JPH0857225A - フィルターの製造方法 - Google Patents
フィルターの製造方法Info
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- JPH0857225A JPH0857225A JP20051294A JP20051294A JPH0857225A JP H0857225 A JPH0857225 A JP H0857225A JP 20051294 A JP20051294 A JP 20051294A JP 20051294 A JP20051294 A JP 20051294A JP H0857225 A JPH0857225 A JP H0857225A
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- filter
- gas
- porous material
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 撥水性及び撥油性に富み、再利用可能なフィ
ルターを製造する方法を提供する。 【構成】 連通気孔を有する３次元網目状多孔体材料
を、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置された
金属電極間に配置し、０．０１〜１０体積％のフッ素含
有ガスと９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとからな
る混合ガスの雰囲気中、１００〜８００Ｔｏｒｒの圧力
下で、対向電極に電圧を印加することにより発生する放
電プラズマを、上記３次元網目状多孔体材料に接触させ
て、上記３次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素化
することよりなるフィルターの製造方法。
ルターを製造する方法を提供する。 【構成】 連通気孔を有する３次元網目状多孔体材料
を、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置された
金属電極間に配置し、０．０１〜１０体積％のフッ素含
有ガスと９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとからな
る混合ガスの雰囲気中、１００〜８００Ｔｏｒｒの圧力
下で、対向電極に電圧を印加することにより発生する放
電プラズマを、上記３次元網目状多孔体材料に接触させ
て、上記３次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素化
することよりなるフィルターの製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄により汚れを容易
に落とすことができ、再利用可能なフィルターの製造方
法に関する。さらに詳しくは、本発明は、換気システム
の備品に付帯するフィルターの製造方法に関する。
に落とすことができ、再利用可能なフィルターの製造方
法に関する。さらに詳しくは、本発明は、換気システム
の備品に付帯するフィルターの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、換気に関する関心と需要が高まっ
ており、換気装置の普及には目ざましいものがある。換
気装置は、台所等の油煙の発生する所、換気通気口等に
設置され、油煙による機器の汚れ防止及び塵芥の混入防
止等のためフィルター装着型のものが主流となってい
る。
ており、換気装置の普及には目ざましいものがある。換
気装置は、台所等の油煙の発生する所、換気通気口等に
設置され、油煙による機器の汚れ防止及び塵芥の混入防
止等のためフィルター装着型のものが主流となってい
る。
【０００３】従来、この種の換気装置用フィルターは、
ポリエステル等の繊維をほぼ一様の粗さに編む等して不
織布に形成したフィルターが用いられている。例えば、
特開平６−６３３２８号公報には、油捕集効率向上のた
め、目の粗さの異なる不織布を積層して用いたフィルタ
ーを使用する技術が開示されているが、このようなフィ
ルターは多量の汚れが付着した場合には、新しいフィル
ターに交換する必要があり、再利用は不可能であった。
ポリエステル等の繊維をほぼ一様の粗さに編む等して不
織布に形成したフィルターが用いられている。例えば、
特開平６−６３３２８号公報には、油捕集効率向上のた
め、目の粗さの異なる不織布を積層して用いたフィルタ
ーを使用する技術が開示されているが、このようなフィ
ルターは多量の汚れが付着した場合には、新しいフィル
ターに交換する必要があり、再利用は不可能であった。
【０００４】実開昭５６−６６７３１号公報には、フィ
