JP2002519483A - フッ素化エレクトレット - Google Patents

フッ素化エレクトレット

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Abstract

(57)【要約】 高分子物品をフッ素化することによって表面のフッ素化が行われた表面改質された高分子物品を備えるエレクトレット。エレクトレットは、帯電したミクロ繊維を含む不織繊維ウェブであって、その繊維の表面の上に少なくとも０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比でＣＦ3及びＣＦ2基を含有する、フッ素化された不織繊維ウェブであってもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 技術分野 この発明は、フッ素化エレクトレットの作製に関する。
【０００２】 背景技術 不織高分子繊維ウェブの濾過特性は、前記ウェブをエレクトレットに、すなわ
ち、準永久電荷を示す誘電体に変換することによって改善され得る。エレクトレ
ットは、エーロゾルフィルターの粒子捕捉を向上させるのに有効である。エレク
トレットは、例えば、エアフィルター、フェースマスク、及び呼吸用マスクなど
のいろいろな装置、マイクロホン、ヘッドホン、及び静電記録計などの電気−音
響装置の静電素子として有用である。
【０００３】 エレクトレットは最近、直流（「ＤＣ」）コロナ帯電（例えば、米国特許第３
０，７８２号（ファン・ターンハウト）参照）、及び流水帯電（ｈｙｄｒｏｃｈ
ａｒｇｉｎｇ）（例えば、米国特許第５，４９６，５０７号（アンガジバンドら
）を参照のこと）などのいろいろな方法によって製造され、特定のエレクトレッ
トの繊維を製造するために用いた溶融体中にフルオロケミカルを混入することに
よって改善され得る（例えば、米国特許第５，０２５，０５２号（クレイターら
）を参照のこと）。
【０００４】 エレクトレットフィルターが接触する粒子及び汚染物質の多くはそのウェブの
濾過能力を妨げる。液体エーロゾル、例えば、特に油状エーロゾルは、エレクト
レットフィルターにそれらのエレクトレットの向上した濾過効率を低下させる傾
向がある（例えば、米国特許第５，４１１，５７６号（ジョーンズら）。
【０００５】 多数の方法が、濾過効率の低下を償うために開発された。１つの方法は、ウェ
ブの層を付加するかまたはエレクトレットフィルターの厚さを増大させることに
よってエレクトレットフィルター中の不織高分子ウェブの量を増大させる工程を
含む。しかしながら、付加的なウェブは、エレクトレットフィルターの呼吸抵抗
を増大させ、エレクトレットフィルターの重量及び嵩を増し、エレクトレットフ
ィルターのコストを増大させる。油状エーロゾルに対するエレクトレットフィル
ターの耐性を改善するための別の方法は、フルオロケミカルオキサゾリジノン、
フルオロケミカルピペラジン、及び過フッ素化アルカンなどの溶融加工性フルオ
ロケミカル添加剤を含有する樹脂からエレクトレットフィルターを形成する工程
を含む。（例えば、米国特許第５，０２５，０５２号（クレイターら）を参照の
こと）。前記のフルオロケミカルは溶融加工可能であるのがよく、すなわち、特
定のエレクトレットの繊維ウェブに用いられるミクロ繊維を形成するために用い
た溶融加工条件下で実質的に劣化しないのがよい。（例えば、公開第９７／０７
２７２号（ミネソタマイニングアンドマニュファクチュアリング）を参照のこと
）。
【０００６】 発明の要旨 １つの態様において、本発明は、高分子物品をフッ素化することによって表面
のフッ素化が行われた表面改質された高分子物品を備えるエレクトレットを特徴
としている。１つの実施態様において、前記の物品は、ＥＳＣＡによって検出し
たとき少なくとも約４５原子％のフッ素を含有する。別の実施態様において、前
記の物品は、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法に従って測定したとき少なくとも約０．２
５のＣＦ3：ＣＦ2比を有する。他の実施態様において、前記の物品は、ＣＦ3：
ＣＦ2の測定方法に従って測定したとき少なくとも約０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比
を有する。
【０００７】 １つの実施態様において、前記物品の品質係数（Ｑｕａｌｉｔｙ Ｆａｃｔｏ
ｒ）は、少なくとも約０．２５／ｍｍＨ2Ｏ、（好ましくは少なくとも約０．５
／ｍｍＨ2Ｏ、より好ましくは少なくとも約１／ｍｍＨ2Ｏ）である。
【０００８】 いくつかの実施態様において、前記物品は、不織高分子繊維ウェブを備える。
前記の不織高分子繊維ウェブのための適した繊維の例には、ポリカーボネート、
ポリオレフィン、ポリエステル、ハロゲン化ポリビニル、ポリスチレン、及びそ
れらの組合せなどがある。特に有用な繊維には、ポリプロピレン、ポリ−（４−
メチル−１−ペンテン）、及びそれらの組合せなどがある。１つの実施態様にお
いて、前記物品は、メルトブロー（ｍｅｌｔｂｌｏｗｎ）ミクロ繊維を含有する
。
【０００９】 別の態様において、本発明は、ＥＳＣＡによって検出したとき少なくとも約４
５原子％のフッ素を有すると共にＣＦ3：ＣＦ2の測定方法に従って測定したとき
少なくとも約０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比を有する高分子物品を備えるエレクトレ
ットを特徴としている。別の実施態様において、前記のエレクトレットは、ＥＳ
ＣＡによって検出したとき少なくとも約５０原子％のフッ素を含み、ＣＦ3：Ｃ
Ｆ2の測定方法に従って測定したとき少なくとも約０．２５のＣＦ3：ＣＦ2比を
有する。
【００１０】 他の態様において、本発明は、上に記載されたエレクトレットを備える呼吸用
マスクを特徴としている。更に他の態様において、本発明は、上に記載されたエ
レクトレットを備えるフィルターを特徴としている。
【００１１】 １つの態様において、本発明は、（ａ）高分子物品をフッ素化して表面がフッ
素化された物品を製造する工程、及び（ｂ）フッ素化された物品をエレクトレッ
トを製造するのに十分であるように帯電させる工程、を含むエレクトレットの作
製方法を特徴としている。１つの実施態様において、前記の方法は、フッ素化さ
れた物品を水と接触させることによってエレクトレットを製造するのに十分であ
るように前記フッ素化された物品を帯電させる工程、及び前記物品を乾燥させる
