JPS63139811A - 枚葉製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は例えば板状のプリント基板、ガラス板、ウェハ
ー等の部材を製造し、複数の処理装置からなる枚葉製造
装置に係り、特に連続的な製造を可能とするものに関す
る。

（従来の技術） 製品の製造装置の中にはマガジンラックあるいはカセッ
ト容器内に板状のプリント基板、ガラス板、ウェハー等
の部材を収容して、マガジンラック単位あるいはカセッ
ト単位で製造処理するものがある。以下第６図を参照し
てそのような装置の一例を説明する。第６図は装置の概
略構成を示す斜視図であり、図中符号１で示すのは夫々
が独立した処理装置である。これら各処理装置１で所定
の化学処理あるいは組立処理が施される。上記各処理装
置１にはローダ部２、及びアン−ローダ部３が夫々形成
されており、上記ローダ部２にはローダ部カセット４が
設置され、一方上記アンローダ部３にはアンローダ部カ
セット５が配置されている。尚これらローダ部カセット
４及びアンローダ部カセット５は同じものである。上記
ローダ部カセット４の下方にはローダ部エレベータ機構
６が設置されており、又上記アンローダ部カセット５の
下方にはアンローダ部エレベータ機構７が設置されてい
る。上記ローダ部カセット４内には処理前の被処理部材
８が収容されており、又上記アンローダ部カセット５内
には処理済みの被処理部材８が収容されている。

上記構成によると、まずローダ部カセット４内の一枚の
被処理部材８が処理装置１内に導入される。尚この場合
にはローダ部カセット４内の被処理部材８は下方から順
次導入されていき、その都度ローダ部エレベータ機構６
が作動してローダ部カセット４は図中矢印ａで示すよう
に降下する。

処理袋Ｗ１１内に導入された被処理部材８にはそこで所
定の処理が施され、アンローダ部カセット５内に流出す
る。次に上述したようにローダ部エレベータ機構６が下
降動作を開始する。そして次の被処理部材８が図示しな
い検出器により検出されると、ローダ部エレベータ機構
６は降下動作を停止する。その状態で次の被処理部材８
がローダ部カセット４内から処理装置１内に導入される
。この処理装置１内にて所定の処理が施され、アンロー
ダ部カセット５内に流出する。一方アンローダ部カセッ
ト５はアンローダ部エレベータ磯構７により図中矢印す
で示すように所定量ずつ上昇していく。以下順次同様の
動作が繰返される。又かかる動作は複数設置された処理
装置１夫々において同様に行われる。また１つの処理装
置１にて所定の処理が施された場合には、作業員が処理
済みの被処理部材８を収容したアンローダ部カセット５
を次の処理装＠１まで搬送してセットする。以下同様に
処理装置１と処理装置１との間で作業員がカセット毎搬
送して所定の処理を施していく。

上記構成によると以下のような問題がある。すなわち前
述したように各処理装置１は夫々独立した状態にあり、
よっである処理装置１にて所定の処理が施された被処理
部材８をアンローダカセット５内に収容した状態で次の
処理装置ｉ１まで作業員が搬送しなければならず、連続
的な製造が不可能であるととともに、製造に長時間を要
してしまうという問題があった。またこれに対しては処
理装置１と別の処理装置１との間にロボットハンドリン
グ装置を介在させて、このロボットハンドリング装置に
より被処理部材８の搬送をなすことが考えられている。

しかしながら上述したように処理装置１と別の処理装置
１との間ではカセット単位で搬送が行われる必要があり
（カセット単位で取扱うことにより、被処理部材がどの
程度の処理段階のものかを明確にする趣旨であり、例え
ば半導体ウェハーのような場合には外観からはどの程度
の処理が施されたものかを判断することは困難であるこ
とに基ずく）、よって上記ロボットハンドリング装置も
カセットを取扱うことができるものでなければならず、
その結果人身りなものとなってしまう。