ルターを撥水性材料で被覆することにより、汚れが付着
しにくくフィルターの交換回数が少なくなり、また、フ
ィルターを洗浄して再利用することをも可能とする技術
が開示されている。
ルターを撥水性材料で被覆することにより、汚れが付着
しにくくフィルターの交換回数が少なくなり、また、フ
ィルターを洗浄して再利用することをも可能とする技術
が開示されている。
【０００５】しかしながら、多孔体基材の骨格の全表面
に撥水性材料であるフッ素樹脂、シリコン系樹脂、ゴ
ム、ポリエチレン等を被覆すると、多孔体基材と高密着
で被覆することが難しく、均一に被覆し難いため、フィ
ルターが目詰まりを起こしたり、多孔体基材の３次元網
状構造を変えてしまうおそれがあり、フィルター機能に
支障をきたす等の問題があった。
に撥水性材料であるフッ素樹脂、シリコン系樹脂、ゴ
ム、ポリエチレン等を被覆すると、多孔体基材と高密着
で被覆することが難しく、均一に被覆し難いため、フィ
ルターが目詰まりを起こしたり、多孔体基材の３次元網
状構造を変えてしまうおそれがあり、フィルター機能に
支障をきたす等の問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑
み、撥水性及び撥油性に富み、再利用可能なフィルター
を製造する方法を提供することを目的とする。
み、撥水性及び撥油性に富み、再利用可能なフィルター
を製造する方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、フィル
ターを、連通気孔を有する３次元網目状多孔体材料を、
少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置された金属
電極間に配置し、０．０１〜１０体積％のフッ素含有ガ
スと９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとからなる混
合ガスの雰囲気中、１００〜８００Ｔｏｒｒの圧力下
で、対向電極に電圧を印加することにより発生する放電
プラズマを、前記３次元網目状多孔体材料に接触させ
て、前記３次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素化
して製造するところにある。
ターを、連通気孔を有する３次元網目状多孔体材料を、
少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置された金属
電極間に配置し、０．０１〜１０体積％のフッ素含有ガ
スと９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとからなる混
合ガスの雰囲気中、１００〜８００Ｔｏｒｒの圧力下
で、対向電極に電圧を印加することにより発生する放電
プラズマを、前記３次元網目状多孔体材料に接触させ
て、前記３次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素化
して製造するところにある。
【０００８】本発明で使用されるフィルターの基材は、
連通気孔を有する３次元網目状多孔体材料である。上記
３次元網目状多孔体材料は、繊維を編んだり、成形加工
して不織布状に形成したものが用いられる。上記３次元
網目状多孔体材料の材質としては、例えば、有機高分子
化合物、金属、セラミック等が挙げられ、なかでも、可
とう性があり、施工し易い有機高分子化合物が好まし
い。上記有機高分子化合物としては、例えば、ポリオレ
フィン系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられ、なか
でも、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン系樹脂が好ましい。上記３次元網目状多孔体材料の厚
みは、用途に応じて適宜決定されるが、対向する電極間
に挿入可能な厚みであれば、特に限定されない。
連通気孔を有する３次元網目状多孔体材料である。上記
３次元網目状多孔体材料は、繊維を編んだり、成形加工
して不織布状に形成したものが用いられる。上記３次元
網目状多孔体材料の材質としては、例えば、有機高分子
化合物、金属、セラミック等が挙げられ、なかでも、可
とう性があり、施工し易い有機高分子化合物が好まし
い。上記有機高分子化合物としては、例えば、ポリオレ
フィン系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられ、なか
でも、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン系樹脂が好ましい。上記３次元網目状多孔体材料の厚
みは、用途に応じて適宜決定されるが、対向する電極間
に挿入可能な厚みであれば、特に限定されない。
