JP2002367383A - 選択的倍速動作モードをもつ不揮発性半導体メモリ装置 - Google Patents

選択的倍速動作モードをもつ不揮発性半導体メモリ装置

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JP2002367383A JP2002062102A JP2002062102A JP2002367383A JP 2002367383 A JP2002367383 A JP 2002367383A JP 2002062102 A JP2002062102 A JP 2002062102A JP 2002062102 A JP2002062102 A JP 2002062102A JP 2002367383 A JP2002367383 A JP 2002367383A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各種倍速モードに従う別途のチップ設計及び
製造なしに、オプションだけを以って、ユーザが所望す
る倍速で半導体メモリを動作させることができる不揮発
性半導体メモリ装置を提供すること。 【解決手段】 複数のワードラインにコントロールゲー
トがそれぞれ対応連結されストリング選択トランジスタ
と接地選択トランジスタとの間でドレイン‐ソースチャ
ンネルが互いに直列に連結されたフローティングゲート
メモリセルトランジスタからなるセルストリングを複数
にもつセルアレイブロックを複数に含むメモリセルアレ
イを備えた不揮発性半導体メモリ装置において、倍速オ
プション信号を生成する倍速モードオプション部と、倍
速オプション信号の状態に応じてメモリセルアレイのペ
ージ及びブロックサイズを互いに異に指定するアドレシ
ング回路と、を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術の分野】本発明は、電気的に消去及
びプログラム可能な不揮発性半導体メモリ装置に係るも
ので、特にオプションに従い選択的倍速動作モードをも
つ不揮発性半導体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、不揮発性半導体メモリ装置は、外
部の電源供給が中断されてもメモリセル内にその内容を
永久的に保存することができるため、電源供給の有無に
かかわらずに保存されるべき内容を記憶させるのに主に
用いられる。MROM、PROM、EPROMの場合には、一般のユ
ーザらが電子的システムを通じ、自発的に消去及び書き
込み(またはプログラム)を行う作業が自由でない。
【0003】即ち、オンボード状態でプログラムされた
内容を消去するか、または再プログラムすることが容易
でないのである。これとは異なって、電気的に消去及び
プログラム可能なEEPROMの場合、電気的に消去及び書き
込み(またはプログラム)を行う作業がシステム自体可
能であるので、継続的な内容更新が必要なシステムプロ
グラム蓄積装置及び補助記憶装置としてのその応用が持
続的に拡大されつつある。
【0004】特に、最近のコンピューターまたはマイク
ロプロセッサにより制御される様々な電子的装置は、高
密度の電気的に消去及びプログラム可能なEEPROMの開発
を一層要求しており、さらに、携帯用コンピューターま
たはノートブックサイズのバッテリ電源コンピューター
システムにおいて、補助メモリ装置として回転磁気ディ
スクを有するハードディスク装置を使用するのは、相対
的に広い面積を占めるため、このようなシステムの設計
者らは、より小さい面積を占有する高密度、高性能のEE
PROMの開発に大きな興味を感じてきた。
【0005】高密度EEPROMを達成するためには、メモリ
セルが占有する面積を減らすことが主な重要課題であ
る。そのような課題を解決するため、セル当たりの選択
トランジスタ個数、及びビットラインとの接続開口の個
数を減らすことができるNAND構造となったメモリセルを
有するEEPROMが本分野で開発された。NAND構造セルは、
以前から本技術分野で1988年に発行されたIEDM、ページ
412乃至415でタイトル“NEW DEVICE TECHNOLOGIES FOR
5V-ONLY 4Mb EEPROM WITH NAND STRUCTURE CELL”の下
に開示されている。
【0006】EEPROM設計技術が進歩するに従い出現し
た、フラッシュ消去機能を有するNAND型フラッシュEEPR
OMはNOR型またはAND型のEEPROMに比べ集積化が容易であ
り、相対的に安価なので大容量補助記憶装置への応用に
非常に有利である。最近、NAND型フラッシュメモリを用
いる市場の要求が漸次多様化されるに従い、このような
市場の要求に対応できるように、設計の際に各種機能的
オプションを入れる必要があることになった。
【0007】以下、後述の本発明に対する徹底した理解
を提供する意図の外には他の意図なしで、上記のような
特性をもつNAND型フラッシュメモリのセルアレイ構造を
説明する。図10には通常のNAND型フラッシュEEPROMの
セルアレイ構成及びNAND型フラッシュセルストリングが
図示される。図面の左側で示されるように、NAND型フラ
ッシュメモリ装置はメモリセルアレイ950と、入力アド
レスを受信してワードラインW/Lを選択するためのロー
デコーダ960と、選択されたメモリセルにデータを入出
力するため、それぞれのビットラインB/Lに連結される