工程、を有する。前記の方法は、上に記載されたエレクトレットを作製するため
に有用である。別の実施態様において、前記の方法は、エレクトレットを製造す
るのに十分な時間及び圧力で水の噴射または水の粒子の流れをフッ素化された物
品上に衝突させることによってフッ素化された物品を帯電させる工程、及び前記
物品を乾燥させる工程、を含む。
【００１２】 他の実施態様において、前記方法は、放電（例えば、大気圧での交流コロナ放
電）下で高分子物品をフッ素化する工程を含む。１つの実施態様において、前記
の方法は、元素のフッ素、フルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボン、フッ素
化硫黄、フッ素化窒素及びそれらの組合せからなる群から選択されたフッ素含有
種を含有する雰囲気中で前記の高分子物品をフッ素化する工程を含む。適したフ
ッ素含有種の例には、Ｃ5Ｆ12、Ｃ2Ｆ6、ＣＦ4、ヘキサフルオロプロピレン、Ｓ
Ｆ6、ＮＦ3及びそれらの組合せなどがある。
【００１３】 他の実施態様において、前記の方法は、元素のフッ素を含有する雰囲気中で前
記の高分子物品をフッ素化する工程を含む。
【００１４】 他の実施態様において、前記のエレクトレットの作製方法は、（Ａ）（ｉ）フ
ッ素含有種及び不活性ガスを含有する雰囲気中で、及び（ｉｉ）放電下で不織高
分子繊維ウェブをフッ素化して表面がフッ素化されたウェブを製造する工程、及
び（Ｂ）フッ素化されたウェブをエレクトレットを製造するのに十分であるよう
に帯電させる工程、を含む。
【００１５】 他の態様において、本発明は、エーロゾルを上に記載されたエレクトレットに
通して汚染物質を除去する工程を含む濾過方法を特徴としている。
【００１６】 本発明のフッ素化エレクトレットは、フッ素化されていないエレクトレットに
対して相対的に高い油状ミスト耐性を示す。
【００１７】 用語の説明 本発明に関して、これらの用語は、以下に記載した意味を有する。
【００１８】 「エレクトレット」は、準永久電荷を示す誘電体を意味する。用語「準永久」
は、電荷の減衰の特有の時定数が、エレクトレットが用いられる時間より長いこ
とを意味する。
【００１９】 「表面改質された」は、表面の化学構造がその常態から変化させられたことを
意味する。
【００２０】 「表面のフッ素化」は、表面（例えば、物品の表面）の上にフッ素原子が存在
することを意味する。
【００２１】 「フッ素含有種」は、例えば、フッ素原子、元素のフッ素、及びフッ素含有ラ
ジカルなど、フッ素原子を含有する分子及び部分を意味する。
【００２２】 「フッ素化する」は、化学物質反応、収着、縮合、または他の適した手段によ
ってフッ素含有種を気相から物品に移すことによってフッ素原子を物品の表面に
配することを意味する。
【００２３】 「エーロゾル」は、固体または液体の形状の懸濁粒子を含有する気体を意味す
る。
【００２４】 「汚染物質」は、粒子及び／または粒子であると概して考えることができない
他の物質（例えば、有機蒸気）を意味する。
【００２５】 好ましい実施態様の説明 前記エレクトレットは、高分子物品をフッ素化することによって製造された表
面改質された高分子物品（例えば、不織高分子繊維ウェブ）を備える。前記エレ
クトレットは好ましくは、油状ミスト耐性を提供するために十分に表面がフッ素
化されている。油状ミスト耐性の１つの評価基準は、エレクトレットがエーロゾ
ルによる攻撃の間にその品質係数をどのくらい維持するかということである。品
質係数を、ジオクチルフタレート（「ＤＯＰ」）の初期の透過の試験（「ＤＯＰ
試験」）から得られた結果から計算することができる。ＤＯＰ試験はまた、フィ
ルターの電荷状態の相対的な評価基準を提供する。ＤＯＰ試験手順は、約３０秒
間、６．９ｃｍ／秒の面速度でＤＯＰエーロゾルを試料中に圧入し、示差圧力計
で試料全体にわたる圧力低下（ｍｍＨ2Ｏ単位で測定した圧力低下）を測定し、
ＤＯＰ透過のパーセント（ＤＯＰＰｅｎ％）を測定することを必要とする。品質
係数（ＱＦ）（１／ｍｍＨ2Ｏ単位で測定）を、次式によりこれらの値から計算
することができる。
【数１】 所与の流量での品質係数がより高くなると、エレクトレットの濾過性能がより良
好になる。
【００２６】 好ましいエレクトレットの品質係数は、少なくとも約０．２５／ｍｍＨ2Ｏ、
好ましくは少なくとも約０．５／ｍｍＨ2Ｏ、より好ましくは少なくとも約１．
０／ｍｍＨ2Ｏである。
【００２７】 化学分析のための電子分光分析法（「ＥＳＣＡ」）（Ｘ線光電子分光分析法（
「ＸＰＳ」）としても周知である）が、表面のフッ素化の１つの評価基準を提供
する。好ましくはエレクトレットの表面は、ＥＳＣＡによって分析されるとき少
なくとも約４５原子％のフッ素、より好ましくは少なくとも約５０原子％のフッ
素を示す。ＥＳＣＡは、試験片の最も外側の表面（すなわち、約１０〜５０Å）
の元素の組成を分析する。ＥＳＣＡを用いてヘリウム及び水素以外の周期表中の
すべての元素を検出することができる。
【００２８】 前記のエレクトレットはまた、以下の実施例の節に記載したＣＦ3：ＣＦ2比の
測定方法に従って測定したときエレクトレットの表面のＣＦ3：ＣＦ2比が少なく
とも約０．２５、好ましくは少なくとも約０．４５であり、より好ましくは０．
９より大きい。
【００２９】 １つの実施態様において、前記のエレクトレットは、例えば、メルトブローミ
クロ繊維、ステープルファイバー、フィブリル化フィルム、及びそれらの組合せ
などの繊維を含有する不織高分子繊維ウェブを備える。前記の繊維を樹脂から形
成することができる。好ましくは前記の樹脂は、熱可塑性の非導電性、すなわち
、１０14ｏｈｍ−ｃｍより大きい抵抗率を有する樹脂である。前記繊維を形成す
るために用いた樹脂は、導電率を増大させるかまたはそれがなければ繊維が静電
荷を受け取り保持する能力を妨げることがある帯電防止剤などの材料を実質的に
含まないのがよい。
【００３０】 有用な熱可塑性樹脂の例には、例えば、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ
−（４−メチル−１−ペンテン）、及びそれらの組合せなどのポリオレフィン、
ハロゲン化ビニルポリマー（例えば、ポリ塩化ビニル）、ポリスチレン、ポリカ
ーボネート、ポリエステル及びそれらの組合せなどがある。
【００３１】 例えば、顔料、紫外線安定剤、酸化防止剤、及びそれらの組合せなどの添加剤
を前記の樹脂にブレンドすることができる。
