０と同じ構造
および動作を有する。

【００３０】図９を参照すると、転送システム３０は、
プラズマ処理システム２０の頂部プレート３１に堅固に
接続された１対のスタンド１６２によって支持されてい
る。サポート・ビーム１６４は、スタンド１６２の頂部
上に取り付けられ、転送システム３０の長さ方向に延び
る。サーボドライブ・ユニット１６６も、同様に、転送
システム３０の長さにわたって、スタンド１６２の頂部
を越えて延びる。このサーボドライブ・ユニットは、ド
ライブ・スクリュー１７０を回転させるサーボモータ１
６８を有する。図１０を参照すると、キャリッジ１７２
は、ドライブ・スクリュー１７０に回転可能に取り付け
られ、サーボモータ１６８の動作に応答して、ドライブ
・スクリュー１７０に関して縦方向に移動する。マウン
ティング・プレート１７４は、キャリッジ１７２に同じ
く固定されたゴム製ハトメ１７６によって、１つの側板
上に弾力的に支持されている。マウンティング・プレー
トは、ビーム１６４によって支持されたリニヤ・レール
１８０上を移動する反対側のリニヤ・ベアリング１７８
に堅固に接続されている。したがって、サーボモータ１
６８の動作は、マウンティング・プレート１７４を、ド
ライブ・スクリュー１７０に沿って縦方向に移動させる
のに効果的である。

【００３１】アンロードプッシャアーム３８およびロー
ド・プッシャ・アーム４２は、それぞれ、マウンティン
グ・プレート１７４上に支持され、それらとともに移動
する。調整メカニズムは、マウンティング・プレート１
７４の頂部に結束されたベアリング・レール１８２によ
って促進される。ベアリング・レールは、通常、実質的
に正方形の断面を有する突出したアルミニウム部材であ
る。プッシャ・アーム３８、４２は、それぞれのベース
１８８、１９０上に滑動可能に取り付けられたそれぞれ
のプッシャ・アーム・アセンブリ１８４、１８６の一部
である。各ベース１８８、１９０は、それぞれのベアリ
ング・スライド１９２、１９４上に取り付けられてい
る。ベアリング・スライド１９２、１９４は、通常、例
えば、「ＴＥＦＬＯＮ」材料などの低摩擦材料から作ら
れ、ベアリング・レールの３つの側板を越えて延びる。

【００３２】プッシャ・アーム・アセンブリ１８４、１
８６の各々の縦方向位置は、互いに、および、マウンテ
ィング・プレート１７４に関して、個別に調整可能であ
る。プッシャ・アーム・アセンブリ１８６を参照する
と、ロッキング・ハンドル１９６は、ベアリング・スラ
イド１９４の１つの側板にねじ込まれて係合されたねじ
込みシャフト部１９８を有する。したがって、ロッキン
グ・ハンドル１９６を締めることによって、ねじ込みシ
ャフト１９８の端部は、ベアリング・レールの１つの側
板に係合され、これによって、ベアリング・スライド１
９４およびそれぞれのベース１９０およびプッシャ・ア
ーム・アセンブリ１８６を、ベアリング・レール１８２
上のその位置に固定する。ロッキング・ハンドル１９６
を緩めることは、ねじ込みスクリュー１９８の端部を、
ベアリング・レール１８２から切り離し、ベアリング・
スライド１９４、ベース１９０、および、結合されたプ
ッシャ・アーム・アセンブリ１８６が、ベアリング・レ
ール１８２に沿った別の位置に移動することを可能にす
る。ハンドル１９６を締めることは、プッシャ・アーム
・アセンブリ１８６を、ベアリング・レール１８２上の
その位置に固定する。プッシャ・アーム・アセンブリ１
８４およびベース１８８は、レール１８２に沿った異な
った位置においてベース１８８を固定するための同一の
構造を有する。

【００３３】それぞれのシリンダ２０２、２０４は、各
ベース１８８、１９０の１つの端部から懸垂されてい
る。シリンダ２０２、２０４は、通常、例えば、電磁四
方バルブでもよいそれぞれの電磁バルブ２０３、２０５
を介して、圧縮空気供給源５７からの圧縮空気によって
駆動される流体駆動シリンダである。シリンダ２０２、
２０４は、それぞれのプッシャ・アーム・アセンブリ１
８４、１８６が取り付けられているそれぞれのシリンダ
・ロッド２０６、２０８を有する。したがって、シリン
ダ２０２、２０４は、それぞれのプッシャ・アーム・ア
センブリ１８４、１８６を上昇および下降させるために
動作することができる。図示する上昇した位置にある
時、それぞれのプッシャ・アーム・アセンブリ１８４、
１８６上のプッシャ３６、４０は、端部フィード・テー
ブル２６上かつプラズマ処理チャンバ２２内に位置する
工作物の上方を移動する。シリンダ２０２、および２０
４が、それぞれのプッシャ・アーム・アセンブリ１８
４、１８６を下降する時、転送システム３０が、ドライ
ブ・スクリュー１７０の縦方向軸に沿って、プッシャ３
６、４０を移動させるため、それぞれのプッシャ３６、
４０の下方端部は、それぞれの工作物の端部エッジに隣
接し、工作物を押すために効果的である。

【００３４】図１１を参照すると、プッシャ・アーム４
２は、ロード・プッシャ・アーム・アセンブリ１８６の
ハウジング２１１の内部に弾力的かつ回転可能に取り付
けられている。したがって、ロードプッシャ４０が、移
動できないジャムを起こした工作物３２ｂに遭遇した
時、プッシャ・アーム４２は、図９で見られるように、
転送システム３０がロードプッシャ４０を、一般に右に
移動させるため、プッシャ・アーム４２は、時計回りに
枢動する。プッシャ・アーム４２の枢動は検出され、プ
ッシャ・アーム・アセンブリ１８６の動きは、即座に停
止される。フラグ２１２は、プッシャ・アーム４２に装
着され、これとともに回転する。プッシャ・アーム４２
およびフラグ２１２は、ブロック２１４に関して回転可
能に取り付けられている。内部ディスク２１８は、ブロ
ック２１４に堅固に接続され、固定されたシャフト２２
２の１つの端部を支持する。外部ディスク２２４は、シ
ャフト２２０および２２２に堅固に接続されている。ス
プリング・ワイヤ２２０は、外部ディスク２２４に接続
された第１の端部を有する。スプリング・ワイヤ２２０
は、内部ディスク２１８のクリアランス・ホールおよび
ブロック２１４の溝穴を介して延びる。スプリング・ワ
イヤ２２０の反対側の端部は、枢動可能なフラグ２１２
に接続されている。

【００３５】工作物チャンバのローディング動作の間、
プッシャ・アーム４２およびロードプッシャ４０は、工
作物の引きずっているエッジとの接触に直線的に移動さ
れる。ロードプッシャ４０がジャムを起こした工作物と
遭遇した場合、転送システム３０がプッシャ・アーム４
２を直線的に移動させ続けるため、プッシャ４０、プッ
シャ・アーム４２、フラグ２１２、および、スプリング
・ワイヤ２２０は、時計回りに回転する。フラグ２１２
が枢動するため、スプリング・ワイヤ２２０がブロック
２１４に隣接する内部ディスク２１８の背部側板を出る
間、スプリング・ワイヤ２２０は、折れるか、または曲
がる。スプリング・ワイヤ２２０のこの曲がりまたは折
れは、フラグ２１２を逆、すなわち、反時計方向に回そ
うとするバイアス・トルクを発生する。フラグ２１２
は、非反射領域２２８に隣接する反射表面２２６を有す
る。センサ２３０ａは、フラグ２１２の時計方向の回転
による反射表面２２６の損失を即座に検出し、工作物の
ジャム状態を表す出力信号を供給する。センサ２３０ａ
からの出力信号は、プッシャ・アーム４２およびロード
プッシャ４０の直線的な移動を即座に停止させるために
効果的である。ジャムを起こした工作物が取り除かれる
と、スプリング・ワイヤ２２０によって供給されたバイ
アス・トルクは、フラグ２１２およびプッシャ・アーム
４２をそれらの本来の位置に枢動する。バイアス・トル
クは、シャフト２１６上の内部ディスク２１８を移動す
ることによって調整される。プッシャ・アーム３８の弾
力的な取り付けは、図１１に例として示すプッシャ・ア
ーム４２の弾力的な取り付けと同一であり、センサ２３
０ｂ（図１）は、アンロードプッシャ３６が、ジャムを
起こした工作物に遭遇した場合に、出力信号を供給す
る。

【００３６】図１２を参照すると、図１のプラズマ処理
システム２０は、動作が制御器２４０によって同一に制
御されるプラズマ処理チャンバ２２を含む。マテリアル
・ハンドリング制御器２４２は、インフィードおよびア
ウトフィード・テーブル２６、２８および転送システム
３０の動作を制御する。マテリアル・ハンドリング制御
器２４２は、プラズマ・チャンバ制御器２４０に接続さ
れた、例えば、デジタル入力／出力（「Ｉ／Ｏ」）の通
信回線２４４を有する。同様に、制御器２４０および２
４２も、それぞれの通信回線２４６、２４８を介して、
イーサネット（登録商標）・ハブ２５０に接続され、今
度は、これが、パソコン２５２に接続されている。この
パソコン２５２は、制御器２４０、２４２に対するユー
ザ・インターフェイスとして動作する。グラフィカル・
ユーザ・インターフェイスは、知られている方法でパソ
コン２５２に接続されている。マテリアル・ハンドリン
グ制御器２４２も、例えば、デジタルＩ／Ｏ回線である
通信リンク２４５を介して、上流マテリアル・ハンドラ
制御器２４３に電気的に接続されている。マテリアル・
ハンドリング制御器２４２は、例えば、デジタルＩ／Ｏ
回線である通信リンク２４９を介して、下流マテリアル
・ハンドラ制御器２４７に、さらに電気的に接続されて
いる。マテリアル・ハンドリング制御器２４２、制御器
２４０、および、上流および下流制御器２４５、２４７
は、それぞれ、知られているＳＭＥＭＡ通信プロトコル
を使用して通信するプログラム可能な論理制御器であ
る。したがって、マテリアル・ハンドリング制御器２４
２は、非常に様々な上流および下流マテリアル・ハンド
リング制御システムに容易に接続することができる。