ページバッファ970と、コラムデコーディングのための
コラムデコーダ980とを備える。
【0008】メモリセルアレイ950は符号951,952,953で
示したように、セルストリングを複数もつセルアレイブ
ロックを複数含む。即ち、メモリセルアレイ950は複数
個のブロック単位で構成され、一つのブロックはセルス
トリングからなる複数個のメモリセルトランジスタ、例
えば、4Kバイト個のメモリセルトランジスタから構成
される。一方、図面の右側を参照すると、複数のセルス
トリングから構成されるセルアレイブロックの例が見せ
られる。
【0009】NAND型フラッシュメモリセルアレイをなす
基本単位は、セルストリング(“NANDセルユニット”と
もいう)である。一つのセルアレイブロック内にはドレ
インが対応ビットラインに接続開口を通じて接続された
第1選択トランジスタ900と、ソースが共通ソースライ
ンGSLに接続された第2ト選択ランジスタ901と、第1選
択トランジスタのソースと第2選択トランジスタのドレ
インとの間でドレイン‐ソースチャンネルが互いに直列
に接続されたn個のメモリトランジスタM1,M2,...,Mnか
らなったセルストリングと、が複数構成される。
【0010】ここで、第1選択トランジスタ900は、選
択されたセルストリングをビットラインB/Lに連結また
は遮断させるための役割をし、第2選択トランジスタ90
1はセルストリングの接地経路を作るために用いられ
る。NAND型のセルストリングは通常P型半導体基板上に
形成され、それぞれのメモリセルトランジスタはそのソ
ースとドレイン領域間のチャンネル領域上にゲート酸化
膜を介して形成されたフローティングゲート(または浮
遊ゲート)と、層間絶縁膜を通じてフローティングゲー
ト上に形成された制御ゲート(またはコントロールゲー
ト)とを有する。
【0011】セルストリング内のフローティングゲート
を有するメモリセルトランジスタM1,M2,...,Mnを選択す
るため、第1方向、例えば横軸方向に複数のワードライ
ン(以下、W/L)が存在し、第1方向とは直角方向、例
えば、縦軸方向に複数のビットライン(以下、B/L)が
配置される。ここで、W/Lはメモリセルトランジスタの
コントロールゲートと電気的に連結している。実質的に
製造工程で作られたW/Lはそれ自体でコントロールゲー
トの役割を兼ねている。セルストリング内に選択された
メモリトランジスタをプログラムするためには、セルス
トリング内のすべてのメモリトランジスタを、一時に消
去させた後にプログラミング動作を行う。
【0012】すべてのメモリトランジスタの同時消去動
作(通常、フラッシュ消去という。)は、メモリセルの
消去動作はF-Nトンネリングを起こすため、すべての制
御ゲートに0Vを印加し、P型ウェル領域とN型基板とに20
Vの高電圧を印加することにより行われ、すべてのメモ
リトランジスタのフローティングゲートから電子がP型
ウェルに均一に放出されるようにする。その結果、それ
ぞれのメモリトランジスタのしきい電圧は約‐4Vの負の
電圧となり、2進論理“1”が貯蔵された状態と仮定さ
れるディプリーションモードのトランジスタの状態にな
る。
【0013】選択されたメモリトランジスタをプログラ
ムするため、第1選択トランジスタのゲートと選択され
たメモリトランジスタの制御ゲートには20Vの高電圧を
印加し、第2選択トランジスタのゲートには0Vを、そし
て非選択のメモリトランジスタのそれぞれの制御ゲート
には7Vの中間電圧を印加する。仮に、選択されたメモリ
トランジスタを2進論理“0”で書き込みまたはプログ
ラムすると、NANDセルユニットと接続されたビットライ
ンに0Vが印加され、これにより選択されたメモリトラン
ジスタのフローティングゲートに電子が注入され、エン
ハンスメントモードのトランジスタ状態になる。
【0014】反面、選択されたメモリトランジスタを2
進論理“1”でプログラムすると、対応ビットラインに
はプログラム防止電圧の中間電圧7Vが印加され、選択さ
れたメモリトランジスタのプログラム動作は防止され
る。従って、選択されたメモリトランジスタは該トラン
ジスタのドレインからフローティングゲートに正孔のF-
Nトンネリングによりプログラムされる。
【0015】上記のようなNANDフラッシュメモリのメモ
リセルアレイ構造において、同じワードラインに共通し
て制御ゲートが連結されたメモリセルトランジスタをペ
ージといい、同じストリング選択ラインSSLを共有する
複数個のページの束をブロックという。通常、データ読
み出し及びプログラム動作はページ単位で行われ、消去
の場合にブロック単位で進行される。
【0016】ページサイズとブロックサイズはフラッシ
ュメモリの設計の際にハードウェア的に予め決定され
る。NAND型フラッシュメモリは、バイト(x8)またはワー
ド(x16)単位でランダムアクセスによりデータを読み出
すNOR型フラッシュメモリとは異なって、比較的長い時
間(〜10us)に亘ってページ単位でデータを感知してペ
ージバッファに蓄積する。フラッシュメモリに連結され
た制御装置、例えばCPUではフラッシュメモリのリード
イネーブルピン(nRE×pin)をトグルしてページバッフ
ァに蓄積されたデータを順次パッチする。
【0017】このようにフラッシュメモリではデータ読
出の際に比較的長い待ち時間を必要とするが、一応感知
されてページバッファに蓄積されたデータを入出力する
動作側面ではデータ入出力レートが相対的に優れた長所