【０００９】本発明で使用されるフッ素含有ガスとして
は、例えば、４フッ化メタン（ＣＦ 4 ）、６フッ化エタ
ン（Ｃ2 Ｆ6 ）、６フッ化プロピレン（Ｃ3 Ｆ6 ）等の
フッ化炭化水素ガス；１塩素化３フッ素化メタンガス
（ＣＣｌＦ3 ）等のハロゲン化炭化水素ガス；６フッ化
硫黄（ＳＦ6 ）等のフッ化硫黄化合物等が挙げられ、な
かでも、安全でフッ化水素等の有害なガスが発生しない
４フッ化メタン、６フッ化エタン、６フッ化プロピレン
等が好ましい。
は、例えば、４フッ化メタン（ＣＦ 4 ）、６フッ化エタ
ン（Ｃ2 Ｆ6 ）、６フッ化プロピレン（Ｃ3 Ｆ6 ）等の
フッ化炭化水素ガス；１塩素化３フッ素化メタンガス
（ＣＣｌＦ3 ）等のハロゲン化炭化水素ガス；６フッ化
硫黄（ＳＦ6 ）等のフッ化硫黄化合物等が挙げられ、な
かでも、安全でフッ化水素等の有害なガスが発生しない
４フッ化メタン、６フッ化エタン、６フッ化プロピレン
等が好ましい。
【００１０】本発明で使用される不活性ガスとしては、
例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン等の希
ガス；窒素ガス等が挙げられ、なかでも、準安定状態で
寿命が長く、フッ素含有ガスを励起するのに有利なヘリ
ウムガスを用いるのが好ましい。上記不活性ガスは、単
独又は混合ガスとして用いることができる。上記不活性
ガスとしてヘリウム以外のガスを用いる場合は、アセト
ン、メタノール等の蒸気ガス；メタン、エタン等の炭化
水素ガス等を２体積％以下混合するとよい。
例えば、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノン等の希
ガス；窒素ガス等が挙げられ、なかでも、準安定状態で
寿命が長く、フッ素含有ガスを励起するのに有利なヘリ
ウムガスを用いるのが好ましい。上記不活性ガスは、単
独又は混合ガスとして用いることができる。上記不活性
ガスとしてヘリウム以外のガスを用いる場合は、アセト
ン、メタノール等の蒸気ガス；メタン、エタン等の炭化
水素ガス等を２体積％以下混合するとよい。
【００１１】上記フッ素含有ガスは、上記不活性ガスに
よって励起され、上記３次元網目状多孔体材料に接触さ
れることにより、上記３次元網目状多孔体材料の骨格表
面に、−ＣＦx 基（Ｘは、１、２又は３を表す。）、フ
ッ素含有炭素膜等が強固に形成されフッ素化される。フ
ッ素化された層の厚みは、使用するフッ素含有ガスによ
って異なるが、２０〜１０００Å程度が好ましい。
よって励起され、上記３次元網目状多孔体材料に接触さ
れることにより、上記３次元網目状多孔体材料の骨格表
面に、−ＣＦx 基（Ｘは、１、２又は３を表す。）、フ
ッ素含有炭素膜等が強固に形成されフッ素化される。フ
ッ素化された層の厚みは、使用するフッ素含有ガスによ
って異なるが、２０〜１０００Å程度が好ましい。
【００１２】上記フッ素含有ガスと上記不活性ガスとの
混合比は、使用するガスの種類により適宜決定される
が、上記フッ素含有ガスの濃度は０．０１〜１０体積％
である。上記フッ素含有ガスの濃度が０．０１体積％未
満であると、フッ素の反応速度が低下し、１０体積％を
超えると、高電圧を印加しても放電プラズマが発生しな
いので、上記範囲に限定される。好ましくは、０．１〜
５体積％である。
混合比は、使用するガスの種類により適宜決定される
が、上記フッ素含有ガスの濃度は０．０１〜１０体積％
である。上記フッ素含有ガスの濃度が０．０１体積％未
満であると、フッ素の反応速度が低下し、１０体積％を
超えると、高電圧を印加しても放電プラズマが発生しな
いので、上記範囲に限定される。好ましくは、０．１〜
５体積％である。
【００１３】本発明においては、電圧の印加は、上記フ
ッ素含有ガスと上記不活性ガス混合ガスの雰囲気中、１
００〜８００Ｔｏｒｒの圧力下で行う。１００Ｔｏｒｒ
未満であると、フッ素化が充分に進行せず、８００Ｔｏ
ｒｒを超えても、効果は変わらず、装置に負担をかける
ので、上記範囲に限定される。なかでも、圧力調整が容
易で装置が簡便になる７００〜７８０Ｔｏｒｒが好まし
い。
ッ素含有ガスと上記不活性ガス混合ガスの雰囲気中、１
００〜８００Ｔｏｒｒの圧力下で行う。１００Ｔｏｒｒ
未満であると、フッ素化が充分に進行せず、８００Ｔｏ
ｒｒを超えても、効果は変わらず、装置に負担をかける
ので、上記範囲に限定される。なかでも、圧力調整が容
易で装置が簡便になる７００〜７８０Ｔｏｒｒが好まし
い。
【００１４】上記３次元網目状多孔体材料の骨格表面を
フッ素化するためには、上記３次元網目状多孔体材料を
加熱したり冷却したりしてもよいが、室温で充分であ
る。また、フッ素化のためには、処理時間は５秒程度で
充分である。
フッ素化するためには、上記３次元網目状多孔体材料を