【００３７】マテリアル・ハンドリング制御器２４２
は、インフィードおよびアウトフィード・テーブル２
６、２８に結合された様々なセンサから受け取られた入
力信号に応答して、ベルト・モータ８６およびベルト・
シリンダ５４を動作するためのコマンド信号を供給す
る。例えば、図２を参照すると、工作物除去近接センサ
２５４は、インフィード・テーブル２６の入力側の側壁
２５６上に取り付けられている。上流側材料・ハンドラ
３３が工作物をインフィード・テーブル２６に供給する
と、工作物の先端が、近接センサ２５４によって検出さ
れ、これによって、工作物除去信号を虚偽の状態に切り
換える。センサ・ブラケット２５８も、サポート・レー
ル６８上に滑動可能に取り付けられ、通常、ベアリング
・ハウジング６６ａ、６６ｂの間の中間に位置する。近
接センサ２６２、２６４はセンサ・ブラケット２５８上
に取り付けられ、その全長のどこに位置することもでき
る。ピンチ後センサ２６２は、通常、ピンチ・ホイール
・アセンブリ１０６の後、すなわち、下流に位置する。
センサ２６２が工作物の先端を検出すると、ピンチ後信
号が、マテリアル・ハンドリング制御器２４２に供給さ
れる。走行終点センサ２６４は、ベアリング・ハウジン
グ６６の端部に位置し、工作物の先端を検出すると、セ
ンサ２６４は、マテリアル・ハンドリング制御器２４２
に走行終点信号を供給する。インフィード・テーブル
は、ブリッジ・シリンダ・ロッド１３２のそれぞれの完
全に延びた、および、完全に引っ込んだ位置に応答し
て、それぞれブリッジ上昇およびブリッジ下降信号を供
給する上昇下降ブリッジ・センサ２６６（図１２）をさ
らに有する。ベルト・ドライブ・アセンブリ５２を上昇
および下降させるシリンダ５４は、シリンダ・ロッド５
６が引っ込んだ時を示すベルト復帰センサ２６８を有
し、これによって、ベルト・ドライブ・アセンブリをそ
の本来の位置に移動させる。インフィード・テーブル２
６上のサーボドライブ９８は、図１および２に示すよう
に、テーブル４４が本来の位置に移動させられた時を示
すテーブル復帰センサ２７０も有する。

【００３８】アウトフィード・テーブル２８は、インフ
ィード・テーブル２６上のセンサと同じセンサを有す
る。図１２に示すように、アウトフィード・テーブル２
８は、インフィード・テーブルのセンサ・ブラケット２
５８と同じセンサ・ブラケット上に取り付けられた工作
物利用可能センサ２７２および工作物オフ・テーブル・
センサ２７４を有する。工作物除去センサ２７６は、プ
ラズマ処理システム２０（図１）の外部側壁上に取り付
けられ、工作物がアウトフィード・テーブル２８から除
去された時を示す。これの動作において、アウトフィー
ド・テーブル２８は、ブリッジ上昇下降センサ２７８、
ベルト復帰センサ２８０、および、テーブル復帰センサ
２８２をさらに有する。転送システム３０は、図９に示
す転送システム復帰センサ２８４、プッシャ危険センサ
２８６、および、プッシャジャム・センサ２３０を有す
る。

【００３９】使用において、プラズマ処理システム２０
のオペレータは、先ず、機械的なセットアップを行い、
続いて、システムのプログラムのセットアップを行わな
ければならない。機械的セットアップの第１のステップ
は、どの工作物にプロセスが行われるかを決定すること
である。プラズマ処理システム２０の場合、大きさが、
幅約１６〜１６０ミリメータ（「ｍｍ」）、長さ約４０
〜３００ｍｍ、および、厚さ約０．２５〜２５ｍｍの範
囲にある工作物を扱え、プロセスを行える。したがっ
て、工作物が幅１５０ｍｍである場合、１つの工作物の
みを扱え、プロセスを行える。しかし、工作物が幅２５
ｍｍである場合は、６つの工作物を同時に扱え、プロセ
スを行える。さらに、プラズマ処理システム２０は、重
さが約１５〜６０００グラムの範囲にある工作物を扱
い、プロセスを行う能力を有する。したがって、部品の
幅が、いくつのレール４８が、インフィードおよびアウ
トフィード・テーブル２６、２８上、並びに、チャンバ
２２内に組み立てられるかを決定する。図２を参照する
と、押しネジ５３は、サポート・バー４９をテーブル４
４の外に滑らせることができるように、緩めることがで
きる。したがって、レール４８の所望の数を、サポート
・バー４９の上に、および、これの外に滑らせることが
でき、サポート・バー４９は、再び、固定押しネジ５３
を使用することによって、テーブル４４の側板３９内に
固定される。サンプル工作物は、レール４８の間に置く
ことができ、レールの間隔は、調整できる。そのため、
工作物は、容易に移動できる。各レールの所望の間隔が
達成されると、押しネジ５１は、サポート・バー４９上
のそれぞれのレールを固定するために締められる。

【００４０】レールが調整された後、図４を参照する
と、ベアリング・ハウジング６６ｂおよびセンサ・ブラ
ケット２５８が調整される。押しネジ６７を緩めること
により、ベアリング・ハウジング６６ｂは、サポート・
レール６８およびドライブ・シャフト８４に沿って滑ら
せることができる。図６に示すように、ベアリング・ハ
ウジング６６ｂは、そのベルト７６がローラ５０のすぐ
下方に位置するように、位置すべきである。適切に位置
された時、押しネジ６７は、ベアリング・ハウジング６
６ｂをその適切な位置に固定するために締められる。セ
ンサ・ブラケット２５６も、ブラケット２５８を、サポ
ート・レール６８上の所望の位置に固定する押しネジ
（図示せず）を有する。図６に示すように、センサ・レ
ール２５８は、ベアリング・ハウジング６６ａ、６６ｂ
から実質的に等距離に位置する。その後、それぞれのプ
ッシャ・アーム３８、４２上のプッシャ３６、４０の数
は、各サイクルでプロセスが行われている工作物の数に
適合するように調整される。プッシャ３６、４０は、緩
められると、プッシャ３６、４０が、それぞれのプッシ
ャ・アーム３８、４２の上に、または、これの外へ滑ら
せることを可能にする押しネジによって、それぞれのプ
ッシャ・アーム３８、４２上に固定される。したがっ
て、必要な数のプッシャ３６、４０が取り付けられ、そ
れぞれのプッシャ・バー３８、４２上に適切に位置合わ
せされる。

【００４１】センサ・ブラケット２５８の位置が調整さ
れた後、ブラケット２５８上のセンサ２６２、２６４の
位置を調整することを所望してもよい。ピンチ後センサ
２６２は、それぞれのピンチ・ホイール１１２に関し
て、センサ２６２の位置を目視することによって調整で
きる。この代わりに、工作物は、所望のセンサ位置を見
出すために、センサ２６２に関して、手動にて移動する
こともできる。同様に、走行終点センサ２６４は、目
視、または、レールの間で工作物を移動させることのい
ずれかによって、調整することができる。工作物は、走
行終点センサ２６４が工作物の存在を検出するまで、排
出端部３４に向かって押される。この時点において、工
作物の先端は、確実な止め子として機能する直立ブリッ
ジ１２６に実質的に隣接すべきである。センサ・ブラケ
ット２５８上の走行終点センサ２６４の位置は、必要に
応じて調整することができる。しかし、通常、センサ２
６２、２６４の位置が一度設定されれば、それらは変わ
らない。

【００４２】図１を参照すると、同じ方法で、アウトフ
ィード・テーブル２８は、インフィード・テーブル２６
上のレール４８の数に適合するレール１５０の数を有す
るように機械的にセットアップされる。同様に、ベルト
・ドライブ・アセンブリ１４７のサポート・レール１４
５上のベアリング・ハウジングおよびセンサ・ブラケッ
ト（図示せず）は、レール１５０のセットアップに適合
するように調整される。さらに、プラズマ処理チャンバ
２２は、インフィードおよびアウトフィード・テーブル
２６、２８上のレールの数および間隔に適合するレール
を含まなければならない。図１、１３、および、１４を
参照すると、チャンバ２２は、レール２８６がクランプ
されている電極２８４を有する。レール２８４は、電極
２８４の端部を滑動するように捕獲するＣ型クランプ部
２８５を有する。押しネジまたは他のファスナ２８７
は、レール２８６を、電極上の所望の位置に、および、
それぞれインフィードおよびアウトフィード・テーブル
２６、２８上のレール４８、１５０と位置合わせして固
定する。レール２８６は、工作物３２が、プッシャ３
６、４０によって表面２８８を越えて押される時、工作
物３２を支持するそれぞれの一般に水平な直線的表面２
８８も有する。

【００４３】この時点において、転送システム３０の機
械的なセットアップが行われる。ロード・プッシャ・バ
ー・メカニズム１８６上の固定ハンドル１９６は緩めら
れ、プッシャ・バー・アセンブリ１８６は、これが、工
作物の引きずっている端部の背後の所望の距離に位置す
るまで、ベアリング・レール１８２上を滑る。ロード・
プッシャ・アーム・アセンブリ１８６がこのように位置
することが絶対的に必要ではない一方、これは、転送シ
ステム３０の走行時間を確実に短縮し、より効果的なマ
テリアル・ハンドリング・サイクルを提供する。通常、
本来の位置にあるプッシャ・サーボドライブ１６６の場
合、アンロード・プッシャ・アーム・アセンブリの調整
は必要ない。この時点において、必要であれば、フラグ
２９０も、本来の位置のコマンドが出された時に、プッ
シャ・サーボドライブ１６６（図１０）が、キャリッジ
１００を、その所望の本来の位置に見出すように、転送
システムホーム・センサ２８４に関して、調整すること
ができる。