を有する。フラッシュメモリの場合、ページサイズを大
きくするほどデータ入出力レートは向上する。しかし、
データ入出力レートの向上のため無制限にページサイズ
を拡張するのは困難である。その理由はページサイズを
大きくすると、消去の際に基本単位となるブロックサイ
ズも共に大きくなるため、比較的小さい単位のデータを
書替える場合には不便さを伴うためである。
【0018】従って、比較的大きいサイズのデータを書
替え、ハイデータ出力レートを所望するユーザは、ペー
ジサイズとブロックサイズとが大きいフラッシュメモリ
を要求し、比較的小さいサイズのデータを書替える場
合、ユーザは小さいブロックサイズを要求する。そのた
め、一旦設計してしまうと、物理的にページサイズとブ
ロックサイズとが決定するフラッシュメモリの場合、ユ
ーザの多様なサイズ要求に対し、別途の製品を設計・製
造しようとすれば、コストがかかるという問題点があっ
た。そこで、ユーザのサイズ要求に逐一適合した製品
を、別途に設計・製造することなく、そのようなサイズ
要求を充足させることができる、改善された技術が本技
術分野で要望される。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
のような問題点を解決することができる不揮発性半導体
メモリ装置を提供することである。また、本発明の目的
は、ユーザのページサイズ及びブロックサイズの要求に
適確に対応して動作することができるNAND型フラッシュ
メモリ装置を提供することである。また、本発明の目的
は、オプションに従い多様な倍速動作をもつNAND型フラ
ッシュメモリを提供することである。また、本発明の目
的は、オプションに従いそれぞれ2種類以上のページサ
イズとブロックサイズとを択一的に有して動作すること
ができるNAND型フラッシュメモリ装置の構造及びそれに
従う動作方法を提供することである。さらに、本発明の
目的は、ワイヤボンディングオプションに従い、選択さ
れた倍速動作モードを有するNANDフラッシュEEPROM及び
その駆動方法を提供することである。
【0020】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため、本発明による不揮発性半導体メモリ装置は、複
数のワードラインにコントロールゲートがそれぞれ対応
連結され、ストリング選択トランジスタと接地選択トラ
ンジスタとの間でドレイン‐ソースチャンネルが互いに
直列に連結されたフローティングゲートメモリセルトラ
ンジスタからなる、セルストリングを複数備えたセルア
レイブロックを複数含むメモリセルアレイを備え、倍速
オプション信号を生成する倍速モードオプション部と、
倍速オプション信号の状態に応じてメモリセルアレイの
ページサイズ及びブロックサイズを互いに異に指定する
アドレシング回路とを具備することを特徴とする。
【0021】また、本発明による不揮発性半導体メモリ
装置の駆動方法は、複数のワードラインにコントロール
ゲートがそれぞれ対応連結され、ストリング選択トラン
ジスタと接地選択トランジスタとの間でドレイン‐ソー
スチャンネルが互いに直列に連結されたフローティング
ゲートメモリセルトランジスタからなる、セルストリン
グを複数備えたセルアレイブロックを複数含むメモリセ
ルアレイを備えた不揮発性半導体メモリ装置の装置的オ
プションに従い、倍速オプション信号を生成する倍速モ
ードオプション部を装置内に備え、倍速オプション信号
の状態に応じ、メモリセルアレイのページサイズ及びブ
ロックサイズを2倍以上に拡張するアドレシングを行
い、リード、ライト及び消去動作を倍速モード動作で行
うことを特徴とする。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を用いて詳しく説明する。図面において互いに同
一または類似した部分は、説明及び理解の便宜上、同一
または類似した符号を付する。まず、64MBitメモリセル
アレイにおいて、512+16=528バイトのページサイズと8
Kバイトのブロックサイズとをもつ、1024個のセルアレ
イブロックにアクセスする場合を1倍速動作モードと
し、2倍速動作モードでは入出力レートを2倍に増加さ
せるため1024+32=1056バイトのページサイズと16Kバイ
トのブロックサイズとをもつ、512個のセルアレイブロ
ックにアクセスする。
【0023】ここで、比較的大きいサイズのデータを書
替え、ハイデータ出力レートを所望するユーザは2倍速
動作モードを所望し、比較的小さいサイズのデータを書
替えることを所望するユーザは1倍速動作モードを所望
するだろう。2倍速動作モードまたは2倍速以上の動作
モードは、データ入出力レートが1倍速動作モードより
も該当倍速だけ増加するという長所を有し、それに従う
ページプログラムの回数の増加に起因してメモリセルの
寿命が相対的に短いという短所を有する。
【0024】同じ容量をもつメモリセルアレイを該当用
途に適合した倍速で動作させることを所望する場合、そ
れにそれぞれ対応される倍速動作をもつフラッシュメモ
リを毎回設計し製造すると、設計及び製造費用が増加し
てメモリ製品のコストが上昇するだろう。従って、この
ような場合にオプション制御を用いて選択された倍速で
動作できるフラッシュメモリを提供すれば、かなり合理
的である。
【0025】図1は、本発明の実施の形態である選択的
倍速動作モードをもつ不揮発性半導体メモリ装置のブロ