【００３２】 前記のエレクトレットは、メルトブローミクロ繊維などのミクロ繊維を含めて
、高分子繊維を含有する不織ウェブを含んでもよい。ウェンテ，ヴァンＡ．著、
「Ｓｕｐｅｒｆｉｎｅ Ｔｈｅｒｍｏｐｌａｓｔｉｃ Ｆｉｂｅｒｓ」、Ｉｎｄ
ｕｓｔｒｉａｌ Ｅｎｇ．Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ、Ｖｏｌ．４８、１３４２〜１３
４６ページ、及び１９５４年５月２５日発行、ウェンテらによる「Ｍａｎｕｆａ
ｃｔｕｒｅ ｏｆ Ｓｕｐｅｒ Ｆｉｎｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｆｉｂｅｒｓ」と
題されたネイバルリサーチラボラトリーズのレポートＮｏ．４３６４に記載され
ているようにメルトブローミクロ繊維を作製することができる。メルトブローミ
クロ繊維は好ましくは、デイビーズ，Ｃ．Ｎ．、「Ｔｈｅ Ｓｅｐａｒａｔｉｏ
ｎ ｏｆ Ａｉｒｂｏｒｎｅ Ｄｕｓｔ ａｎｄ Ｐａｒｔｉｃｌｅｓ」、Ｉｎ
ｓｔｉｔｕｔｉｏｎ ｏｆ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｓ、ロン
ドン、会報１Ｂ、１９５２年に明らかにされた方法に従って計算したとき、繊維
の有効直径が１〜５０マイクロメータ（μｍ）より小さい範囲である。繊維エレ
クトレットフィルターの吹込みミクロ繊維は一般に、繊維の有効直径が約３〜３
０マイクロメータ、好ましくは約７〜１５マイクロメータである。
【００３３】 ステープルファイバーが存在することにより、メルトブローミクロ繊維だけか
ら作られたウェブよりロフティーな、より濃密でないウェブが提供される。好ま
しくは前記のエレクトレットは、７０重量％より多いステーブルファイバーを含
有する。ステープルファイバーを含有するウェブは、米国特許第４，１１８，５
３１号（ハウサー）に開示されている。
【００３４】 不織高分子繊維ウェブを含有するエレクトレットの基本重量は好ましくは、約
１０〜５００ｇ／ｍ2、より好ましくは約１０〜１００ｇ／ｍ2の範囲である。不
織高分子繊維ウェブの厚さは好ましくは、約０．２５〜２０ｍｍ、より好ましく
は約０．５〜２ｍｍである。
【００３５】 エレクトレットの不織高分子ウェブはまた、例えば、米国特許第３，９７１，
３７３号、（ブラウン）、４，１００，３２４号（アンダーソン）、及び４，４
２９，００１号（コルピンら）に開示された粒状物質を含有することができる。
【００３６】 エレクトレットの作製 任意に、表面を改質するための放電下で、高分子物品をフッ素化し、フッ素化
された物品を帯電してエレクトレットを製造することによって、前記のエレクト
レットを作製することができる。
【００３７】 前記のフッ素化プロセスは、フッ素含有種を含有する雰囲気に高分子物品を暴
露することによってフッ素原子を含有するように高分子物品の表面を改質する工
程を含む。前記のフッ素化プロセスを、大気圧でまたは減圧下で行うことができ
る。前記のフッ素化プロセスは好ましくは、物品の表面にフッ素原子を付加する
のを汚染物質が妨げないように制御された雰囲気中で行われる。前記の雰囲気は
、実質的に酸素及び他の汚染物質を含まないのがよい。好ましくは、前記の雰囲
気は０．１％より少ない酸素を含有する。
【００３８】 前記の雰囲気中に存在しているフッ素含有種を、室温で気体であるか、加熱す
るとき気体になるか、または気化され得るフッ素化化合物から得ることができる
。フッ素含有種の有用な供給源の例には、フッ素原子、元素のフッ素、フルオロ
カーボン（例えば、Ｃ5Ｆ12、Ｃ2Ｆ6、ＣＦ4、及びヘキサフルオロプロピレン）
、ヒドロフルオロカーボン（例えば、ＣＦ3Ｈ）、フッ素化硫黄（例えば、ＳＦ6 ）、フッ素化窒素（例えば、ＮＦ3）の他、例えばＣＦ3ＯＣＦ3などのフルオロ
ケミカル、及び例えばＦｌｕｏｒｉｎｅｒｔ ＦＣ−４３などの商標 Ｆｌｕｏ
ｒｉｎｅｒｔ（ミネソタ州のミネソタマイニングアンドマニュファクチャリング
カンパニー製）として市販のフルオロケミカル、及びそれらの組合せなどがある
。
【００３９】 フッ素含有種の雰囲気は、例えば、ヘリウム、アルゴン、窒素、及びそれらの
組合せなどの不活性な希釈ガスを含んでもよい。
【００４０】 フッ素化プロセスの間に適用される放電は、フッ素含有種の供給源の存在下で
適用されるとき、高分子物品の表面の化学的性質を改質することができる。放電
はプラズマ、例えば、グロー放電プラズマ、コロナプラズマ、無声放電プラズマ
（誘電バリア放電プラズマ及び交流（「ＡＣ」）コロナ放電とも称される）、及
びハイブリッドプラズマ、例えば、大気圧でのグロー放電プラズマ、及び疑似グ
ロー放電の形である。好ましくは、プラズマは大気圧でのＡＣコロナ放電プラズ
マである。有用な表面改質放電プロセスの例は、米国特許第５，２４４，７８０
号、米国特許第４，８２８，８７１号、及び米国特許第４，８４４，９７９号に
記載されている。
【００４１】 他のフッ素化プロセスは、元素のフッ素に対して不活性である液体中に高分子
物品を浸漬する工程、及び前記の液体中に元素のフッ素ガスを通気して表面のフ
ッ素化された物品を製造する工程、を含む。フッ素に対して不活性である有用な
液体の例には、過ハロゲン化液、例えば、パフォーマンスフルイドＰＦ ５０５
２（ミネソタマイニングアンドマニュファクチュアリングカンパニー製）などの
過フッ素化液などがある。前記の液体中に通気される元素のフッ素含有ガスには
、例えば、窒素、アルゴン、ヘリウム、及びそれらの組合せなどの不活性ガスを
挙げることができる。
【００４２】 高分子物品を帯電してエレクトレットを製造することは、例えば、流水帯電、
すなわち、物品に電荷を与えるのに十分であるように物品を水と接触させ、その
後、物品を乾燥させること、及びＤＣコロナ帯電など、いろいろな技術を用いて
達成され得る。前記の帯電プロセスを、物品の１つ以上の表面に適用することが
できる。
【００４３】 有用な流水帯電プロセスの例の１つは、濾過を向上させるエレクトレットの電
荷をウェブに与えるのに十分な時間及び圧力で水のジェットまたは水の粒子の流
れを物品上に衝突させ、次いで物品を乾燥させる工程を含む。物品に与えられた
濾過を向上させるエレクトレットの電荷を最適にするために必要な圧力は、用い
た噴霧機のタイプ、物品を形成するポリマーのタイプ、ポリマーへの添加剤のタ
イプ及び濃度、物品の厚さ及び密度によって変化する。約１０〜約５００ｐｓｉ