加熱したり冷却したりしてもよいが、室温で充分であ
る。また、フッ素化のためには、処理時間は５秒程度で
充分である。
【００１５】本発明のフィルターの製造方法を、図１を
参照して説明する。図１は、本発明に使用される大気圧
プラズマ表面処理装置の模式断面図である。この装置
は、電源部１、処理容器２、上部電極４及び下部電極５
から構成されている。電源部１はｋＨｚ台の周波数の電
圧を印加することができるが、耐熱性の低い３次元網目
状多孔体材料をフッ素化するには５〜３０ｋＨｚの低い
周波数が好ましい。
参照して説明する。図１は、本発明に使用される大気圧
プラズマ表面処理装置の模式断面図である。この装置
は、電源部１、処理容器２、上部電極４及び下部電極５
から構成されている。電源部１はｋＨｚ台の周波数の電
圧を印加することができるが、耐熱性の低い３次元網目
状多孔体材料をフッ素化するには５〜３０ｋＨｚの低い
周波数が好ましい。
【００１６】処理容器２の材質は、電極と絶縁がとれて
いるものなら特に限定されず、例えば、ステンレス、ア
ルミニウム等の金属製のもの等が挙げられ、なかでも、
パイレックスガラス製が好ましい。
いるものなら特に限定されず、例えば、ステンレス、ア
ルミニウム等の金属製のもの等が挙げられ、なかでも、
パイレックスガラス製が好ましい。
【００１７】処理容器２内に一対の相対する平行平板の
上部電極４と下部電極５が配設されている。電極構造と
しては、平行平板型のほか、円筒対向平板型、球対向平
板型、双曲面対向型、同軸円筒型、複数の細線からなる
もの等を使用することができる。
上部電極４と下部電極５が配設されている。電極構造と
しては、平行平板型のほか、円筒対向平板型、球対向平
板型、双曲面対向型、同軸円筒型、複数の細線からなる
もの等を使用することができる。
【００１８】上部電極４及び下部電極５の材質は、特に
限定されないが、例えば、ステンレス、真鍮等の多成分
系の金属からなるもの；銅、アルミニウム等の純金属か
らなるもの等が挙げられる。
限定されないが、例えば、ステンレス、真鍮等の多成分
系の金属からなるもの；銅、アルミニウム等の純金属か
らなるもの等が挙げられる。
【００１９】固体誘電体６は、下部電極５の上部電極４
との対向面に配置されており、両者間の空間に放電プラ
ズマによる表面処理部３が形成される。放電プラズマ
は、対向の電極に電圧を印加することで発生するが、電
界強度５〜４０ｋＶ／ｃｍ程度となるように電圧を印加
するのが好ましい。電界強度が５ｋＶ／ｃｍ未満である
と、プラズマ密度及びバイアスが小さくなるので、処理
に時間がかかり非能率的であり、４０ｋＶ／ｃｍを超え
ると、固体誘電体が高温になりアーク放電に移行する挙
動を示す。
との対向面に配置されており、両者間の空間に放電プラ
ズマによる表面処理部３が形成される。放電プラズマ
は、対向の電極に電圧を印加することで発生するが、電
界強度５〜４０ｋＶ／ｃｍ程度となるように電圧を印加
するのが好ましい。電界強度が５ｋＶ／ｃｍ未満である
と、プラズマ密度及びバイアスが小さくなるので、処理
に時間がかかり非能率的であり、４０ｋＶ／ｃｍを超え
ると、固体誘電体が高温になりアーク放電に移行する挙
動を示す。
【００２０】固体誘電体６は、下部電極５の上部電極４
との対向面の全面を覆うように配置される。一部覆われ
ていない部分があると、その部分からアーク放電が生じ
てしまうので好ましくない。固体誘電体６は、上部電極
４及び下部電極５の少なくとも一方の対向面に配置され
ていれば充分である。
との対向面の全面を覆うように配置される。一部覆われ
ていない部分があると、その部分からアーク放電が生じ
てしまうので好ましくない。固体誘電体６は、上部電極
４及び下部電極５の少なくとも一方の対向面に配置され
ていれば充分である。
【００２１】固体誘電体６の材質としては、例えば、ポ
リテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリカーボネート、ポリアクリレート等のプラスチ
ック；酸化ケイ素、二酸化ケイ素、ホウケイ酸ガラス等
のガラス；酸化アルミニウム、酸化チタン、二酸化チタ
ン、チタン酸バリウム等のセラミック等が挙げられる。
リテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリカーボネート、ポリアクリレート等のプラスチ
ック；酸化ケイ素、二酸化ケイ素、ホウケイ酸ガラス等
のガラス；酸化アルミニウム、酸化チタン、二酸化チタ
ン、チタン酸バリウム等のセラミック等が挙げられる。
【００２２】固体誘電体６の形状は、シート状でもフィ
ルム状でもよい。厚みは、材料にもよるが５０μｍ〜４
ｍｍが好ましい。厚みが５０μｍ未満であると、高電圧
印加時に絶縁破壊が起こりアーク放電が生じ易く、４ｍ