ック図である。図示したように、メモリセルアレイを構
成するセルアレイ200,210、ロープレデコーディング信
号を受信してセルアレイ200,210のワードラインを選択
するローデコーダ230,231,240,241、セルアレイ200,210
のビットラインに連結されて選択されたメモリセルトラ
ンジスタにデータを入出力するための第1、第2ページ
バッファ250,251、コラムプレデコーディング信号に応
じて第1、第2ページバッファ250,251を選択する第
1、第2Yゲート260,261、入出力データをバッファーリ
ング及びラッチするため第1、第2Yゲート260,261に
連結されたI/Oバッファ及びラッチ270、I/Oバッファ及
びラッチ270に連結されてデータを入出力するI/O部28
0、倍速オプション信号及び入力ローアドレスをプレデ
コーディングしてローデコーダ230,231,240,241にロー
プレデコーディング信号を印加するロープレデコーダ10
0、ローデコーダ230,231,240,241を制御し、高電圧を印
加するコントロールロジック及び高電圧発生器110、倍
速オプション信号に応じて第1、第2ページバッファ25
0,251を制御するページバッファコントロールロジック1
20、倍速オプション信号及び入力コラムアドレスをプレ
デコーディングして第1、第2Yゲート260,261にコラム
プレデコーディング信号を印加するコラムプレデコーダ
130、及びI/Oバッファとラッチ270に連結されてコマン
ドを印加するコマンドレジスタ140を備える。
【0026】図1において、メモリセルアレイを構成す
るセルアレイブロック200,210が2つ図示されている
が、これは説明の便宜上のためのもので、実際のメモリ
装置では複数個のセルアレイブロックが配置されるよう
になる。セルアレイブロック中、説明の便宜上、一方の
セルアレイブロック200をMAT1と称し、残りの他方のセ
ルアレイブロック210をMAT2と称する。それぞれMAT1,2
の200,210はアドレシングのみが異なり、物理的に同一
な構造を有する。通常512バイトのページバッファを有
し、読み出しまたはプログラムを512バイト単位で行う
ことを1倍速フラッシュメモリと称すると、1Kバイト
のページバッファを有するNAND型フラッシュメモリの場
合に2倍速フラッシュメモリになり、2Kバイトのペー
ジバッファを有する場合に4倍速デバイスになる。本発
明の実施の形態では、便宜上1倍速/2倍速オプション
を有するフラッシュメモリデバイスの場合を挙げる。
【0027】図1で示されるMAT1,2の200,210はそれぞ
れ以下のようなアレイ構成を有することが出きる。NAND
型の一つのセルストリングに16個のメモリセルトランジ
スタが直列に連結され、ビットライン1個ごとに1個ず
つ連結されるページバッファがある。一つのMATのメイ
ンフィールドには512バイトのビットラインがあり、ス
ペアフィールドには16バイトのビットラインがある。
【0028】一つのMATに対しページサイズは512+16=52
8バイトになり、1倍速読み出し及びプログラムを支援
する。また、一つのブロックは直列に連結された16個の
ページ束になるため、消去の際に最少単位(ブロックサ
イズ)は1MATに対し8k+256バイトになる。それぞれのM
ATは縦軸(ここではY軸)に計512個のブロックがある。
そして、データの入出力はバイト単位になされる。スペ
アフィールドはユーザがエラーコレクションコード(EC
C)、またはブロック情報を蓄積するための特別な用途で
用いられるエキストラアレイ領域である。メインフィー
ルドという用語はスペアフィールドとの区別のために便
宜上用いた。
【0029】以下、1倍速読み出し及びプログラム動作
モードの場合に必要なアドレス信号の個数を説明する。
一つのMATに対し一つのワードラインを選択するために
は512個のブロック中で一つのブロックを選択した後、1
6個のページの中から一つのページを選択すべきである
ため、ローアドレス個数は9+4=13となる。ここにブロッ
クを選択するためのアドレスを追加すると、ローアドレ
スは計14個が必要であることがわかる。
【0030】一方、コラムアドレスは512バイトの中か
ら一バイトずつアクセスすべきであるため、9個のアド
レスが必要であり、特別にスペアフィールド側のデータ
入出力のための一つのスペアイネーブルアドレスが追加
されて、1MATに対し計10個のコラムアドレスが必要で
ある。このようにそれぞれのMATに対し、1倍速読み出
し/プログラムを所望し、消去のためのブロックサイズ
が8Kバイトのデバイスをオプションにより2倍速読み出
し/プログラムと消去のためのブロックサイズが16Kバイ
トのデバイスとして使用するためには、1倍速と2倍速
動作とを区分するオプションデバイスが必要である。
【0031】オプションデバイスは、メタルオプショ
ン、ヒューズオプション、またはボンディングオプショ
ンなどを用いることができる。本発明の実施例では図1
でのようなボンディングパッドによるオプション素子を
用いる。ボンディングパッドで現れる倍速オプション信
号FX2は2つの場合の倍速モードであれば、ローまたは
ハイレベルの信号を有する。倍速オプション信号FX2は
図4のようなオプション情報出力回路により生成でき
る。
【0032】図4は、図1のボンディングパッドと連結
されて倍速オプション信号を生成するオプション情報出