（６９〜３４５０ｋＰａ）の範囲の圧力が適している。流水帯電の適した方法の
例が、米国特許第５，４９６，５０７号（アンガジバンドら）に記載されている
。
【００４４】 水のジェットまたは水の粒子の流れは、何れの適した噴霧装置によって提供さ
れてもよい。有用な噴霧装置の１つの例は、水圧で繊維を絡み合わせるために用
いられる装置である。
【００４５】 適したＤＣコロナ放電プロセスの例は、米国特許第３０，７８２号（ファン・
ターンハウト）、米国特許第３１，２８５号（ファン・ターンハウト）、米国特
許第３２，１７１号（ファン・ターンハウト）、米国特許第４，３７５，７１８
号（ワッズワースら）、米国特許第５，４０１，４４６号（ワッズワースら）、
米国特許第４，５８８，５３７号（クラッセら）、及び４，５９２，８１５号（
ナカオ）に記載されている。
【００４６】 本明細書に記載した方法によって形成されたフッ素化エレクトレットは、例え
ば、マイクロホン、ヘッドホン及びスピーカーなどの電子音響装置、液体フィル
ターの他、例えば高圧静電発電機、静電記録計、呼吸用マスク（例えば、プレフ
ィルター、カニスタ及び交換できるカートリッジ）、加熱、換気、空調、及びフ
ェースマスク内の粉塵粒子制御装置における静電素子として用いるのに適してい
る。
【００４７】 本発明は、更に以下の例によって記載される。
【００４８】 実施例 試験手順 実施例で用いた試験手順は、次の通りである。
【００４９】 ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法 ＥＳＣＡデータを、非単色ＭｇＫＩ ｘ線供給源及び表面に対して４５度の電
子放出角（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｔａｋｅ ｏｆｆ ａｎｇｌｅ）を用いてＰＨＩ
５１００ ＥＳＣＡ システム（ミネソタ州、エデンプレイリーのフィジカル
エレクトロニクス製）で集めた。炭素（１ｓ）スペクトルを、ＰＨＩ（ミネソタ
州、エデンプレイリーのフィジカルエレクトロニクス製）によって供給された非
線形最少二乗ルーチンを用いてピーク調整した。このルーチンは、線形バックグ
ラウンド消去、及び成分のピークのためにガウスピーク形状を用いた。前記のス
ペクトルは、２８５．０ｅＶの炭化水素のピークを基準とした。ＣＦ3及びＣＦ2 成分は、それぞれ約２９４ｅＶ及び２９２ｅＶに位置するピークとして同定され
た（ストローベルら、Ｊ．Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉ．Ａ：Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｃｈ
ｅｍｉｓｔｒｙ、Ｖｏｌ．２５、１２９５〜１３０７ページ（１９８７年）に記
載されている方法による）。ＣＦ3：ＣＦ2比は、ＣＦ3及びＣＦ2成分のピーク領
域の比を表す。
【００５０】 初期のジオクチルフタレートの透過（ＤＯＰ）及び圧力低下試験の手順 初期のＤＯＰ透過を測定するために、７０〜１４０ｍｇ／ｍ3の濃度の直径０
．３マイクロメータのジオクチルフタレート（ＤＯＰ）粒子（４つのオリフィス
を有するＴＳＩ Ｎｏ．２１２噴霧機及び３０ｐｓｉのきれいな空気を用いて作
られた）を、４２．５Ｌ／分の速度（毎秒６．９センチメートルの面速度）で直
径４．５インチであるフィルター媒体の試料中に圧入した。読み取り値が安定す
るまで、試料を３０秒間、ＤＯＰエーロゾルに暴露する。透過は、光学散乱箱、
エアテクニークインク製のパーセントペニトレーションメーターモデル ＴＰＡ
−８Ｆで測定される。
【００５１】 試料全体にわたる圧力低下が、電子圧力計を用いて４２．５Ｌ／分（６．９ｃ
ｍ／秒の面速度）の流量で測定される。圧力低下を、水のｍｍ単位（「ｍｍＨ2
Ｏ」）で記録する。
【００５２】 ＤＯＰ透過及び圧力低下を用いて、次式：
【数２】 によってＤＯＰ透過の自然対数（ｌｎ）から品質係数「ＱＦ」を計算する。初期
ＱＦが高くなると、より良好な初期濾過性能を示す。ＱＦの減少は、濾過性能の
低下と有効に相関する。
【００５３】 ＤＯＰ負荷試験 ＤＯＰ負荷は、ＤＯＰ透過及び圧力低下試験で用いた同じ試験装置を用いて測
定される。試験試料を秤量し、次いで最小暴露量が少なくとも約１３０ミリグラ
ムとなるように少なくとも４５分間、ＤＯＰエーロゾルに暴露した。ＤＯＰ透過
及び圧力低下を、試験中に少なくとも毎分１回、測定した。集められたＤＯＰの
質量を、透過、フィルターウェブの質量、及び暴露の間にフィルターウェブ上に
集められたＤＯＰの全質量（「ＤＯＰ負荷」）の測定値からそれぞれの測定区間
について計算する。
【００５４】 コロナフッ素化 実施例１ 繊維の有効直径が７．５マイクロメータ（μｍ）、基本重量が６２ｇ／ｍ2で
ある、エクソン３５０５Ｇポリプロピレン樹脂（エクソン製）から作製した吹込
みポリプロピレンミクロ繊維を、ウェンテ，ヴァンＡ．著、「Ｓｕｐｅｒｆｉｎ
ｅ Ｔｈｅｒｍｏｐｌａｓｔｉｃ Ｆｉｂｅｒｓ」、Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｅ
ｎｇ．Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ、Ｖｏｌ．４８、１３４２〜１３４６ページに記載さ
れているように作製した。
【００５５】 次に、吹込みミクロ繊維ウェブを、１ｍ／分の支持体スピードで２０００Ｗの
コロナ電力に相当する、３４Ｊ／ｃｍ2のコロナエネルギーのヘリウム雰囲気中
１容量％のＣ2Ｆ6中でＡＣコロナによってフッ素化した。ＡＣコロナフッ素化処
理は、ポリ（エチレンテレフタレート）１．５ｍｍで覆われた直径４０ｃｍのニ
ッケルメッキされたアルミニウムロールからなるグランドロールを有する、いわ
ゆる「双−誘電」電極構成を備え、再循環する加圧水を用いて２３℃の温度に維
持されたＡＣコロナシステム内で行われた。電力供給された電極は、それぞれ１
５ｍｍ平方の断面及び３５ｃｍの有効長を有する１５の独立のセラミック被覆電
極（英国、テームのシャーマントリーターズリミテッド製）からなった。前記の
電極はモデルＲＳ４８−Ｂ（４ｋｗ）可変−周波数電源（ニューヨーク州、ロチ
ェスターのＥＮＩパワーシステムズインク製）に接続された。ＡＣコロナ中に散
逸した正味電力を、ＥＮＩ電源に組み込まれた方向電力計で測定した。出力電力
の周波数を、最適なインピーダンス整合（最小の反射電力）を得るために約１６
ｋＨｚに手作業で調整した。