ｍを超えると、放電し難くなる。
ルム状でもよい。厚みは、材料にもよるが５０μｍ〜４
ｍｍが好ましい。厚みが５０μｍ未満であると、高電圧
印加時に絶縁破壊が起こりアーク放電が生じ易く、４ｍ
ｍを超えると、放電し難くなる。
【００２３】フッ素含有ガスは、反応ガス導入管８を経
て上部電極４から、不活性ガスは、不活性ガス導入管９
から、それぞれ表面処理部３に供給される。フッ素含有
ガス及び不活性ガスは、マスフローコントローラーで流
量制御され、０．０１〜１０体積％のフッ素含有ガスと
９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとの混合ガスとし
て供給される。
て上部電極４から、不活性ガスは、不活性ガス導入管９
から、それぞれ表面処理部３に供給される。フッ素含有
ガス及び不活性ガスは、マスフローコントローラーで流
量制御され、０．０１〜１０体積％のフッ素含有ガスと
９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとの混合ガスとし
て供給される。
【００２４】フッ素含有ガスを表面処理部３に均一に供
給し、均一度の優れた処理をするためには、上部電極４
が多孔構造であることが好ましいが、例えば、フッ素含
有ガスをガス攪拌状態にて供給するか、又は、ガスを高
速で吹き付けること等により、フッ素含有ガスを表面処
理部３に均一に供給することができれば、多孔構造でな
くてもよい。
給し、均一度の優れた処理をするためには、上部電極４
が多孔構造であることが好ましいが、例えば、フッ素含
有ガスをガス攪拌状態にて供給するか、又は、ガスを高
速で吹き付けること等により、フッ素含有ガスを表面処
理部３に均一に供給することができれば、多孔構造でな
くてもよい。
【００２５】上記混合ガスの雰囲気中、１００〜８００
Ｔｏｒｒの圧力下で、対向電極に電圧を印加することで
発生する放電プラズマを、固体誘電体６上に装着された
３次元網目状多孔体材料７に接触させて、３次元網目状
多孔体材料の骨格表面をフッ素化する。
Ｔｏｒｒの圧力下で、対向電極に電圧を印加することで
発生する放電プラズマを、固体誘電体６上に装着された
３次元網目状多孔体材料７に接触させて、３次元網目状
多孔体材料の骨格表面をフッ素化する。
【００２６】上部電極４、下部電極５の距離は、固体誘
電体６の厚み、３次元網目状多孔体材料７の厚み、印加
電圧の大きさ、フッ素含有ガス流量等によって適宜決定
されるが、１〜２０ｍｍの間が好ましい。１ｍｍ未満で
あると、空間を形成し難く、未使用のガスが多くなり非
能率的であり、距離が２０ｍｍを超えると、放電プラズ
マの均一性が損なわれ易くなる。過剰のフッ素含有ガ
ス、不活性ガスは容器のガス出口１０から排出する。な
お、処理容器２内に処理用ガスや不活性ガスを導入する
際には、処理容器２内に残存する空気を排気口１１から
排出するようにするのが好ましい。
電体６の厚み、３次元網目状多孔体材料７の厚み、印加
電圧の大きさ、フッ素含有ガス流量等によって適宜決定
されるが、１〜２０ｍｍの間が好ましい。１ｍｍ未満で
あると、空間を形成し難く、未使用のガスが多くなり非
能率的であり、距離が２０ｍｍを超えると、放電プラズ
マの均一性が損なわれ易くなる。過剰のフッ素含有ガ
ス、不活性ガスは容器のガス出口１０から排出する。な
お、処理容器２内に処理用ガスや不活性ガスを導入する
際には、処理容器２内に残存する空気を排気口１１から
排出するようにするのが好ましい。
【００２７】
【実施例】以下に実施例を掲げて本発明をさらに詳しく
説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるもので
はない。
説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるもので
はない。
【００２８】実施例１〜５ 図１に示した大気圧プラズマ表面処理装置装置（金属電
極直径１２０ｍｍ）を用い、処理容器内の電極間距離１
０ｍｍの電極空間中に、直径１４０ｍｍ×厚み２ｍｍの
表１記載の固体誘電体を装着した下部電極上に直径１０
０ｍｍ×厚み５ｍｍのポリプロピレン製の不織布（日本
バイリーン社製）を装着し、処理容器内を１Ｔｏｒｒま
で排気した。
極直径１２０ｍｍ）を用い、処理容器内の電極間距離１
０ｍｍの電極空間中に、直径１４０ｍｍ×厚み２ｍｍの
表１記載の固体誘電体を装着した下部電極上に直径１０
０ｍｍ×厚み５ｍｍのポリプロピレン製の不織布（日本
バイリーン社製）を装着し、処理容器内を１Ｔｏｒｒま
で排気した。
【００２９】上記処理容器内に、表１に記載した組成の
フッ素含有ガスと不活性ガスを導入し、７５８Ｔｏｒｒ
の圧力とし、周波数１５ｋＨｚの電圧を印加し、１５秒
間放置した。電圧の印加に伴って、放電プラズマによる