力回路の一例図で、ボンディングパッドBP(図4ではFX
2x)の入力端に連結されたインバーターI1と、インバー
ターI1の出力を反転するインバーターI2と、インバータ
ーI1の入力端と接地点との間をドレイン‐ソースチャン
ネルに連結し、ゲートからパワーアップ信号PWRUPを受
信するN型MOSトランジスタN1と、インバーターI1の入力
端と接地点との間をドレイン‐ソースチャンネルに連結
し、ゲートでインバーターI1からの出力を受信するN型M
OSトランジスタN2と、から構成される。
【0033】図4において、ボンディングパッドBPを備
え電源電圧、例えばVCCのパッドとワイヤボンディング
との製造工程を通じて連結すると、出力信号の倍速オプ
ション信号FX2が論理的ハイに活性化されて2倍速オプ
ションを示し、パッドFX2xが接地電圧に連結またはフロ
ーティングされてあれば、パワーアップの以後に倍速オ
プション信号FX2は論理的ローにディスエーブルされ
て、デフォルトオプションの1倍速動作を所望する。一
方、ハードウェア的に決定された容量をもつメモリセル
アレイを2倍速動作モードで駆動するためには、1倍速
動作モードで設定されるページサイズとブロックサイズ
とを2倍に拡張すべきである。2倍速動作モードの場
合、コラムアドレスが1倍速動作モードの場合よりも1
個だけ多く必要となる。
【0034】本実施の形態では、このために1倍速モー
ドでMAT選択アドレスとして用いられるローアドレスAX<
9>をコラムアドレスに変えて使用する。新しく追加され
るコラムアドレスはコラムプリデコーダ130にコラムア
ドレスを印加するため、コラムアドレスカウンタから出
力されるようにすべきである。コラムアドレスカウンタ
は1倍速動作モードで10進カウンタとして動作するの
で、2倍速動作モードでは11進カウンタで動作する機能
を有すべきである。
【0035】図5には倍速動作モードに従い、進数カウ
ンティング動作を異にするコラムアドレスカウンタの構
造が図示される。図1のコラムプレデコーダと連結さ
れ、オプション制御を受けるコラムアドレスカウンタを
示した図5を参照すると、複数のD型フリップフロップ4
01〜405及び信号セレクタ406がコラムアドレスカウンタ
コントローラ400に連結された構成からなる。
【0036】図5のコラムアドレスカウンタは、選択さ
れたページに対するシリアルデータ入出力時の開始点ア
ドレスで、始めてクロック信号CLKによりアドレスを順
次増加させる。そして、メインフィールドの最後のコラ
ムまでカウンティングした後、スペアフィールドイネー
ブル信号ASを生成し、スペアフィールドに対するデータ
入出力を続けて行うようにする。2倍速動作モードの場
合、スペアフィールドに対するカウンティング動作へス
キップする前に、新しく追加されたDフリップフロップ4
02を通じてカウントが一つだけ行われる。
【0037】1倍速動作の場合、Dフリップフロップ402
によるカウンティングはスキップされ、Dフリップフロ
ップ401のキャリがスペアフィールドイネーブルのためD
フリップフロップ403のデータ入力端DIに連結されるよ
うにすべきである。このため、信号セレクタ406は出力
信号CLKSを生成する。即ち、信号セレクタ406は、倍速
オプション信号FX2の論理状態レベルに従い、Dフリップ
フロップ402のキャリまたはDフリップフロップ401のキ
ャリをDフリップフロップ403に伝達する。コラムアドレ
スカウンタコントローラ400は、初期アドレスセッティ
ングなどのコラムアドレスカウンタのクロッキング、リ
セットなどを制御する回路である。
【0038】図6は、図5に用いられたDフリップフロ
ップのうちの一つの詳細図である。図6に示すように、
クロックCLKを反転するインバータI2、入力信号DIをク
ロックCLKに従い後端に伝送する複数の伝送ゲートPG1,
PG2,PG3,PG4、セットSET及びリセットRST信号に一側
入力端が連結されたNORゲートNOR1,NOR2,NOR3,NOR4、及
び出力反転用インバータI2が連結された構成が、一つの
Dフリップフロップを形成している。
【0039】一方、2倍速動作のためには、ロープレデ
コーダ100のデコーディング動作をも変えなければなら
ない。一つのMATに対し計512個のブロックのうち一つを
デコーディングするため9個のアドレスが用いられる。
ここでは、デコーディング信号バスラインを減らすた
め、アドレスを3個ずつ束ねて3個のプレデコーダを図
7のように構成した。P,Qプレデコーダ101,102は、MAT
1,MAT2に対し共通に用いられ、R1プレデコーダ103とR2
プレデコーダ104とはそれぞれMAT1,MAT2を独立的に制御
する。即ち、P,Qプレデコーダ101,102とは異なり、Rプ
レデコーダ103,104はMAT選択アドレスの制御を受ける。
【0040】図8にはRプレデコーダ103,104の詳細が図
示されている。1倍速動作のときに非選択MATに対応す
るRプレデコーダの出力信号は、全てディスエーブルさ
れるため、選択されたMATでP,Q,Rデコーディングにより
一つのブロックだけが選択される。2倍速でのブロック
サイズは、メインフィールドを基準にして8Kバイトから
16Kバイトに増えなければならないので、選択されるブ
ロックはP, Q, RデコーディングによりそれぞれのMAT
で8Kバイトブロックが1個ずつ選択されて計16Kバイト
大きさをもつブロックにならなければならない。2倍速
動作のときにMAT選択アドレスがコラムアドレスに転用
されたので、2倍速であるときにRプレデコーダを制御
するためのMAT選択信号MAT1,MAT2はソリッドハイにイネ
ーブルされる。
【0041】図9は、1倍速及び2倍速に対しMAT選択
信号をデコーディングするために、MAT選択信号デコー
ディング部を示した図である。倍速オプション信号とMA
T選択アドレス信号とをデコーディングしてデコーディ
ングMAT選択アドレス信号を生成するマット選択信号デ
コーディング部は、第1、第2NORゲートNOR1,NOR2、及
び第1、第2NORゲートNOR1,NOR2の出力をそれぞれ反転
するインバーターI1,I2から構成される。
【0042】図面においてFX2信号がハイにイネーブル
されて2倍速動作を所望する場合、デコーディングMAT
選択アドレス信号のMAT1,MAT2はソリッドハイになり、F
X2信号がローにディスエーブルされて1倍速動作を所望
する場合、MAT1,MAT2はMAT選択アドレスAX<9>により一
方のMATのみが選択される。MAT選択信号デコーディング
部は図6と連結される。
【0043】つまり、全体的なロー及びコラムアドレシ
ングを見ると、2倍速動作のためにローアドレスの一つ
がコラムアドレスに転用されたので、2倍速でのローア
ドレスは1倍速と比較して一つが減った13個となり、コ
ラムアドレスが1個増えて11個になる。よって、メモリ
セルアレイのページサイズ及びブロックサイズが2倍以
上に拡張するようなアドレシングを行い、リード、ライ
ト及び消去動作が倍速モード動作で行われる。
【0044】以下、このような構成による1倍速オプシ
ョン及び2倍速オプション動作を説明する。図2は1倍
速オプションによる図1の装置のセルアレイブロックア
クセスを示した図である。ボンディングパッドBPを接地
電圧に連結するかまたはフローティングさせると、倍速
オプション信号FX2は論理的ローとしてディスエーブル
される。そして、1倍速動作オプションが設定される。
【0045】64Mビットでページサイズが528バイト、ブ
ロックサイズが8Kバイトとすれば、図9のMAT選択信号
デコーディング部の出力MAT1、MAT2は選択アドレスAX<9
>によりMAT2のみがハイレベルになる。ロープレデコー
ダ100は14個の入力ローアドレス信号をプレデコーディ
ングして、図2に示されるMAT2(210)の一つのブロック
を選択する。
【0046】一方、図5のコラムアドレスカウンタは10
進カウンタとして動作して10個のカラムアドレスを生成
し、コラムプレデコーダ130は第2Yゲート261がデコー
ディングを行い得るようにするコラムプレデコーディン
グ信号を印加する。よって、デフォルトモード動作の1
倍速オプション動作では528バイトのページサイズ及び8
Kバイトのブロックサイズが選択されて、読み出しまた
はプログラムがページ単位に、消去動作がブロック単位
に行われる。
【0047】図3は、2倍速オプションによる図1の装
置のセルアレイブロックアクセスを示した図である。ボ
ンディングパッドBPを電源電圧、例えばVCCのパッドと
ワイヤボンディングとの製造工程を通じて連結すると、
出力信号の倍速オプション信号FX2が論理的ハイに活性
化されて2倍速オプションを設定する。この場合、ロー
プレデコーダ100は13個の入力ローアドレス信号をプレ
デコーディングして、図3で示されるMAT1,2(200,210)
のそれぞれ一つのブロックを選択する。
【0048】一方、図5のコラムアドレスカウンタは、
11進カウンタとして動作して11個のコラムアドレスを生
成し、コラムプレデコーダ130は第1、第2Yゲート260,
261がデコーディングを行い得るようにするコラムプレ
デコーディング信号を印加する。よって、2倍速オプシ
ョン動作では1056バイトのページサイズ及び16Kバイト
のブロックサイズが選択されて、読み出しまたはプログ
ラムが1056バイトのページ単位に、消去動作が16Kサイ
ズのブロック単位に行われる。
【0049】従って、上記のように半導体メモリの回路
設計をする場合、追加的な製品開発なしで簡単なボンデ
ィングオプションだけで二つのモードをもってユーザ要
求に対応することができる。また、本発明の他の実施の
形態として、本発明による不揮発性半導体メモリ装置に
出力回路を追加し、多重倍速オプション信号のステータ
スに応答し、デバイス識別信号(デバイスID)を出力さ
せてもよい。
【0050】この場合、NOR型フラッシュメモリでは、
自動選択モード中にデバイスID(デバイス識別情報)を
出力する。また、NAND型フラッシュデバイスでは、デバ
イスID出力用コマンドが入力された後、読出し可能ピン
トグルによってデバイスIDを出力する。なお、多重倍速
オプションなので、速度によりデバイスIDも異なること
は明らかである。出力回路としてデバイスIDコード発生
器を採用したときのブロック図を図11に示す。
【0051】図11を参照しながら説明すると、まず最
初に、コマンドレジスタ140からのID(フラグ信号)と
倍速オプション信号FX2とがデバイスIDコード発生器110
1に入力される。デバイスIDコード発生器1101は両信号
に基づいてデバイスIDコード(図11では、ID<7:0>)
を生成して出力する。上記説明は、本発明の実施の実施
の形態を中心にして示した添付図面に沿って、例を挙げ
て限定したが、これは一例にすぎず、本発明の技術的思
想を外れない範囲内で変化や変形が可能なのは明らかで
ある。
【0052】例えば、1倍速と2倍速動作モードと共
に、2倍速/4倍速などの多様なオプションを付加する
ことができる。また、NOR型及びAND型のような思案の異
なったメモリの場合、ボンディングオプションによる多
重倍速モードを実現させることができるのは明らかであ
る。また、1倍速及び2倍速モードのときにボンディン
グオプションを反対にすることが可能であるし、多重倍
速モードを選択的に実現することもできる。さらに、添
付図面で示した論理ゲートは、他の等価的回路素子また
は他の論理素子に代替可能なのは明らかである。
【0053】
【発明の効果】このように、本発明の選択的多重倍速モ
ードを有する不揮発性半導体メモリ装置よると、各種倍
速モードに従う別途のチップ設計及び製造なしに、オプ
ションだけを以って、ユーザが所望する倍速で半導体メ
モリを動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態である不揮発性半導体メモ
リ装置のブロック図。
【図2】各倍速オプションによるセルアレイアクセスを
示した図。
【図3】各倍速オプションによるセルアレイアクセスを
示した図。
【図4】本発明の実施の形態であるオプション情報出力
回路の図。
【図5】本発明の実施の形態であるコラムアドレスカウ
ンタのブロック図。
【図6】本発明の実施の形態であるDフリップフロップ
のうち一つを表した図。
【図7】本発明の実施の形態であるロープレデコーダの
ブロック図。
【図8】本発明の実施の形態であるRプレデコーダの回
路図。
【図9】本発明の実施の形態であるMAT選択アドレス発
生回路。
【図10】従来のNAND型フラッシュEEPROMのセルアレイ
構成及びNAND型フラッシュセルストリングを示す図。
【図11】デバイスIDコード発生器のブロック図。
【符号の説明】
100 ロープレデコーダ 110 コントロールロジック及び高電圧発生器 120 ページバッファコントロールロジック 130 コラムプレデコーダ 140 コマンドレジスタ 200 セルアレイマット1 210 セルアレイマット2 230 ローデコーダ1−1 231 ローデコーダ1−2 240 ローデコーダ2−1 241 ローデコーダ2−2 250 第1ページバッファ 251 第2ページバッファ 260 第1Yゲート 261 第2Yゲート 270 I/Oバッファ及びラッチ 280 I/O部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11C 17/00 613 612F (72)発明者 崔 善 美 大韓民国京畿道水原市八達区牛滿洞518− 8 Fターム(参考) 5B025 AA01 AD01 AD02 AD04 AD05 AE05

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のワードラインにコントロールゲー
    トがそれぞれ対応連結され、ストリング選択トランジス
    タと接地選択トランジスタとの間でドレイン‐ソースチ
    ャンネルが互いに直列に連結されたフローティングゲー
    トメモリセルトランジスタからなる、セルストリングを
    複数備えたセルアレイブロックを複数含むメモリセルア
    レイを備えた不揮発性半導体メモリ装置において、 倍速オプション信号を生成する倍速モードオプション部
    と、 前記倍速オプション信号の状態に応じて前記メモリセル
    アレイのページサイズ及びブロックサイズを互いに異に
    指定するアドレシング回路とを具備することを特徴とす
    る不揮発性半導体メモリ装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 前記倍速モードオプション部は、電源電圧に選択的に連
    結されるボンディングパッドを含むことを特徴とする不
    揮発性半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 前記倍速モードオプション部は切断可能なヒューズまた
    はメタルオプションでなることを特徴とする不揮発性半
    導体メモリ装置。
  4. 【請求項4】 請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 前記アドレシング回路は、 前記倍速オプション信号に応じて入力ローアドレス信号
    のうちMAT選択アドレス信号をデコーディングし、デコ
    ーディングしたMAT選択アドレス信号と入力ローアドレ
    ス信号とを受信して倍速モード動作では、デフォルトモ
    ード動作のページサイズの2倍以上のページサイズを選
    択するローデコーディング信号を生成するローデコーデ
    ィング部と、 前記倍速オプション信号の状態に従い、進数カウンティ
    ング動作を互いに異に行うコラムアドレス信号を生成す
    るコラムアドレスカウンタと、 前記コラムアドレスカウンタから出力されるコラムアド
    レス信号をデコーディングして前記倍速モード動作では
    前記デフォルトモード動作のブロックサイズの2倍以上
    のブロックサイズを選択するコラムデコーディング信号
    を生成するコラムデコーディング部とを含むことを特徴
    とする不揮発性半導体メモリ装置。