【００５６】 ＡＣコロナシステムを制御された環境内に密閉した。処理の前に、ＡＣコロナ
処理システムを囲む雰囲気をヘリウムでパージし、次に、電極付近に導入した、
ヘリウム中の１容量％のＣ2Ｆ6の１００リットル／分で連続的に洗い流した。
【００５７】 前記のミクロ繊維ウェブを、厚さ０．０５ｍｍの二軸延伸ポリプロピレン（Ｂ
ＯＰＰ）のキャリヤーフィルム上にテープでとめ、次いで、前記のキャリヤーフ
ィルムがグランドロールと接触しているようにグランドロール上に置き、吹込み
ミクロ繊維ウェブの一方の面に放電を起こさせた。処理後、吹込みミクロ繊維ウ
ェブを裏返し、キャリヤーフィルムに再びテープでつけ、第１の処理と同じ条件
下で２回目、ＡＣコロナ処理し、吹込みミクロ繊維ウェブの他方の面に放電を起
こさせた。
【００５８】 実施例２ 基本重量が１００ｇ／ｍ2である、Ｇ１００フィルトレートフィブリル化フィ
ルムウェブ（ミネソタマイニングアンドマニュファクチュアリング製）を、実施
例１に記載した方法に従ってコロナフッ素化したが、ただし、グランドロールを
２５℃の温度に維持した。
【００５９】 実施例３ Ａｓｐｕｎ ＰＥ−６８０６ポリエチレン樹脂（ミシガン州、ダウケミカルカ
ンパニー製）から作製した、基本重量が１０７ｇ／ｍ2であるポリエチレンメル
トブローミクロ繊維ウェブを、実施例２に記載した方法に従ってコロナフッ素化
した。
【００６０】 実施例４ 基本重量が２００ｇ／ｍ2である、ポリエステルステープルファイバーウェブ
（ロジャースコーポレーション製）を、実施例２に記載した方法に従ってコロナ
フッ素化した。
【００６１】 実施例５ 基本重量が５０ｇ／ｍ2及び繊維の有効直径が８．１μｍである、ＴＰＸ Ｍ
Ｘ−００７ポリ−４−メチル−１−ペンテン樹脂（三井）から作製されたポリ−
４−メチル−１−ペンテンメルトブローミクロ繊維ウェブを、実施例２に記載さ
れた方法に従ってコロナフッ素化した。
【００６２】 実施例６〜９ 実施例６〜９を実施例１の手順に従って作製したが、ただし、フッ素含有種の
供給源は次の通りであった。１％のＣＦ4（実施例６）、及び０．１％のヘキサ
フルオロプロピレン（実施例７）、０．１％のＣ5Ｆ12（実施例８）、及び１．
０％のＣ5Ｆ12（実施例９）。
【００６３】 実施例１〜９の試料ウェブのそれぞれの表面の化学的性質を、ＰＨＩ５１００
ＥＳＣＡシステムを用いるＥＳＣＡ分析によって測定した。ＣＦ3：ＣＦ2比を
、上に記載された方法に従ってＥＳＣＡデータから実施例１〜９の試料のそれぞ
れについて測定した。結果を表Ｉに原子％単位で記録する。
【００６４】
【表１】 表Ｉ
【００６５】 流水帯電 実施例１０ 実施例１で上に記載したように作製したフッ素化ポリプロピレン吹込みミクロ
繊維ウェブを、１０ｃｍ離して取付けた、真空スロットの７ｃｍ上に中心に合わ
せた１対のスプレーイングシステムズティージェット９５０１噴霧機ノズルから
脱イオン水を約９０ｐｓｉの静水圧で前記のウェブに噴霧しながら、５ｃｍ／秒
（ｃｍ／秒）の速度で真空スロット上を通過させた。次に、前記の試料を裏返し
、ウェブの両側が水を噴霧されるように、もう一度、脱イオン水の噴霧中を通過
させた。次いで、脱イオン水噴霧機を取り除き、前記ウェブを再び真空スロット
上を通過させ、過剰な水を取り除いた。次に、前記のウェブを吊し、周囲条件で
乾燥させた。
【００６６】 実施例１１ 実施例５に従って作製したフッ素化ポリ−４−メチル−１−ペンテンメルトブ
ローミクロ繊維ウェブを、実施例１０の手順に従って帯電させた。
【００６７】 実施例１０Ａ〜１１Ａ 実施例１０Ａ及び１１Ａを、それぞれ、実施例１０及び１１の方法に従って作
製したが、ただし、コロナフッ素化の後及び流水帯電の前に、実施例１０Ａ及び
１１Ａのフッ素化されたウェブの各々を、約１０分間、１４０℃（３００Ｆ）で
アニールにかけた。
【００６８】 実施例１３、１５、１６、１８及び２０ 実施例１３、１５、１６、１８及び２０を、実施例１０の手順に従って帯電し
たが、ただし、実施例１３、１５、１６、１８及び２０の各々に用いたフッ素化
高分子繊維ウェブは以下の通りであった。上記の実施例３に従って作製したフッ
素化ポリエチレンミクロ繊維ウェブ（実施例１３）、実施例４に従って作製した
フッ素化ポリエステルステープルファイバーウェブ（実施例１５）、実施例２に
従って作製したフッ素化Ｇ１００フィルトレートフィブリル化フィルムウェブ（
実施例１６）、基本重量が約２００ｇ／ｍ2であり、実施例１に記載した方法に
従ってコロナフッ素化されたフッ素化ポリプロピレンニードル穿孔ウェブ（エク
ソン３５０５ポリプロピレン樹脂の１２デニール／繊維の繊維）（実施例１８）
、基本重量が４６ｇ／ｍ2及び繊維の有効直径が３．７μｍであり、実施例１に
記載した方法に従ってコロナフッ素化されたが、ただし、１％のＣ2Ｆ6の代わり
に０．２％のＣ5Ｆ12を用いた、ポリプロピレン溶融細繊維ウェブ（実施例２０
）。
【００６９】 ＤＣコロナ帯電 実施例１２ 実施例３のフッ素化ポリエチレンメルトブローミクロ繊維ウェブを、次のように
ＤＣコロナ放電を用いて帯電した。前記のフッ素化ウェブを、アルミニウム接地
平面に接触して置き、そして次に、接地平面に約０．０１ｍＡ／ｃｍ（コロナ供
給源の長さ）の電流を維持しながら、正電気のＤＣコロナ供給源下を空気中約１
．２メートル／分の速度で通過させた。コロナ供給源から地面までの距離は約４
ｃｍであった。
【００７０】 実施例１４、１７、１９ 実施例１４、１７及び１９を、実施例１２の手順に従って帯電したが、ただし
、実施例１４、１７及び１９の各々のためのフッ素化高分子繊維ウェブは以下の
通りであった。実施例４の手順に従って作製したフッ素化ポリエステルステープ
ルファイバーウェブ（実施例１４）、基本重量が約２００ｇ／ｍ2であり、実施
例１に記載した方法に従ってコロナフッ素化されたフッ素化ポリプロピレンニー
ドル穿孔ウェブ（エクソン３５０５ポリプロピレン樹脂の１２デニール／繊維の
繊維）（実施例１７）、基本重量が４６ｇ／ｍ2及び繊維の有効直径が３．７μ
ｍであり、実施例１に記載した方法に従ってコロナフッ素化されたが、ただし、
１％のＣ2Ｆ6の代わりに０．２％のＣ5Ｆ12を用いた、フッ素化ポリプロピレン
溶融細繊維ウェブ（実施例１９）。
【００７１】 実施例２１〜３５ 実施例２１〜３５を、ポリプロピレン吹込みミクロ繊維ウェブをフッ素化する
ことによって作製したが、ただし、実施例２１〜３５の各々のフッ素供給源は以
下の通りであった。１％のＣＦ4（実施例２１〜２３）、１％のＣ2Ｆ6（実施例