【００４４】機械的セットアップが完了した後、プログ
ラム・セットアップが行われる。プログラム・セットア
ップの間、パソコン２５２に結合されたグラフィカル・
ユーザ・インターフェイス（図示せず）が、オペレータ
により、インフィードテーブル２６およびアウトフィー
ド・テーブル２８、および、転送システム３０を動作さ
せるための入力コマンドを供給するために使用される。
後に認識されるように、ユーザ・インターフェイスは、
プラズマ処理システム２０内の全てのアクチュエータを
手動で操作するためのコマンドを供給することができ
る。先ず、それぞれのインフィードおよびアウトフィー
ド・テーブル２６、２８上のテーブル４４、１４４に間
歇送りされるための所望の位置または終点を決定しなけ
ればならない。インフィード・テーブル２６上のサーボ
ドライブ９６がその本来の位置にある時、上流側材料・
ハンドラ３３（図１）は、外側レール４８ａと第１の内
側レール４８ｂとの間のサポート・ブロック４３および
ドライブ・ローラ５０と位置合わせされる。オペレータ
は、上流側材料・ハンドラを、連続する１対のレール、
すなわち、２つの内側レール４８ｂに位置合わせする終
点または位置にテーブル４４を移動するために、サーボ
ドライブ９６を動作させるための入力コマンドを供給す
るために、グラフィカル・インターフェイスを使用す
る。続いて、オペレータは、マテリアル・ハンドラ制御
器２４２における教示された点として、この終点を記録
し、保存するための入力コマンドを供給する。同じ方法
で、オペレータは、テーブル４４が、上流側材料・ハン
ドラと位置合わせされる連続する点に、テーブル４４を
移動するために、サーボドライブ９６にコマンドを与え
るために、ユーザ・インターフェイスを使用し、それら
の教示された点は、制御器２４２に記録され、保存され
る。後に認識されるように、テーブル４４のための教示
された点の数は、インフィード・テーブル２６上にロー
ディングされる工作物の数を決定する。すなわち、教示
された点の数に１を加えた数である。同じ方法で、オペ
レータは、テーブル１４４の所望の位置を教示するため
に、アウトフィード・テーブル２８上のサーボドライブ
１４８を手動で操作する。このため、アウトフィード・
テーブルは、テーブル１４４を、下流マテリアル・ハン
ドラと自動的に位置合わせすることができる。

【００４５】次に、チャンバ２２へ、および、これの外
への工作物の転送に関して、マテリアル・ハンドリング
制御器２４２は、転送システム３０を適切に自動的に操
作するために、２つの位置または点を教示されなければ
ならない。第１の点は、インフィード・テーブル２６か
らチャンバ２２に押された前処理された工作物３２の終
点または位置に関する。工作物が、チャンバ２２内のほ
ぼ中央に位置されることが所望される。したがって、パ
ソコン２５２を使用して、オペレータは、プッシャ・ア
ーム４２を下降させるための入力コマンドを供給し、前
処理された工作物をインフィード・テーブル２６からチ
ャンバ２２へ移動させるために、プッシャ・サーボドラ
イブ１６６にコマンドを出す。ユーザ作成コマンドの手
段によって、プッシャ・サーボドライブ１６６は、チャ
ンバ２２内の所望のローディング点または位置に工作物
を押すために、コマンドを出す。この所望のローディン
グ位置が見出された時、オペレータは、自動インフィー
ド・サイクルの間に使用するために、マテリアル・ハン
ドリング制御器４２内に、このローディング点を記録
し、保存するためのコマンドを供給する。

【００４６】同様に、工作物の長さの変化のために、ア
ンロード・プッシャ・アーム３８によって、プラズマ処
理チャンバ２２からアウトフィード・テーブル２８への
後処理された工作物の転送も、決定され、教示される
か、プログラムされなければならない。再び、オペレー
タは、プラズマ処理チャンバ２２から、アウトフィード
・テーブル２８上の所望のアンローディング終点または
位置に、アンロード・プッシャ・アーム３８とともに工
作物を移動するために、プッシャ・サーボドライブ１６
６に手動でコマンドを出す。この所望のアンロード位置
が達成された時、オペレータは、このアンロード位置
を、マテリアル・ハンドリング制御器２４２内に記録
し、保存するためのコマンドを提供する。後に認識され
るように、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、
機械的およびプログラムのセットアップの全てのステッ
プを介して、ユーザを先導するために、セットアップ・
サイクルとともに、プログラムすることができる。セッ
トアップが完了した後、プラズマ処理システム２０は、
稼働できる状態となる。

【００４７】マテリアル・ハンドリング制御器２４２に
よって実行される第１のプロセスは、図１５に示すイン
フィード・テーブル・サイクルの実行であり、この中
で、工作物は、上流側材料・ハンドラ３３からインフィ
ード・テーブル２６に一度に１つずつ転送される。イン
フィード・テーブル・サイクルが開始される前に、制御
器２４２は、４００において、インフィード・テーブル
２６を初期化するかどうかを決定する。定義による初期
化は、３つの状態を必要とする。第１に、テーブル・サ
ーボドライブが、その本来の位置になければならない。
すなわち、インフィード・テーブル２６上のレール４８
が、プラズマ処理チャンバ２２のレール２８６と位置合
わせされる位置である。さらに、ベルト・シリンダ５４
が、本来の位置、すなわち、下方の位置になければなら
ない。最後に、ブリッジ１２６が、本来の位置、すなわ
ち、引き上げられた位置になければならない。これらの
条件のいずれかでも満足されない場合、マテリアル・ハ
ンドリング制御器２４２は、４０２において、初期化状
態を達成するように、適切なアクチュエータにコマンド
を供給する。

【００４８】初期化が達成されると、マテリアル・ハン
ドリング制御器２４２は、装置準備完了信号を真実に設
定し、４０４において、上流側材料・ハンドラ制御器２
４３からの通信リンク２４５に工作物利用可能信号を探
す。上流マテリアル・ハンドラ３３が転送できる工作物
を有する時はいつでも、上流マテリアル・ハンドラ制御
器２４３は、工作物利用可能信号を真実の状態に切り換
える。マテリアル・ハンドリング制御器２４２が、装置
準備完了信号および工作物利用可能信号の双方に対する
真実の状態を検出すると、上流マテリアル・ハンドラ
に、工作物の転送を開始することを指示する信号状態
を、通信リンクを介して供給する。加えて、制御器２４
２は、４０６において、ローラ・ベルト・モータ８６の
スイッチを入れ、電磁バルブ５９の状態を切り換えて、
シリンダ５４にベルト・ドライブ・アセンブリ９２を引
き上げさせる。したがって、ベルト７６は、１対のレー
ル、例えば、レール４８ａおよび４８ｂ上のドライブ・
ローラ５０を駆動している。さらに、制御器２４２は、
内部ピンチ後タイマ、および、走行終点タイマを開始さ
せる。蒸留マテリアル・ハンドラ３３は、ピンチャ・ロ
ーラ１１２とドライブ・ローラ５０との間に工作物を押
し、駆動されたドライブ・ローラ５０が、工作物３２ｂ
をインフィード・テーブル２６を越えて転送し始める。

【００４９】続いて、マテリアル・ハンドリング制御器
２４２は、４０８において、センサ２６２（図４）から
のピンチ後信号の発生を探す。ピンチ後センサ２６２
は、工作物が、テーブル２６を越えて適切に移動してい
ること単に確認している。したがって、マテリアル・ハ
ンドリング制御器２４２が、ピンチ後センサ２６２から
の出力信号を検出しない場合、制御器は、４１０におい
て、ピンチ後タイマが満了したかどうかを決定する。ピ
ンチ後タイマは、ピンチ後センサ２６２が工作物３２ｂ
の存在を検出するべき時間の長さを表す。４１０におい
て、制御器２４２が、ピンチ後タイマが満了したことを
決定した場合、工作物ジャムまたは他の問題が発生して
いることがある。したがって、マテリアル・ハンドリン
グ制御器２４２は、４１２において、ピンチ後エラーの
設定に進行し、続いて、４１６において、ローラ・ベル
ト・モータ８６の電源を切り、シリンダ５４に本来の位
置に戻るようにコマンドを出し、これによって、ローラ
５０との接触から外すように、ベルト・ドライブ・アセ
ンブリ５２およびローラ・ベルト７６を下降させる。マ
テリアル・ハンドリング制御器２４２は、ベルト・ドラ
イブ・アセンブリが本来の位置に戻るべき時間を表す内
部ベルト・ホーム・タイマも設定する。

【００５０】続いて、制御器２４２は、４１８におい
て、ベルト・ドライブ・アセンブリ５２が本来の位置、
すなわち、下方の位置にあるかどうかを決定する。ベル
トの本来の位置が４１８において検出された場合、制御
器２４２は、ベルト・ホームのフラグまたは状態を設定
する。検出しない場合、４２０において、制御器２４２
は、ベルト・ホーム・タイマの状態をチェックする。シ
リンダ５４上のベルト・ホーム・センサ２６８が、ベル
トの本来の位置を検出する前に、ベルト・ホーム・タイ
マが満了した場合、制御器２４２は、４２２において、
ベルト・ホーム・エラーを設定する。ベルト・ホーム・
タイマが満了しない場合、プロセスは、制御器２４２に
よって、ループを戻って、再び繰り返して行われる。

【００５１】工作物３２ｂが、テーブルを越えて正常に
進行する場合、センサ２６２は、ピンチ後信号をマテリ
アル・ハンドリング制御器２４２に供給し、これは、４
０８において検出される。続いて、制御器２４２は、４
１３において、走行終点（ＥＯＴ）タイマの満了を探
す。ＥＯＴタイマが満了しない場合、制御器２４２は、
４１４において、センサ２６４から走行終点信号を探
す。走行終点信号が受け取られると、制御器２４２は、
４１６において、ローラ・モータ８６の電源を切り、シ
リンダ５４に、本来の位置に戻り、ローラ・ベルト７６
を下降させるようにコマンドを出す。続いて、制御器２
４２は、ベルト・ドライブ・アセンブリ５２がその本来
の位置に適切に戻っているかどうかを決定するために、
プロセス・ステップ４１８〜４２２を繰り返す。工作物
が、インフィード・テーブル２６を越えて正常に進行し
ていない場合、走行終点信号は、センサ２６４によって
供給されず、制御器２４２は、４１３において、ＥＯＴ
タイマの満了を検出する。その後、ＥＯＴエラーは、４
１５において設定され、４１７〜４２２において、ベル
ト・モータは電源を切られ、制御器２４２は、ベルトが
その本来の位置に到達したかどうかを決定する。

