JP2002240178A - 通気性接着シートの製造方法および通気性接着シート - Google Patents
通気性接着シートの製造方法および通気性接着シートInfo
- Publication number
- JP2002240178A JP2002240178A JP2001046175A JP2001046175A JP2002240178A JP 2002240178 A JP2002240178 A JP 2002240178A JP 2001046175 A JP2001046175 A JP 2001046175A JP 2001046175 A JP2001046175 A JP 2001046175A JP 2002240178 A JP2002240178 A JP 2002240178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive layer
- porous substrate
- adhesive sheet
- porous
- adhesive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
下の薄膜とした場合にも、不具合を生じることなく、当
該多孔質基材の両面に接着剤層を形成した通気性接着シ
ートを製造する方法を提供すること。 【解決手段】 多孔質基材の両面に接着剤層1および接
着剤層2を有する通気性接着シートの製造方法であっ
て、工程フィルム上に設けられた多孔質基材上に接着剤
層1を形成する工程、次いで工程フィルムを多孔質基材
より剥離した後に、多孔質基材のもう一方の面に接着剤
層2を設ける工程を有することを特徴とする通気性接着
シートの製造方法。
Description
材とし、その両面に接着剤層を形成した通気性接着シー
トの製造方法および当該製造方法により得られる通気性
接着シートに関する。通気性接着シートは、特にIC等
の電子部品の接着に有利に利用することができる。
着剤層を形成した通気性接着シートは古くから知られて
いる。例えば、日本粘着テープ工業会、1995年10
月12日発行の「粘着ハンドブック第二版」の72頁に
はレーヨン、アラミド、ポリエステル、ガラスなどの不
織布類による多孔質基材をコア材としたものが紹介され
ている。また、接着剤自体の強度向上の為、アラミド樹
脂、ガラスクロス等の多孔質基材にエポキシ樹脂もしく
はポリエステル樹脂等を含浸させた通気性接着シートも
古くから検討されている。
とした通気性接着シートを半導体装置内で使用されるI
Cチップ接着用シートとして用いることが提案されてい
る。これらの通気性接着シートは、多孔質基材をコア材
とするため、温度サイクル試験時におけるチップと基板
の線膨張係数の相違によるソリ等を緩和する効果があ
る。また通気性接着シートは、半導体装置実装時のリフ
ロー処理時には、吸湿した水分の気化蒸発により発生す
る蒸気圧を多孔質基材の通気性により低減する効果があ
り、リフロー処理時に問題とされていたボイド、剥離の
発生を抑制することができる。すなわち、通気性接着シ
ートをICチップ接着用シートとして用いることにより
信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
ロー信頼性に優れた多孔質基材を使用した通気性接着シ
ートは、例えば、特開平10−22325号公報、特開
2000−106372号公報に述べられている。前記
公報に記載されている通気性接着シートは、詳しくは、
多孔質基材としてフッ素樹脂または耐熱性樹脂を使用
し、接着剤層にエポキシ樹脂、エポキシ/ゴム混合物を
使用したものである。当該通気性接着シートは、その実
施例からも明らかなように、多孔質基材を接着剤ワニス
にディップする方法、多孔質基材上に接着剤ワニスを塗
布し乾燥する方法、それぞれ別途作成した多孔質基材と
接着層を熱ラミネートにより貼り合わせる方法により製
造されている。
動きの中で前記ICチップ接着用シート(通気性接着シ
ート)にも薄膜化の要求がある。接着剤層と多孔質基材
の積層構造体である通気性接着シートの薄膜化を達成す
るためには、接着剤層とコア材となる多孔質基材の双方
の薄膜化が必要となってくる。
する接着性能を確保するために限界がある。たとえば、
ICチップと基板との接着の場合には、その配線段差吸
収のために20μm以上の接着層が必要となってくる。
記製造方法にて通気性接着シートを製造する場合に、多
孔質基材に、接着剤ワニスを塗布する際または接着剤層
を熱ラミネートする際に掛かってくるテンションに耐え
うる、ある一定以上の強度が必要となってくるため、多
孔質基材の薄膜化は約50μmが下限であった。前記製
造方法にて通気性接着シートを製造する場合に、多孔質
基材の厚みがこれ以下であると、接着剤層形成時のテン
ションにより、多孔質基材の伸びによる積層構造体のカ
ール発生や、多孔質基材の切れ等の不具合が発生し良好
な積層構造体を得ることが難しい。このように、従来の