（発明が解決しようとする問題点）。

このように従来の枚葉製造装置にあっては、連続的な製
造が不可能であるとともに、ロボットハンドリング装置
等を使用して連続的な製造を行なおうとした場合には、
極めて人身りな装置を必要としてしまうという問題があ
り、本発明はこのような点に基づいてなされたものでそ
の目的とするところは、装置の大型化・複雑化を来たす
ことなく連続的な製造を可能とする枚葉製造装置を提供
することにある。

［発明の構成］ ・（問題点を解決するための手段） すなわち本発明による枚葉製造装置は、直列に複数の処
理装置を配置し、被処理部材をこの複数の処理装置に順
次導入して夫々の処理装置で所定の処理を施す枚葉製造
装置において、上記複数の処理装置間にバッファー装置
を設置して、このバッファー装置は上記被処理部材を搬
送する搬送機構と、この搬送機構に介在せられ上記被処
理部材を複数収容可能な被処理部材収容機構とから構成
されていることを特徴とするものである。

（作用） つまり複数の処理装置間に被処理部材を搬送する搬送機
構、及びこの搬送機構に介在せられ複数の被処理部材を
収容可能な被処理部材収容機構とからなるバッファー装
置を配置して、このバッファー装置により処理装置から
処理装置への被処理部材の搬送をなすとともに、ある処
理装置にて故障が発生しその運転が停止したような場合
には、その処理ｖｉｔｍの手前の処理装置から流出して
くる被処理部材を収容することにより処理部材の流れを
停止させることなく継続させるものである。

（実施例） 以下第１図乃至第５図を９照して本発明の一実施例を説
明する。第１図は本実施例による枚葉製造装置の構成を
示す斜視図であり、図中符号１０１ａ、１０１ｂ１１０
１ｃは夫々処理装置である。これら各処理装置１０１ａ
乃至１０１Ｃでは所定の化学処理あるいは組立処理が施
される。

又図中符号１０２は被処理部材であり、本実施例では被
処理部材として半導体製造のウェハーを想定する。この
ウェハー１０２に上記各処理装置１０１ａ乃至１０１Ｃ
で所定の処理が施されるものである。上記各処理装置１
０１ａ乃至１０１Ｃ間には夫々バッファー装置ｆ１０３
が設置されている。このバッファー装置１０３の設置に
より従来のローダ・アンローダ部分を省略するとともに
、各処理装置１０１ａ乃至１ｏ１Ｃ１！！Ｉでウェハー
１０２の搬送等をなす。

上記バッファー装置１０３であるが、処理装置１０１ａ
および１０１ｂ間に介在するバッファー装置１０３を例
にとって説明する。バッファー装置１０３は２力セツト
方式を採用しており、ウェハー１０２の進行方向と直交
する方向に配列された２つのカセット１０４及び１０５
を備えている。

上記カセット１０４は第３図及び第４図に示すように支
持台１０６ａに支持されており、この支持台１０６ａに
はボールナツト部１０７ａが取付けられている。このポ
ールナツト部１０７ａはボールねじ１０８ａに螺合して
おり、またこのボールねじ１０８ａは駆動モータ１０９
ａに連結されている。よってこの駆動モータ１０９ａを
駆動することにより支持台１０６ａを介してカセット１
０４が昇降する。尚第３図生得号１２５はガイドである
。またカセット１０５側も同様の構成となっており、同
一部分にｂ符号を付して示す。

上記カセット１０４、及び１０５内にはウェハー１０２
を一枚支持する支持部１１０が鉛直方向に複数段設置さ
れている。又第２図に示すようにカセット１０４を挟ん
でウェハー１０２の進行方向両側にはベルトコンベア１
１１が２基ずつその一部をカセット１０４内に挿入した
状態で設置されている。また上記各ベルトコンベア１１
１と各処理装置１０１ａ及び１０１ｂとの間にはベルト
コンベア１１２が夫々２基ずつ設置されている。