２４〜２６）、０．１％のヘキサフルオロプロピレン（実施例２７〜２９）、０
．１％のＣ5Ｆ12（実施例３０〜３２）、及び１．０％のＣ5Ｆ12（実施例３３〜
３５）。
【００７２】 次に、実施例２３、２６、２９、３２、及び３５のフッ素化ウェブを、実施例
１０に記載した流水帯電プロセスに従って帯電させた。
【００７３】 次いで、実施例２２、２５、２８、３１及び３４のフッ素化ウェブを、実施例
１２に記載したＤＣコロナ帯電プロセスに従って帯電させた。
【００７４】 実施例１０〜３５のエレクトレットの各々のＤＯＰ透過の％（「％ＤＯＰ Ｐ
ＥＮ」）、圧力低下（ｍｍＨ2Ｏ）、及び品質係数（「ＱＦ」）を、上に記載し
た初期ＤＯＰ透過及び圧力低下試験手順に従って求めた。結果を表ＩＩにまとめ
る。
【００７５】
【表２】 表ＩＩ
【００７６】 実施例３６〜３９ ４つのフッ素化されたポリプロピレンミクロ繊維ウェブを実施例１に従って作
製したが、ただし、フッ素含有種の供給源は、次の通りであった。０．１％のヘ
キサフルオロプロピレン（「ＨＦＰ」）（実施例３６及び３８）及び０．１％の
Ｃ5Ｆ12（実施例３７及び３９）。
【００７７】 実施例３６及び３７は更に、実施例１０の流水帯電の帯電手順に従って前記の
フッ素化ポリプロピレンウェブを帯電させる工程を含んだ。
【００７８】 実施例３８及び３９は更に、実施例１２のＤＣコロナ帯電の手順に従って前記
のフッ素化ポリプロピレンウェブを帯電させる工程を含んだ。
【００７９】 実施例３６〜３９を、上に記載されたＤＯＰ負荷試験にかけた。実施例３６〜
３９の各々のＤＯＰ透過の％対ＤＯＰ負荷（ウェブ上で採取されたグラム単位の
ＤＯＰの量）を、上に記載されたＤＯＰ負荷試験手順に従って測定した。得られ
たデータを、以下の通り図１及び２のＤＯＰ透過の％対ＤＯＰ負荷（グラム）と
してプロットする。実施例３６及び３７（それぞれｘ及び黒丸で示した）（図１
）、及び実施例３８及び３９（それぞれｘ及び黒丸で示した）（図２）。
【００８０】 実施例４０ 基本重量が６１ｇ／ｍ2であるポリプロピレンミクロ繊維ウェブの７インチ×
７インチの試料を、窒素雰囲気下に置いた。窒素中で希釈した５容量％の元素の
フッ素の気体混合物を、１０分間、１．０ｌ／分の速度でポリプロピレンミクロ
繊維ウェブ中に通過させた。次に、フッ素濃度を窒素中で希釈した１０容量％に
増加させ、更に２０分間、１．０ｌ／分の速度でウェブ中に通過させた。
【００８１】 次に、前記の試料をＥＳＣＡによって分析し、ＣＦ3：ＣＦ2の上記の測定方法
に従って測定したとき、６２原子％のフッ素及び０．５９のＣＦ3：ＣＦ2比を有
することが確認された。
【００８２】 次いで、前記の試料を、実施例１２で上に記載したようにＤＣコロナ放電を用
いて帯電させ、上に記載されたＤＯＰ負荷試験にかけた。得られたデータを、図
３のＤＯＰ透過の％対ＤＯＰ負荷（グラム）としてプロットする。
【００８３】 実施例４１ 基本重量が２０ｇ／ｍ2及びウェブ幅が１５ｃｍであるポリプロピレン吹込み
ミクロ繊維ウェブを、Ｃ5Ｆ12環境内で真空グロー放電処理した。グロー放電処
理を真空室内で行った。真空室は、吹込みミクロ繊維ウェブの連続処理のために
巻出ローラー、グロー放電電極、及び巻取ローラーからなるロールを突き合わせ
たグロー放電装置を備えた。２つのステンレス鋼電極は平行板の配置にあり、各
電極は幅２０ｃｍ、長さ３３ｃｍであり、それらは２．５ｃｍの間隔で隔置され
た。上の電極は接地され、下の電極は１３．５６ＭＨｚ ｒｆ発電機（プラズマ
−サーム）によって電力供給された。前記のウェブは、ウェブの一方の側が放電
が行われるように上の接地された電極と接触させられて、２つの電極の間を移動
した。
【００８４】 吹込みミクロ繊維ウェブのロールを０．１トールの圧力のＣ5Ｆ12の蒸気下で
巻出ローラー上に載せた後、吹込みミクロ繊維ウェブを、１７ｃｍ／分の速度で
電極の中に送り、プラズマへの暴露時間が２分となった。放電電力は５０Ｗであ
った。第１面を処理した後、真空室を脱気し、ウェブロールを巻出ロール上に戻
し、ウェブの他方の面を処理させた。ウェブの第２面の処理を第１面と同じ条件
下で行った。フッ素化後に、実施例４１を実施例１２で上に記載したプロセスに
従ってＤＣコロナ帯電した。
【００８５】 実施例４１のＤＯＰ透過の％（「％ＤＯＰ ＰＥＮ」）を、上に記載された初
期のＤＯＰ透過及び圧力低下試験の手順に従って測定した。結果を表ＩＩＩにま
とめる。
【００８６】
【表３】 表ＩＩＩ
【００８７】 他の実施態様は、以下のクレームの範囲内にある。前記のエレクトレットは不
織高分子繊維ウェブに対して記載されたが、エレクトレットは、例えば、１９９
８年６月１８日に出願された、「Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄ Ｓｕｒｆａｃｅ Ｆｉ
ｌｔｅｒ Ｍｅｄｉａ」（インスレーら）と題された米国特許出願第０９／１０
６，５０６号（代理人整理番号５３６３２ＵＳＡ２Ａ）に記載された高分子物品
など、いろいろな高分子物品であり得る。
【００８８】 上に引用した特許及び特許出願のすべてを本願明細書全体に引用したものとす
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施例３６及び３７についてのＤＯＰ透過の％対ＤＯＰ負荷のプ
ロットである。
【図２】 実施例３８及び３９についてのＤＯＰ透過の％対ＤＯＰ負荷のプ
ロットである。
【図３】 実施例４０についてのＤＯＰ透過の％対ＤＯＰ負荷のプロットで