【００５２】工作物が適切にテーブル４４にローディン
グされた場合、テーブル４４は、他の１対のレール４８
を、上流側材料・ハンドラ３３と位置合わせするため
に、サーボドライブ９６で間歇送りすることができる。
テーブル４４を間歇送りする前に、制御器２４２は、４
２５において、センサ２５４が工作物の存在を検出して
いるかどうかを決定する。検出している場合、それは、
工作物がインフィード・テーブル２６に部分的に載って
おり、部分的に載っていないことを意味し、したがっ
て、テーブル４４を割り出し送りすることは、工作物を
損傷することがある。制御器２４２がセンサ２５４から
の工作物除去信号の虚偽の状態を検出すると、４２７に
おいて、制御器２４２は進行し、工作物除去エラーを設
定する。

【００５３】工作物除去信号が真実である場合、４２６
において、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、
テーブル・サーボドライブ９６に、テーブルを次の工作
物の位置に割り出し送りするようにコマンド信号を供給
する。制御器２４２は、テーブル４４を、他の１対のレ
ール、例えば、テーブル４４上のレール４８ｂ、４８ｂ
（図２）を上流側材料・ハンドラと位置合わせするため
に、第１の教示位置に移動する。その後、４２８におい
て、制御器２４２は、インフィード・テーブル２６上に
ローディングされる工作物の全数に等しく設定されてい
た工作物カウンタを漸減させる。続いて、制御器２４２
は、４３０において、工作物カウンタがゼロであるかど
うかを決定する。これがゼロでない場合、プロセス・ス
テップ４０４〜４５２に関して述べたプロセスは、制御
器２４２が、４３０において工作物カウンタのゼロ値を
検出することによって、全ての工作物３２ｂがローディ
ングされたことを決定するまで、繰り返される。その
後、制御器２４２は、４３２において、テーブル・サー
ボドライブ９６にコマンド信号を供給し、テーブル・サ
ーボドライブ９６に、テーブル４４をその本来の位置に
戻させる。本来の位置は、サーボドライブ９６内に位置
するテーブル・アト・ホーム・センサ２７０によって検
出される。４１８におけるベルト・アト・ホームのチェ
ックに関して述べた方法と同じ方法で、制御器２４２
は、４３２において、テーブルにその本来の位置に戻る
ようにコマンドを出すと同時に、ベルト・アト・ホーム
・タイマを始動する。センサ２７０からの出力が、ベル
ト・アト・ホーム・タイマの時間枠内に検出されない場
合、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、４３６
において、テーブル・ホーム・エラーを設定する。４３
４において、制御器２４２がセンサ２７０からテーブル
・アト・ホーム信号を検出する場合、制御器２４２は進
行し、４３８において、入力テーブル・ローディング済
みフラグを設定する。

【００５４】テーブル４４をその次の位置に割り出し送
りした後、制御器２４２は、次の割り出し送り内部タイ
マを設定し、上流側材料・ハンドラ２４３からの後に続
く工作物利用可能信号を待つために戻ることに留意され
たい。工作物利用可能信号が４０４において検出され
ず、制御器２４２が、４４０において、次間歇送りタイ
マの満了を検出した場合、テーブルは、その本来の位置
に間歇送りされる。したがって、たとえテーブル４４が
工作物の何らかの数、例えば、５に対してセットアップ
できるとしても、より少ないいかなる数の工作物も、処
理することができる。このような状況は、処理されてい
る工作物のバッチの最後に、しばしば発生する。

【００５５】入力テーブル２６がローディングされる
と、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、この時
点で、プラズマ処理チャンバ２２内に工作物３２ｂを転
送するように、転送システム３０を操作する準備ができ
ている。転送プロセスは、図１６ａ〜１６ｂに示す。転
送サイクルを開始する前に、マテリアル・ハンドリング
制御器２４２は、先ず、５００において、インフィード
・テーブルが満杯であること、５０２において、アウト
フィード・テーブル２８が空であること、５０４におい
て、チャンバ蓋３５が開いていること、および、５０６
において、転送システム３０が初期化されていることを
決定する。プラズマ処理チャンバ２２を操作する制御器
２４０（図１２）は、チャンバ蓋３５を開くことに責任
を負い、マテリアル・ハンドリング制御器２４２に、通
信リンク２４４を介して、チャンバ・クリア信号を提供
する。転送システムの初期化は、それぞれのアンロード
プッシャ３６およびロード・プッシャ４０が、それらの
引き上げられた本来の位置にあり、プッシャ・サーボド
ライブ１６６がその本来の位置にあることを必要とす
る。したがって、マテリアル・ハンドリング制御器２４
２は、プッシャ・サーボドライブ１６６の本来の位置を
検出するセンサ２８４からの出力信号、および、プッシ
ャ・アームが上がっていることを示すそれぞれのシリン
ダ２０２、２０４上のセンサ２８８、２９９からの出力
信号を探す。これらのセンサ信号のいずれかが失われて
いる場合、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、
５０８において、適切なアクチュエータに、それらのア
クチュエータをそれらのそれぞれの本来の位置に向かっ
て移動するようにコマンド信号を供給する。５１０にお
いて、それぞれの本来の位置が、５０６において、転送
システムが初期化されていないことを検出した後、計時
された時間枠内に検出できない場合、マテリアル・ハン
ドリング制御器２４２は、５１２において、初期化エラ
ー・フラグを設定する。

【００５６】５０６において、転送システム３０が、適
切に初期化された後、５１４において、制御器２４２
は、電磁バルブ１３５、１４３の状態を切り換えて、そ
れぞれのインフィードテーブル２６およびアウトフィー
ド・テーブル２８上のそれぞれのシリンダ１３４、１４
２に、ブリッジ１２６、１４０を、それぞれ下降させ
る。続いて、制御器２４２は、５１６において、出力信
号が、それぞれのシリンダ１３４、１４２に結合され、
ブリッジ１２６、１４０が下降したことを示すセンサ２
６６、２７８から受け取られたかどうかを決定する。受
け取られていなければ、５１８において、ブリッジ・ダ
ウン・エラーが設定される。

【００５７】ブリッジが順調に下降した後、制御器２４
２は、５２０において、電磁バルブ２０３、２０５の状
態を切り換えて、それぞれのシリンダ２０２、２０４
に、それらのそれぞれのアンロードおよびロード・プッ
シャ・アーム３８、４２を下降させる。続いて、制御器
２４２は、５２２において、プッシャ・アーム３８、４
２が、それらの下降した位置にあることを示すシリンダ
２０２、２０４に結合されたセンサからの出力信号を探
す。制御器２４２が、プッシャ・アーム３８、４２を下
降させるために、シリンダ２０２、２０４にコマンドを
供給した後に、計時された時間枠内に、それらの出力信
号が検出されない場合、制御器２４２は、５２４におい
て、プッシャ・ダウン・エラーを設定する。

【００５８】プッシャ・アーム３８、４２が適切に下降
されると、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、
５２６において、プッシャ・サーボドライブ１６６に、
一般に図１に見られるように、プッシャ３６、４０を左
から右に移動させるようにコマンドを供給し、アンロー
ド・プッシャ４０は、先ず、インフィード・テーブル２
６上にローディングされた前処理された工作物３２ｂ
（図１）の引きずっているエッジに接触し、それらの前
処理された工作物を、インフィード・テーブル２６か
ら、チャンバ２２に押す。同時に、アンロード・プッシ
ャ３６は、チャンバ２２内のそれぞれの後処理された工
作物３２ｃの引きずっているエッジに接触しており、そ
れらの後処理された工作物をチャンバ２２からアウトフ
ィード・テーブル２８に押している。プッシャ・サーボ
ドライブ１６６がプッシャ・アーム３８、４２を移動さ
せるため、マテリアル・ハンドリング制御器２４２は、
５２８において、ジャム・センサ２３０の状態を継続的
にチェックする。出力信号が検出された場合、制御器２
４２は、５３０において、工作物ジャム・エラーを設定
する。

【００５９】工作物ジャムがなければ、制御器２４２
は、サーボドライブ１６６が、ロード・プッシャ・アー
ム４２を教示されたローディング点に移動したかどうか
をチェックし続ける。教示されたローディング点に到達
した時、工作物３２ｃは、プラズマ処理チャンバ２２内
の所望の位置にある。その後、５３２において、制御器
２４２は、５３４において、電磁バルブ２０５の状態を
切り換え、これによって、シリンダ２０４に、ロード・
プッシャ・アーム４２を引き上げさせる。５３６におい
て、制御器２４２は、ロード・プッシャ・アーム４２が
上方の位置にあるかどうかを決定する。制御器が引き上
げられたロード・プッシャ・アーム４２の検出を失敗し
た場合、５３８において、ロード・プッシャ・アップ・
エラーが設定される。続いて、マテリアル・ハンドリン
グ制御器２４２は進行し、５４０において、プッシャ・
サーボドライブ１６６に、アンロード・プッシャ・アー
ム３８を教示されたアンローディング点に移動させるよ
うにコマンドを出す。再び、５４２および５４４におい
て、制御器２４２は、ジャム・センサ２３０をモニタす
ることによって、工作物ジャムを検出する。制御器２４
２は、５４６において、プッシャ・サーボドライブ１６
６が、アンロード・プッシャ・アーム３８を教示された
アンローディング点に移動する時の検出を継続する。ア
ンローディング点が到達された時、工作物３２ｄは、こ
の時点で、アウトフィード・テーブル２８上にローディ
ングされる。通常、工作物３２ｄは、これらの全長がロ
ーラ１５４によって完全に支持されるように、アウトフ
ィード・テーブル上に押される。