通気性接着シートの製造方法では、コア材となる多孔質
基材に一定以上の強度が必要なため、当該多孔質基材の
気孔率を大きくしたり、薄膜化することが困難であっ
た。
従来技術の問題点に鑑み、コア材となる多孔質基材の厚
さを50μm以下の薄膜とした場合にも、不具合を生じ
ることなく、当該多孔質基材の両面に接着剤層を形成し
た通気性接着シートを製造する方法を提供することを目
的とする。さらには当該製造方法により製造された通気
性接着シートを提供することを目的とする。
を解決するため、鋭意検討した結果、以下に示す通気性
接着シートの製造方法により上記目的を達成できること
を見出し、本発明を完成するに至った。
接着剤層1および接着剤層2を有する通気性接着シート
の製造方法であって、工程フィルム上に設けられた前記
コア基材となる多孔質基材上に接着剤層1を形成する工
程、次いで工程フィルムを多孔質基材より剥離した後
に、多孔質基材のもう一方の面に接着剤層2を形成する
工程を有することを特徴とする通気性接着シートの製造
方法、に関する。
設けられた多孔質基材上に接着剤層を形成するため、多
孔質基材の強度が小さい場合にも工程フィルムによって
多孔質基材の強度が補強され、多孔質基材を薄膜化した
場合にも、カール、シワ、気泡混入等の外観異常の不具
合がない積層構造体の通気性接着シートを作成すること
ができる。
て、工程フィルムと多孔質基材との剥離力が、0.02
〜1N/50mmであることが好ましい。
なると、接着剤層1を形成する際にシワ、気泡混入等の
外観異常を起こしやすくなる傾向があるため、前記剥離
力を0.02N/50mm以上とするのが好ましい。一
方、密着性が高くなると、工程フィルム剥離時に接着剤
層1の伸び、ウキ等が発生しやすくなり、最悪、多孔質
基材のチギレ、ヤブレ等を引き起こすおそれがあるため
前記剥離力を1N/50mm以下とするのが好ましい。
多孔質基材と工程フィルムの離型力は、さらに0.1〜
0.5N/50mmであることが好ましい。
て、接着剤層1及び接着剤層2の弾性率が、150〜2
50℃の温度領域で1×104 Pa以上であることが好
ましい。
することにより、通気性接着シートを被着体に貼り付け
る際の熱プレス時やハンダリフロー時の熱履歴によって
も、多孔質基材中への接着剤層の含浸が抑止されて、多
孔質基材の空隙を保持することでき、通気性接着シート
の通気性を良好に保持することができる。接着剤層の弾
性率は2×104 Pa以上が好ましい。特に、5×10
4 〜1×109 Paであるのが好ましい。
て、多孔質基材は、たとえば、ポリマーを非プロトン性
極性溶剤に溶解した溶液から相転換法にて製造されたも
のを用いることができる。
おいて、多孔質基材は、ポリイミド、ポリアミド、ポリ
アミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポ
リエーテルスルホン、ポリエーテルケトン及びこれらの
誘導体から選ばれる少なくとも1種のポリマーからな
り、相転換法にて製造されたものを用いることができ
る。
て、多孔質基材の厚みが、1〜50μmであることが好
ましい態様である。本発明の通気性接着シートの製造方
法によれば、多孔質基材の厚みが50μm以下の薄膜の
場合にも不具合なく通気性接着シートを製造できる。
て、多孔質基材の構造が、連続気泡多孔構造であること
が好ましい一態様である。また前記通気性接着シートの
製造方法において、多孔質基材の構造が、スポンジ構造
であることが好ましい一態様である。
のでないが、発生した蒸気圧をスムーズに系外へ放出す
るためには面方向への通気性能が必要であり、連続気泡
構造が好ましい。また被着体へ接着する際のプレスを考
慮すると強度が必要なためスポンジ構造のものが好適で
ある。
製造された、多孔質基材の両面に接着剤層1および接着
剤層2を有する通気性接着シート、に関する。
トの製造方法を、図1を参照しながら説明する。図1
(1)は、工程フィルムB上に設けられた多孔質基材A
の断面図である。
るために用いられるものであり、たとえば、ポリエステ
ル、ポリオレフィン、ポリフェニレンスルフィド、ポリ
塩化ビニル、ポリエーテルスルホン、ポリテトラフルオ
ロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリビニルブチラー
ル、ポリ酢酸ビニル、ポリカーボネート、ポリアミド、
ポリイミド、アクリル樹脂等のプラスチックフィルムが
用いられる。これらのなかでも取り扱い性、価格等の点
でポリエステルフィルムが好ましい。また、工程フィル
ムBとして用いるプラスチックフィルムは、多孔質基材
Aとの離型性を考慮に入れるとシリコーン等で離型処理
したものが好適に用いられる。工程フィルムBの厚さは
特に制限されないが25〜75μm程度が好ましい。前
述の通り、多孔質基材Aと工程フィルムBの離型性はそ
れらの剥離力が0.02〜1N/50mmであることが
好ましい。
種のポリマーを使用できるが、ポリイミド、ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエ−テルイミド、ポリスル
ホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトンまた
はこれらにスルホン酸基、カルボキシル基、4級アミノ
基などを導入した誘導体が好ましく用いられる。これら
ポリマーは単独でまたは混合して用いるられる。これら
ポリマーのなかでも、ハンダリフロー等のより高耐熱が
必要とされる用途においては、ポリイミド、ポリアミド
等の耐熱性樹脂が好適に用いられる。
る方法は、特に制限されず、相転換法、延伸法、溶融
法、焼結法等の各種の方法を採用できるが、これらのな
かでも、ポリマー溶液(ドープ)を一定厚みで工程フィ
ルムB上に流延塗布した後に、水やメタノールなどのポ
リマーの非溶解性液(凝固溶剤)中に浸漬して凝固させ
たり、水蒸気等雰囲気下に放置して凝固した後、水中に
浸漬する相転換法を好ましく採用することができる。得
られた多孔質基材は凝固溶剤から取り出して乾燥させ
る。
ーを溶解し、凝固溶剤に溶解するものであれば特に制限
はないが、ポリマーの溶解性、凝固溶剤との溶剤置換ス
ピードの点から非プロトン性極性溶剤を好適に使用でき
る。非プロトン性極性溶剤としては、N−メチル−2−
ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−
ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド等を例示
することができる。非プロトン性極性溶剤としては、N
−メチル−2−ピロリドンが好ましい。また非プロトン
性極性溶剤には、ジエチレングリコールジメチルエーテ
ル、ジエチリングリコールジブチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコー
ルジエチルエーテル、1,2−ジメトキシエタン、1,
2 −ジエトキシエタン、1,2−ジブトキシエタン等の
溶剤を混合して、溶剤置換の速度を調整してもよい。
の温度範囲で塗布される。また、凝固溶剤としては用い
る樹脂を溶解せずに、上記溶剤と相溶性を有するもので
あれば限定されないが、たとえば水やメタノール、エタ
ノール、イソプロピルアルコール等のアルコール類及び
これらの混合液が用いられ、特に水が好適に用いられ
る。浸漬時の凝固溶剤の温度は特に限定されないが、好
ましくは0〜80℃の温度である。
範囲が好ましく、7〜20重量%がより好ましい。濃度
が高すぎると、粘度が高くなりすぎて取り扱いが困難に
なるし、濃度が低すぎると多孔質膜が形成できないから
である。ドープには、孔径形状や孔径コントロールのた
めに硝酸リチウムのような無機物やポリビニルピロリド
ンのような有機物を添加することもできる。添加物の濃
度は溶液中に1〜10重量%まで添加するのが好まし
い。硝酸リチウムを添加すると溶剤と凝固溶剤との置換
速度が速く、スポンジ構造の中にフィンガーボイド構造
(指状にボイドを有する構造)を形成できる。ポリビニ
ルピロリドンのような凝固スピードを遅くする添加剤を
加えると、スポンジ構造が均一に広がった多孔質基材を
得ることができる。
れないが、通気性と強度のバランスから平均孔径0.1
μm以上が好ましい。より好ましくは0.2〜4μmで
ある。また気孔率については20〜95%が好ましい。
より好ましくは30〜80%である。
Aの厚さは1〜200μmが好ましく、特に薄膜化が要
求される場合は1〜50μm、さらに薄膜化が必要な場
合は1〜20μmが好適である。1μmより薄い場合
は、通気性能が十分でなく、発生した蒸気圧をスムーズ
に系外へ放出することが困難となり、ウキ、剥離等の異
常を発生しやすくなる。
(2)に示すように接着剤層1を形成する。次いで、図
1(3)に示すように工程フィルムBを剥離した後に、
図1(4)に示すように多孔質基材Aのもう一方の面に
接着剤層2を設ける。
接着剤としては、エポキシ樹脂、エポキシ/ゴム混合
物、アクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂(エチレン−ア
クリル酸エステル共重合体、エチレン−アクリル酸共重
合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−グ
リシジルメタクリレート共重合体等)、ジエン系ブロッ
ク共重合体(SBS、NBR、SEBS等)、シリコー
ン樹脂、ポリイミド樹脂等の熱硬化性接着剤または熱可
塑性接着剤を用途に合わせて適宜に選択することができ
る。接着剤には、接着シートの諸特性を劣化させない範
囲で前記接着剤の硬化剤、無機充填剤、有機充填剤、顔
料、老化防止剤、シランカップリング剤、粘着付与剤な
どの公知の各種の添加剤を、必要により添加することが
できる。
上に設ける方法は、特に限定されず、別途キャリアフィ
ルム上に作成した接着剤層1または接着剤層2を多孔質
基材A上に熱ラミネーター等により貼り合わせる転写方
式や多孔質基材A上に直接塗布し形成する直写方式を採