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｄ０６Ｍ 13/08 Ｄ０６Ｍ 13/08 ４Ｌ０３３ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ， ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，Ｇ Ｅ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ， ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，Ｍ Ｎ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ， ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，Ｚ Ｗ (72)発明者 デイビッド・ビー・レッドモンド アメリカ合衆国55133−3427ミネソタ州セ ント・ポール、ポスト・オフィス・ボック ス33427 (72)発明者 ジェフリー・エル・ソロモン アメリカ合衆国55133−3427ミネソタ州セ ント・ポール、ポスト・オフィス・ボック ス33427 (72)発明者 セイド・エイ・アンガドジバンド アメリカ合衆国55133−3427ミネソタ州セ ント・ポール、ポスト・オフィス・ボック ス33427 Ｆターム(参考） 4D019 AA01 AA02 AA03 BA13 BB03 BC01 BD01 CB06 DA03 4D054 AA09 AA11 AA13 BC12 BC16 EA22 4F073 AA11 AA17 BA06 BA07 BA08 BA13 BA23 BA26 BB01 CA01 CA21 EA61 4J100 AA02P AA03P AA17P AB02P AC03P BB17H EA17 HA21 HA61 HB24 HE29 JA28 JA43 4L031 AA14 AA18 AB34 BA32 CB06 4L033 AA05 AA07 AB07 AC15 BA05

Claims (51)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 高分子物品をフッ素化することによって表面のフッ素化が行
    われた表面改質された高分子物品、を含むエレクトレット。
  2. 【請求項２】 前記表面改質された高分子物品が、ＥＳＣＡによって検出し
    たとき少なくとも約４５原子％のフッ素を含む、請求項１に記載のエレクトレッ
    ト。
  3. 【請求項３】 前記表面改質された高分子物品が、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法
    に従って測定したとき少なくとも約０．２５のＣＦ3：ＣＦ2比を構成する、請求
    項１または２の何れか１項に記載のエレクトレット。
  4. 【請求項４】 前記表面改質された高分子物品が、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法
    に従って測定したとき少なくとも約０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比を構成する、請求
    項１〜３の何れか１項に記載のエレクトレット。
  5. 【請求項５】 前記表面改質された高分子物品の品質係数が少なくとも約０
    ．２５／ｍｍＨ2Ｏである、請求項１〜４の何れか１項に記載のエレクトレット
    。
  6. 【請求項６】 前記表面改質された高分子物品の品質係数が少なくとも約０
    ．５／ｍｍＨ2Ｏである、請求項１〜５の何れか１項に記載のエレクトレット。
  7. 【請求項７】 前記表面改質された高分子物品の品質係数が少なくとも約１
    ／ｍｍＨ2Ｏである、請求項１〜６の何れか１項に記載のエレクトレット。
  8. 【請求項８】 前記表面改質された高分子物品が不織高分子繊維ウェブを含
    む、請求項１〜７の何れか１項に記載のエレクトレット。
  9. 【請求項９】 前記表面改質された高分子物品が、ポリカーボネート、ポリ
    オレフィン、ポリエステル、ハロゲン化ポリビニル、ポリスチレン、またはそれ
    らの組合せからなる群から選択された繊維を含む不織高分子繊維ウェブを含む、
    請求項１〜８の何れか１項に記載のエレクトレット。
  10. 【請求項１０】 前記繊維ウェブが、ポリプロピレン、ポリ−（４−メチル
    −１−ペンテン）、またはそれらの組合せからなる群から選択された繊維を含む
    、請求項１〜９の何れか１項に記載のエレクトレット。
  11. 【請求項１１】 前記表面改質された高分子物品がメルトブローミクロ繊維
    を含む、請求項１〜１０の何れか１項に記載のエレクトレット。
  12. 【請求項１２】 ＥＳＣＡによって検出したとき少なくとも約４５原子％の
    フッ素を含み、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法に従って測定したとき少なくとも約０．
    ４５のＣＦ3：ＣＦ2比を有する高分子物品を含むエレクトレット。
  13. 【請求項１３】 前記物品が０．９より大きいＣＦ3：ＣＦ2比を有する、請
    求項１２に記載のエレクトレット。
  14. 【請求項１４】 前記物品の品質係数が少なくとも約１／ｍｍＨ2Ｏである
    、請求項１２または１３の何れか１項に記載のエレクトレット。
  15. 【請求項１５】 前記物品が、ポリプロピレン、ポリ−（４−メチル−１−
    ペンテン）、またはそれらの組合せを含有する繊維を含む不織高分子繊維ウェブ
    を含む、請求項１２〜１４の何れか１項に記載のエレクトレット。
  16. 【請求項１６】 前記繊維が、繊維の有効直径が５０マイクロメータ未満、
    好ましくは３〜３０マイクロメータ、より好ましくは７〜１５マイクロメータで
    あるメルトブローミクロ繊維である、請求項１５に記載のエレクトレット。
  17. 【請求項１７】 ＥＳＣＡによって検出したとき少なくとも約５０原子％の
    フッ素を含み、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法に従って測定したとき少なくとも約０．
    ２５のＣＦ3：ＣＦ2比を有する高分子物品を含むエレクトレット。
  18. 【請求項１８】 前記高分子物品が、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法に従って測定
    したとき少なくとも約０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比、好ましくは約０．９より大き
    いＣＦ3：ＣＦ2比を有する、請求項１７に記載のエレクトレット。
  19. 【請求項１９】 前記高分子物品の品質係数が少なくとも約０．５／ｍｍＨ 2 Ｏである、請求項１７または１８の何れか１項に記載のエレクトレット。
  20. 【請求項２０】 前記繊維ウェブが、ポリプロピレン、ポリ−（４−メチル
    −１−ペンテン）、またはそれらの組合せを含有するメルトブローミクロ繊維を
    含む、請求項２３〜２６の何れか１項に記載のエレクトレット。