【００６０】アンローディング点が検出された時、制御
器２４２は、５４８において、電磁バルブ２０３の状態
を切り換えて、シリンダ２０２にアンロード・プッシャ
・アーム３８を引き上げさせる。アンロード・プッシャ
・アーム３８が適切に上昇することに失敗した場合、制
御器２４２は、５５０において、セット・アンロード・
プッシャ・アップ・エラーを供給する。アンロード・プ
ッシャ・アーム３８が、その引き上げられた位置にある
ことが検出された時、５４８において、制御器２４２
は、５５２において、プッシャ・サーボドライブ１６６
に、転送システム３０をその本来の位置、すなわち、図
１および９に見られるその開始点に戻るようにコマンド
を出す。同時に、制御器２４２は、５６０において、電
磁バルブ１３５、１４３の状態を切り換えて、それぞれ
のインフィードおよびアウトフィード・テーブル２６、
２８上のそれぞれのシリンダ１３４、１４２に、それら
のそれぞれのブリッジ１２６、１４０を引き上げさせ
る。それぞれのテーブル２６、２８上のブリッジ・アッ
プ・センサ２６６、２７８が、計時された時間枠内に出
力信号を供給することに失敗した場合、５６２におい
て、ブリッジ・アップ・エラーが設定される。制御器２
４２が、５６４において、ブリッジ１２６、１４０がそ
れらの引き上げられた位置にあることを検出した場合、
５５４において、制御器２４２は、転送システム・ホー
ム・センサ２８４の状態を検出し、５５６において、セ
ンサ２８４が、計時された時間枠内にアト・ホーム信号
を供給することに失敗した場合、５５８において、プッ
シャ・ホーム・エラーが設定される。５５４において、
制御器２４２が、サーボドライブ１６６がその本来の位
置にあることを検出した時、５６６において、制御器２
４２は、工作物転送完了フラグを設定する。

【００６１】この時点において、インフィード・テーブ
ル２６に並列して格納されていた前処理された工作物３
２ｂ（図１）は、プラズマ処理チャンバ２２内の中央位
置に一斉に移動されている。同時に、プラズマ処理チャ
ンバ２２内で処理された後処理された工作物３２ｃは、
アウトフィード・テーブル２８上の場所に押されてい
る。したがって、インフィード・テーブル２６は空にな
り上流工作物ハンドラ３３からの追加の工作物３２ａを
受け取る準備ができており、アウトフィード・テーブル
２８は満杯であり、下流工作物ハンドラに工作物３２ｄ
を連続的に排出する準備ができている。

【００６２】工作物の転送が完了したことを検出する
と、図１７のアウトフィード・テーブル・サイクルは、
図１０のマテリアル・ハンドリング制御器２４２によっ
て実行される。このサイクルは、図１５に述べるインフ
ィード・テーブル・サイクルと同様のものである。例え
ば、先ず、６００において、制御器２４２は、テーブル
が初期化されていることを決定し、テーブルが初期化さ
れていない場合、制御器２４２は、６０２において、ア
ウトフィード・テーブルをその初期化された位置に移動
するために必要なコマンドを供給する。アウトフィード
・テーブル２８が初期化を達成し、近接センサ２７２に
よって決定されたように、テーブル２８上に工作物がロ
ーディングされると、工作物利用可能信号が、制御器２
４２によって設定され、通信リンク２４９を介して下流
マテリアル・ハンドラ制御器２４７に供給される。下流
マテリアル・ハンドラ３３が、アウトフィード・テーブ
ル２８から工作物を受け入れる準備ができている時はい
つでも、下流マテリアル・ハンドラ制御器２４７は、装
置準備完了信号を真実の状態に切り換える。マテリアル
・ハンドラ制御器２４２が、６０４において、工作物利
用可能および装置準備完了信号の真実の状態を検出する
と、これは、６０６において、ローラ・ベルト・モータ
２９４の電源を入れ、アウトフィード・テーブル２８の
ベルト・ドライブ・アセンブリ１４７上のシリンダ（図
示せず）を作動させる。加えて、制御器２４２は、内部
走行終点タイマを起動させる。ベルトは、ドライブ・ロ
ーラ１５４と接触するように引き上げられ、これによっ
て、ドライブ・ローラ１５４を、アウトフィード・テー
ブル２８を越えて工作物３２ｄを移動するように駆動す
る。加えて、６０６において、制御器２４２は、内部走
行終点（「ＥＯＴ」）タイマを起動させる。

【００６３】６０８において、工作物オフ・テーブル・
センサ２７４の状態が検出される。センサ２７４は、ア
ウトフィード・テーブル２８の下流端部の付近に位置す
る。その正確な位置は、使用されている下流マテリアル
・ハンドラのタイプによって変化する。工作物オフ・テ
ーブル信号が検出されない場合、制御器２４２は、６１
０において、ＥＯＴタイマの状態を検出し、タイマが満
了している場合、制御器２４２は、６１２において、Ｅ
ＯＴエラーを設定する。加えて、６１７〜６２２におい
て、制御器２４２は、ローラ・ベルト・モータ２９４
に、電源を切るようにコマンドを出す。いかなるエラー
もなければ、工作物３２ｄは、アウトフィード・テーブ
ル２８を越えて、下流マテリアル・ハンドラ２４７の制
御内に走行を続ける。このプロセスにおいて、工作物オ
フ・テーブル・センサ２７４は、６０８において検出さ
れている状態を変更する。テーブル１４４を離れた時、
工作物は、ローラ１５４の制御の外にあり、６１６〜６
２２において、ベルト・モータ２９４は電源を切られ、
ベルト・ドライブ・アセンブリは下降される。

【００６４】この時点において、テーブル４４は、次の
工作物を下流マテリアル・ハンドラ２４７と位置合わせ
するために、間歇送りされるための準備ができている。
工作物除去センサ２７６は、工作物３２ｄが、テーブル
１４４の部分的に上にあり、部分的に離れているかどう
かを検出する。工作物がテーブル１４４の端部にぶら下
がっている場合、テーブルは、移動されるべきではな
い。制御器２４２は、６２５において、センサ２７６の
状態を検出し、工作物が検出された場合、６２７におい
て、工作物除去エラーが設定される。工作物除去エラー
がない場合、６２６において、マテリアル・ハンドリン
グ制御器２４２は、テーブル・サーボドライブ１４８
に、次の工作物３２ｄが下流マテリアル・ハンドラと位
置合わせされるように、テーブル１４４を間歇送りする
ようコマンドを出す。上述のプロセスは、テーブル１４
４上に待ち行列を作っている全ての工作物３２ｄが、ア
ウトフィード・テーブル２８から下流マテリアル・ハン
ドラ３７に連続的に転送されるまで、継続する。６３０
において、最後の工作物の転送が検出された時、制御器
２４２は進行し、６３２〜６３８において、アウトフィ
ード・テーブル１４４をその本来の位置に戻し、アウト
フィード・テーブル・アンローデッド・フラグを設定す
る。

【００６５】インフィード・テーブル２６の動作と同じ
方法で、６０４において、工作物利用可能信号が検出さ
れ、６４０において、制御器２４２が次間歇送りタイマ
の満了を検出した場合、テーブルは、その次の位置に間
歇送りされる。したがって、たとえテーブル１４４が工
作物の何らかの数、例えば、５に対してセットアップす
ることができるとしても、それより少ないいかなる数の
工作物も、下流マテリアル・ハンドラ３７にアンローデ
ィングされる。

【００６６】本発明は、１つの実施形態によって示し、
その実施形態は、かなり詳細に説明した一方、添付の特
許請求の範囲をこのような詳細に制限せず、または、い
かなる方法においても、限定する意図はない。さらに多
くの長所および変形は、当業者には、容易に明らかにな
ろう。例えば、述べた実施例において、ドライブ・ロー
ラ５０は、ドライブ・ローラ７８を越えて延びる垂直に
移動可能なベルト７６によって駆動される。後に認識さ
れるように、代案となる実施形態において、ドライブお
よびドライブ・ローラの数は変化させることができる。
さらに、ローラ７８は排除されてもよく、ベルト７６は
ローラ５０を越えて延びてもよい。この実施形態におい
て、ベルト７６の垂直移動は排除される。さらに別の実
施形態において、ドライブ・ローラ７８は、ギヤまたは
他のデバイスによって駆動することができ、ベルト７６
は排除される。この実施形態において、ドライブ・ロー
ラ７８は、ドライブ・ローラ５０に接触でき、これを駆
動できる。他の変形において、ドライブ・ローラ５０
は、ギヤまたは他のデバイスによって駆動することがで
き、ドライブ・ローラ７８およびベルト７６は排除され
る。さらに、工作物の１つのエッジに沿ったローラ７８
一式は排除することができ、そのため、工作物は、反対
側のエッジ上のみで駆動される。工作物をその１つのエ
ッジに沿って支持するために、１つ以上の水平表面を使
用することができる。さらに他の代案となる実施形態に
おいて、レール４８は固定され、調整不能であってもよ
く、これによって、転送できる工作物の幅は固定され
る。

【００６７】さらに、述べた実施形態において、図１５
〜１７のプロセスの描写は、プラズマ処理システム２０
の動作の概要であり、フローチャート表示を容易にする
方法で表されている。フローチャートは、本来的に、理
解する目的のために便利である連続的な表現を示す。後
に認識されるように、図１５〜１７に述べたプロセスに
おけるステップは、異なった順序で行われてもよく、同
時に行われてもよい。さらに、プロセスのいかなる実施
形態も、システムのための仕様および利用可能な制御コ
ンポーネントの能力を実行するための実際の削減の個別
の実行に従って、必然的に異なる。例えば、アクチュエ
ータおよび工作物の動きを試験するためのセンサおよび
内部タイマの使用は、使用してもしなくてもよい。さも
なくば、このような動きは、他の方法で検出してもよ
い。

【００６８】したがって、本発明は、その最も広範囲の
様態において、示し、説明した特定の詳細に限定されな
い。結果として、以下の特許請求の範囲の精神および範
囲から逸脱することなく、本明細書に説明される詳細か
ら逸脱してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理によるプラズマ処理システムの斜
視図である。