用できる。多孔質基材Aの通気性を保持させるには、直
写方式が多孔質基材Aと接着剤層1、2との密着性が良
好で好ましい。直写方式としては、溶剤に溶解したワニ
スを塗布乾燥する溶液法、ホットメルト塗工法、無溶剤
でモノマー成分またはモノマーの部分重合物を塗布した
後に電子線等により重合させる電子線重合法等の従来公
知の方法があげられる。
の両面に形成された接着剤層1および接着剤層2の弾性
率は前述の通り、150〜250℃の温度領域で1×1
04Pa以上であることが好ましい。また接着剤層1及
び接着剤層2の厚さはそれぞれ5〜100μmが好まし
く、特に20〜50μmが好ましい。
着シートのトータルの厚みは、20〜300μmが好ま
しく、さらには50〜100μmが好ましい。通気性接
着シートのトータルの厚みの好ましい下限値20μmは
接着性能と通気性能を実質的に両立させうることを、上
限値300μmは接合物が厚くなるとことを考慮したも
のである。
層1にキャリアフィルムを設けた状態で、接着剤層2を
形成するのが好ましい。接着剤層1の形成に転写方式を
採用した場合には転写方式に用いたキャリアフィルムを
そのまま使用でき、接着剤層1の形成に直写方式を採用
した場合には別途キャリアフィルムを設ける。キャリア
フィルムとしては、たとえば、ポリエステル、ポリオレ
フィン、ポリフェニレンスルフィド、ポリ塩化ビニル、
ポリエーテルスルホン、ポリテトラフルオロエチレン、
ポリフッ化ビニル、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビ
ニル、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリイミド、ア
クリル樹脂等のプラスチックフィルムが用いられる。こ
れらのなかでも取り扱い性、価格等の点でポリエステル
フィルムが好ましい。また、キャリアフィルムはシリコ
ーン等で離型処理したものが好適に用いられる。
は、工程フィルム上に設けられた多孔質基材上に接着剤
層を形成するため、コア材となる多孔質基材として強度
の小さいものの使用も可能であり、多孔質基材の気孔
率、孔径、厚みを任意に設定することができ、通気性接
着シートの薄膜化も可能である。
より具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定
されるものではない。
ク共重合体(タフテックM1943,旭化成工業株式会
社製)100重量部、ロジン樹脂(KE604,荒川化
学工業株式会社製)10重量部、エポキシ樹脂(TET
RAD−C,三菱瓦斯化学工業株式会社製)0.2重量
部、シランカップリング剤(KBM−403,信越化学
工業株式会社製)2重量部およびトルエン400重量部
を混合して樹脂固形分21.9重量%の接着剤ワニス1
を調製した。
ルブタジエンゴム(PNR−1H,JSR株式会社製)
20重量部、エポキシ樹脂(YX−4000H,油化シ
ェルエポキシ株式会社製)44重量部、フェノール樹脂
(タマノルP−180,荒川化学工業株式会社製)35
重量部、イミダゾール(キュアゾール2PZ−CN,四
国化成工業株式会社製)1重量部およびメチルエチルケ
トン100重量部を混合して樹脂固形分50重量%の接
着剤ワニス2を調製した。
の調製において、エポキシ樹脂を加えなかったこと以外
は接着剤ワニス1と同様組成を有する同様の樹脂固形分
の接着剤ワニス3を調製した。
ミド(ブタンテトラカルボン酸とジアミノジフェニルエ
ーテルを熱イミド化したポリマー,日東電工株式会社
製)16重量部、ポリビニルピロリドン(K−90,ア
イエスピージャパン株式会社製)7重量部、N−メチル
−2−ピロリドン71重量部および水6重量部を混合し
てポリマー溶液1を調製した。
ミド(ブタンテトラカルボン酸とジアミノジフェニルエ
ーテルを熱イミド化したポリマー,日東電工株式会社
製)18重量部、N,N−ジメチルホルムアミド41重
量部およびジグライム41重量部を混合してポリマー溶
液2を調製した。
ミド(ブタンテトラカルボン酸とジアミノジフェニルエ
ーテルを熱イミド化したポリマー,日東電工株式会社
製)100重量部、ポリビニルピロリドン(K−90,
アイエスピージャパン株式会社製)40重量部、N−メ
チル−2−ピロリドン900重量部および水40重量部
を混合してポリマー溶液3を調製した。
ルム上に、表1に示すポリマー溶液を塗布、流延した
後、水中に浸漬して凝固させ、次いで洗浄、乾燥して相
転換法によりコア材となる多孔質基材を厚み20μmに
て形成した。次いで、表1に示す接着剤ワニスを、多孔
質基材上に塗布し、150℃に加熱して溶剤を除去する
ことにより厚み20μmの接着剤層1を形成し、その上
にキャリアフィルムとしてシリコーンにより離型処理し
た38μmのポリエステルフィルムを貼り合わせた。次
いで、工程フィルムを剥離した後、その多孔質基材面
(接着剤層1の反対面)上に接着剤層1と同様にして接
着剤層2を厚み20μmとなるように形成することによ
り、通気性の多孔質基材をコア材とする両面接着シート