このベルトコンベア１１２は第３図に示すように支持台
１１３に支持されており、この支持台１１３にはシリン
ダ機構１１４が連結されている。

このシリンダ機構１１４を駆動することにより、シリン
ダ機構１１４のシリンダ１１４ａに連結された支持台１
１３を介してベルトコンベア１１２が昇降する。−力筒
１図に示すように各処理装置１０１ａ及び１０１ｂ側に
もベルトコンベア１１５が夫々２基ずつ配置されている
。そして通常運転時にはウェハー１０２は処理装置１０
１ａからベルトコンベア１１５を介して流出し、バッフ
ァー装ｆｉｌ　０３側のベルトコンベア１１２及びベル
トコンベア１１１を介してカセット１０４内に流入する
。そしてカセット１０４を通過してベルトコンベア１１
１及び１１２を介して次の処理装置ｔ１０Ｉｂ側に搬送
され、さらにベルトコンベア１１５を介して処理装置１
１０１ｂ内に導入されて所定の処理が施される。

一方前記カセット１０５側にも第２図に示すようにカセ
ット１０４側のベルトコンベア１１１及び１１２と同様
のベルトコンベア１１６及び１１７が設置されており、
その内ベルトコンベア１１７はベルトコンベア１１２と
同様に昇降可能となっている。上記ベルトコンベア１１
２と１１７との間にはウェハー１０２の連行方向と直交
する方向にベルトコンベア１１８．１１９．１２０１１
２１、及び１２２が夫々２基ずつ配置されている。また
第２図に示すようにバッファー装置１０３には４つの検
出器１３１乃至１３４が設置されている。これら検出器
１３１乃至１３４により移送されてくるウェハー１０２
を検出して前記ベルトコンベア１１２及び１１７の上下
動を適宜制御する。尚処理装置１０１ｂ及び１０１Ｃと
の間に介在せられたバッファー装置１０３はもとより図
示しない他の処理装置間に介在されたバッファー装置も
同様の構成である。

以上の構成を基にその作用を説明する。

■まず正常運転時について説明する。正常運転時には第
５図（ａ）に示すように処理装置１０１ａから流出した
ウェハー１０２はバッファー装置１０３のカセット１０
４を通過して次の処理装置１０１ｂ内に導入される。す
なわち処理装置１０１ａにて所定の処理を施されたウェ
ハー１０２はベルトコンベア１１５によってバッファー
装置１０３側に搬送され、バッファー装置１０３のベル
トコンベア１１２及び１１１を介してカセット１０４内
に挿入される。カセット１０４内に挿入されたウェハー
１０２はカセット１０４を通過してベルトコンベア１１
１及び１１２を介して次の処理装置１０１ｂ側に搬送さ
れる。そしてベルトコンベア１１５を介して処理装置１
０１ｂ内に導入され所定の処理が施される。

かかる作用は処理装置１０１ｂ及び１０１Ｃとの間でも
同様である。以下順次同様の作用により処理が進行し、
ウェハー１０２に所定の処理が連続的に施されていく。

■次にある処理装置、仮に処理装置１０１ｂにて故障が
発生した場合について説明する。この場合には故障した
処理装置１０１ｂへのウェハー１０２の導入を停止して
、カセット１０４及び１０５内にウェハー１０２を収容
していく。すなわち第１図中左側に示されている上流側
処理装置１０１から流出してきたウェハー１０２はベル
トコンベア１１２及び１１１を介してカセット１０４の
最上段の支持部材１１０上に載置される１この最上段の
支持部材１１０上にウェハー１０２が載置されたら駆動
モータ１０９ａが駆動してカセット１０４を所定量上昇
させる。ここに所定量とは最上段から２番目の支持部材
１１０をウェハー１０２収容位置に位置させるに必要な
所定量である。そして次のウェハー１０２が同様にして
上記２番目の支持部材１１０上に収容されていく。