【図２】図１のプラズマ処理システムのためのインフィ
ード・テーブルの斜視図である。

【図３】図２のインフィード・テーブルの側面図であ
る。

【図４】図２のインフィード・テーブルに使用されてい
るベルト・ドライブ・アセンブリの斜視図である。

【図５】ベアリング・ハウジングを取り除いた図４のベ
ルト・ドライブ・アセンブリの部分的端面図である。

【図６】図２のインフィード・テーブルの端面図であ
る。

【図６ａ】図６のインフィード・テーブルの端面図の一
部の分解図である。

【図７】図２のインフィード・テーブルの入力端部上に
位置するピンチ・ホイール・アセンブリの斜視図であ
る。

【図８】図２のインフィード・テーブルの排出端部上に
位置するブリッジの部分的斜視図である。

【図９】図１のプラズマ処理システムのための転送シス
テムの斜視図である。

【図１０】図９の転送システムの端面図である。

【図１１】図９の転送システム上の各プッシャ・バー・
アセンブリに使用されるジャム検出器の分解斜視図であ
る。

【図１２】図１のプラズマ処理システムに使用される制
御システムおよびアクチュエータの模式的ブロック図で
ある。

【図１３】図１のプラズマ処理システムのプラズマ処理
チャンバに使用される電極および工作物転送レールの部
分的斜視図である。

【図１４】図１３のプラズマ処理チャンバの電極および
レールの端面図である。

【図１５】図２のインフィード・テーブルの作業のサイ
クルを示すフローチャートである。

【図１６ａ】図９の転送システムの作業のサイクルを示
すフローチャートである。

【図１６ｂ】図９の転送システムの作業のサイクルを示
すフローチャートである。

【図１７】図１のアウトフィード・テーブルの作業のサ
イクルを示すフローチャートである。

フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ，ピー．ファジオ アメリカ合衆国 94520 カリフォルニア, コンコード，オリヴェラ ロード 2053ビ ー (72)発明者 デヴィッド イー．ホフマン アメリカ合衆国 94565 カリフォルニア, ピッツバーグ，ウエストゲイト ドライヴ 2211 (72)発明者 ジェームズ，エス．タイラー アメリカ合衆国 95632 カリフォルニア, ガルト，サウス エメラルド オーク ド ライヴ 141 Ｆターム(参考） 5F004 AA16 BC06 BD04 5F031 CA04 FA02 FA12 GA51 GA55 LA15 MA28 MA29 PA02 PA30 5F045 AA08 BB08 DP23 DQ10 EN04