を製造した。
ルム上に、表1に示すポリマー溶液を塗布、流延した
後、水中に浸漬して凝固させ、次いで洗浄、乾燥して相
転換法によりコア材となる多孔質基材を厚み20μmに
て形成した。また、接着剤ワニス1を離型処理した38
μmのポリエステルフィルム上に塗布した後、150℃
に加熱して溶剤を除去することにより厚み20μmのシ
ート状の接着剤層1を形成した接着シートを得た。次い
で、先程形成した多孔質基材の多孔質面に接着シートの
接着剤層1を、温度90℃、圧力5×105 Paの条件
にて熱ラミネートし、次いで、工程フィルムを剥離し除
去した後、もう一方の多孔質面にも前述の条件にて接着
シートを熱ラミネートして、通気性の多孔質基材をコア
材とする両面接着シートを製造した。
上に塗布した後、150℃に加熱して溶剤を除去するこ
とにより厚み20μmのシート状の接着剤層1を形成し
た。そして、このシート状接着剤層を、厚み150μm
のポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の多孔質基
材の両面に、温度90℃、圧力5×10 5 Paの条件に
て熱ラミネートすることにより、通気性基材をコア材と
する両面接着シートを製造した。
フィルム上に塗布した後、150℃に加熱して溶剤を除
去することにより厚み20μmのシート状接着剤層を形
成した。そして、このシート状接着剤層を表1に示す厚
み25μmのポリイミドフィルム基材(ユーピレックス
25S、宇部興産株式会社製)の両面に、温度90℃、
圧力5×105 Paの条件にて熱ラミネートすることに
より、耐熱性フィルム基材をコア材とする両面接着シー
トを製造した。
ルム上に、表1に示すポリマー溶液を塗布、流延した
後、水中に浸漬して凝固させ、次いで洗浄、乾燥してか
ら工程フィルムを除去することにより、コア材となる多
孔質基材のみの層を厚み20μmにて形成した。次い
で、実施例1と同様の手法にて厚み20μmの接着剤層
1を形成し、もう一方の多孔質基材面にも同様に厚み2
0μmの接着剤層2を形成することにより、通気性の多
孔質基材をコア材とする両面接着シートを製造した。
の両面接着シートについて引張弾性率、剥離力、温度サ
イクル性、耐リフロー性を下記に示す方法に従って評価
した。これらの評価結果を表1に示す。なお、多孔質基
材の気孔率、孔径は以下の方法により測定した。
用いて上式により、空孔率を求めた。
微鏡(SEM)を用いて、写真撮影を行い、その写真の
コンピュターによる画像解析から平均孔径を求めた。
の接着シート(または接着剤層を直接塗布した場合には
同様の接着剤ワニスから接着剤層を別途形成したもの)
を150℃で60分間過熱し、その後、レオメトリック
ス社製の粘弾性スペクトルメータ(ARES)を用い
て、サンプルサイズ〔5mm幅×100μm厚〕、昇温
速度5℃/min、周波数1Hz、引張モードにて測定
を行い、250℃における引張弾性率を測定した。
験片(工程フィルム上に形成した多孔質基材)から18
0°方向に工程フィルムを300mm/minの速度で
引き剥がし、そのときの最大値を剥離力(N/50m
m)とした。
04に両面接着シートを80℃のラミネーターにて貼り
合せ、ポリイミドフィルム基材(ユーピレックス75
S、宇部興産株式会社製)を用いたフレキシブルプリン
ト基板をプレス機にて150℃、1Mpa、10sec
にて貼り合せ、熱風オ−プン中にて150℃で1時間硬
化させた。このサンプルを−55℃で30分放置し、そ
の後、125℃に30分放置する工程を1サイクルとし
1000サイクル試験を行い、外観異常の有無を観察し
た。外観異常なきものを○、剥離・ボイド等外観異常発
生しているものを×とした。
4に接着シートを80℃のラミネーターにて貼り合せ、
ポリイミドフィルム基材(ユーピレックス75S、宇部
興産株式会社製)を用いたフレキシブルプリント基板を
プレス機にて150℃、1MPa、10secにて貼り
合せ、熱風オーブン中にて150℃で1時間硬化させ
た。次いで、35℃/85%RHの加湿条件中に168
時間放置後、直ちにMAX温度260℃のハンダリフロ
ー炉に投入し、外観異常の有無を観察した。外観異常な
きものを○、剥離・ボイド等外観異常発生しているもの
を×とした。
べて多孔質基材が薄いにもかかわらず、接着剤層に熱硬
化性材料または熱可塑性材料を使用しているいずれの場
合にも温度サイクル試験および耐リフロー性ともに優れ
ていた。また、実施例では、多孔質基材の伸びによる積
層構造体のカール発生や、多孔質基材の切れ等の不具合
が発生していない。なお、参考例1は、接着剤層の弾性
率が低い場合の例であり、高温領域で流動する温度サイ
クル性には優れていたが、対リフロー性で剥離・ボイド
の発生があった。
を用いた比較例2および比較例3については、比較例2
の場合には、接着剤層に低弾性材料を使用しているた
め、温度サイクル性には優れるが、耐リフロー性にて剥
離・ボイドの発生が認められ、比較例3の場合には、接
着剤層に弾性率の高いエポキシ系の接着剤を使用してお