  21. 【請求項２１】 高分子ミクロ繊維を含む不織ウェブであって、ＣＦ3：Ｃ
    Ｆ2の測定方法に従って測定したとき少なくとも約０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比で
    ＣＦ3及びＣＦ2を含む、表面のフッ素化された不織ウェブ、を含むエレクトレッ
    ト。
  22. 【請求項２２】 品質係数が少なくとも約１．０／ｍｍＨ2Ｏである、請求
    項２１に記載のエレクトレット。
  23. 【請求項２３】 前記物品の表面のフッ素化が、ＥＳＣＡによって検出した
    とき少なくとも約４５原子％のフッ素である、請求項２１または２２の何れか１
    項に記載のエレクトレット。
  24. 【請求項２４】 前記ＣＦ3：ＣＦ2比が少なくとも０．９である請求項２１
    〜２３の何れか１項に記載のエレクトレット。
  25. 【請求項２５】 前記ミクロ繊維が、繊維の有効直径が１〜５０μｍである
    メルトブローミクロ繊維である請求項２１〜２４の何れか１項に記載のエレクト
    レット。
  26. 【請求項２６】 前記ミクロ繊維が、繊維の有効直径が３〜３０μｍ、好ま
    しくは７〜１５μｍであるメルトブローミクロ繊維である請求項２１〜３５の何
    れか１項に記載のエレクトレット。
  27. 【請求項２７】 前記ミクロ繊維が、１０14ｏｈｍ−ｃｍより小さい抵抗率
    を有する樹脂から作製される請求項２１〜２６の何れか１項に記載のエレクトレ
    ット。
  28. 【請求項２８】 前記ミクロ繊維がポリオレフィンを含む、請求項２１〜２
    ７の何れか１項に記載のエレクトレット。
  29. 【請求項２９】 前記ミクロ繊維がポリプロピレンを含む、請求項２１〜２
    ８の何れか１項に記載のエレクトレット。
  30. 【請求項３０】 前記不織ウェブの基本重量が１０〜１００ｇ／ｍ2である
    、請求項２１〜２９の何れか１項に記載のエレクトレット。
  31. 【請求項３１】 前記不織ウェブの厚さが０．２５〜２０ｍｍである、請求
    項２１〜３０の何れか１項に記載のエレクトレット。
  32. 【請求項３２】 前記ミクロ繊維が、フッ素含有種を気相から前記不織ウェ
    ブに移すことによってフッ素化された、請求項２１〜３１の何れか１項に記載の
    エレクトレット。
  33. 【請求項３３】 前記ミクロ繊維が、前記不織ウェブをフッ素含有種を含有
    する雰囲気に暴露することによってフッ素化された、請求項２１〜３２の何れか
    １項に記載のエレクトレット。
  34. 【請求項３４】 前記雰囲気が制御された雰囲気である、請求項３３に記載
    のエレクトレット。
  35. 【請求項３５】 前記制御された雰囲気が酸素を含まない、請求項３４に記
    載のエレクトレット。
  36. 【請求項３６】 前記フッ素含有種がフッ素原子、元素のフッ素、またはフ
    ルオロカーボンを含有する、請求項３３〜３５の何れか１項に記載のエレクトレ
    ット。
  37. 【請求項３７】 前記ミクロ繊維がＤＣコロナ放電プロセスによって帯電さ
    れた、請求項２１〜３６の何れか１項に記載のエレクトレット。
  38. 【請求項３８】 高分子物品をフッ素化して表面がフッ素化された物品を製
    造する工程、及び 前記フッ素化された物品をエレクトレットを製造するのに十分であるように帯
    電させる工程、 を含む、エレクトレットの作製方法。
  39. 【請求項３９】 前記高分子物品が、繊維の有効直径が１〜５０マイクロメ
    ータであるミクロ繊維を含有する不織ウェブである請求項３８に記載の作製方法
    。
  40. 【請求項４０】 前記フッ素化された物品を水と接触させることによってエ
    レクトレットを製造するのに十分であるように前記フッ素化された物品を帯電さ
    せる工程、及び前記物品を乾燥させる工程、を含む、請求項３８または３９の何
    れか１項に記載の作製方法。
  41. 【請求項４１】 エレクトレットを製造するのに十分な時間及び圧力で水の
    噴射または水の粒子の流れを前記フッ素化された物品上に衝突させることによっ
    て前記フッ素化された物品を帯電させる工程と、前記物品を乾燥させる工程と、
    を含む請求項３８〜４０の何れか１項に記載の作製方法。
  42. 【請求項４２】 放電下で高分子物品をフッ素化してフッ素化物品を製造す
    る工程を含む、請求項３８〜４０の何れか１項に記載の作製方法。
  43. 【請求項４３】 大気圧において交流コロナ放電下で前記高分子物品をフッ
    素化する工程を含む、請求項３８〜４１の何れか１項に記載の作製方法。
  44. 【請求項４４】 元素のフッ素、フルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボ
    ン、フッ素化硫黄、フッ素化窒素またはそれらの組合せからなる群から選択され
    たフッ素含有種を含む雰囲気中で前記高分子物品をフッ素化する工程を含む、請
    求項３８〜４２の何れか１項に記載の作製方法。
  45. 【請求項４５】 前記フッ素含有種が、Ｃ5Ｆ12、Ｃ2Ｆ6、ＣＦ4、ヘキサフ
    ルオロプロピレン、ＳＦ6、ＮＦ3、またはそれらの組合せからなる群から選択さ
    れる、請求項４３に記載の作製方法。
  46. 【請求項４６】 元素のフッ素を含む雰囲気中で前記高分子物品をフッ素化
    する工程を含む、請求項４３に記載の作製方法。
  47. 【請求項４７】 前記エレクトレットが、ＣＦ3：ＣＦ2の測定方法に従って
    測定したとき、前記繊維の表面の上に少なくとも約０．４５のＣＦ3：ＣＦ2比で
    ＣＦ3及びＣＦ2基を含む、請求項３９に記載の作製方法。
  48. 【請求項４８】 前記フッ素化物品を直流コロナ放電で帯電してエレクトレ
    ットを製造する工程を含む、請求項３８〜４７の何れか１項に記載の作製方法。
  49. 【請求項４９】 前記フッ素化物品を帯電する前に前記フッ素化物品をアニ
    ールする工程を更に含む、請求項４８に記載の作製方法。
  50. 【請求項５０】 請求項１〜４９の何れか１項に記載のエレクトレットを含
    むフィルター。
  51. 【請求項５１】 請求項５０に記載のフィルターを含む呼吸用マスク。
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