Claims (68)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 工作物をプラズマ処理するためのシステ
   ムであって、 その中の工作物をプラズマ処理するためのプラズマ処理
   チャンバと、 ロード端部およびアンロード端部を有するインフィード
   ・テーブルであって、前記アンロード端部が前記プラズ
   マ処理チャンバの一方の端部に隣接して配設され、前記
   インフィード・テーブルが前記ロード端部において工作
   物を連続的に一度に１つずつ受容することができるイン
   フィード・テーブルと、 ロード端部およびアンロード端部を有するアウトフィー
   ド・テーブルであって、前記ロード端部が前記プラズマ
   処理チャンバの反対側の端部に隣接して配設され、前記
   アウトフィード・テーブルが前記アンロード端部から工
   作物を連続的に一度に１つずつ排出することができるア
   ウトフィード・テーブルと、 前記インフィード・テーブルに隣接して配置されたロー
   ド・プッシャ・アームと、 前記プラズマ処理チャンバに隣接して配置されたアンロ
   ード・プッシャ・アームとを備え、 前記ロード・プッシャ・アームおよび前記アンロード・
   プッシャ・アームは工作物を前記プラズマ処理チャンバ
   中で第１の方向に前記プラズマ処理チャンバから前記ア
   ウトフィード・テーブルの前記ロード端部上方に移動さ
   せ、かつ工作物を前記インフィード・テーブル上方で該
   第１の方向に前記インフィード・テーブルの前記アンロ
   ード端部上および前記プラズマ処理チャンバ中に移動さ
   せるように動作するシステム。
2. 【請求項２】 前記テーブルの一方はさらに該工作物の
   各々を該第１の方向に移動させることができるテーブル
   転送システムを備える請求項１に記載のシステム。
3. 【請求項３】 前記テーブル転送システムがさらに、複
   数の工作物を前記テーブルの一方の上に並列構成で支持
   することができるサポートを備える請求項２に記載のシ
   ステム。
4. 【請求項４】 前記テーブル転送システムがさらに、該
   工作物の１つを前記テーブルの一方の上で移動させるよ
   うに適合された工作物ドライブを備える請求項３に記載
   のシステム。
5. 【請求項５】 前記テーブル転送システムがさらに、該
   工作物の１つを該第１の方向に案内することができる１
   対のレールを備える請求項３に記載のシステム。
6. 【請求項６】 さらに、前記１対のレールの一方の端部
   に対して枢動可能に取り付けられ、前記テーブルの一方
   と前記プラズマ処理チャンバとの間に該工作物の該１つ
   のための下にあるサポートを与える第１の位置を有する
   ブリッジ・エレメントを備える請求項５に記載のシステ
   ム。
7. 【請求項７】 一方のレールが他方のレールに対して所
   望の位置に解放可能に固定可能に取り付けられる請求項
   ５に記載のシステム。
8. 【請求項８】 前記テーブル転送システムがさらに、前
   記レールの１つに回転可能に接続されたローラを備え、
   前記ローラはその横方向エッジに隣接して下側表面上に
   該工作物の該１つを支持するように適合された周辺表面
   を有する請求項５に記載のシステム。
9. 【請求項９】 前記テーブル転送システムがさらに、前
   記レールの前記１つの上に前記ローラに動作可能に接続
   可能なローラ・ドライブを備え、それにより前記ローラ
   が該工作物の該１つを前記テーブルの一方の上で転送す
   る請求項８に記載のシステム。
10. 【請求項１０】 前記テーブル転送システムがさらに、
    前記レールの各々に回転可能に接続されたローラを備
    え、前記ローラがその対向する横方向エッジに隣接する
    下側表面上に該工作物の該１つを支持するように適合さ
    れたそれぞれの周辺表面を有し、前記ローラ・ドライブ
    が、前記ローラに動作可能に接続可能であり、それによ
    り前記ローラが該工作物の該１つを前記テーブルの一方
    の上で転送する請求項９に記載のシステム。
11. 【請求項１１】 前記テーブル転送システムがさらに、
    前記レールの前記１つに回転可能に接続された１対のロ
    ーラを備え、前記ローラがその横方向エッジに隣接する
    下側表面上に該工作物の該１つを支持するように適合さ
    れたそれぞれの周辺表面を有し、前記ローラ・ドライブ
    が、前記ローラに動作可能に接続可能であり、それによ
    り前記ローラが該工作物の該１つを前記テーブルの一方
    の上で転送する請求項９に記載のシステム。
12. 【請求項１２】 前記テーブル転送システムがさらに、
    前記１対のローラ間に配置された固定のサポートを備
    え、前記固定のサポートが、前記横方向エッジに隣接す
    る前記下側表面上に該工作物の該１つを支持するための
    上側表面を有する請求項１１に記載のシステム。
13. 【請求項１３】 前記ローラ・ドライブがさらに、前記
    １対のローラを回転させ、かつ該工作物の該１つを前記
    １対のレール間および前記テーブルの一方の上で転送す
    るために、前記ローラの１つの上で前記ローラに対して
    接触状態と非接触状態との間で移動可能なドライブ・ベ
    ルトを備える請求項１０に記載のシステム。
14. 【請求項１４】 前記テーブル転送システムがさらに、
    前記レールの各々に回転可能に接続された１対のローラ
    を備え、１対のローラの各々は工作物の横側エッジにお
    ける下側表面上で該工作物を支持するように適合された
    周辺表面を有し、前記ローラ・ドライブは前記１対のロ
    ーラの各々に動作可能に接続可能であり、それにより前
    記ローラが該工作物を前記テーブルの一方の上で転送す
    る請求項１０に記載のシステム。
15. 【請求項１５】 前記ローラ・ドライブがさらに１対の
    ドライブ・ベルトを備え、前記１対のドライブ・ベルト
    の各々が、前記１対のローラの異なる１つに対して接触
    状態と非接触状態との間を一斉に移動可能であり、前記
    １対のドライブ・ベルトが、前記ローラを同時に回転さ
    せ、かつ該複数の工作物の該１つを前記１対のレール間
    および前記テーブルの前記一方の上で転送するために動
    作可能である、請求項１４に記載のシステム。
16. 【請求項１６】 前記テーブル転送システムがさらに１
    対のドライブ・ベルトを備え、前記１対のドライブ・ベ
    ルトの１つは該第１の位置に対して実質的に垂直な第２
    の方向に移動可能であり、かつ所望の位置に解放可能に
    固定可能であるように取り付けられる請求項１５に記載
    のシステム。
17. 【請求項１７】 前記テーブル転送システムがさらに、
    前記１対のドライブ・ベルトに動作可能に接続可能な第
    １のモータを備える請求項１５に記載のシステム。
18. 【請求項１８】 前記テーブル転送システムがさらに、
    該複数の工作物を該第１の方向に案内するための複数の
    レールを備える請求項３に記載のシステム。
19. 【請求項１９】 前記テーブル転送システムがさらに、
    前記複数対のレールを該第１の位置に対して実質的に直
    角な第２の方向に移動するためのレール転送システムを
    備える請求項１８に記載のシステム。
20. 【請求項２０】 さらに、レール転送システムに動作可
    能に接続され、前記テーブルの一方の端部に隣接して配
    設された工作物ハンドラに整合するように適合された第
    １の位置まで前記複数対のレールの各対を移動させるこ
    とができるレール・ドライブを備える請求項１９に記載
    のシステム。
21. 【請求項２１】 前記複数対のレールの各対の一方のレ
    ールが、該第２の方向に移動可能であり、かつ前記複数
    対のレールの各対の他方のレールに対して所望の位置に
    解放可能に固定可能であるように取り付けられる請求項
    ２０に記載のシステム。
22. 【請求項２２】 前記複数対のレールの各対の各レール
    が、該第２の方向に移動可能であり、かつ所望の位置に
    解放可能に固定可能であるように取り付けられる請求項
    ２０に記載のシステム。
23. 【請求項２３】 各対のレールの前記レールの１つが、
    前記１対のレールの前記１つの一方の端部に隣接する１
    対の対向するピンチャ・ローラを有する請求項１３に記
    載のシステム。
24. 【請求項２４】 各対のレールの前記レールの各々が、
    前記１対のレールの前記１つの一方の端部に隣接する１
    対の対向するピンチャ・ローラを有する請求項１３に記
    載のシステム。
25. 【請求項２５】 さらに、前記複数対のレールの各々の
    一方の端部に対して枢動可能に取り付けられ、前記テー
    ブルの前記一方と前記プラズマ処理チャンバとの間に該
    複数の工作物のための下にあるサポートを与える第１の
    位置を有するブリッジ・エレメントを備える請求項１８
    に記載のシステム。
26. 【請求項２６】 さらに、前記複数対のレールの各々の
    一方の端部に対して枢動可能に取り付けられた１対のブ
    リッジ・エレメントを備える請求項２５に記載のシステ
    ム。
27. 【請求項２７】 前記テーブルの一方がさらに、 該複数の工作物の各々を該第１の方向に移動させるよう
    に適合された第１のドライブと、 同じ複数の工作物を並列構成で支持するように適合され
    た複数のレールと、 前記複数のレールを該第１の位置に対して実質的に直角
    な第２の方向に移動させるように適合された第２のドラ
    イブとを備え、 該複数のレールの少なくとも１つが、約０．６２５〜６
    インチの変位によって前記複数のレールの他方のレール
    に対して移動可能である請求項１に記載のシステム。
28. 【請求項２８】 前記複数の工作物が前記テーブルの前
    記一方の上に並列に整合した約６つの工作物を支持する
    ように適合された約７つのレールを備える請求項２７に
    記載のシステム。
29. 【請求項２９】 さらに、前記ドライブを所望の動作サ
    イクルに従って動作させるために前記第１のドライブお
    よび第２のドライブと電気的に連絡する制御器を備える
    請求項２７に記載のシステム。
30. 【請求項３０】 工作物をプラズマ処理するためのシス
    テムであって、 その中の工作物をプラズマ処理するためのプラズマ処理
    チャンバと、 ロード端部およびアンロード端部を有するインフィード
    ・テーブルであって、前記アンロード端部が前記プラズ
    マ処理チャンバの一方の端部に隣接して配設され、前記
    インフィード・テーブルが前記ロード端部において工作
    物を連続的に一度に１つずつ受容するインフィード・テ
    ーブルと、 ロード端部およびアンロード端部を有するアウトフィー
    ド・テーブルであって、前記ロード端部が前記プラズマ
    処理チャンバの反対側の端部に隣接して配設され、前記
    アウトフィード・テーブルが前記アンロード端部から工
    作物を連続的に一度に１つずつ排出することができるア
    ウトフィード・テーブルと、 キャリッジと、 前記キャリッジ上に取り付けられ、前記インフィード・
    テーブルに隣接して配置されたロード・プッシャ・アー
    ムと、 前記キャリッジ上に取り付けられ、前記プラズマ処理チ
    ャンバに隣接して配置されたアンロード・プッシャ・ア
    ームとを備え、 前記キャリッジが前記ロード・プッシャ・アームと前記
    アンロード・プッシャ・アームの両方を移動させ、それ
    により、前記プラズマ処理チャンバ中の工作物が、第１
    の方向に前記プラズマ処理チャンバから前記アウトフィ
    ード・テーブルの前記ロード端部上に一緒に移動し、前
    記インフィード・テーブル上の工作物が、該第１の方向
    に前記インフィード・テーブルの前記アンロード端部上
    および前記プラズマ処理チャンバ中に一緒に移動するシ
    ステム。
31. 【請求項３１】 さらに、前記キャリッジに動作可能に
    接続され、前記キャリッジおよび前記プッシャ・アーム
    を該第１の方向に移動させるドライブを備える請求項３
    ０に記載のシステム。
32. 【請求項３２】 さらに、前記キャリッジと前記プッシ
    ャ・アームの一方との間に動作可能に接続されたアクチ
    ュエータを備え、前記アクチュエータが、前記プッシャ
    ・アームの前記一方を該第１の方向に対して実質的に直
    角な方向に移動させ、前記アクチュエータが、前記プッ
    シャ・アームの前記一方を、前記プッシャ・アームの前
    記一方が前記テーブルの一方の上の工作物の上を移動で
    きる第１の位置と第２の位置との間で移動させる請求項
    ３１に記載のシステム。
33. 【請求項３３】 前記プッシャ・アームの前記一方が前
    記第２の位置に入り、前記ドライブが前記キャリッジを
    該第１の位置まで移動させることに応答して、それぞれ
    の工作物に接触し、該それぞれの工作物を前記テーブル
    の前記一方の上に押し出すように適合されたプッシャ・
    エレメントを、前記プッシャ・アームの前記一方が備え
    る請求項３２に記載のシステム。
34. 【請求項３４】 前記プッシャ・エレメントが前記プッ
    シャ・アームに弾性的に取り付けられる請求項３３に記
    載のシステム。
35. 【請求項３５】 さらに、前記プッシャ・エレメントと
    前記プッシャ・アームとの間の相対運動を検出するため
    のセンサを備える請求項３４に記載のシステム。
36. 【請求項３６】 前記プッシャ・エレメントが該それぞ
    れの工作物に接触し、前記ドライブが前記キャリッジを
    該第１の方向に移動させる際に該工作物が移動しないこ
    とに応答して、前記センサが出力信号を発生する請求項
    ３５に記載のシステム。
37. 【請求項３７】 前記ロード・プッシャ・アームおよび
    前記アンロード・プッシャ・アームが前記キャリッジに
    解放可能に固定され、それにより前記ロード・プッシャ
    ・アームおよび前記アンロード・プッシャ・アームを異
    なる位置で前記キャリッジに固定することができる請求
    項２９に記載のシステム。
38. 【請求項３８】 プラズマ処理チャンバとの間で工作物
    を移動させる方法であって、 プラズマ処理チャンバに隣接してインフィード・テーブ
    ルおよびアウトフィード・テーブルを設けるステップ
    と、 該プラズマ処理チャンバ中に少なくとも３つの第１の工
    作物を格納するステップと、 少なくとも３つの第２の工作物を連続的に一度に１つず
    つインフィード・テーブル上に自動的に受容するステッ
    プと、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該アウト