り、対リフロー性には優れるものの、温度サイクル性と
の両立は困難であった。比較例4は、工程フィルムを用
いていないため、多孔質基材の伸びによる積層構造体の
カール発生や、多孔質基材の切れ等の不具合が発生して
いる。
をコア材とした接着シートの製造方法を用いることによ
り、温度サイクル性、対リフロー性等の必要機能を保持
したまま、通気性接着シートの薄膜化が可能であること
がわかる。
である。
Claims (9)
- 【請求項1】 多孔質基材の両面に接着剤層1および接
着剤層2を有する通気性接着シートの製造方法であっ
て、工程フィルム上に設けられた多孔質基材上に接着剤
層1を形成する工程、次いで工程フィルムを多孔質体よ
り剥離した後に、多孔質基材のもう一方の面に接着剤層
2を形成する工程を有することを特徴とする通気性接着
シートの製造方法。 - 【請求項2】 工程フィルムと多孔質基材との剥離力
が、0.02〜1N/50mmであることを特徴とする
請求項1記載の通気性接着シートの製造方法。 - 【請求項3】 接着剤層1及び接着剤層2の弾性率が、
150〜250℃の温度領域で1×104 Pa以上であ
ることを特徴とする請求項1または2に記載の通気性接
着シートの製造方法。 - 【請求項4】 多孔質基材が、ポリマーを非プロトン性
極性溶剤に溶解した溶液から相転換法にて製造されたも
のであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記
載の通気性凝着シートの製造方法。 - 【請求項5】 多孔質基材が、ポリイミド、ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリスル
ホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルケトン及び
これらの誘導体から選ばれる少なくとも1種のポリマー
からなり、、相転換法にて製造されたものであることを
特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の通気性接着
シートの製造方法。 - 【請求項6】 多孔質基材の厚みが、1〜50μmであ
ることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の通
気性接着シートの製造方法。 - 【請求項7】 多孔質基材の構造が、連続気泡多孔構造
であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載
の通気性接着シートの製造方法。 - 【請求項8】 多孔質基材の構造が、スポンジ構造であ
ることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の通
気性接着シートの製造方法。 - 【請求項9】 請求項1〜8のいずれかに記載の製造方
法により製造された、多孔質基材の両面に接着剤層1お
よび接着剤層2を有する通気性接着シート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001046175A JP4507419B2 (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | 通気性接着シートの製造方法および通気性接着シート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001046175A JP4507419B2 (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | 通気性接着シートの製造方法および通気性接着シート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002240178A true JP2002240178A (ja) | 2002-08-28 |
JP4507419B2 JP4507419B2 (ja) | 2010-07-21 |
Family
ID=18907850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001046175A Expired - Fee Related JP4507419B2 (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | 通気性接着シートの製造方法および通気性接着シート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4507419B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006306945A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Toray Ind Inc | 高分子重合体多孔質膜の製造方法及び高分子重合体多孔質膜 |