発光が確認された。処理後の不織布に水を垂らすと、水
を弾き撥水化されていることが確認できた。
フッ素含有ガスと不活性ガスを導入し、７５８Ｔｏｒｒ
の圧力とし、周波数１５ｋＨｚの電圧を印加し、１５秒
間放置した。電圧の印加に伴って、放電プラズマによる
発光が確認された。処理後の不織布に水を垂らすと、水
を弾き撥水化されていることが確認できた。
【００３０】フッ素化処理の効果を比較するため、以下
の試験を行った。カーボンブラック３００ｇが分散した
１Ｌの純水中に、処理した不織布を５分間浸漬し、カー
ボンブラックを付着させ６０℃で１時間乾燥後、付着し
たカーボンブラックを洗浄させるために純水中で超音波
洗浄を１０分間行った。
の試験を行った。カーボンブラック３００ｇが分散した
１Ｌの純水中に、処理した不織布を５分間浸漬し、カー
ボンブラックを付着させ６０℃で１時間乾燥後、付着し
たカーボンブラックを洗浄させるために純水中で超音波
洗浄を１０分間行った。
【００３１】その後、不織布を取り出し、洗浄水の透過
率を測定した。不織布に付着したカーボンブラックが多
量に洗浄された場合、洗浄水中には多量のカーボンブラ
ックが分散しているため洗浄水濁り透過率は低い値を示
すが、洗浄効果の低下につれて洗浄水中に分散するカー
ボンブラック量が減少し、透過率は高い値を示す。そこ
で、透過率が５０％になるまで、浸漬／洗浄（新しい洗
浄用水使用）を繰り返し、その繰り返し回数を表１に記
載した。
率を測定した。不織布に付着したカーボンブラックが多
量に洗浄された場合、洗浄水中には多量のカーボンブラ
ックが分散しているため洗浄水濁り透過率は低い値を示
すが、洗浄効果の低下につれて洗浄水中に分散するカー
ボンブラック量が減少し、透過率は高い値を示す。そこ
で、透過率が５０％になるまで、浸漬／洗浄（新しい洗
浄用水使用）を繰り返し、その繰り返し回数を表１に記
載した。
【００３２】比較例１ 実施例１で用いたポリプロピレン製の不織布を処理せず
に実施例１と同様の試験を行った。結果を表１に示し
た。
に実施例１と同様の試験を行った。結果を表１に示し
た。
【００３３】
【表１】
【００３４】
【発明の効果】本発明のフィルターの製造方法により製
造されるフィルターは、連通気孔を有する３次元網目状
多孔体材料の骨格表面が、フッ素化されているので、汚
れを容易に落とすことができ、再利用が可能である。特
に、台所等の油煙の発生する所及び換気通気口等に設置
される換気機器のフィルターとして好適に利用できる。
造されるフィルターは、連通気孔を有する３次元網目状
多孔体材料の骨格表面が、フッ素化されているので、汚
れを容易に落とすことができ、再利用が可能である。特
に、台所等の油煙の発生する所及び換気通気口等に設置
される換気機器のフィルターとして好適に利用できる。
【図１】本発明に使用される装置の模式断面図。 １ 電源部 ２ 処理容器 ３ 表面処理部 ４ 上部電極 ５ 下部電極 ６ 固体誘電体 ７ ３次元網目状多孔体材料 ８ 反応ガス導入管 ９ 不活性ガス導入管 １０ ガス出口 １１ 排気口
Claims (2)
- 【請求項１】 連通気孔を有する３次元網目状多孔体材
料を、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置され
た金属電極間に配置し、０．０１〜１０体積％のフッ素
含有ガスと９９．９９〜９０体積％の不活性ガスとから
なる混合ガスの雰囲気中、１００〜８００Ｔｏｒｒの圧
力下で、対向電極に電圧を印加することにより発生する
放電プラズマを、前記３次元網目状多孔体材料に接触さ
せて、前記３次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素
化することを特徴とするフィルターの製造方法。 - 【請求項２】 ３次元網目状多孔体材料が、ポリオレフ
ィン系樹脂である請求項１記載のフィルターの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20051294A JPH0857225A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | フィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20051294A JPH0857225A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | フィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0857225A true JPH0857225A (ja) | 1996-03-05 |
Family
ID=16425550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20051294A Pending JPH0857225A (ja) | 1994-08-25 | 1994-08-25 | フィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0857225A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000001737A1 (en) * | 1998-07-02 | 2000-01-13 | 3M Innovative Properties Company | Fluorinated electret |
| WO2008146820A1 (ja) * | 2007-05-28 | 2008-12-04 | Kao Corporation | 換気扇又はレンジフード用防汚フィルタ |
| JP2009156569A (ja) * | 2007-05-28 | 2009-07-16 | Kao Corp | 換気扇又はレンジフード用防汚フィルタ |
-
1994
- 1994-08-25 JP JP20051294A patent/JPH0857225A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000001737A1 (en) * | 1998-07-02 | 2000-01-13 | 3M Innovative Properties Company | Fluorinated electret |
| US6398847B1 (en) | 1998-07-02 | 2002-06-04 | 3M Innovative Properties Company | Method of removing contaminants from an aerosol using a new electret article |
| US6397458B1 (en) | 1998-07-02 | 2002-06-04 | 3M Innovative Properties Company | Method of making an electret article by transferring fluorine to the article from a gaseous phase |
| US6409806B1 (en) | 1998-07-02 | 2002-06-25 | 3M Innovative Properties Company | Fluorinated electret |
| AU750831B2 (en) * | 1998-07-02 | 2002-08-01 | 3M Innovative Properties Company | Fluorinated electret |
| US6432175B1 (en) | 1998-07-02 | 2002-08-13 | 3M Innovative Properties Company | Fluorinated electret |
| US6562112B2 (en) | 1998-07-02 | 2003-05-13 | 3M Innovative Properties Company | Fluorinated electret |
| US6660210B2 (en) | 1998-07-02 | 2003-12-09 | 3M Innovative Properties Company | Method of making fluorinated electrets |
| US6808551B2 (en) | 1998-07-02 | 2004-10-26 | 3M Innovative Properties Company | Method of using fluorinated electrets |
| US6953544B2 (en) | 1998-07-02 | 2005-10-11 | 3M Innovative Properties Company | Method of making a respirator that has a fluorinated electret |
| WO2008146820A1 (ja) * | 2007-05-28 | 2008-12-04 | Kao Corporation | 換気扇又はレンジフード用防汚フィルタ |
| JP2009156569A (ja) * | 2007-05-28 | 2009-07-16 | Kao Corp | 換気扇又はレンジフード用防汚フィルタ |
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