以下順次同様の作用によりカセット１０４内に上方から
順次ウェハー１０２が収容されていく。その際ウェハー
１０２の処理をカセット単位で行ないかつ異なるカセッ
トのウェハー１０２の混入を防止する必要がある。そこ
で上記カセット１０４内にあるカセットに所属する最終
のウェハー１０２が収容されたら、そこでカセット１０
４へのウェハー１０２の収容は停止させる。尚最終ウェ
ハー１０２であることは例えば上流側のバッファー装置
からの信号により確認する。そして次のカセットに所属
する最初のウェハー１０２からはカセット１０５側に収
容されていく。すなわち検出器１３１によるウェハー１
０２の検出によりシリンダ機構１１４が駆動してベルト
コンベア１１２が所定量降下する。これによってウェハ
ー１０２はベルトコンベア１１８乃至１２２上に載置さ
れることとなり、カセット１０５側に搬送される。そし
てウェハー１０２がカセット１０５のライン上まで移動
せられたところで検出器１３２がこれを検出し、この検
出器１３２からの検出信号によりベルトコンベア１１７
が上昇する。これによってウェハー１０２はベルトコン
ベア１１７によってカセット１０５方向に搬送され、さ
らにベルトコンベア１１６によってカセット１０５内に
収容される。以下順次カセット１０５内に収容されてい
く。その際カセット１０５が駆動モータ１０９ｂにより
徐々に上昇せられるのは、カセット１０４の場合と同様
である。

このようにして処理装ｍ１ｏｉから流出してくるウェハ
ー１０２がカセット１０４及び１０５内に収容されてい
る間に前記故障した処理装置１０１ｂの点検・修理をな
し、修復する。そして修復した侵運転を再開する。この
場合にはまずカセット１０４内に収容されているウェハ
ー１０２から放出していく。すなわちカセット１０４内
に収容されているウェハー１０２の内最下段に収容され
ているウェハー１０２から順次ベルトコンベア１１１及
び１１２を介して放出されていき、カセット１０４は所
定量ずつ降下していく。そしてカセット１０４内のウェ
ハー１０２が全て放出された後、カセット１０５内のウ
ェハー１０２の放出を開始する。この場合にはベルトコ
ンベア１１７及び１１２の上下動を検出器１３３及び１
３４からの検出信号に基づいて適宜制御して行なう。ま
たかかるウェハー１０２の放出動作を行なっている間も
新しいウェハー１０２がバッファー装置１０３内に流入
してくる。この流入してくるウェハー１０２については
、例えばカセット１０４が放出動作を行なっている間は
カセット１０５内に収容し、逆にカセット１０５が放出
動作を行なっている間はカセット１０４内に収容してい
く。この場合にもベルトコンベア１１２及び１１７の上
下動を検出器１３１及び１３２からの検出信号に基づい
て適宜制御しながら行なう。以上の動作は他の処理装置
が故障したような場合も同様である。

以上本実施例によると以下のような効果を奏することが
できる。

■まずウェハー１０２に連続的に処理を施すことができ
る。すなわち処理装置１０１ａ乃至１０１Ｃ間にはバッ
ファー装置１０３が介挿され、通常運転時には処理装置
１０１ａ乃至１０１Ｃ側のベルトコンベア１１５、バッ
ファー装置１０３側のベルトコンベア１１１及び１１２
を介してウェハー１０２が流れていくので、例えば処理
装置１０１ａにて処理が終了したウェハー１０２は次の
処理装置１０１ｂに自動的に搬送されていき処理が施さ
れる。このように連続的な処理が可能となったので、処
理に要する時間が大幅に短縮されるとともにそれに要す
る時間も短縮される。よってコストを大幅に低減させる
ことが可能となる。