    フィード・テーブル上に、 該第２の工作物を該インフィード・テーブルから該プラ
    ズマ処理チャンバ中に自動的かつ同時に転送するステッ
    プと、 該第１の工作物を該アウトフィード・テーブルから連続
    的に一度に１つずつ自動的に排出するステップとを備え
    る方法。
39. 【請求項３９】 転送するステップの前に、さらに、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバ中に並列に格
    納するステップと、 該第２の工作物を該インフィード・テーブル上に並列に
    格納するステップとを備える請求項３８に記載の方法。
40. 【請求項４０】 転送するステップの後に、さらに、 該第１の工作物を該アウトフィード・テーブル上に並列
    に格納するステップと、 該第２の工作物を該プラズマ処理チャンバ中に並列に格
    納するステップとを備える請求項３８に記載の方法。
41. 【請求項４１】 プラズマ処理チャンバとの間で工作物
    を移動させる方法であって、 プラズマ処理チャンバに隣接してインフィード・テーブ
    ルおよびアウトフィード・テーブルを設けるステップ
    と、 第１の工作物をプラズマ処理するために該プラズマ処理
    チャンバ中に該第１の工作物を並列に格納するステップ
    と、 該第１の工作物のプラズマ処理中に第２の工作物を連続
    的に一度に１つずつ該インフィード・テーブル上に自動
    的に受容するステップと、 該第２の工作物を該インフィード・テーブル上に並列に
    格納するステップと、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該アウト
    フィード・テーブル上に、 該インフィード・テーブルから該第２の工作物を該プラ
    ズマ処理チャンバ中に自動的かつ並列に転送するステッ
    プとを備える方法。
42. 【請求項４２】 さらに、 該第１の工作物を該アウトフィード・テーブル上に並列
    に格納するステップと、 該第２の工作物のプラズマ処理中に該第１の工作物を連
    続的に一度に１つずつ該アウトフィード・テーブルから
    自動的に排出するステップとを備える請求項４１に記載
    の方法。
43. 【請求項４３】 さらに、該第２の工作物のプラズマ処
    理中に第３の工作物を連続的に一度に１つずつ該インフ
    ィード・テーブル上に自動的に受容するステップとを備
    える請求項４２に記載の方法。
44. 【請求項４４】 プラズマ処理チャンバとの間で工作物
    を移動させる方法であって、 プラズマ処理チャンバに隣接してインフィード・テーブ
    ルおよびアウトフィード・テーブルを設けるステップ
    と、 第１の工作物を連続的に一度に１つずつ該インフィード
    ・テーブル上に自動的に受容するステップと、 該第１の工作物を該インフィード・テーブル上に並列に
    格納するステップと、 該第１の工作物を該インフィード・テーブルから該プラ
    ズマ処理チャンバ中に自動的かつ並列に転送するステッ
    プと、 該第１の工作物のプラズマ処理中に第２の工作物を連続
    的に一度に１つずつ該インフィード・テーブル上に自動
    的に受容するステップと、 該第２の工作物を該インフィード・テーブル上に並列に
    格納するステップと、該第１の工作物をプラズマ処理し
    た後に、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該アウト
    フィード・テーブル上に、 該インフィード・テーブルから該第２の工作物を該プラ
    ズマ処理チャンバ中に同時かつ並列に転送するステップ
    とを備える方法。
45. 【請求項４５】 さらに、 該第２の工作物のプラズマ処理中に第３の工作物を連続
    的に一度に１つずつ該インフィード・テーブル上に自動
    的に受容するステップと、 該第３の工作物を該インフィード・テーブル上に並列に
    格納するステップと、 該第２の工作物のプラズマ処理中に該第１の工作物を該
    アウトフィード・テーブルから連続的に一度に１つずつ
    自動的に排出するステップと該第２の工作物をプラズマ
    処理した後に、 該プラズマ処理チャンバから該第２の工作物を該アウト
    フィード・テーブル上に、 該インフィード・テーブルから該第３の工作物を該プラ
    ズマ処理チャンバ中に同時かつ並列に転送するステップ
    とを備える請求項４４に記載の方法。
46. 【請求項４６】 第１の工作物を自動的に受容する該ス
    テップがさらに、 該第１の工作物の１つを該インフィード・テーブル上に
    受容するステップと、 該第１の工作物の該１つを該インフィード・テーブルの
    排出端部に向けて第１の方向に移動させるステップと、 該インフィード・テーブルを、該インフィード・テーブ
    ルの一部分を工作物受容位置に整合させる位置まで移動
    させるステップと、 該第１の工作物の他の１つを該インフィード・テーブル
    上に受容するステップと、 該第１の工作物の該他の１つを該第１の方向に移動させ
    るステップとを備える請求項４４に記載の方法。
47. 【請求項４７】 さらに、該インフィード・テーブルを
    該第１の位置に対して実質的に直角な第２の方向に、該
    インフィード・テーブルの一部分を該工作物受容位置に
    整合させる位置まで移動させるステップを備える請求項
    ４６に記載の方法。
48. 【請求項４８】 さらに、該インフィード・テーブルを
    移動させる前に該第１の工作物の該１つの移動を停止す
    るステップを備える請求項４６に記載の方法。
49. 【請求項４９】 さらに、該第１の工作物の他の１つを
    該インフィード・テーブル上に受容し、該第１の工作物
    の該他の１つを該第１の方向に移動させる該ステップ
    を、該第１の工作物のすべてが該インフィード・テーブ
    ル上にロードされるまで繰り返すステップを備える請求
    項４６に記載の方法。
50. 【請求項５０】 第２の工作物を自動的に受容する該ス
    テップがさらに、 該第２の工作物の１つを該インフィード・テーブル上に
    受容するステップと、 該第２の工作物の該１つを該インフィード・テーブルの
    排出端部に向けて第１の方向に移動させるステップと、 該インフィード・テーブルを、該インフィード・テーブ
    ルの一部分を工作物受容位置に整合させる位置まで移動
    させるステップと、 該第２の工作物の他の１つを該インフィード・テーブル
    上に受容するステップと、 該第２の工作物の該他の１つを該第１の方向に移動させ
    るステップとを備える請求項４４に記載の方法。
51. 【請求項５１】 さらに、該インフィード・テーブルを
    該第１の位置に対して実質的に直角な第２の方向に、該
    インフィード・テーブルの一部分を該工作物受容位置に
    整合させる位置まで移動させるステップを備える請求項
    ５０に記載の方法。
52. 【請求項５２】 さらに、該インフィード・テーブルを
    移動させる前に該第２の工作物の該１つの移動を停止す
    るステップを備える請求項５１に記載の方法。
53. 【請求項５３】 さらに、該第２の工作物の他の１つを
    該インフィード・テーブル上に受容し、該第２の工作物
    の該他の１つを該第１の方向に移動させる該ステップ
    を、該第２の工作物のすべてが該インフィード・テーブ
    ル上にロードされるまで繰り返すステップを備える請求
    項５０に記載の方法。
54. 【請求項５４】 該第１の工作物を該アウトフィード・
    テーブル上に転送するステップの後に、さらに、 該第１の工作物の１つを該アウトフィード・テーブルの
    排出端部に向けて第１の方向に移動させるステップと、 該アウトフィード・テーブルから該第１の工作物の該１
    つを転送するステップと、 該アウトフィード・テーブルを、該第１の工作物の他の
    １つを工作物受容位置に整合させる位置まで移動させる
    ステップと、 該第２の工作物の該他の１つを該アウトフィード・テー
    ブルの該排出端部に向けて移動させるステップと、 該アウトフィード・テーブルから該第２の工作物の該他
    の１つを転送するステップとを備える請求項４４に記載
    の方法。
55. 【請求項５５】 さらに、該アウトフィード・テーブル
    を該第１の位置に対して実質的に直角な第２の方向に、
    該第１の工作物の該他の１つを該工作物排出位置に整合
    させる位置まで移動させるステップを備える請求項５４
    に記載の方法。
56. 【請求項５６】 さらに、該アウトフィード・テーブル
    を移動させる前に該第１の工作物の該１つの移動を停止
    するステップを備える請求項５４に記載の方法。
57. 【請求項５７】 さらに、該第１の工作物の他の１つを
    該アウトフィード・テーブル上に受容し、該第１の工作
    物の該他の１つを該第１の方向に移動させる該ステップ
    を、該第１の工作物のすべてが該アウトフィード・テー
    ブル上にロードされるまで繰り返すステップを備える請
    求項５４に記載の方法。
58. 【請求項５８】 さらに、第１のプッシャ・エレメント
    を、該インフィード・テーブル上のそれぞれの第２の工
    作物の端部に直ぐに隣接する位置まで下げるステップ
    と、 第２のプッシャ・エレメントを、該プラズマ処理チャン
    バ中のそれぞれの第１の工作物の端部に直ぐに隣接する
    位置まで下げるステップと、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該アウト
    フィード・テーブル上に移動させるために、該第２のプ
    ッシャ・エレメントを該アウトフィード・テーブルに向
    けて該第１の方向に移動させるステップと、 該第２の工作物を該インフィード・テーブルから該プラ
    ズマ処理チャンバ中に移動させるために、該第１のプッ
    シャ・エレメントを該インフィード・テーブルの放出端
    部に向けて該第１の方向に移動させるステップとを備え
    る請求項４４に記載の方法。
59. 【請求項５９】 さらに、該第１および第２のプッシャ
    ・エレメントを同時に該第１の方向に移動させるステッ
    プを備える請求項５８に記載の方法。
60. 【請求項６０】 さらに、該第１および第２のプッシャ
    ・エレメントを同時に該第１の方向に移動させ、該それ
    ぞれの第１および第２の工作物の端部に接触させ、その
    後、該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該ア
    ウトフィード・テーブルまで移動させ、該第２の工作物
    を該インフィード・テーブルから該プラズマ処理チャン
    バ中に移動させるために、引き続き該第１および第２の
    プッシャ・エレメントを同時に移動させるステップを備
    える請求項５８に記載の方法。
61. 【請求項６１】 引き続き該第１および第２のプッシャ
    ・エレメントを移動させる前に、該インフィード・テー
    ブルおよび該アウトフィード・テーブルと該プラズマ処
    理チャンバとの間にブリッジ・エレメントを下げるステ
    ップを備える請求項５８に記載の方法。
62. 【請求項６２】 さらに、該第２の工作物が該プラズマ
    処理チャンバ中に移動するのに応答して、該第１および
    第２のプッシャ・エレメントの移動を停止するステップ
    と、 該第１のプッシャ・エレメントを該第２の工作物より上
    の位置まで上げるステップと、 該第１の工作物を該アウトフィード・テーブル上に引き
    続き移動させるために、該第１および第２のプッシャ・
    エレメントおよび該第１の工作物を該第１の方向に引き
    続き移動させるステップとを備える請求項５９に記載の
    方法。
63. 【請求項６３】 さらに、該第２の工作物が該プラズマ
    処理チャンバの中心付近まで移動するのに応答して、該
    第１および第２のプッシャ・エレメントの移動を停止す
    るステップを備える請求項６２に記載の方法。
64. 【請求項６４】 さらに、該第１の工作物が該アウトフ
    ィード・テーブル上に移動するのに応答して、第１およ
    び第２のプッシャ・エレメントの移動を停止するステッ
    プと、 該第２のプッシャ・エレメントを該第２の工作物より上
    の位置まで上げるステップと、 該第１および第２のプッシャ・エレメントを、該プラズ
    マ処理チャンバの動作を妨害しない位置まで移動させる
    ステップとを備える請求項６３に記載の方法。
65. 【請求項６５】 さらに、該第１および第２のプッシャ
    ・エレメントを、該プラズマ処理チャンバの動作を妨害
    しない位置まで、該第１の方向に対向する第２の方向に
    移動させるステップとを備える請求項６４に記載の方
    法。
66. 【請求項６６】 さらに、引き続き第該１および第２の
    プッシャ・エレメントを移動させた後に、該インフィー
    ド・テーブルおよび該アウトフィード・テーブルと該プ
    ラズマ処理チャンバとの間にブリッジ・エレメントを上
    げるステップを備える請求項６２に記載の方法。
67. 【請求項６７】 工作物をプラズマで処理する方法であ
    って、 プラズマ処理チャンバに隣接してインフィード・テーブ
    ルおよびアウトフィード・テーブルを設けるステップ
    と、 第１の工作物を連続的に一度に１つずつインフィード・
    テーブル上に自動的に受容するステップと、 該第１の工作物を該インフィード・テーブルから該プラ
    ズマ処理チャンバ中に自動的かつ並列に転送するステッ
    プと、 該第１の工作物をプラズマ処理するために該プラズマ処
    理チャンバを動作させるステップと、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該アウト
    フィード・テーブル上に自動的かつ並列に転送するステ
    ップとを備える方法。
68. 【請求項６８】 工作物をプラズマで処理する方法であ
    って、 第１の工作物を連続的に一度に１つずつインフィード・
    テーブル上に自動的に受容するステップと、 該第１の工作物を該インフィード・テーブルから該プラ
    ズマ処理チャンバ中に自動的かつ並列に転送するステッ
    プと、 該第１の工作物をプラズマ処理するために該プラズマ処
    理チャンバを動作させるステップと、 第２の工作物を連続的に一度に１つずつ該インフィード
    ・テーブル上に自動的に受容するステップと、 該第１の工作物を該プラズマ処理チャンバから該アウト
    フィード・テーブル上に、 該第２の工作物を該インフィード・テーブルから該プラ
    ズマ処理チャンバ中に自動的かつ並列に転送するステッ
    プと、 該第１の工作物を該アウトフィード・テーブルから連続
    的に一度に１つずつ自動的に排出するステップとを備え
    る方法。