JP2011004097A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Ube Industries Ltd | 撥水性通気カバー、撥水性通気カバー付きトランスデューサー |
JP2011137183A (ja) * | 2003-09-25 | 2011-07-14 | Daicel Chemical Industries Ltd | 耐薬品性を有する多孔性フィルム |
WO2013031085A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 日東電工株式会社 | 通気機能を有する接合部材及びそれを用いた接合構造 |
JP2018003009A (ja) * | 2016-06-23 | 2018-01-11 | ユニチカ株式会社 | 多孔質ポリイミドフィルム形成用ポリイミド溶液、多孔質ポリイミドフィルムの製造方法および多孔質ポリイミドフィルム |
JP2018003010A (ja) * | 2016-06-22 | 2018-01-11 | ユニチカ株式会社 | 多孔質ポリイミドフィルム形成用ポリイミド溶液、多孔質ポリイミドフィルムの製造方法および多孔質ポリイミドフィルム |
JP2021064676A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
JP2021064681A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04270649A (ja) * | 1991-02-26 | 1992-09-28 | Toray Ind Inc | 離型フイルム |
JP2000212518A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-02 | Nitto Denko Corp | 熱接着シ―ト |
JP2000319442A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-21 | Ube Ind Ltd | 多孔質絶縁材料およびその積層体 |
-
2001
- 2001-02-22 JP JP2001046175A patent/JP4507419B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04270649A (ja) * | 1991-02-26 | 1992-09-28 | Toray Ind Inc | 離型フイルム |
JP2000212518A (ja) * | 1999-01-26 | 2000-08-02 | Nitto Denko Corp | 熱接着シ―ト |
JP2000319442A (ja) * | 1999-05-13 | 2000-11-21 | Ube Ind Ltd | 多孔質絶縁材料およびその積層体 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011137183A (ja) * | 2003-09-25 | 2011-07-14 | Daicel Chemical Industries Ltd | 耐薬品性を有する多孔性フィルム |
JP2006306945A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Toray Ind Inc | 高分子重合体多孔質膜の製造方法及び高分子重合体多孔質膜 |
JP2011004097A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Ube Industries Ltd | 撥水性通気カバー、撥水性通気カバー付きトランスデューサー |
WO2013031085A1 (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 日東電工株式会社 | 通気機能を有する接合部材及びそれを用いた接合構造 |
JP2013055200A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Nitto Denko Corp | 通気機能を有する接合部材及びそれを用いた接合構造 |
CN103764778A (zh) * | 2011-09-02 | 2014-04-30 | 日东电工株式会社 | 具有通气功能的接合构件及使用了该接合构件的接合结构 |
JP2018003010A (ja) * | 2016-06-22 | 2018-01-11 | ユニチカ株式会社 | 多孔質ポリイミドフィルム形成用ポリイミド溶液、多孔質ポリイミドフィルムの製造方法および多孔質ポリイミドフィルム |
JP2018003009A (ja) * | 2016-06-23 | 2018-01-11 | ユニチカ株式会社 | 多孔質ポリイミドフィルム形成用ポリイミド溶液、多孔質ポリイミドフィルムの製造方法および多孔質ポリイミドフィルム |