  5. 【請求項5】 請求項1に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 多重倍速オプション信号のステータスに応答し、デバイ
    ス識別信号を出力する出力回路を具備したことを特徴と
    する不揮発性半導体メモリ装置。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 前記ローデコーディング部は、 前記倍速オプション信号と前記MAT選択アドレス信号と
    をデコーディングし、デコーディングMAT選択アドレス
    信号を生成するMAT選択信号デコーディング部と、 前記入力ローアドレス信号のうち第1グループアドレス
    をプレデコーディングするPプレデコーダと、 前記入力ローアドレス信号のうち前記第1グループアド
    レスよりも上位にある第2グループアドレスをプレデコ
    ーディングするQプレデコーダと、 前記入力ローアドレス信号のうち前記第2グループアド
    レスよりも上位にある残りの第3グループアドレスを前
    記デコーディングMAT選択アドレス信号に応じてそれぞ
    れプレデコーディングするR1及びR2プレデコーダとを含
    むことを特徴とする不揮発性半導体メモリ装置。
  7. 【請求項7】 請求項4に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 前記コラムアドレスカウンタは、 コラムアドレスカウンタコントローラに複数のD型フリ
    ップフロップ及び信号セレクタが連結され、前記倍速オ
    プション信号の状態に従い10進カウンタまたは11進カウ
    ンタとして動作することを特徴とする不揮発性半導体メ
    モリ装置。
  8. 【請求項8】 複数のワードラインにコントロールゲー
    トがそれぞれ対応連結され、ストリング選択トランジス
    タと接地選択トランジスタとの間でドレイン‐ソースチ
    ャンネルが互いに直列に連結されたフローティングゲー
    トメモリセルトランジスタからなる、セルストリングを
    複数備えたセルアレイブロックを複数含むメモリセルア
    レイを備えた不揮発性半導体メモリ装置において、 倍速オプション信号を生成する倍速モードオプション部
    と、 前記倍速オプション信号に応じ、入力ローアドレス信号
    のうちMAT選択アドレス信号をデコーディングし、デコ
    ーディングされたMAT選択アドレス信号と入力ローアド
    レス信号とを受信して、倍速モード動作ではデフォルト
    モード動作のページサイズの2倍以上のページサイズを
    選択するローデコーディング信号を生成するローデコー
    ディング部と、 前記倍速オプション信号の状態に従い、進数カウンティ
    ング動作を互いに異に行うコラムアドレス信号を生成す
    るコラムアドレスカウンタと、 前記コラムアドレスカウンタで出力されるコラムアドレ
    ス信号をデコーディングし、前記倍速モード動作では前
    記デフォルトモード動作のブロックサイズの2倍以上の
    ブロックサイズを選択するコラムデコーディング信号を
    生成するコラムデコーディング部と、 前記倍速オプション信号の状態に従い、ページサイズ及
    びブロックサイズに対応するページバッファの駆動を制
    御するページバッファコントロール部とを含むことを特
    徴とする不揮発性半導体メモリ装置。
  9. 【請求項9】 請求項8に記載の不揮発性半導体メモリ
    装置において、 前記コラムアドレスデコーダは、前記倍速オプション信
    号の状態に従い、アドレスを増減してデコーディングす
    ることを特徴とする不揮発性半導体メモリ装置。
  10. 【請求項10】 請求項8に記載の不揮発性半導体メモ
    リ装置において、 前記ローデコーダは、前記倍速オプション信号の状態に
    従い、ローアドレスを増減してデコーディングすること
    を特徴とする不揮発性半導体メモリ装置。
  11. 【請求項11】 複数のワードラインにコントロールゲ
    ートがそれぞれ対応連結され、ストリング選択トランジ
    スタと接地選択トランジスタとの間でドレイン‐ソース
    チャンネルが互いに直列に連結されたフローティングゲ
    ートメモリセルトランジスタからなる、セルストリング
    を複数備えたセルアレイブロックを複数含むメモリセル
    アレイを備えた不揮発性半導体メモリ装置の駆動方法に
    おいて、 装置的オプションに従い、倍速オプション信号を生成す
    る倍速モードオプション部を装置内に備え、 前記倍速オプション信号の状態に応じ、前記メモリセル
    アレイのページサイズ及びブロックサイズを2倍以上に
    拡張するアドレシングを行い、 リード、ライト及び消去動作を倍速モード動作で行うこ
    とを特徴とする不揮発性半導体メモリ装置の駆動方法。
  12. 【請求項12】 フラッシュメモリセルを有する半導体
    メモリ装置であり、ハードウェア的に決められたブロッ
    クサイズとページサイズとをデバイスオプションに従っ
    て変化させるオプション制御を受けるアドレスカウンタ
    と、 コラムデコーダとローデコーダとを具備したことを特徴
    とする半導体メモリ装置。
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