また上記バッファー装置１０３はその構成が簡単であり
、従来考えられていたロボットハンドリング装置等に比
べるとコンパクトである。

■次にある処理装置、例えば処理袋＠１０１ｂに故障が
発生して該処理装置１０１ｂへのウェハー１０２の導入
が不可能になっても、ある一定時間についてはラインを
停止させることなく継続させることができる。すなわち
処理袋ｆｉｆ１０１ｂが故障して該処理装置１０１ｂへ
のウェハー１０２の導入が不可能になっても、その上流
側のバッファー装Ｍ１０３のカセット１０４．１０５内
にウェハー１０２を収容することができるからである。

そして故障した処理袋［１０”ｌが修復された場合には
カセット１０４及び１０５内に収容されたウェハー１０
２を放出していく。このように処理装置１０１ｂに故障
が発生してもある一定時間についてはラインを停止させ
ることなく継続させることができ、製造効率を向上させ
ることができる。

これは他の処理装置１０１ａ及び１０１ｃ、さらには図
示しない処理装置に故障が発生した場合も同様である。

■また本実施例の場合には、最初にカセット１０４内に
ウェハー１０２を収容し、次の異なるカセットに所属す
るウェハー１０２についてはカセット１０５内に収容す
る構成であり、かつ故障した処理装置ｔ１０１が修復さ
れた場合には最初にウェハー１０２を収容したカセット
１０４から放出するようにしているので、異なるカセッ
トに所属するウェハー１０２が混じるという事態を回避
することができる。

尚本発明は前記一実施例に限定されるものではなく、例
えば１箇所のバッファー装置１０３が一杯になるまでウ
ェハー１０２を収容しても故障した処理装置１０１が回
復しないような場合には、さらにその上流側のバッフｙ
−１Ａ置１０３を機能させてウェハー１０２を収容する
ようにしてもよい。

また故障した処理装置が修復されてその運転を開始する
場合であるが、前記実施例では放出動作と収容動作を同
時に行なうようにしていたが、例えば収容したウェハー
１０２を全て放出するまで上流側の処理装置の運転を停
止して、全て放出した後運転を再開するようにしてもよ
い。これらの点については適宜変更可能である。

またカセットの数であるが、これも２つに限定されるも
のではなく、１つあるいは２つ以上でもよいことはもと
よりである。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明による枚葉製造装置によると
、装置の大型化及び複雑化を来たすことなく連続製造を
可能とすることができ、またある処理装置で故障が発生
してもある一定時間についてはラインを停止させる必要
がないので、製造効率を大幅に向上させることができる
等その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は本発明の一実施例を示す図で、第１
図は枚葉製造装置の斜視図、第２図はバッファー装置の
一部平面図、第３図は第２図の■−■断面図、第４図は
第２図のＩＶ−ｒＶ断面図、第５図（ａ）、（ｂ）は作
用を説明するための図、第６図は従来の枚葉製造装置の
斜視図である。 １０１・・・処理装置、１０２・・・ウェハー（被処理
部材）、１０３・・・バッファー装置、１０４．１０５
・・・カセット、１１１，１１２，１１６，１１７゜１
１８．１１９，１２１，１２２・・・ベルトコンベア。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第３図 第４図 第５図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）直列に複数の処理装置を配置し、被処理部材をこ
   の複数の処理装置に順次導入して夫々の処理装置で所定
   の処理を施す枚葉製造装置において、上記複数の処理装
   置間にバッファー装置を設置して、このバッファー装置
   は上記被処理部材を搬送する搬送機構と、この搬送機構
   に介在せられ上記被処理部材を複数収容可能な被処理部
   材収容機構とから構成されていることを特徴とする枚葉
   製造装置。
2. （２）上記被処理部材収容機構は、複数段の支持部を備
   えこれら複数段の支持部夫々に上記被処理部材を収容す
   る昇降可能なカセットであることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の枚葉製造装置。
3. （３）上記被処理部材収容機構は、この機構直前の処理
   装置を通過する所定ロッドの先頭および最後尾被処理部
   材からの通過信号を受けて、上記ロッドのみを収容する
   ものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の枚葉製造装置。
4. （４）上記バッファー装置は処理装置間で対になつてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の枚葉製
   造装置。