JP2021064676A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
JP2021064681A (ja) * | 2019-10-11 | 2021-04-22 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
JP7383972B2 (ja) | 2019-10-11 | 2023-11-21 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
JP7480489B2 (ja) | 2019-10-11 | 2024-05-10 | 大日本印刷株式会社 | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4507419B2 (ja) | 2010-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6807729B2 (en) | Method of manufacturing metal foil | |
KR20150123154A (ko) | 다공막 적층체 및 그의 제조 방법 | |
EP1220586A2 (en) | Wiring board prepreg and manufacturing method thereof | |
JP4507419B2 (ja) | 通気性接着シートの製造方法および通気性接着シート | |
WO2017022933A1 (ko) | 고온 열융착이 가능한 내열성 폴리이미드 코팅막 형성 방법 | |
JP4701339B2 (ja) | 通気性接着シートの製造方法 | |
JP2002329974A (ja) | 配線基板及びその製造方法 | |
JP6488044B2 (ja) | 積層体および巻回体 | |
JP2003017862A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
US7237332B2 (en) | Method of manufacturing wiring board | |
JP3669782B2 (ja) | Icパッケージ接着用シート及びicパッケージ | |
KR20020089181A (ko) | 금속박 적층판 및 그의 제조방법 | |
JP2000106372A (ja) | 両面接着フィルム、半導体搭載用有機基板および半導体装置 | |
JP2002185093A (ja) | 両面配線基板用積層体および両面配線基板 | |
JP2003208820A (ja) | 異方導電性フィルム及びその製造方法 | |
JP2016091963A (ja) | 二次電池用セパレータ及び二次電池 | |
JP2001267462A (ja) | 半導体パッケージ用チップ支持基板、半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2002173652A (ja) | 接着フィルム、それを用いた半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2004207263A (ja) | ウェハボンディングシート、ウェハ積層体および半導体装置 | |
JP2002200616A (ja) | 配線基板プリプレグの製造方法 | |
JP2002208781A (ja) | 配線基板プリプレグ及びその製造方法 | |
JP2005002335A (ja) | 接着フィルムおよびこれを使った半導体装置 | |
JP2002179818A (ja) | プリプレグ用多孔質複合シート及び配線基板プリプレグ | |
JP2000167979A (ja) | 接着剤付きフレキシブル両面銅張り板 | |
JP2001288285A (ja) | プリプレグの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061225 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071113 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20091222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100419 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100421 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100426 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160514 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |